【課題】処理槽内への基板の降下時及び処理槽内からの基板の上昇（引き上げ）時の双方において、隣接する基板同士の接触や、基板の浮き上がりを確実に防止する。
【解決手段】処理液で満たされた処理槽内に被処理基板を収納したキャリアを浸漬して処理を行う被処理基板の浸漬処理方法であって、キャリアを処理液の表面に対して水平に保持して処理槽内に下降させる降下工程と、キャリアを傾斜させて処理槽内より上昇させる上昇工程と、を実施する。 （もっと読む）

【課題】物品処理装置の上方側の空間を有効に活用して、第１走行経路部位と第２走行経路部位との間での物品搬送を行う搬送装置等を設置して、第１走行経路部位に対する物品処理装置と第２走行経路部位に対する物品処理装置との間での物品搬送に要する時間の短縮化を図り、搬送効率の向上を図ること。
【解決手段】第１物品授受箇所Ｋ１と第２物品授受箇所Ｋ２との間で物品４を搬送する走行経路間搬送装置３１は、物品処理装置１の上方側空間を亘る状態で第１物品授受箇所Ｋ１と第２物品授受箇所Ｋ２とを繋ぐように配置され、昇降スライド搬送装置は、平面視にて第１走行経路部位Ｄ１及び第２走行経路部位Ｄ２と重なる位置において、保持部の昇降を行って物品移載箇所２との間で物品４を移載自在で且つ保持部のスライド移動を行って第１物品授受箇所Ｋ１及び第２物品授受箇所Ｋ２との間で物品４を移載自在である。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、高い密度で集積された薄板基板を、湾曲させた状態で損傷したり汚したりすることなく、安全に搬送および保管することができるパレットの提供を目的とする。
【解決手段】 本発明は、薄板基板１を湾曲させて収納する基板保持用枠体１０を、多段に積層し載置するための湾曲形状保持部３０と、移動搬送装置のための移動搬送装置対応部４０を上下に固着した２層構造からなり、湾曲した湾曲形状保持部３０の上面に固着した嵌合用枠体２０の嵌合用金属枠部２１の上面から内周下方向に傾斜して突出しているパレット側嵌合部２２と、載置される基板保持用枠体１０の金属枠部１１の下面から内周下方向に傾斜して突出している第１嵌合部１２との嵌め合わせにより、上記の課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】基板の飛び出しを防止しつつ走行時において基板出し入れ方向での大きさの小型化を図ることができる搬送装置を提供する。
【解決手段】収納容器４を保持した状態で走行可能な走行保持体１０と、収納容器４の開口６から基板５が飛び出すことを防止する飛び出し防止機構９とを設け、飛び出し防止機構９を、基板５の側面に接触する接触位置と基板５の側面から離間する離間位置とに移動可能な接触体２６を備えて構成し、接触体２６の接触位置を、基板出し入れ方向で、基板の開口側端部と中央部との間に接触体２６が位置するように設定する。 （もっと読む）

【課題】小ロット処理に対応した塗布現像処理装置を提供する。
【解決手段】塗布現像処理装置のカセット搬入出部１０のカセット載置台１２の上方に、２段の空カセット載置台２０、２１と、カセット移送機構２２が設けられる。空カセット載置台２０、２１は、外部カセット搬送装置Ａが上下に通過できるように構成されている。各空カセット載置台２０、２１は、カセットが載置される４台のカセット移動装置３０を有し、載置したカセットを隣のカセット移動装置に移送できる。外部カセット搬送装置Ａによりカセット載置台１２に搬入され、ウェハＷが処理ステーションに搬送された空のカセットは、カセット移送機構２２により空カセット載置台に一時的に貯め置かれる。空いたカセット載置台１２には次のカセットが搬入される。空カセット載置台の空のカセットは、ウェハ処理が終了する前にカセット載置台１２に戻される。 （もっと読む）

【課題】大型化を抑制しつつ基板処理のスループットを十分に向上させることができる基板処理装置、ストッカー装置および基板収納容器の搬送方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置においては、ストッカー装置、インデクサブロック、処理ブロックおよびインターフェースブロックがこの順で並ぶように配置される。ストッカー装置は、複数の基板を収納するキャリアＦを載置可能な複数のオープナーを有する。ストッカー装置にキャリアＦが搬入される。ストッカー装置においては、搬送装置２００により複数のオープナーの間でキャリアＦが搬送される。搬送装置２００は、キャリアＦを保持可能に構成され、水平方向および上下方向に移動可能な第１および第２のハンド２３０，２４０を有する。第２のハンド２４０は第１のハンド２３０の下方に設けられる。 （もっと読む）

