【課題】所謂ミニエンバイロメント方式を採用する際に、清浄度の低い外部環境のガスが局所クリーン領域に取り込まれることを抑制することができる局所クリーン搬送装置における物品受渡し時の清浄度保持装置を提供する。
【解決手段】クリーンルーム１１内の複数箇所に設けられ、清浄度がクリーンルーム１１内の清浄度より高い作業領域１２の物品受渡し部１３間における物品の搬送を手動台車１４で搬送されるポッド１５に収容して行う。物品受渡し部１３内はクリーンルーム１１内の圧力より高い圧力（陽圧）となっている。ポッド１５が移動部材２２上に載置され、移動部材２２と共にカセット１７が下降する途中で開口充填部２２ｂと受渡し口部２０ａとの隙間から物品受渡し部１３内のガスが排出され、クリーンルーム１１内のガスが物品受渡し部１３内に入り込むのが抑制される。 （もっと読む）

【課題】 位置決めの基準となるインデックスバーの変形が少なく、側壁に設けられる収納溝の変形も低減でき、装置に対する位置決め精度が向上し、薄板の載置位置のばらつきを少なくして、薄板を精度良く取り出しや挿入ができるカセットを提供することを課題とする。
【解決手段】 相対向する側壁内面に薄板を収納する収納溝を有し、前記相対する側壁の一方を連結する端壁と、前記側壁の他方を連結するＨ形状の端壁とを有するカセットであって、Ｈ形状の端壁の中央部に設けられる半円状の突起バーの半円状の円周の一部が長手方向に延びるように形成された楔状の空洞部によって分割されているカセットである。空洞部が、外周面が半円状に形成されたリブによって仕切られるようにすることができる。 （もっと読む）

【課題】導体ウェハ収納容器内の付着物を十分に回収することができ、かつ気泡の影響を受けずに高精度に半導体ウェハ収納パーティクルの測定を行うことのできる半導体ウェハ収納容器の清浄度評価方法の提供。
【解決手段】半導体ウェハ収納容器の清浄度評価方法は、半導体ウェハ収納容器内に液体を注入して前記半導体ウェハ収納容器を撹拌し、容器内付着物を液体中に回収する手順Ｓ３と、付着物が回収された回収液体中に最終洗浄を行った半導体ウェハを浸漬する手順Ｓ４と、浸漬された半導体ウェハの表面を上向きにして一定時間静置し、前記回収液体中の付着物を前記半導体ウェハ表面に転写させる手順Ｓ５と、前記付着物が転写された半導体ウェハを乾燥させる手順Ｓ６と、乾燥した半導体ウェハ表面の前記付着物を、ウェハ用パーティクル測定装置にて測定する手順Ｓ７とを実施する。 （もっと読む）

【課題】ウェハー検査に必要な個別工程を統合することで工程間のロスタイムを解消することができるウェハー検査装置及びその方法を提供する。
【解決手段】本発明による検査装置は、検査完了ウェハーの脱着及び新規検査対象ウェハーのローディングが行われる第１領域、及びウェハーの検査が行われる第２領域を備える検査ステージと、前記検査ステージ上に相互対向するように設けられた複数のウェハー載置部と、前記複数ウェハー載置部が設けられ、回転運動によって各ウェハー載置部の位置を第１領域と第２領域に相互に位置させる回転プレートと、前記第１領域に位置したウェハー載置部から検査完了ウェハーを脱着した後、新規検査対象ウェハーをロードするロボットと、前記第２領域に位置したウェハー載置部にロードされたウェハーの上下面を反転させるウェハー反転手段と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 基板に対するリテーナの接触領域を減少させ、基板の汚染を低減できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】 複数枚の半導体ウェーハＷを整列収納可能な容器本体１０と蓋体２０との間に、半導体ウェーハＷを保持するリテーナ３０を介在した基板収納容器であって、リテーナ３０を、蓋体２０の天井内面から容器本体１０に収納される半導体ウェーハＷ方向に伸長し、複数枚の半導体ウェーハＷの整列方向に並ぶ可撓性の複数の弾性片３１と、各弾性片３１の先端部に形成されて半導体ウェーハＷの周縁部上端を接触保持する保持溝片３４とから形成し、弾性片３１と保持溝片３４を蓋体２０の天井内面側から半導体ウェーハＷ方向に向かうに従い徐々に湾曲させて半導体ウェーハＷの半径外方向に向け、半導体ウェーハＷの周縁部上端に対する保持溝片３４の接触保持領域を減少させる。 （もっと読む）

【課題】撓んだ弾性片と隣接する他の弾性片との干渉を抑制し、基板のがたつきや摺れ、損傷、汚染を防ぐことのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハＷを整列収納可能な容器本体１０と、容器本体１０に着脱自在に嵌合されて複数枚の半導体ウェーハＷを被覆・保護する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０の間に介在されて各半導体ウェーハＷを保持するリテーナ３０とを備える。リテーナ３０を、蓋体２０の天井内面から容器本体１０に整列収納された半導体ウェーハＷ方向に伸長し、複数枚の半導体ウェーハＷの整列方向に並ぶ可撓性の複数の弾性片３１と、各弾性片３１の先端部に形成されて半導体ウェーハＷの周縁部上端を保持する保持溝片３４と、弾性片３１と保持溝片３４の少なくともいずれか一方に形成される干渉回避面とから構成し、干渉回避面により、隣接する複数の保持溝片３４同士の干渉を回避する。 （もっと読む）

