【課題】既存の設備を利用してフープ内を清浄化し、ウエハの汚染を防止して歩留まり率を向上させることができる基板収納方法を提供する。
【解決手段】基板処理システム１０は、ウエハＷにＲＩＥ処理を施すプロセスシップ１１と、ウエハＷを収納するフープ１４ａ〜１４ｃと、プロセスシップ１１とフープ１４ａ〜１４ｃとを連結するローダーモジュール１３及びローダーモジュール１３内に設けられた搬送アーム機構１９と、ローダーモジュール１３内にダウンフローを形成して異物を底部から排出するＦＦＵ３４と、ローダーモジュール１３とフープ１４ａ〜１４ｃとの連結部に設けられた開閉扉とを有する。基板処理システム１０のフープ１４ｂにウエハＷを収納する際、搬送アーム機構１９によってウエハＷをフープ１４ｂ内に搬入し、その後、所定の遅延時間が経過するまで開閉扉を開放状態のまま保持する。 （もっと読む）

【課題】FIMSシステムにおいてポッド開口を蓋によって閉鎖する動作時に当該蓋が適切にポッドに固定されていることを検知する方法を提供する。
【解決手段】ポッドに対して蓋を取り付ける際にドアが所定の位置に存在するか否か及びポッドが蓋開閉位置からの変位の有無を判定し、更に蓋をポッドに係止させた後に再度ドアが所定の位置に存在するか否か及びポッドが蓋開閉位置からの変位の有無を判定し、何れの判定においてもドアが所定位置に存在し且つポッドが変位しないことが確認された場合に、蓋の固定が適切であると判定する。 （もっと読む）

【課題】粘着層から物品を取り外すまで、排気装置の排気等により粘着層を連続して変形させる必要がない保持治具を提供する。
【解決手段】トレー１の表面に中空のフレーム１０を着脱自在に搭載し、フレーム１０の表面に、ＬＥＤデバイス６を保持する変形可能な可撓性の粘着層１１を粘着した保持治具であり、トレー１の表面からフレーム１０に包囲される複数の支持突起３を粘着層１１方向に突出させ、トレー１の厚さ方向に、複数の支持突起３間と外部の排気装置５を連通する排気孔４を穿孔する。粘着層１１を、ＬＥＤデバイス６を着脱自在に粘着保持する第一の粘着層１２と、第一の粘着層１２の裏面に貼着されて複数の支持突起３に着脱自在に粘着する第二の粘着層１３とから形成する。第二の粘着層１３が粘着層１１の変形状態を維持するので、複数のＬＥＤデバイス６全てを取り外すまで粘着層１１を排気装置５の排気により常時変形させておく必要がない。 （もっと読む）

【課題】リードタイムを短縮し、スループットを高める基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置において、垂直方向に複数段設置されたウエハローディングポート１３と、ウエハローディングポートに載置されたポッド１０のキャップを開閉する際にキャップを水平方向に個別に移動させる、ウエハローディングポートそれぞれに設けられたポッドオープナ２０と、を有し、夫々のポッドオープナ２０がキャップの垂直方向の幅よりも小さい間隔となるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】ＦＯＵＰ用Ｎ２パージシステムに関するもので、ＦＯＵＰ内をＮ２ガスに置換するときに、外部の塵またはケミカルガスの浸入を抑え、Ｎ２ガスに対する安全性を高めるとともに、Ｎ２ガスへの置換時間を短縮する。
【解決手段】ＦＯＵＰ１内へＮ２ガス２１を圧入し、もう一方のブレスフィルター部４よりＦＯＵＰ１内の残留ガス２５を強制的に吸引する方法で、ＦＯＵＰ１内部が外気に対して常に陽圧の状態に維持され、ＦＯＵＰ１のＮ２ガス置換中に外部からの塵およびケミカルガスのＦＯＵＰ１内への浸入を防ぐ。さらに、Ｎ２ガス置換中にＦＯＵＰ１内の圧力の上昇が一定に保たれ、隙間から漏洩するＮ２ガス流量も極少量に一定に保たれるため、Ｎ２ガス２１の供給量を増加させて、ＦＯＵＰ１内のＮ２ガス置換時間の短縮を図る。 （もっと読む）

