【課題】ボトムプレートをシェルに取り付けたとき、あるいは、ボトムプレートをシェルから取り外したときに、確実な稼働を達成でき、途中で止まることのないリテーナ機構を備えた基板収納容器を提供する。
【解決手段】ボトムプレートと、ボトムプレートに載置され基板を並設配置させるカセットと、カセットを被ってボトムプレートに係合されるシェルと、シェルの内壁に取り付けられるリテーナ機構とを備えて構成される。リテーナ機構は、互いに傾斜面で当接して配置されたスライドパーツとリテーナとを備えて構成される。スライドパーツがボトムプレートから離れる方向へ移動でき、この際に、リテーナは前記傾斜面から力を受けカセットに近接する方向へ移動できるように構成されている。リテーナには、カセットに配置された各基板に接触し各基板を保持する基板保持部を備える。 （もっと読む）

【課題】厚さの異なる複数枚の基板を保持することができ、作業の煩雑化や複雑化、部品点数の増大を防ぐことのできるリテーナ及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】厚さの異なる第一、第二の半導体ウェーハＷ１・Ｗ２を上下に並べて水平に収納可能な容器本体１と、容器本体１の開口した正面２を開閉する蓋体２０とを備え、蓋体２０の第一、第二の半導体ウェーハＷ１・Ｗ２に対向する裏面に、厚さの異なる第一、第二の半導体ウェーハＷ１・Ｗ２を保持可能なフロントリテーナ４０を装着する。フロントリテーナ４０を、第一、第二の半導体ウェーハＷ１・Ｗ２に対向するリテーナ本体４１と、リテーナ本体４１に設けられて第一の半導体ウェーハＷ１の前部周縁を保持溝で保持する第一の弾性保持片４６と、リテーナ本体４１に設けられて第二の半導体ウェーハＷ２の前部周縁を保持溝で保持する第二の弾性保持片５０とから構成する。 （もっと読む）

【課題】対象物の設置作業が比較的簡単であり、かつより確実に対象物を保持することができる保持部材を用いたホルダを提供する。
【解決手段】ホルダは、支持部と、該支持部に設けられた当接体と、支持部に設けられて、当接体に対象物を押し当てることにより、当接体との間で前記対象物を挟んで保持する保持部材とを有する。保持部材は、対象物に接触する接触部と、押し当て方向に垂直な方向において接触部の両側の位置で支持部に固定される複数の固定部と、接触部と複数の固定部とをそれぞれ接続し、押し当て方向に伸縮可能な複数の伸縮部とを有する。 （もっと読む）

【課題】大掛かりな装置を特に必要とすることなく、簡単な構成によって、基板の収納空間に気流を生じさせ、内部をクリーンな状態に保持できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口を備え前記開口から基板を収納できる容器本体と、前記容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体に取り付けられた搬送部材とを備える基板収納容器であって、前記基板収納容器の搬送時に、空気を前記基板収納容器内に取り込む吸い込み口と、前記吸い込み口から流入する空気をろ過するろ過手段と、前記基板収納容器内の空気を外部に排気する排気口とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】レチクルとの接触箇所に弾性を有する複数の支持材を配置したレチクルポッドを提供すること。
【解決手段】上部蓋体、下部蓋体、及び、複数の下部蓋体の四隅に配置された支持部品からなり、支持部品は、垂直方法により一体的に相互連結し、且つ、両端にそれぞれ留め具が配置される座体と、それぞれ座体に配置され、各弾性部材が座体の縦方向から１つの段部を延伸した後、更に座体の内側横方向に沿ってもう１つの段部を延伸する１対の弾性部材と、それぞれ弾性部材の横方向延伸段部と連結した後、更に縦方向に凸起部を延伸して、凸起部の座体内側にある側面に第１傾斜面と第２傾斜面を形成する１対のガイド部材、及び、その第１端と第２端がそれぞれガイド部材の第２傾斜面と連結して、その第３端箇所に支持柱が配置される支持底板とを含む。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板のような板状体のための合成樹脂発泡体製の板状体搬送用ボックスにおいて、搬送用ボックスが大型化する場合であっても、蓋体の天面に形成した各横溝内に、容器本体に収容した各ガラス基板の上縁を確実に挿入できるようにし、それにより、搬送中に収容したガラス基板などの板状体同士が接触したりするのを確実に防止する。
【解決手段】一方の相対向する側壁に板状体の左右の側縁を挿入して支持するための複数の縦溝２０が一定ピッチで形成されている容器本体１０と、容器本体１０に収容した板状体の上縁を挿入して支持するための複数の横溝３６を天面部に一定ピッチで形成している蓋体３０とからなる合成樹脂発泡体製の板状体搬送用ボックス１において、蓋体３０を、横溝３６に交差する方向で２分割された第１の蓋部材５０と第２の蓋部材６０とで構成する。 （もっと読む）

