【課題】実装すべき半導体チップの位置決めを高精度かつ容易に実現する配線基板の製造方法、およびこれに用いられるチップトレイを実現する。
【解決手段】配線基板の製造方法は、半導体チップ１００を、シリコンで形成されたチップトレイ１上のチップ位置決めプレート１１に装着するステップと、チップ位置決めプレート１１に装着された半導体チップ１００を基点に配線形成処理を実行するステップと、配線形成済の配線基板をチップ位置決めプレート１１から取り外すステップと、を備えるものであり、このチップ位置決めプレート１１は、半導体チップを収容する収容部２１と、収容部２１の内側面を構成する４面のうち隣接する２面にそれぞれ設けられる弾性部材２２とを備え、これら各弾性部材２２が対向面の方向に向けて押圧力を発し、各弾性部材２２と対応する各対向面との間に半導体チップ１００が挟時される。 （もっと読む）

【課題】直径が４５０ｍｍ以上の半導体ウェーハを収納する際、半導体ウェーハが大きく撓んだとしても、半導体ウェーハを適切に支持することのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】φ４５０ｍｍの半導体ウェーハ１を収納するフロントオープンボックスの容器本体１０と、容器本体１０の開口した正面部に着脱自在に嵌合される蓋体とを備え、容器本体１０の内部両側に、半導体ウェーハ用の支持片１５を対設して各支持片１５の切り欠き１６に、半導体ウェーハ１裏面の周縁部２を除く内側領域３に接触する支持ピン１７を後付けする。また、容器本体１０の内部両側の後方に、支持片１５の後方に位置する半導体ウェーハ１用の突き当て壁１８をそれぞれ設けてその半導体ウェーハ１の周縁部２に接触する接触部１９を接触領域２０とし、接触領域２０に、半導体ウェーハ１の周縁部２を保持する複数の凹凸２１を配列形成する。 （もっと読む）

【課題】より効果的にがたつきや破損を防ぐことができる半導体チップトレイを提供することを目的とする。
【解決手段】半導体チップ４を収納するための収納ポケット３１を備えたチップトレイ３と、該チップトレイ３に取り付けられて固定される上蓋２と、を有する半導体チップトレイ１であって、前記上蓋２は、前記半導体チップ４を支持するための変形可能な梁構造のチップ支持部（支持部）２１を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板処理システムにおいて、基板ホルダ上に配置されかつ整列された状態でガラス基板を基板ボートに搬入できるように、ガラス基板及び／または基板ホルダを整列させるホルダステージを提供する。
【解決手段】本発明に係るホルダステージ（１００）は、複数の基板ホルダ（１４０）を、対応するガラス基板（１０）が各ホルダ（１４０）に載置された状態で収容するホルダステージであって、基板ホルダ（１４０）及びガラス基板（１０）の両者を整列させる位置合わせ部（２００）と、位置合わせ部（２００）を回動させる位置合わせ部回動部（１５０）とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】重量物の搬送時にも発泡成形体が割れたり変形し難い基板搬送容器の提供。
【解決手段】メタロセン化合物を触媒として重合された、メルトフローレートが１．８以上の直鎖状低密度ポリエチレン系樹脂１００質量部に対して、３５０〜４５０質量部のポリスチレン系樹脂を複合して得られる樹脂粒子を型内発泡成形して得られる基板搬送容器であって、基板搬送容器を構成する発泡成形体は、５％圧縮強度が１５．０Ｎ／ｃｍ^２以上であり、対金型寸法変化率が６／１０００以下であることを特徴とする基板搬送容器。 （もっと読む）

【課題】半導体処理工程における移載容器中の部品支持構造の改良。
【解決手段】
移載容器は、基台５０及び蓋６０からなり、
該基台上の２つの抵触台５２と抵触部品５８で”コ“の字状にレチクル７０の支持部を構成する。抵触台の内側両端に相対してそれぞれ硬質の支持部品５５を設け、各支持部品はそれぞれ高低差のある高い第一突出片及低い第二突出片を具え、これらの頂上をアーチ状として支持接触面を点接触とし、同一抵触台上の二つの支持部品は、低い第二突出片を相対的に内側に配置して、レチクルが変位して第一突出片から滑り落ちても、第二突出片が受ける。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクケース内のフォトマスクの支持構造を改良する。
【解決手段】底台２、ケースカバー３及び複数個の押止部品４から構成するフォトマスクケースにおいて、底台の上面には複数個のフォトマスク支持部品を設け、ケースカバーは底台に被せて結合する。
各押止部品は、それぞれケースカバーの内側に配置されて，その一側は下向きに第一弾性片４１を形成し、他側は下向きに第二弾性片４２を形成して、それぞれフォトマスクの上面及び各側面を押さえて位置決めする。第一弾性片及び第二弾性片をそれぞれ押止部品の異なる側辺に形成するため、第一弾性片の押圧作用が第二弾性片を直接連動することなく、第二弾性片が過度にフォトマスクの側面を押さえることによる損傷を有効に防止する。 （もっと読む）

