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【課題】 寸法精度が高く、絶縁層のスルーホール壁面とビアホール導体との間に隙間が生じるのを抑制した気密性の高い多層配線基板を提供する。
【解決手段】 第1の絶縁層と、該第1の絶縁層の焼成収縮の終了温度よりも高い焼成収縮の開始温度である第2の絶縁層とが交互に積層され、一組の前記第1の絶縁層および前記第2の絶縁層からなる積層体を貫通するようにビアホール導体が形成され、前記積層体の前記第1の絶縁層側の表面に前記ビアホール導体に接続され該ビアホール導体を覆うようにランドが形成されてなる多層配線基板であって、ランド5が内側拘束部51と内側拘束部51を包み込むように形成された外側導体部52とで構成されており、内側拘束部51および外側導体部52のいずれか一方の焼成収縮の開始温度が他方の焼成収縮の終了温度よりも高いことを特徴とするものである。 (もっと読む)


【課題】板金カバーの脚片を確実に固定できると共に、配線基板の底面全体を外部接続用ランドの形成領域として利用できて小型化が促進しやすい電子回路モジュールと、その製造方法を提供すること。
【解決手段】電子回路モジュール1は、配線パターン20を有して底面に外部接続用ランド21が分散配置されている配線基板2と、配線基板2の天面に搭載された電子部品3と、電子部品3を覆う板金カバー4とを備えている。配線基板2には、板金カバー4の脚片40が挿入される有底の取付穴22と、この取付穴22に連通する空気抜き用の縦穴23および長穴24とが形成されている。取付穴22の内壁部は脚片40が半田接合される金属膜22aからなり、縦穴23は板金カバー4に覆われていない配線基板2の天面隅部に露出している。 (もっと読む)


【課題】 無収縮焼成技術で作製される多層セラミックス基板において、焼結金属導体のセラミックス基板層に対する接着強度を十分に確保するとともに、めっき不良の発生を抑える。
【解決手段】 複数のセラミックス基板層2a〜2dが積層された積層体の少なくとも一方の表面に焼結金属導体(表面導体5)を有する。焼結金属導体である表面導体5を構成する導電材料が、Agを主体とするとともに、Agと固溶する貴金属を含有する。貴金属は、Au、Pd、Ptから選ばれる少なくとも1種である。また、表面導体5はガラス成分を含有する。 (もっと読む)


【課題】分割溝にて分割可能な寸法精度の高いセラミック多層基板を提供する。
【解決手段】
収縮開始温度の異なる、それぞれ焼結した第1絶縁層3と第2絶縁層5とを具備するとともに、最外層11が前記第1絶縁層3、11からなり、該第1絶縁層3、11の内側に隣接して積層された第2絶縁層5、13を備え、前記第1絶縁層3、11の途中まで分割溝7が形成されていることから、隣接する基板領域において前記第1絶縁層3、11が完全には分断されず、セラミック多層基板1全体の面方向への収縮抑制効果を高く維持し、ほぼ均一にすることができ、分割溝7にて容易に分割可能で寸法精度の高いセラミック多層基板1を提供できる。 (もっと読む)


【課題】表層抵抗体の熱負荷を減らして抵抗値の経時変化を抑えた低温焼成セラミック回路基板を提供すること。
【解決手段】低温焼成セラミック基板1の表層1aに一対の電極3,3間を橋絡する表層抵抗体4が設けられた低温焼成セラミック回路基板において、各電極3の直下に放熱ビア8を設け、熱伝導率が高いAg系導体からなる放熱材7を電極3に導通させると共に、放熱材7の底面を低温焼成セラミック基板1の外方に露出させる。この放熱ビア8は、低温焼成セラミック基板1の貫通孔6内に放熱材7を充填させた構成になっており、多層構造の低温焼成セラミック基板1の各グリーンシートに予め、貫通孔6を輪切りにした大きさの透孔を形成して該透孔内に放熱材7を充填しておくことにより、これらグリーンシートを積層して多層化すると自動的に放熱ビア8が得られる。 (もっと読む)