【課題】接着シートの残留応力を低減することにより製造効率を向上させることができる接着シート用支持媒体および支持フレームを提供すること。
【解決手段】接着シートＳをウェハＷの裏面ＷＢに貼付する際に、リング部材３が弾性変形して接着シートＳの張力を吸収することで、接着シートＳの残留応力を低減することができる。従って、ダイシング工程でウェハＷを切断した際のチップの移動を最小限に抑えることができるとともに、個片化したチップををピックアップする際の各チップの位置ずれに伴うピックアップ不良が防止でき、製造効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】基板の汚染を排除し、基板を高精度に支持でき、しかも、基板に関する作業の簡素化や容易化を図り得る基板収納容器を提供する。
【解決手段】ガラスウェーハＷ収納用の容器本体１と、ガラスウェーハＷをサポートするサポート治具３０とを備え、容器本体１の内部両側に、ガラスウェーハＷとサポート治具３０を水平支持可能な支持体５を配設したもので、支持体５は、ガラスウェーハＷ用の支持片７を備え、支持片７の前部に、ガラスウェーハＷの飛び出しを規制する段差部８を形成し、支持片７の後部に、ガラスウェーハＷの収納位置を規制する位置規制壁９を形成する。サポート治具３０は、ガラスウェーハＷに対向する治具本体３１と、治具本体３１に形成されて容器本体１の上下方向に湾曲する屈曲支持部３２・３２Ａと、治具本体３１の両側端部に突出形成されて支持片７に支持される平坦なレール３６とを備え、段差部８と位置規制壁９に挟持される。 （もっと読む）

【課題】 被処理基板に傷や割れが発生することを抑制できると共に、部品点数が少なく、パーティクルが付着しにくい基板ホルダー及びこれを用いた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 基板ホルダー１は、被処理基板Ｓの被処理面側の外周部に当接する当接部１１２と、被処理基板の被処理面を露出させる開口１１３とを有し、被処理基板の被処理面を露出させた状態で当接部で被処理基板を支持する支持部材を備え、当接部１１２には、被処理基板の端部に対向する位置に凹部１４が設けてある。基板搬送装置は、これを備える。 （もっと読む）

【課題】加工装置のセンサが被検出領域を誤検出するのを防ぎ、後の作業にエラーが生じたり、プロセスの停止を招くおそれを払拭できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】ロードポート１上に搭載される半導体ウェーハ収納用の容器本体１０と、この容器本体１０の底部に形成されてロードポート１の複数の位置決めピン４上にそれぞれ嵌合する複数の位置決め芯出し具１４とを備え、容器本体１０の底部に、ロードポート１の位置決めピン４に位置決め芯出し具１４が適正に嵌合する場合にロードポート１のセンサ３に対向して検出される被検出領域５０と、この被検出領域５０の周囲に位置する非検出領域５１とを配設し、被検出領域５０の高さを非検出領域５１よりも相対的に高くしてロードポート１のセンサ３が被検出領域５０を誤検出するのを防止する。 （もっと読む）

