【課題】 積層された半導体ウエハと保護シートとを取り違えることなく吸着して搬送することができるようにする。
【解決手段】 可撓性アーム２６の先端部下面で保護シート２２を吸着して持ち上げる。この場合、保護シート２２の重さは１〜２ｇと比較的小さい。このため、保護シート２２を持ち上げた可撓性アーム２６の撓み量は比較的小さい。一方、可撓性アーム２６の先端部下面で半導体ウエハ２３を吸着して持ち上げた場合には、半導体ウエハ２３の重さが保護シート２２の重さの数十倍とかなり大きいので、可撓性アーム２６の撓み量は比較的大きい。可撓性アーム２６の撓み量は歪みゲージ２７で検出される。そして、半導体ウエハ２３と保護シート２２との重さの相違から、今、可撓性アーム２６で持ち上げているものが保護シート２２および半導体ウエハ２３のいずれであるか判別される。この後、保護シート２２または半導体ウエハ２３を吸着部材で吸着して別の箇所に搬送する。 （もっと読む）

【課題】例え基板の撓み量が大きい場合でも、容器本体の大型化や基板の破損を抑制することができ、しかも、基板の位置ずれを防いで円滑に取り出すことのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ１を収納する容器本体１０をフロントオープンボックスに形成してその内底面には半導体ウェーハ１の周縁部２下方を縦に支持する下部支持ブロック１６を設け、容器本体１０の天板２２内面には、半導体ウェーハ１の周縁部２上方を縦に支持する上部リテーナ２１を上下方向に弾性変形可能に並設し、容器本体１０の背面壁２７内面には、半導体ウェーハ１の周縁部２上部後方を縦に支持する後部支持ブロック２３を設ける。半導体ウェーハ１が起立して支持されるので、例え半導体ウェーハ１が撓み量の大きいφ４５０ｍｍタイプの場合でも、半導体ウェーハ１の撓みを防ぎ、容器本体１０の大型化を防止してスペースの有効利用を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】 ロードポート装置にセットする向きが制限されないクリーンボックスを実現する。
【解決手段】 クリーンボックスは、第１ユニットと、第１ユニットに対して着脱可能な第２ユニットを備えている。第２ユニットには、半導体ウエハを支持するウエハ支持部が設けられている。第１ユニットから第２ユニットが取り外された状態で、第２ユニットのウエハ支持部には、半導体ウエハを特定の方向から出し入れ可能となる。第１ユニットに第２ユニットが取り付けられた状態では、第１ユニットと第２ユニットが、ウエハ支持部に支持された半導体ウエハを収容する密閉空間を形成するとともに、相対回転可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の横ぶれや位置ずれを抑制してクランプハンドのハンドリングの円滑化を図ることができ、しかも、基板の取り出し作業の作業性を向上させることのできる基板収納容器及び基板の取り出し方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ１を収納する容器本体１０を正面が開口したフロントオープンボックスタイプに形成してその内部下方には半導体ウェーハ１の周縁部２下方を縦に支持する下部支持ブロック１６を設け、容器本体１０の内部上方には、半導体ウェーハ１の周縁部２上方に隙間を介して左右横方向から対向する上部規制板２１を設けるとともに、容器本体１０の内部後方には、半導体ウェーハ１の周縁部２後方を縦に支持する後部支持ブロック２４を設ける。容器本体１０を左右方向に傾斜させた場合に上部規制板２１に傾斜した半導体ウェーハ１の周縁部２上方を支持させる。 （もっと読む）

【課題】ポリオレフィン系発泡体を用いたことによる好ましい特徴を有していることはもとより、ガラス基板のボックス本体からの突出部分が保護される上、ガラス基板を縦挿したボックス本体に蓋体をかぶせるときに溝外れを生ずることがなく、しかも、ボックスからのガラス基板の取り出し操作をアンパッカーを用いて自動的に行うことができるガラス基板搬送用ボックスを提供することを目的とする。
【解決手段】相対向する内壁に溝（ｇ）が形成された構造を有するポリオレフィン系製のボックス本体（１）と、ガラス基板（Ｇ）のボックス本体（１）からの突出部分を保護する溝（ｇ）付きのサポート部材（３）と、ポリオレフィン系発泡体製の蓋体（２）と、これらのサポート部材（３）および蓋体（２）に相対応するように設けた雌雄の面ファスナ（４），（４）とからなるガラス基板搬送用ボックスである。 （もっと読む）