【課題】X−Y方向の収縮率が少なく、かつ、絶縁信頼性に優れた多層基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】第1ガラス粉末および軟化点が前記第1ガラス粉末の結晶化温度よりも高い第2ガラス粉末を主成分とし、セラミック粉末を20体積%以下含有する第1グリーンシートを作製する工程Aと、セラミック粉末および第3ガラス粉末の少なくとも一方を主成分とする第2グリーンシートを作製する工程Bと、前記第1グリーンシートおよび前記第2グリーンシートを積層して積層体を作製する工程Cと、前記積層体を焼成する工程Dとを具備する多層基板の製造方法であって、前記工程Dにおいて、前記第1ガラス粉末から析出した結晶が前記第1グリーンシートに含まれていた結晶と合わせて前記第1グリーンシートに含まれる全無機成分の40体積%以上80体積%以下である時に前記第2ガラス粉末を軟化させ、次いで、前記第1グリーンシートの焼結を終了させ、前記第1グリーンシートの焼結が終了した後に前記第2グリーンシートを焼結させることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】電子部品が配置されるキャビティの内壁面に所望の配線パターンや反射膜を設けることが容易なキャビティ付きセラミック多層基板と、その製造方法とを提供すること。
【解決手段】セラミック多層基板1を製造する際には、まず、キャビティ用透孔が形成されていないグリーンシート1a〜1c上に、キャビティ用透孔2d〜2gが形成されているグリーンシート1d〜1gを積層して未圧着積層体5を形成する。このとき、各透孔2d〜2gの口径が上層側で漸次小径となるように各グリーンシート1d〜1gを積層する。次に、未圧着積層体5に等方圧を付与して未焼成ブロック体7となすが、このとき最上層のグリーンシート1gの透孔周縁部分10gが陥没してその表面が下窄まりな湾曲面となるため、該湾曲面によってキャビティ2の内壁面21が形成される。セラミック多層基板1は未焼成ブロック体7を焼成して得られる。 (もっと読む)


【課題】 デラミネーションがなく、かつ高寸法精度のセラミック基板を提供する。
【解決手段】 第1のセラミックグリーンシート層2上に第2のセラミックグリーンシート層3を形成してセラミックグリーンシート4を形成する工程と、セラミックグリーンシート4に貫通孔5を形成する工程と、貫通孔5が形成されたセラミックグリーンシート4と第2のセラミックグリーンシート層3’とを積層し加熱してセラミックグリーンシート積層体6を作製する工程と、分割溝7の溝加工を行なう工程と、溝加工されたセラミックグリーンシート積層体6を焼成する工程とを具備し、第1のセラミックグリーンシート層2にセラミックグリーンシート積層体6を作製する際の加熱時に溶融状態となる溶融成分を含有させるセラミック基板の製造方法である。積層時に第1のセラミックグリーンシート層2が良好に密着するので、高寸法精度のセラミック基板が得られる。 (もっと読む)


【課題】機械的強度等に優れる多層セラミック基板を提供すること。
【解決手段】本発明の多層セラミック基板10は、板状のセラミック基板本体11、複数の表面側端子21、複数の裏面側端子22、内層電極31、複数の導通用ビア導体42等を備える。複数の導通用ビア導体42は、セラミック基板本体11の厚さ方向に延びる複数のビア孔41内に配置されている。複数の導通用ビア導体42は、表面側端子21と裏面側端子22との間、内層電極31と表面側端子21との間、あるいは内層電極31と裏面側端子22との間を電気的に接続する。複数の導通用ビア導体42間のスペース43には、複数のガス抜き孔61が形成されている。複数のガス抜き孔61は、セラミック基板本体11の厚さ方向に延び、かつ、表面12及び裏面13の少なくともいずれかにて開口している。 (もっと読む)