【課題】撓み易い基板を高い寸法精度で支持し、蓋体のフロントリテーナに基板を適切に保持させ、基板のローディング等に支障を来たしたり、基板損傷のおそれを払拭できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハＷ収納用の容器本体１と、容器本体１を開閉する蓋体２０を備え、容器本体１に、半導体ウェーハＷを水平に支持する支持体３０を配設し、蓋体２０に、半導体ウェーハＷの前部周縁両側を保持する一対のフロントリテーナ３４を装着する。半導体ウェーハＷをローディング・アンローディングする方向における半導体ウェーハＷの中心線を中心線Ｙとし、中心線Ｙと直交する中心線を中心線Ｘとした場合、容器本体１の側壁７に対する支持体３０の配設領域を、中心線Ｘに対して前部３２側が２０°〜３０°、中心線Ｘに対して後部３３側が２０°〜５３°の範囲になるよう設定する。中心線Ｙを挟んで蓋体２０に装着する一対のフロントリテーナ３４の取り付け領域を、４０°〜１１０°の範囲とする。 （もっと読む）

【課題】基板と、当該基板を支持する支持基板を押圧して貼り合せる際の圧力差を低減し、基板の全面に亘って精度よく貼り合せる。
【解決手段】円形の平面形状を有するウェハＷと、当該ウェハＷを支持する支持基板Ｇとを貼り合せる貼り合せ装置１は、ウェハと支持基板Ｇを重ね合せた状態で、ウェハＷの外側面と支持基板Ｇの外側面に嵌め合される枠体１０と、枠体１０に嵌め合されたウェハと支持基板Ｇを枠体１０ごと押圧するローラ１１と、を有している。ローラ１１は軸方向の長さが、ウェハの径よりも大きく形成されている。 （もっと読む）

【課題】容器本体内にウエハーを収納して搬送を行なう場合に、容器本体へ上蓋をセットする時の回転動作や搬送中の振動により、容器本体内に収納されたウエハーが回転してしまうことがある。
【解決手段】半導体ウエハー３０を保護する防塵シート３１と前記半導体ウエハー３０とを、容器本体内に収納された摩擦シート２１上に交互に積層して収納する。この摩擦シート２１は、当該摩擦シート２１と当接する防塵シート３１の回転を防止する摩擦係数を有する。 （もっと読む）

【課題】例え半導体ウェーハが直径４５０ｍｍ以上のサイズの場合でも保持フレームから保持層が剥がれるのを防ぎ、保持フレームの大型化や重量増大、周辺装置の重厚長大化を抑制できる半導体ウェーハの保持治具を提供する。
【解決手段】φ４５０ｍｍの半導体ウェーハＷを包囲する保持フレーム１の中空部２を自己粘着性の保持層１０により被覆し、保持層１０の表面に半導体ウェーハＷを着脱自在に粘着保持させる保持治具で、保持フレーム１の裏面周方向に被嵌入溝１１を凹み形成し、被嵌入溝１１に弾性の線条体２０を着脱自在に密嵌し、被嵌入溝１１と線条体２０とに、保持層１０の周縁部を挟持させる。被嵌入溝１１と線条体２０に保持層１０の周縁部を挟持させるので、例え保持フレーム１裏面の貼着領域４の面積が不十分でも、保持層１０の剥がれ落ちることがない。 （もっと読む）