【課題】基板を、大気に接触させずに真空状態のまま処理装置間で搬送することができ、フラットパネルディスプレイ製造工程の自動化と性能向上とを可能とするカセット式基板搬送装置及びこれを用いた基板の処理方法を提供する。
【解決手段】基板Ｐが収納される気密構造のカセット本体１０の前面フランジ部１２に、その開口部１１を封止するスライド式のシャッタープレート１６を設け、マグネット式１８の密着手段１７により密着させる。処理装置の開口部６には、カセット本体１０の前面フランジ部１２が気密に装着されるロック手段と、シャッタープレート１６を引き込む戸袋部２０と、シャッタープレート１６の開閉手段２１を設ける。カセット本体１０の内部に基板Ｐを収納して真空状態を維持したままで複数の処理装置間を搬送し、各処理装置においてシャッタープレート１６を開いて基板Ｐをロボットハンドにより取り出し、処理を行う。 （もっと読む）

【課題】クリーン度を維持しながら、トレイ単位での取扱の自動化、多品種小ロットへの対応、搬送効率の向上を可能とする搬送システムを提供する。
【解決手段】複数段積みされたトレイ１をポッド５に対して出し入れするトレイ出し入れ手段２０と、このポッド５を搬送するポッド搬送手段１０とを設けた。 （もっと読む）

【課題】ワークを一枚ずつ収容するトレイを搬送基本手段とし、このトレイの利点を十分に利用して、要求に応じて搬送形態を変更することにより効率よく搬送できる搬送システムを提供する。
【解決手段】ポッド５を一つずつ搬送するポッド単数搬送手段１０と、ポッド５を複数段積みするポッド段積み手段５０と、段積みされたポッド５を搬送するポッド段積み搬送手段６０と、段積みされたポッドを段ばらしするポッド段ばらし手段５０とを設けた。 （もっと読む）

【課題】板ガラス自体の自重で破損する虞が無く、収納率にも優れる梱包用具を提供する。
【解決手段】被梱包物であるガラス基板の収容領域２４を囲む枠体２と、枠体２に取り付けられてガラス基板を収容領域２４に吊り下げる吊下器具３と、を具備してなることを特徴とする梱包用具１を採用する。 （もっと読む）

搬送チャンバと、搬送チャンバに沿う直線配列の基板保持モジュールと、前記チャ
ンバ内に位置する基板搬送部と、を有する基板処理装置。前記チャンバは、隔離雰
囲気を保持することが可能であり、搬送チャンバに沿って縦方向に延在する、１つ
以上の実質的に直線状の搬送経路を画定する。前記チャンバ内の搬送部は、直線状
の搬送経路に沿って、基板を搬送することが可能である。搬送部は、基板の保持お
よび移動が可能である搬送装置を有する。搬送装置は、直線経路の少なくとも１つ
に沿って移動するための、搬送チャンバの壁に接合する。搬送チャンバは、搬送チ
ャンバの向かい合う端部で、他の基板保持モジュールと嵌合するための接合部分を
有する。各接合部分は、２つ以上の直線搬送経路の少なくとも１つが通って延在す
る開口部を有し、搬送チャンバは、選択的に可変である縦方向の長さを接合部分間
に有する。
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【課題】半導体移送装備を提供すること。
【解決手段】半導体移送装備において、ウエハ移送ロボット１０００は、フレーム内に装着され、所定の昇降軸に沿って上下移動する昇降部材を含むロボットボディー１００と、駆動リンクと複数の被動リンクとからなり、駆動リンクは昇降部材に装着され、被動リンクの末端部はロードポートが装着されたフレーム面に沿って水平方向に線形移動する関節アーム２００と、被動リンクの末端部に装着され、垂直の回転軸を中心に回転するスイングユニット３００と、スイングユニットに装着されるベース、ベースに装着されて水平方向に直線往復運動する複数のスライディングユニット、およびウエハカセットからウエハを引き出し、収納するウエハハンドを含む直交アーム４００とを備える。 （もっと読む）

【課題】薄板収納容器用フック５を容易に取り付け、下側容器部２と上側容器部３とを容易に固定する。
【解決手段】板状の本体部２５と、上側容器部３の係止板１５に引っ掛けるための溝部２６Ａを形成する上側フック部２６と、下側容器部２の係止板７に引っ掛けるための溝部２７Ａを形成する下側フック部２７と、前記上側フック部２６及び下側フック部２７の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたバネ取付け部２８と、各バネ取付け部２８に掛け渡して取り付けられた板バネ２９と、この板バネ２９の途中に設けられ下側容器部２側及び上側容器部３側の各係止板７、１５にそれぞれ形成された切り欠き８に嵌合して位置決め支持する係止用突起３０とを備えて構成した。前記上側フック部２６と下側フック部２７とは、上下対称に形成した。また、上側フック部２６及び下側フック部２７はそれぞれ左右対称に形成した。 （もっと読む）