【課題】低温で焼結させることが可能であるとともに、収縮抑制工法により、平面方向の収縮を抑制しつつ焼成する工程を経て製造されるセラミック基板などの電子部品の原料として用いるのに適した低温焼結セラミック組成物を提供する。
【解決手段】(a)含有率が、75重量%を超え、95重量%以下である、1000℃以下で焼結する、ガラスを含まないセラミック材料と、(b)含有率が5重量%以上で、25重量%未満のホウケイ酸ガラスとを含有し、1000℃以下の焼成温度で焼成される低温焼結セラミック組成物において、ホウケイ酸ガラスとして、焼成温度より50〜150℃低い軟化点を有するものを用いる。
本願発明の低温焼結セラミック組成物を主成分とする基板用グリーン層1aと、収縮抑制層31とを備えるグリーン積層体32を形成し、低温焼結セラミック組成物は焼結するが、収縮抑制層31は実質的に焼成しない焼成温度で焼成する。 (もっと読む)


【課題】 サーマルビア間の接続不良による電気抵抗の増大や、伝熱性の低下を防止することが出来るセラミック積層基板とこれを用いたセラミック積層電子部品を提供する。
【解決手段】 複数のセラミック層を積層してなるセラミック積層基板に半導体素子を実装した電子部品であって、セラミック積層基板は、相対向する第1および第2の主面と当該主面間を連結する側面を備え、第1の主面に半導体素子を搭載するための第1の金属導体層を有し、セラミック層には略円錐形状ビアホールを有し、第2の主面には前記略円錐形状ビアホールを介して第1の金属導体層と電気的に接続する第2の金属導体層を有し、セラミック積層基板の略円錐形状ビアホールは、積層方向に積み重ねて放熱用のサーマルビアを構成し、第1の金属導体層と前記第2の金属導体層のそれぞれには、略円錐形状ビアホールの小開口部を接続した。 (もっと読む)


【課題】未焼結セラミック体の少なくとも一方主面上に、未焼結セラミック体の焼結温度では実質的に焼結しない拘束層を付与した後、この拘束層付き未焼結セラミック体を焼成し、次いで、拘束層を除去する、各工程を備える、いわゆる無収縮プロセスによる多層セラミック基板の製造方法において、拘束層による拘束力を大きくしようとすると、拘束層の除去が困難になり、拘束層の除去を容易なようにすると、拘束力が小さくなってしまう。
【解決手段】拘束層を、第1拘束層5,6と第1拘束層5,6の拘束力よりも小さい拘束力を有する第2拘束層7,8とから構成し、第2拘束層7,8を未焼結セラミック体9の表面上に設け、第1拘束層5,6を第2拘束層7,8の表面上に設ける。焼成後において、第2拘束層7,8を容易に除去することができる。 (もっと読む)


【課題】いわゆる無収縮プロセスを用いて製造されるセラミック多層基板に備える層間接続導体を形成するのに適した導電性ペーストを提供する。
【解決手段】無機成分および有機成分を含み、無機成分は、銀粉末と、アルミナおよび/またはアノーサイトを含む添加物粉末とを含み、銀粉末は、D050が3〜6μm、Dminが1.5μm以上、比表面積が0.3m/g以下であり、添加物粉末は、D050が1.0μm以下であり、銀粉末の含有量が85〜95重量%であり、添加物粉末の含有量が0.2〜1.0重量%である、導電性ペースト。この導電性ペーストは、セラミック多層基板を得るために作製される複合積層体8における未焼結セラミック基材層1に関連して設けられる未焼結導体パターン3,4を形成するために有利に用いられる。 (もっと読む)


【課題】多層セラミック基板を、マザー多層セラミック基板を個々の多層セラミック基板に分割する工程を経て製造する場合において、焼成後にも個々の多層セラミック基板が配列された状態を維持することが可能な多層セラミック基板の製造方法を提供する。
【解決手段】(a)未焼結のマザー多層セラミック基板40と、焼成工程では焼結しない材料からなり、未焼結のマザー多層セラミック基板の個々の多層セラミック基板4aとなる領域のそれぞれに連結される凸状構造体20を備えた補助層21とを積み重ねることにより、未焼結のマザー多層セラミック基板の一方主面側に補助層が配設された複合積層体Aを形成し、(b)個々の多層セラミック基板となるべき領域毎に分割されるが、一方主面側に配設された補助層は分割されないように切り込み溝43を形成した後、(c)補助層は実質的に焼結しないが、未焼結セラミック基材層1および凸状構造体が焼結する温度で焼成する。 (もっと読む)