【課題】例え基板の撓み量が大きい場合でも、容器本体の大型化や基板の破損を抑制することができ、しかも、基板の位置ずれを防いで円滑に取り出すことのできる基板収納容器、クランプハンド、及び基板の取り出し方法を提供する。
【解決手段】複数枚の丸く薄い半導体ウェーハ１を整列収納する容器本体１０を正面が開口したフロントオープンボックスに形成してその内底面には半導体ウェーハ１の周縁部２の下方を縦に支持する第一の支持ブロック１６を設け、容器本体１０の背面壁２４内面には、半導体ウェーハ１の周縁部２の上部後方を縦に支持する第二の支持ブロック２３を設ける。容器本体１０内に半導体ウェーハ１が起立して支持されるので、例え半導体ウェーハ１が撓み量の大きいφ４５０ｍｍタイプの場合でも、半導体ウェーハ１の撓みを防ぎ、容器本体１０の大型化を防止してスペースの有効利用を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】 ガスケットが挿入された嵌合溝に入り込んだ洗浄水を効率よく排水および乾燥可能であり、洗浄水の残留に起因した基板の汚染を防止する。
【解決手段】 一端に開口を有する容器本体と前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体と前記蓋体との間に狭持されてシールを形成するガスケットとを有する精密基板収納容器であって、前記容器本体又は前記蓋体には、前記ガスケットが挿入される嵌合溝が形成され、前記ガスケットは、エンドレス状をした基部と、基部から伸びるシール部とを有し、前記基部には、前記嵌合溝に挿入される嵌合部が形成されていて、前記嵌合部と前記嵌合溝の何れかに、連通溝が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】カセット内に収納後の基板の安定を確保する基板用カセットを提供するものであって、基板用カセットの棚片をカセット内側方向に長くした場合であっても、収納された基板が運搬中の振動や傾きによって、膜面側に隣接する棚片との接触により膜面の損傷を引き起こすことを防ぐ構造の基板用カセットを提供すること。
【解決手段】基板の４辺の内の向き合う２辺もしくは３辺を支持して、該基板を一定の間隔を保って積み上げ状態に一時収納するための基板用カセットであって、棚片と基板位置抑制用爪部を有しており、前記棚片は前記基板用カセットに設けた棚片付き側板の少なくとも内側に整列配置され、前記基板位置抑制用爪部は前記棚片付き側板とは平行に独立して設けた可動性の爪部取り付け支柱から基板用カセットの内側向きに整列配置される。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を所定の載置位置に高精度に位置決めする事が可能なキャリア、およびこれを備えた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】位置決め手段３１は、略Ｌ字状の支持部材３２と、この支持部材３２を回動させる付勢部材３３とを備えている。支持部材３２は、例えば、全体が樹脂によって形成された略Ｌ字型の部材である。この支持部材３２は、回転軸３４によってキャリアフレーム１５に回動自在に軸着されている。また、支持部材３２は、ガラス基板１１の底辺１１ｂ、および側辺１１ｃにそれぞれ当接する。こうした、支持部材３２がガラス基板１１に当接する部分は、円周面を成す形状、例えば、半円形のロール部３２ａ、３２ｂを形成しているのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板とその保護シートの高速搬送を実現し、併せて、高精度で高品質の積載梱包を達成する。
【解決手段】ガラス基板梱包装置は、保護シート３上にガラス基板４が載置される載置ステーションと、保護シート３とガラス基板４とを交互に積載する積載ステーションと、保護シート３上に載置されたガラス基板４を保護シート３と共に保持し、積載ステーションに積載する積載手段としてのガラス基板積載装置とを備える。ここで、ガラス基板積載装置を構成するロボットアームは保護シート３およびガラス基板４を保持する保持部４３を有し、この保持部４３は、ガラス基板４を吸着する複数の吸着パッド４５と、載置された状態のガラス基板４からはみ出た保護シート３の辺縁部分のうち互いに対向する２つの辺縁部３ａ，３ｂを挟持する挟持部４６とを有する。 （もっと読む）