【課題】薄板ガラス等を収容した多数のトレーを容易に出し入れ可能で、収容物の波損なく搬送可能で、製造ライン等の収容物の供給場所あるいは使用場所への搬送をも適切に効率よく行えるコンテナを提供する。
【解決手段】外部パレット、側板及び上蓋により形成されるコンテナ内部空間に、薄板ガラスを収容したトレー６０を多数内部パレット４２に載置した状態で収容する。内部パレット４２上には底板５４が設けられてその周囲に枠部材５６が設置されており、トレー６０は枠部材５６により位置が規定されてずれないように固定される。トレー６０の上には、押え板７０が載置され、押え板７０と上蓋２０との間に緩衝材７２が介在される。これによりトレー６０の上下方向の移動も抑止され振動も吸収される。 （もっと読む）

【課題】シール性及び耐衝撃性を向上させ半導体ウエハＷ等を安全に枚葉収納して搬送する。
【解決手段】互いに着脱可能な複数枚の載置トレイ１６を積層し、各載置トレイ１６の間の隙間に半導体ウエハＷをそれぞれ挟持して収納するトレイ収納体１２と、このトレイ収納体１２を内部に収納する外部収納容器１３とからなる薄板収納容器１１である。各載置トレイ１６の対向する両側端に、外部機械装置の処理アームが嵌合して把持する一対の把持部２０を設けた。外部収納容器１３は、容器本体３１と、蓋体３２と、これら蓋体３２と容器本体３１との間に設けられて内部をシールするシール材３３と、上記トレイ収納体１２を支持する一対のトレイ収納体支持部３４と、上記容器本体３１内に収納された上記トレイ収納体１２を底面側と蓋体側とから挟持して支持するトレイ収納体押さえ３５を備えた。 （もっと読む）

【課題】 落下時の衝撃を有効に吸収する。
【解決手段】 半導体ウェーハ等の精密基板を収納する精密基板収納容器を包装体に梱包する際に、精密基板収納容器の上部または下部に配置される梱包用緩衝体２であって、この梱包用緩衝体２が、梱包時に精密基板収納容器の上面または下面を覆う底部２１と、この底部２１の外周縁から立ち上がって隆起する外周壁２２と、この外周壁２２の上面および下面に設けられるベローズ２３と、底部２１から、外周壁２２の隆起方向とは反対側の方向に突出する複数の突出部２４とを備え、これら突出部２４の座屈強度が異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 レチクルと他の物質が接触することによるパーティクルの発生を抑えたレチクル搬送を行うことを目的とする。
【解決手段】 レチクルを搭載するための搭載部とその蓋部間の空間にレチクルを収容し支持するためのレチクルカセットであって、前記搭載部に前記レチクルのパターン面側を静電力によって吸着して支持する電極を備える。 （もっと読む）

【課題】低コストで嵩張らず、リサイクルも容易で、運搬等の際に受ける衝撃による破損・損傷から内容物（ウエハ）を守ることのできるウエハ収納用容器を提供する。
【解決手段】本発明のウエハ収納用紙製容器は、段ボール製の箱体１０と、板状のウエハ把持部１１ａを有する把持部組立体１１と、把持部組立体１１を箱体１０内に固定するウエハ固定部１２と、から成る。ウエハ把持部１１ａは互いに平行に並べたウエハを１枚ずつ把持するが、ウエハ把持部１１ａのウエハを把持する部分を鋭角のＶ字形の凹部とし、ウエハの中心に向けて設けることで、より安定的にウエハを固定して耐衝撃性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 消費電力の増加を抑制できるクリーンルーム内の装置のメインテナンス方法を提供すること。
【解決手段】 内部を一定以上の清浄度に保つことができるクリーンルーム１内の装置２のメインテナンス方法であって、クリーンルーム１内の清浄度に関し、装置２を含む空間を他の空間よりも清浄度を高くし、かつ、前記他の空間の清浄度を、装置２の稼働時におけるクリーンルーム１内の清浄度よりも低くする工程と、装置２をメインテナンスする工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】搬送アーム、及び装置全体を安価で製造する。
【解決手段】同一円弧上にそれぞれの少なくとも一部が配置されたレチクル搬入部２９からレチクルステージＲＳＴを経由して、レチクル搬入部２９に至るまでのレチクルの搬送を、搬入アーム８２ａ、８２ｂが円弧の中心軸を回転軸として回転軸周りの所定方向の回転運動をするのみで行うことができるので、搬送アーム８２ａ，８２ｂの簡素化を図ることができ、これにより、搬送アーム８２ａ，８２ｂひいては露光装置全体を安価で製造することが可能となる。 （もっと読む）