【課題】半導体チップの輸送時に半導体チップの破損を低減することができる半導体チップの収納容器、その収納容器を用いた半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】チップトレイ１０では、第１の板１１に形成された第１の凹部１１Ａに第１の緩衝材１２が設けられ、第１の凹部１１Ａと対向した第２の板１３の面には第２の緩衝材１４が設けられている。半導体チップ１５は、第１の板１１と第２の板１３が重ね合わされると、第１の凹部１１Ａの空間１１Ｃにおいて、第１の緩衝材１２と第２の緩衝材１４との間に収納される。これにより、チップトレイ１０の輸送時における衝撃は、半導体チップ１５に加わりにくくなり、半導体チップ１５の破損を防ぐことができる。また、第１の緩衝材１２、第２の緩衝材１４の少なくともいずれか一方は導電性材料からなるため、静電気による半導体チップ１５の破損や損傷を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】ロードポート装置の出し入れ口に容器本体の正面部やリムフランジを適切に接触させることのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】ロードポート装置の出し入れ口に、２枚の半導体ウェーハを収納する容器本体１の横長に開口した正面部を対向させる基板収納容器であって、容器本体１の正面部周縁に形成されて外方向に張り出し、ロードポート装置の出し入れ口に対向するリムフランジ１０と、リムフランジ１０の両側部にそれぞれ穿孔される複数の取付孔１２と、複数の取付孔１２に選択的に挿入される着脱自在の情報表示パッドであるインフォパッド１５とを備える。各取付孔１２を、リムフランジ１０の正面側に位置する拡径部１３と、拡径部１３に一体形成されてリムフランジ１０の背面側に位置する縮径部とから形成し、インフォパッド１５の正面部を、リムフランジ１０の正面に略面一に揃えるか、あるいは取付孔１２の拡径部内に埋没させる。 （もっと読む）

【課題】基板を正確かつ迅速に高密度で梱包することができる梱包方法を提供する。
【解決手段】梱包方法は、基板５０に吸着可能な吸着部２５を有し基板を吸着保持可能な搬送装置２０を用い、鉛直方向に沿って延びる収納領域６５へ、基板を収納する方法である。梱包方法は、基板の少なくとも一側領域に吸着部を吸着させ、基板を吸着保持する工程と、基板の反りを評価する工程と、鉛直方向に沿った上面視において基板が収納領域内へ位置するように、収納領域の上方へ基板を位置決めする工程と、基板を前記収納領域へ搬送する工程と、を備える。基板の反りは、一側領域の吸着部によって吸着された部分が鉛直方向に沿うようにして基板が保持されている状態で、評価される。 （もっと読む）

【課題】 仕切り壁を設けて複数に区画した各収納部に板状体を上下に積み重ねて収納する板状体の搬送容器において、仕切り壁の破損を防いで繰り返し使用に耐えうる耐久性の高い搬送容器を提供する。
【解決手段】 発泡樹脂からなる蓋体２と容器本体１とを備えて、容器本体１の収納部１４に板状体を上下に積み重ねて収納するように構成された板状体の搬送容器であって、容器本体２の底部１０の内面１０ａには複数の収納部１４を形成すべく仕切り壁１３が突設され、蓋体２の内面には仕切り壁１３の横倒れを防止すべく仕切り壁１３の上部をその厚み方向に支持可能な仕切り壁支持部としての凹部３１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】落下等の衝撃が加わったとしても、半導体ウエハの割れを防止することを目的とする。
【解決手段】ウエハ設置部４より外側の周辺部分が、ウエハ設置部４のトレイ下面よりも上方に形成された突起部５と、ウエハ設置部４のトレイ下面よりも下方に形成された突起部６を有することにより、クッションとウエハ設置部４のトレイ下面との間に隙間が生じ、落下時の衝撃が、直接、ウエハ設置部４のトレイ下面を通じて半導体ウエハ３に伝達されることを防ぎ、半導体ウエハ３の割れを防止できる。 （もっと読む）

【課題】清浄な雰囲気で保管される必要がある化学増幅型レジスト膜を形成したマスクブランクの収納に好適な収納ケースを提供する。
【解決手段】上方が開口したケース本体５と、該ケース本体５に被せる蓋体６とを備えて、ケース本体５及び蓋体６のそれぞれに嵌合部を有して嵌め合わされ、化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランク１を内部に収納するケースである。ケース本体５及び蓋体６は金属材料で形成され、マスクブランク１の各辺を少なくとも１箇所で支持する支持部材８をケース内部に設け、該支持部材８は樹脂材料で形成され、上記嵌合部に弾性部材７を介在させることにより該弾性部材７より内方では上記嵌合部同士が非接触で嵌め合わされる。 （もっと読む）