【課題】表面パターンやビア等と基板端面との位置関係を正確に設定できる多層セラミック基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】印刷パターン17を形成したセラミックグリーンシート11を複数積層してグリーンシート積層体21を形成した。このグリーンシート積層体21には、グリーン複合積層体25を切断する際にその切断位置を認識するための目印19を形成した。また、グリーンシート積層体21の表面に収縮抑制グリーンシート23を積層した。この収縮抑制グリーンシート23には、収縮抑制グリーンシート23を積層した際に目印19を確認可能な開口部27を設けた。そして、グリーンシート積層体21の目印19の形成面側に収縮抑制グリーンシート23を積層して、目印19を開口部27から確認可能とし、その目印19にて、グリーン複合積層体21をその積層方向に切断した。 (もっと読む)


本発明は、亀裂のない、反りのない、歪みのない、収縮のないLTCC本体、複合体、モジュールまたはパッケージを、1つまたは複数の異なる誘電体テープの化学的性質を備えた多層構造の前駆体グリーン(未焼成)ラミネートから製造するプロセスに関する。これは、犠牲剥離テープと直接接触した両上下表面テープ層を含む各テープ層について、コンダクタ、ビアフィル、キャパシタ、インダクタまたはレジスタ等の同時焼成可能厚膜回路材料によりパターン化されている。
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【課題】 セラミック基板の平面方向の収縮制御と、柱状導体の不良発生率の低減とを両立させる。
【解決手段】 基板用グリーンシートと、収縮抑制効果を有するシートに柱状導体前駆体が埋め込まれた導体形成用シートと、収縮抑制効果を有する層とがこの順に積層された積層体を形成する工程と、積層体を脱脂する工程と、脱脂後の積層体を焼成する工程と、焼成後の残渣を除去することにより、焼結金属からなる柱状導体をセラミック基板本体の表面に有するセラミック基板を得る工程とを有し、柱状導体前駆体の頭部端面が収縮抑制効果を有する層に接しない状態で焼成を行う。得られるセラミック基板は、焼結金属からなる柱状導体をセラミック基板本体の表面に有し、柱状導体の頭部端面の中央部が周縁部に比べて陥没している。 (もっと読む)


【課題】 多様な用途や要求に対応することが可能な多機能な積層基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 互いに異なる異種セラミック材料により構成される2種類以上のセラミック積層体2,3が、焼結金属により形成された柱状導体5によって所定の間隙をもって且つ電気的に接続された状態で一体化されている。セラミック積層体2,3間の間隙には樹脂が充填され樹脂層4が形成されている。セラミック積層体2,3と柱状導体5は、同時に焼成されたものである。 (もっと読む)


【課題】耐衝撃性に優れ、且つ、平坦性及び耐めっき性に優れたセラミック多層基板を提供する。
【解決手段】本発明のセラミック多層基板10は、複数のセラミック層11Aを積層してなるセラミック積層体11の内部に内部導体パターン12を有し、セラミック積層体11の下面に第1の端子電極13Aを有し、第1の端子電極13Aの表面と、第1の端子電極13Aとセラミック積層体11との境界部との双方を覆うように、セラミック積層体11の下面に対して凸状の導電性樹脂部14が設けられている。 (もっと読む)


【課題】多機能化を達成しやすいにもかかわらず小型化及び低コスト化に適した配線基板を提供すること。
【解決手段】本発明の配線基板10は、基板コア11、キャパシタ101、配線積層部31を備える。キャパシタ101は、誘電体層15を介して第1内部電極層141と第2内部電極層142とが交互に積層配置された構造を有し、基板コア11内に収容されている。配線積層部31は、層間絶縁層33,35及び導体層42をコア主面12及びキャパシタ主面102の上にて交互に積層した構造を有する。キャパシタ101には抵抗体301,302等が形成されている。 (もっと読む)


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