【課題】本発明は、より薄型化、短冊化された半導体チップであっても安定したフェイストップ収納及びフェイスダウン収納を実現できる半導体チップ収容トレイを提供する。
【解決手段】本発明に係る半導体チップ収容トレイは、複数積み重ねて使用され、平面形状が長方形の半導体チップを複数収容しており、ベース板の表面に設けられた断面が三角形の突起を嵌め込む凹みを有する第１の突起及び第１の凸部と、ベース板の裏面に設けられた断面が三角形の第２の突起及び第２の凸部とを具備し、ベース基板の表面がベース基板の裏面に対向するように２枚の半導体チップ収容トレイが積み重ねられた場合に、ベース基板の表面に形成された収容エリアとベース基板の裏面に形成された収容エリアが重ねられ、且つ第１の突起の凹みに第２の突起が嵌め込まれ、且つ第１の凸部と第２の凸部が重ねられないことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フロントリテーナの基板に対する押圧力を増大させる必要がなく、蓋体取り外しの際、基板が飛び出すおそれを排除できる基板収納容器及び基板の取り扱い方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ１を水平に収納する容器本体と、容器本体を開閉する蓋体を備え、容器本体に、半導体ウェーハ１の後部周縁２をＶ溝１８の谷２０に接触させて保持するリヤリテーナ１７を内蔵し、Ｖ溝１８を一対の傾斜面により区画してその間の角度を４５〜１３５°の範囲とし、蓋体に、半導体ウェーハ１を掬い上げてその前部周縁３を保持するフロントリテーナ３３を装着する。容器本体内にロボットハンドを進入させて半導体ウェーハ１の下方に位置させ、ロボットハンドを容器本体の正面方向に向け斜め上方に移動させつつ半導体ウェーハ１を容器本体の支持片１２から持ち上げ、ロボットハンド上に半導体ウェーハ１を吸着して後退させる。 （もっと読む）

【課題】複雑な施錠機構を簡素化するとともに、施錠時の回転トルクが大きくなって開閉装置側に負担が掛かり、最悪の場合、停止してしまうといった問題を解決する。
【解決手段】開口を有し基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、前記蓋体には、一対の施錠機構９が配設されていて、前記施錠機構９が、カム溝１９を有し、外部からアクセス可能な操作凹部を中央に有する回転部材１３と、前記カム溝１９に係合する一対の細長形状をしたラッチバー部材１４と、ラッチバー１４の先端に位置して蓋体側壁の内部から外部へと出没する係止部３１を有し、係止部３１が蓋体の幅方向にスライドして係止する。 （もっと読む）

【課題】各当接片で各薄板を均一な力で確実に支持する。
【解決手段】内部に薄板を複数枚収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体である。上記薄板を支持する薄板押えを、蓋体裏面側に固定される２つの基端支持部と、上記薄板の周縁に沿って複数個配設されて当該薄板に直接に当接される当接片と、上記各基端支持部にそれぞれ支持されて上記複数の当接片のうち両端の当接片の外側端を支持する２つの弾性支持板部と、上記各当接片の間を互いに連接して各当接片を支持する連接支持板部と、当該連接支持板部の上記蓋体裏面に沿うズレを防止して上記蓋体裏面に垂直な方向の変動を許容する支持用部材とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】大口径のウェーハ等の薄板であっても、自重の影響を受けることなく、ロボット装置等によって支障なく薄板収納容器から取り出すことができるようにする。
【解決手段】薄板収納容器において、薄板を収容する空間Ｓに向けて突出するように設けられて薄板を支持する薄板支持部１２を複数個備える。さらに、その複数個の薄板支持部１２を、水平方向に並べて設けるとともに、垂直方向からその並び方向に向かって所定の角度αだけ傾斜するように設けて、垂直方向に対して傾斜させた状態で薄板を支持する。 （もっと読む）

【課題】基板の破損や汚染のおそれを低減し、輸送効率を向上させ、基板を容易に出し入れすることのできる基板支持枠及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】ベース体１０に中空の基板支持枠３０を着脱自在に積層配置し、各基板支持枠３０には、半導体ウェーハＷを支持する複数の支持部３２を間隔をおき配設した基板収納容器で、各支持部３２を、基板支持枠３０からその中空方向に指向する指向段差片３５と、この指向段差片３５に形成されて半導体ウェーハＷを水平に支持する支持棚３６と、指向段差片３５を貫通した可撓性の抑え片４０を基板支持枠３０の中空方向に突出させ、かつ支持棚３６の下方に徐々に接近するよう傾けて位置させる基板抑え３８とから構成する。 （もっと読む）