【課題】導光板の保管・輸送時における導光板の端面の傷付きを防止し、導光板の変形を防止することができる導光板保管用架台およびそれを用いた保管方法を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の導光板２６を輸送、保管する導光板保管用架台１０であって、底部材２０と、底部材２０にほぼ垂直に立設固定された背面部材２２と、背面部材２２に相対向して設けられ、底部材２０に着脱可能な正面部材２４と、正面部材２４と背面部材２２とに取り付け可能な囲い部材２８とを有し、底部材２０と導光板２６との間にクッション材３０が敷かれており、底部材２０が水平方向に対して２０°以下の角度で、傾きを有することを特徴とする導光板保管用架台およびそれを用いた保管方法である。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクケースの支持体によって付着するパーティクルは洗浄後も残留しやすい傾向があり、傷については洗浄しても除去することは不可能であるため、フォトマスクの表裏面とフォトマスクケースの支持体が接触しないようなフォトマスクケースを提供すること。
【解決手段】フォトマスクを保持するためのフォトマスクケースにおいて、フォトマスクの周囲を覆う外装容器に支持棒挿入穴を有し、その支持棒挿入穴から挿入された支持棒によりフォトマスクの側面を保持し、その支持棒がフォトマスクの側面部と接する側の先端部に弾性を有する支持体を設けていることを特徴とするフォトマスクケースとする。 （もっと読む）

【課題】搬送時において微小構造体の破損のおそれを低減すると共に、評価時において正確に微小構造体の評価を行なうことができる基板載置用トレイを提供する。
【解決手段】基板載置用トレイ１１は、表面上にウェハＷを載置する載置部１２と、載置部１２上に載置されたウェハＷの外端部１３に当接する複数の当接部２１ａを備える。ここで、マイクロバネ２２等を含む複数の当接部２１ａは、載置部１２上に載置されたウェハＷの外端部１３に接離可能である。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハのバックグラインドされた裏面に回路が形成される場合に、裏面の回路の汚染や損傷を抑制し、リングスペーサを省略して薄い半導体ウェーハの破損を防止できる半導体ウェーハ用治具を提供する。
【解決手段】バックグラインドされた薄い半導体ウェーハＷを搭載する積層可能な治具であって、中空に形成され、半導体ウェーハＷよりも拡径の治具本体１と、治具本体１に形成されて半導体ウェーハＷを支持する複数の弾性支持片１０とを備える。そして、各弾性支持片１０を、治具本体１の内周縁部から上方内側に傾斜しながら伸長する傾斜起立部１１と、傾斜起立部１１の上部に屈曲形成されて半導体ウェーハＷの周縁部を水平に支持する保持部１３とから形成する。半導体ウェーハＷの表裏面に何も接触させないので、例えバックグラインドされた裏面に回路が形成される場合でも、汚染を嫌う裏面に合紙等が接触することがない。 （もっと読む）

【課題】収納効率に優れ、しかも、搬送時の振動等でウェーハの周縁部等が損傷するおそれを排除することのできる保持治具の搬送容器を提供する。
【解決手段】テストウェーハＷ用の保持治具１を支持する容器本体１０の表面に蓋体２０を着脱自在に嵌合する保持治具１の搬送容器であって、容器本体１０を、断面略溝形の本体部１１と、本体部１１に凹み形成されて周壁上端部に保持治具１の周縁部を支持する中空の錐台部１３と、本体部１１と錐台部１３の周壁端部との間に形成されて保持治具１の周縁部を規制する複数のストッパ部１８とから形成する。また、蓋体２０を、容器本体１０の本体部１１表面に重なる断面略溝形の本体蓋部２１と、この本体蓋部２１に凹み形成されて容器本体１０の錐台部１３とストッパ部１８とを覆う中空の錐台ドーム部２３とから形成する。 （もっと読む）