【課題】 容器本体の取付機構に対する搬送部品の取付作業の作業性を向上させ、取付機構から搬送部品が外れ易くなるおそれを排除し、取付機構や搬送部品に洗浄水等の液体が残存するのを抑制できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】 半導体ウェーハ収納用の容器本体１の天井２に取付機構２０を設け、取付機構２０に搬送部品３０であるロボティックフランジ３１を着脱自在に装着する基板収納容器であり、取付機構２０は、天井２に対設される複数対の支持レール２１と、天井２に設けられる複数のガイド片２３と、各ガイド片２３に形成される干渉係合部２４とを備え、ガイド片２３と干渉係合部２４を組み合わせてその前部を二股部２５に形成する。また、搬送部品３０は、複数対の支持レール２１間に支持される部品本体３２を備え、部品本体３２に、流体用の流通口３６を穿孔するとともに、二股部２５に干渉する弾性変形可能な弾性係合片３５を内蔵する。 （もっと読む）

【課題】 被処理基板に傷や割れが発生することを抑制できると共に、部品点数が少なく、パーティクルが付着しにくい基板ホルダー及びこれを用いた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 基板ホルダー１は、被処理基板Ｓの被処理面側の外周部に当接する当接部１１２と、被処理基板の被処理面を露出させる開口１１３とを有し、被処理基板の被処理面を露出させた状態で当接部で被処理基板を支持する支持部材を備え、当接部１１２には、被処理基板の端部に対向する位置に凹部１４が設けてある。基板搬送装置は、これを備える。 （もっと読む）

【課題】物品落下防止部材を設けた天井搬送車の高さを短くすることにある。
【解決手段】天井搬送車５は、上端で側方に突出するフランジ４８と下端よりも上方の位置において側方に突出するサイドフランジ４ｃとを備えたＦＯＵＰ４を、フランジ４８ｃを吊り下げた状態で収納・搬送するものである。天井搬送車５は、搬送車本体部２５と、物品落下防止部材６０と、駆動機構６１とを備えている。物品落下防止部材６０は、搬送車本体部２５に設けられ、サイドフランジ４ｃの下方の落下防止位置とそこから退避した退避位置との間で移動可能である。駆動機構６１は、物品落下防止部材６０を駆動するための機構である。 （もっと読む）

【課題】ウェハへの液滴の落下を抑制し、ウェハに直線状の欠陥が形成されてしまうことを抑制することが可能なウェット処理用キャリアを提供する。
【解決手段】ウェット処理用キャリア１は、搬送装置のアームに固定される固定部４と、固定部４から垂下するように該固定部４に設けられ、複数のウェハ１０が搭載されるウェハ搭載器具（ボート）６を吊り下げ支持する吊り下げ支持部（チャック）２３とを備える。ウェット処理用キャリア１は、固定部４をアームに対して固定する止着部材（ボルト）８を備える。固定部４の表面であって、鉛直方向に対して平行な面、又は、鉛直方向に対して平行な面よりも上側を向く面に、止着部材８の頭部を収容する収容凹部６０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】複数枚の基板を収容した搬送容器が載置されるロードポートと、搬送容器を保管する容器保管部と、を備えた基板処理装置において、ロードポートにおける搬送容器の受け渡し回数の増大を図ることができ、これにより基板を高いスループットで処理することのできる基板処理装置を提供する。
【解決手段】横方向の位置が互いに異なる第１の搬送路１０２Ａ及び第２の搬送路１０２Ｂの各々に沿って、複数枚の基板を収容した搬送容器１０を搬送する第１の搬送装置１０４Ａ及び第２の搬送装置１０４Ｂを利用し、第１の搬送装置１０４Ａにより搬送容器１０の受け渡しが行われる第１のロードポート２１と、この第１のロードポート２１に対して階段状に設けられ、前記第２の搬送装置１０４Ｂにより搬送容器１０の受け渡しが行われる第２のロードポート２２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】搬送システムにおいて、保管庫とその外部の搬送装置との間において被搬送物の搬送を迅速且つ容易に行う。
【解決手段】搬送システムは、保管庫及び複数のコンベアより構成される第２の搬送装置を備える。保管庫は、複数の棚、第１及び第２の移載装置を含む。第１の移載装置は棚と第２の移載装置との間で被搬送物の授受を行う。特に、第２の搬送装置は保管庫内を横断するように配置されている。これにより、保管庫内に対して、第２の搬送装置を通じて被搬送物を直接的に搬送できる。そして、第２の移載装置は、当該保管庫内においてコンベア及び第１の移載装置との間で被搬送物の授受を行う。これによれば、保管庫の外部に配置された搬送装置と、保管庫との間で被搬送物の受け渡しを行う構成と比較して、保管庫内への被搬送物の入出庫時間の短縮が図れ、保管庫とその外部の搬送装置との間において被搬送物の搬送を迅速且つ容易に行うことができる。 （もっと読む）

本発明は、複数のＡＬＤ反応炉があるパターンの相互位置関係で載置され、各ＡＬＤ反応炉はＡＬＤ処理のために一回分の基板群を収容するように構成され、上部からアクセス可能な反応室が各ＡＬＤ反応炉に設けられた装置および方法に関する。複数の装填シーケンスが装填用ロボットによって実行される。各装填シーケンスは、収納域または棚において一回分の基板群を担持している基板ホルダを取り上げることと、この基板ホルダを一回分の基板群と共に当該ＡＬＤ反応炉の反応室に移動させることとを含む。 （もっと読む）