【課題】容器本体の開口部を蓋体により閉じる際の押し付け力を低減したり、蓋体の変形を抑制することができ、しかも、基板の位置ずれやガタツキを防ぐことのできる基板収納容器及びその蓋体取り付け方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハＷを収納する容器本体１の開口した正面部３を蓋体１０により開閉する収納容器であり、蓋体１０に支持されて容器本体１の半導体ウェーハＷに対して進退動可能なフロントリテーナ３０と、蓋体１０に内蔵され、外部からの操作に基づき駆動してフロントリテーナ３０を後退位置から半導体ウェーハＷ方向の進出位置に進出させ、このフロントリテーナ３０に半導体ウェーハＷの前部周縁を保持させる駆動機構４０とを備える。容器本体１の正面部３に蓋体１０を嵌合する際、半導体ウェーハＷの前部周縁とフロントリテーナ３０が接触しないので、嵌合時の蓋体１０に半導体ウェーハＷの反発力が作用することがない。 （もっと読む）

【課題】 ガスケットが挿入された嵌合溝に入り込んだ洗浄水を効率よく排水および乾燥可能であり、洗浄水の残留に起因した基板の汚染を防止する。
【解決手段】 一端に開口を有する容器本体と前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体と前記蓋体との間に狭持されてシールを形成するガスケットとを有する精密基板収納容器であって、前記容器本体又は前記蓋体には、前記ガスケットが挿入される嵌合溝が形成され、前記ガスケットは、エンドレス状をした基部と、基部から伸びるシール部とを有し、前記基部には、前記嵌合溝に挿入される嵌合部が形成されていて、前記嵌合部と前記嵌合溝の何れかに、連通溝が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大口径ウエハ向けのFIMSシステムであって、ポッド本体と蓋とが確実に係合されたことを検知可能なFIMSシステムを提供する。
【解決手段】本FIMSシステムは、ポッドの蓋外側面内に配置された被係合部に対し、ラッチ機構がポッド本体に対して所定の一軸に沿って摺動されることにより該ラッチ機構の係合部が該被係合部に係合して蓋をポッドに固定するポッドと対象とする。FIMSシステムにおける第一の開口部にラッチ機構を所定の一軸に沿って駆動するラッチ機構駆動手段、及び当該ラッチ機構駆動手段がラッチ機構を駆動する際の係合部の係合位置及び非係合位置に対応する信号を発する係合部位置センサを配する。 （もっと読む）

【課題】基板の汚染を抑制しつつ、基板を長時間保管する。
【解決手段】保管装置３は、複数のウェハＷを上下方向に多段に収容し、内部を密閉可能な収容容器１１０を有している。収容容器１１０内には、複数のウェハＷの上方を覆うように拡散板１２０が設けられている。拡散板１２０には、当該拡散板１２０を厚み方向に貫通する貫通孔１２１が複数形成され、拡散板１２０は、給気口１３０から供給された不活性ガスを水平面内で均一に拡散させることができる。流路Ｒにおける収容容器１１０の下面には、給気領域Ａ１に不活性ガスを供給する給気口１３０が形成されている。排気領域Ａ３における収容容器１１０の下面には、排気領域Ａ３から収容容器１１０内の雰囲気を排気する排気口１３２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】フォトマスク基板などの基板を収容して搬送または保管する際に用いられる基板ケースにおいて、ケース本体内に収容された基板の脱ガスによる汚染を低減する。
【解決手段】基板ケース１は、樹脂製の板材５１〜５５を接着剤で接合した一方のケース片５に対して、樹脂製の板材６１〜６５を接着剤で接合した他方のケース片６が着脱自在に取り付けられたケース本体２を有している。ケース本体２内には、基板収容空間３が形成されている。ケース本体２には、接着剤から発生する脱ガスをケース本体２の外部へ排出する排気孔７が設けられている。これにより、接着剤から発生する脱ガスを排気孔７からケース本体２の外部へ排出して除去することができる。 （もっと読む）