【課題】支持片とリングフレームの接触に伴う異物の発生を抑制し、リングフレームのがたつきを抑制でき、容器本体の構成を簡素化して部品点数を低減できる処理治具用の収納容器を提供する。
【解決手段】前後部が開口した容器本体１０と、容器本体１０の両側壁１４内面に対向して形成され、半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片２０とを備え、容器本体１０の上下方向に一対の支持片２０を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片２０と支持片２０の間をリングフレーム用の挿入溝２１に形成する。そして、各支持片２０の後部に、リングフレームの側部後方に干渉するストッパ２２を設け、ストッパ２２には、下方の支持片２０に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面２３を形成する。傾斜面２３が挿入溝２１を徐々に埋めるので、リングフレームの上下方向へのがたつきを抑制防止でき、リングフレームの損傷を防止できる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハを常に平坦な状態に保って、搬送中の衝撃等や繰り返しの状態変化による半導体ウエハの破損発生を防止することができ、しかも半導体ウエハを取り出す際には半導体ウエハを破損することなく安全かつ容易に取り出すことができるウエハ載置クッションシート付ウエハ収納容器を提供すること。
【解決手段】ウエハ載置クッションシートの表面に、半導体ウエハＷを着脱自在に吸着する自己吸着部および半導体ウエハＷを吸着することなく分離した状態を保つ非吸着部を形成し、半導体ウエハの中心部を吸着するウエハ載置クッションシートの自己吸着部の面積密度を大きくし、半導体ウエハの外周部を吸着するウエハ載置クッションシートの自己吸着部の面積密度を小さくする。 （もっと読む）

【課題】ケース内のマスクブランクを均一な固定荷重でしっかりと固定でき、しかもケースの気密性を向上させたマスクブランクの収納ケースを提供する。
【解決手段】上方が開口したケース本体５と、該ケース本体５に被せる蓋体６とを備えて、内部にマスクブランクを収納するマスクブランク収納ケースである。ここで、ケース本体５に蓋体６を被せたときの接合部の全周にわたって囲繞する固定用枠１０と固定片１１から構成される固定部材を係合させることにより、接合部の全周にわたって均一に固定荷重がかかるように蓋体５とケース本体６とを固定する。 （もっと読む）

大口径半導体ウエハを収容する前開きウエハ容器は、容器部分（４０）とドア（４２，４０６）を有する。容器部分（４０）は、空洞内部（４８）を区画形成する左閉鎖側面（４３）、右閉鎖側面（４４）、閉鎖背面（４５）、および前開き部分（６０）を有する。空洞内部（４８）は、ウエハを受容と収容するための複数のスロットを有する。ドア（４２，４０６）は、前開き部分（６０）を閉じるべく容器部分（４０）に取付可能であるように、容器部分（４０）に選択的にラッチ可能である。容器部分（４０）は、大口径ウエハ、特に４５０ｍｍウエハに対応するウエハ対応手段を有する。最適化弛み制御が提供され、同様に強化構造的硬直性とウエハ着座形状構成が提供される。
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【課題】外部のガス導入装置などによる加圧手段に頼ることなく、簡便な構造で収納空間を外部環境よりも高い圧力に維持することが可能な収納容器を提供することを目的とする。
【解決手段】収納部を収納する収納空間に、容積が可変なポンプ空間を前記収納空間に対して気密に連結して形成した。前記ポンプ空間の内容積を変化させるために移動可能な作用部を有する。たとえば、作用部には伸縮自在のベローズや弾性体を用いる。さらに、ポンプ空間は収納空間と一体とすることも可能である。 （もっと読む）

【課題】収容部内に収容されたチップが欠けたりすることを抑制することができるチップトレイおよびチップパッケージを提供する。
【解決手段】チップトレイは、チップを収容可能な収容部１０２が形成されたチップトレイ本体と、収容部１０２の周面を規定するチップトレイ本体３００の内周面から突出する第１位置と、第１位置よりも、該第１位置から内周面に向かう方向に向けて変位した第２位置との間を移動可能に設けられる支持部材１３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】処理治具や基板に異物が付着するのを抑制し、十分な緩衝効果が期待できる緩衝体及び梱包体を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ搭載用の処理治具を収納可能な樹脂製の処理治具用収納ケースと、熱可塑性樹脂を含む成形材料を使用して成形され、処理治具用収納ケースを挟持する可撓性の一対のトレー３０とを備え、各トレー３０を、容器本体に嵌入されて被覆する嵌入被覆部３１と、嵌入被覆部３１の周囲に形成されて外方向に伸びるフランジ３５と、フランジ３５の一部に形成される凹溝３８と、フランジ３５の残部に形成される凸条３９とから形成する。嵌入被覆部３１の底を凹凸３２に形成し、フランジ３５の一部分を折曲してベローズ３７を形成し、ベローズ３７を嵌入被覆部３１と凹溝３８及び凸条３９の間に介在させ、処理治具用収納ケースを一対のトレー３０間に挟む際、一方のトレー３０の凹溝３８と他方のトレー３０の凸条３９とを嵌合する。 （もっと読む）