【課題】構成の複雑化を招くのを防止しながら、棚前後方向での設置スペースをより小さくすることができる物品収納設備の提供。
【解決手段】上下方向及び左右方向に収納部１を複数備えた物品収納棚２と、その物品収納棚２における各収納部１に物品３を搬送自在な物品搬送装置４とが設けられ、物品搬送装置４は、物品収納棚２の棚横幅方向に移動自在な移動体１２と、その移動体１２に対して物品収納棚２の棚前後方向に移動自在な昇降案内マスト１３と、棚前後方向での昇降案内マスト１３の移動により収納部１に対する物品移載用の突出位置と収納部１から引退する引退位置とに移動自在で且つ昇降案内マスト１３にて昇降自在に案内支持された物品支持体１４とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】ロードポートでのポッドのドアを着脱を可能とし、構造をシンプルにする。
【解決手段】収納容器の搬送方法は、複数の基板を収納し基板出し入れ口が蓋体により塞がれる収納容器を筐体外から搬入搬出部へ搬入し、載置部へ前記収納容器を載置するステップと、開閉装置が該載置部に載置された前記収納容器から前記蓋体を着脱し前記基板出し入れ口を開閉するステップと、昇降装置の作動により前記収納容器が載置された前記載置部を上昇させるステップと、搬送装置の作動により保持機構が前記開閉装置の上方を経由するステップと、前記昇降装置および前記搬送装置の動作により前記収納容器を前記載置部から前記保持部へ受渡すステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】搬送や保管の際に、広大なスペースを必要とせず、まて、輸送パッケージが縮小化され、コスト低減が計れ、さらに、基板にゴミや異物が付着し難く、且つ、基板の大型化ないし超大型に対応できる基板収納用トレイおよび基板の搬送保管方法を提供することである。
【解決手段】平面形状が矩形フレームからなる周枠の枠内に基板を載置する基板用トレイであって、一方の対向するフレームはフレームの中央位置でフレームの左右が上方に折り曲げ可能な折り曲げ部と、他方の対向するフレームは対向するフレームを接続し、基板を載置する複数のワイヤーまたはワイヤーロープと、を具備していることを特徴とする基板収納用トレイである。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工場で用いられる搬送システムにおいて、棚装置の全ての棚にスライド機構を設けることで起こるコストの上昇と信頼性の低下を回避するとともに、搬送台車の真下より外れて位置する高さの異なる複数の棚に対して搬送台車が直接的に被搬送物の載置及び搬出が可能な懸垂式搬送台車及び搬送システムを提供する。
【解決手段】天井に敷設された軌道上を懸垂状態で走行し、昇降自在な把持機構２２で被搬送物を把持して搬送する懸垂式軌道搬送台車において、その把持機構２２に、水平方向に伸縮自在なスライド機構２３と、前記スライド機構２３の先端に支持され被搬送物を狭持及び開放自在なグリッパ２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】気流の影響によらず、容易に搬送物を載置位置に載置する。
【解決手段】走行機構１７がレール１１に沿ってポート４３上に移動する。昇降機構１３が懸垂ベルト１４を繰り出すことによって、ＦＯＵＰ２１が降下する。距離センサ３１が降下距離を測定し、ＦＯＵＰ２１が位置決めピン２３近傍まで降下したと判断した場合、風向風速センサ２５が水平方向に関する風向及び流速を測定し、重量センサ３０がＦＯＵＰ２１の重量を測定する。次に、ズレ量記憶部が参照されて位置ズレ量が推定され、この位置ズレ量に基づいて、水平移動機構１２によって昇降機構１３が水平方向に移動する。そして、再度昇降機構１３が懸垂ベルト１４を繰り出すことによって、ＦＯＵＰ２１は降下して、ＦＯＵＰ２１の位置決めピン２３と位置決め穴とが重ね合う。 （もっと読む）

【課題】コンベアを停止させることなくＦＯＵＰを移送する。
【解決手段】このストッカ１は、製造過程にあるＦＯＵＰ２を搬送するコンベア３に隣接して配置される。このストッカ１は、コンベア３上を移動するＦＯＵＰ２を摘出し、且つ、コンベア３上にＦＯＵＰ２を載置するピックアップロボット４０と、ＦＯＵＰ２の搬入用及び搬出用のポート３０と、ＦＯＵＰ２を保管する棚１０ａ及び１０ｂと、ポート３０に載置されるＦＯＵＰ２を棚１０ａ又は１０ｂに移送し、且つ、棚１０ａ又は１０ｂに保管されるＦＯＵＰ２をポート３０に移送するスタッカクレーン２０とを備えている。 （もっと読む）

【構成】 天井走行車２２はポッドバッファ１６との間でポッド１８をやりとりし、移載装置２８付きの台車２６でポッド１８をバッファ１６とロードポート１４，１５の間でやりとりする。ロードポート１４，１５からは、ソーター４，６でウェハーをポッド１８から出し入れし、処理待ちや処理済みのウェーハをバッファ８，９で保管する。
【効果】 処理装置を遊ばせずに、かつウェハーの処理順序やポッドへの組み合わせを適宜に変更できる。 （もっと読む）