【課題】コンテナ部材内の汚染防止、係合手段の点検、補修、洗浄の簡素化、ドア部材の薄型化を図る。
【解決手段】ドア部材２をコンテナ部材１に係合する係合手段３を、ドア部材２及びコンテナ部材１の外面に設け、係合手段３を、シャフト部材４と、シャフト部材４をコンテナ部材１側に軸支する支持部５と、シャフト部材側の係合部６ｃを有するシャフト係合部材６及びドア部材側の係合部２ｂとを有する構成とし、シャフト部材４の軸線方向の移動に連動しシャフト部材側の係合部６ｃがドア部材側の係合部２ｂに対して係合する係合位置と解除位置とを移動する構成とし、このように係合手段３をドア部材２及びコンテナ部材１の外面に設け、係合手段をドア部材に内蔵する構成としないことで、ドア部材２内に汚染物が溜まるのを無くし且つドア部材２を分解しないで係合手段３の点検、補修、洗浄を行い且つドア部材２内に係合手段を収容する空間を不要とする。 （もっと読む）

【課題】移載領域側と搬入領域側の差圧に対する耐性を向上させ、隔壁の開口部における収納容器の位置ずれを抑制することである。
【解決手段】複数の被処理基板Ｗが収納され、上部にフランジ部１４が設けられ、前面の取出し口１１に蓋１２が着脱可能に取付けられた収納容器３を搬入する搬入領域Ｓ１と、該搬入領域Ｓ１とは異なる雰囲気に維持された移載領域Ｓ２と、搬入領域Ｓ１と移載領域Ｓ２を区画する隔壁５と、隔壁５に形成された開口部２５と、開口部２５を開閉する扉２７と、収納容器３を搬入領域Ｓ１側に配置する載置部７とを備え、収納容器３を載置部７に載置して保持した後開口部２５に当接させ、扉２７及び蓋１２を開いて収納容器３内の被処理基板Ｗを移載領域Ｓ２側に搬送して処理する処理装置１において、開口部２５に当接された収納容器３のフランジ部１４を開口部２５側に押圧する押圧機構３９を設ける。 （もっと読む）

【課題】蓋部材の構成の簡素化を図ることができながら基板の移載が行い易い基板用収納容器を提供する。
【解決手段】一端部に基板出し入れ用の開口が形成され且つ内部に基板を複数枚収納する容器本体４１と、容器本体４１に対して上方側から装着自在で且つ上方側へ離脱自在に構成されて容器本体４１に装着した状態において開口の全面を閉じる蓋部材４２とを備え、蓋部材４２が、容器本体４１における一端部の上端部分に位置する係合部１１４に係合支持される被係合部１１５を備えて、容器本体に装着した状態において被係合部１１５を中心に容器本体４１と蓋部材４２との並び方向と交差する横幅方向に沿う横軸心周りに揺動自在で且つ容器本体４１側に付勢される状態で容器本体４１に装着する。 （もっと読む）

【課題】基板移載装置による基板の移載が行い易い基板搬送設備を提供する。
【解決手段】収納容器２を、基板移載用の開口が形成され且つ内部に基板を複数枚収納する容器本体４１と、容器本体４１に対して着脱自在で容器本体４１に装着した状態において開口の全面を閉じる蓋部材４２とを備えて構成し、収納容器２が蓋離脱位置Ｐ２に位置している状態において容器本体４１から蓋部材４２を離脱させる蓋離脱手段１２２を設け、容器搬送手段１１１にて、収納容器２を蓋離脱位置Ｐ２から基板移載位置に鉛直下方に下降移動させて搬送する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で基板移載装置による基板の移載が行い易い基板搬送設備を提供する。
【解決手段】収納容器２を、基板移載用の開口が形成され且つ内部に基板を複数枚収納する容器本体４１と、容器本体４１に対して着脱自在で容器本体４１に装着した状態において開口の全面を閉じる蓋部材４２とを備えて構成し、容器搬送手段１１１を、収納容器２を基板移載位置に下降移動させて搬送するように構成し、容器搬送手段１１１による収納容器２の基板移載位置への下降移動途中において蓋部材４２の被支持部１１９を受け止め支持して蓋部材４２を容器本体２から離脱させる受け止め支持体１２２を設ける。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクケースの支持体によって付着するパーティクルは洗浄後も残留しやすい傾向があり、傷については洗浄しても除去することは不可能であるため、フォトマスクの表裏面とフォトマスクケースの支持体が接触しないようなフォトマスクケースを提供すること。
【解決手段】フォトマスクを保持するためのフォトマスクケースにおいて、フォトマスクの周囲を覆う外装容器に支持棒挿入穴を有し、その支持棒挿入穴から挿入された支持棒によりフォトマスクの側面を保持し、その支持棒がフォトマスクの側面部と接する側の先端部に弾性を有する支持体を設けていることを特徴とするフォトマスクケースとする。 （もっと読む）