【課題】優れた振動防止および保護効果を有するレチクルポッドのキャリアケースを提供すること。
【解決手段】トップカバーおよびボトムカバーがほぼ対応し、収納空間を形成する。ボトムカバーは、ボトムカバーの２つの向かい合った内表面側面上に設けられた数対のガイドレールを有する。仕切り板は、ガイドレールによってボトムカバー内に嵌め込められる。収納空間を複数の収納空間に分割し、レチクルポッドを置くために用いる。挟持部と当接部とを有する固定部品をトップカバー内表面の最上面に設置する。トップカバーをボトムカバーにかぶせるときに、トップカバーの各固定部品がすべてキャリアケースの中に置かれた各レチクルポッドに対応する。固定部品の挟持部は、レチクルポッドを挟持することができる。固定部品の当接部は、レチクルポッドを押さえる。 （もっと読む）

【課題】優れた振動防止および保護効果を有し、パーティクルの発生を減少させること。
【解決手段】トップカバーとボトムカバーとを含み、ボトムカバーの収納空間の中に緩衝位置決め装置を配置したレチクルポッドのキャリアケースであって、緩衝位置決め装置は、キャリア構造部品と、複数の弾性部品とを含む。キャリア構造部品は、底部と、底部に接続し縦方向に湾曲し延伸した複数の翼部により構成される。複数の弾性部品は、底部に接続しもう１つの向かい合う縦方向に湾曲し、湾曲部を有する複数の弾性部品を形成する。弾性部品の複数の湾曲部は同一平面上に形成する。 （もっと読む）

【課題】収納工程の簡略化、チップ収納の安定化を図ることができる収納容器を提供すること。
【解決手段】収納容器１０は、複数枚のチップＣを収納する複数のチップトレイ１１と、各チップトレイ１１をそれぞれ収納可能に設けられた収納トレイ１２とを備えて構成されている。チップトレイ１１は、上下に重ね合わせ可能な上部材１４及び下部材１５からなる。収納トレイ１２は、上出し入れ口３１及び下出し入れ口３２を有する収納部２６を複数備えている。収納部２６は、フランジ部３４と、上出し入れ口３１側に設けられた第１のロック片部３５と、下出し入れ口３２側に設けられた第２のロック片部３６とを備えている。フランジ部３４及び第１のロック片部３５により上部材１４の上下方向の位置決めを行い、フランジ部３４及び第２のロック片部３６により下部材１５の上下方向の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】平積みされ湾曲した板状体の輸送時の振動に起因する板状体の擦り疵の発生を防止することができる梱包容器、及び積込装置、並びに輸送方法を提供する。
【解決手段】梱包容器１０は、シート材１４に複数枚のガラス基板Ｇを平積みし、シート材１４をガラス基板Ｇとともに湾曲させた状態で容器本体１２に宙吊り状態に取り付けて梱包する。梱包容器１０を輸送車両の荷台に搭載し、ガラス基板製造工場から液晶ディスプレイ製造工場まで輸送する。その際、梱包容器１０は、シート材１４及びガラス基板Ｇの湾曲方向が輸送車両の進行方向に対して直交する方向に向くように搭載しガラス基板Ｇの輸送時において、車両からの振動は、宙吊りされたシート材１４によって吸収されるため、ガラス基板Ｇに伝達し難い。 （もっと読む）

【課題】基板との接触に伴う蓋体の変形を低減して基板の汚染を抑制し、蓋体の開閉や作業に支障を来たすことの少ない基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを収納する容器本体の開口したリムフランジを蓋体５０により開閉する基板収納容器であって、蓋体５０を、容器本体のリムフランジに着脱自在に嵌合される筐体５１と、容器本体に収納された半導体ウェーハの周縁部前方を保持するフロントリテーナ５９と、回転プレートの回転操作により筐体５１の周壁から出没可能な係止爪７７を突出させて容器本体のリムフランジ内周に係止させる施錠機構７０とから構成する。筐体５１の半導体ウェーハに対向する裏面にフロントリテーナ５９を、筐体５１の表面に施錠機構７０をそれぞれ取り付け、フロントリテーナ５９の前方に施錠機構７０を位置させる。 （もっと読む）