【課題】ＦＯＵＰが搬入され、ＦＯＵＰの蓋体が開かれる領域の下方空間を有効に活用することのできるＦＯＵＰ開閉装置を提供すること。
【解決手段】
移動機構６１と回転機構４０を備えたＦＯＵＰ１００を載置する載置台１３が設けられ、ウェハＷの受け渡し口１１ｄと、ＦＯＵＰ１００の蓋体９１を開閉すると共に保持する蓋体開閉機構４２とを備えた筐体１１ａを有し、ＦＯＵＰ１００の蓋体９１を、蓋体開閉機構４２に装着させることによって取り外し、ＦＯＵＰ１００の向きを受け渡し口１１ｄに向くように回転させる。これにより、ＦＯＵＰ１００の蓋体９１を筐体１１ａに保持しておくことができ、ロードポート１１の下方領域に蓋体９１を保持する必要がなくなるので、下方領域を有効活用することができる。 （もっと読む）

【課題】基板の搬入出過程を含めて、カセットが占める占有領域の低減が図られたカセットを提案する。
【解決手段】基板収容ケースは、一方向に向けて複数のガラス基板を配列させた状態で収容可能とされ、ガラス基板を搬入出可能な開口部が形成されたケース本体と、ケース本体に対して、ガラス基板の配列方向に移動可能に設けられると共に、開口部の領域Ｒ１を開閉可能なスライド蓋１３１と、領域Ｒ１に対して、隣り合う領域Ｒ２を開閉可能なスライド蓋１３２とを備え、スライド蓋１３２は、領域Ｒ２を閉塞する状態から、領域Ｒ１を閉塞するスライド蓋１３１に重なるように移動可能に設けられる。 （もっと読む）

【課題】薄型のポッドを複数縦に積み上げる様式にてロード可能なFIMSシステムを提供する。
【解決手段】ポッドをロードするプレート上に吸着パッドを配し、当該パッドによる吸着保持によってポッドの該プレートに保持固定する。吸着パッドに吸引力を付与するためのチューブは必要最低限の空間厚さを有する箱状部材内部の収容空間にて収容し、該チューブの撓み得る領域は該収容空間内部にのみ存在することとする。 （もっと読む）

【課題】貴重なクリーンルーム内の床面積に対する占有面積を小さくすることが可能な被収容物移替システムを提供する。
【解決手段】被収容物移替システムは、被収容物移載装置及び保管庫を備える。被収容物移載装置は、被収容物を収容する容器を載置する複数の載置部と、載置部の各々に載置された各容器同士の間で被収容物の移し替えを行う被収容物移載装置とを有する。保管庫は、容器を載置する棚と、棚と載置部との間で容器の移載を行う容器移載装置とを有する。被収容物移載装置において、各載置部は被収容物移替装置の高さ方向に配列されている。また、保管庫において、その高さ方向に配列された一群の棚は、被収容物移替装置と保管庫の配列方向に且つ容器移載装置を挟む位置に夫々配置されている。これらの構成により、貴重なクリーンルーム内の床面積に対する、被収容物移替システムの占有面積を小さくすることができる。 （もっと読む）