【課題】２枚の基板を互いに貼り合わせる場合、従来は基板搬送装置に反転機構を設け、２枚のうちの一方の基板を裏返すことにより、互いの基板を対向させて位置合わせを行っていた。そのため、基板搬送装置に反転機構を設けることが必要となり、また、貼り合わせ工程のスループットが低下していた。
【解決手段】一方の面に基板を保持する基板ホルダを収容するための基板ホルダラックを、基板ホルダのうち基板を保持する領域の外周領域に対応する位置に、基板ホルダを載置する載置面を構成する少なくとも３箇所の支持凸部を備えるように構成することで、基板ホルダを上向きにも下向きにも収容できるようにした。 （もっと読む）

【課題】位置計測用のマークが存在しない移動体の位置を管理することを可能にする。
【解決手段】 所定形状のプレート５０が着脱可能に搭載された移動体ＷＳＴの位置をその移動座標系を規定する計測装置１８等で計測しつつ、プレート５０の一部をアライメント系ＡＬＧで検出するとともにその検出結果と対応する前記計測装置の計測結果とに基づいてプレート５０の外周エッジの位置情報を取得する。このため、その移動体ＷＳＴ上に位置計測用のマーク（基準マーク）などが存在しなくても、プレートの外周エッジの位置情報に基づいて、プレートの位置、すなわち移動体の位置を前記計測装置で規定される移動座標系上で管理することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】シャッター部材の温度上昇による影響を抑制することができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】チャンバー６の内部にて保持される半導体ウェハーＷの下面側からハロゲン加熱部４によってハロゲン光が照射され、さらに上面側からはフラッシュ加熱部５からフラッシュ光が照射されて熱処理が行われる。シャッター部２は、熱処理終了後にチャンバー６とハロゲン加熱部４との間の遮光位置にシャッター板２２を挿入してハロゲンランプＨＬからの赤外線を遮光して半導体ウェハーＷの冷却速度を高める。遮光位置にて赤外線を受けて昇温したシャッター板２２が筐体２１の待機位置にまで戻ってきたときに、冷却ファン２８を作動させて筐体２１の内部に気流を形成してシャッター板２２およびスライド駆動機構２３を含む筐体２１内の全体を冷却する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの裏面研削時に吸着パッドに詰まったスラッジを確実に排出する。
【解決手段】被加工物を吸着する吸着パッド（５１ａ）を洗浄する吸着パッド洗浄装置（３０）が、吸着パッドの内部から吸着パッドの吸着面（５２ａ）に向かって洗浄流体を供給する洗浄流体供給手段（５８）と、吸着パッドの吸着面を研削する研削砥石（３１）と、前記吸着パッドの吸着面からスラッジを前記吸着パッドの外部に吸引する吸引手段（３９）とを具備する。研削砥石の研削面には凹部が形成されており、吸引手段は該凹部を通じてスラッジを吸引するのが好ましい。あるいは、吸引手段は研削砥石の研削面に隣接して配置されており、吸引手段は研削砥石の外周部付近からスラッジを吸引するようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を所定の載置位置に高精度に位置決めする事が可能なキャリア、およびこれを備えた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】位置決め手段３１は、略Ｌ字状の支持部材３２と、この支持部材３２を回動させる付勢部材３３とを備えている。支持部材３２は、例えば、全体が樹脂によって形成された略Ｌ字型の部材である。この支持部材３２は、回転軸３４によってキャリアフレーム１５に回動自在に軸着されている。また、支持部材３２は、ガラス基板１１の底辺１１ｂ、および側辺１１ｃにそれぞれ当接する。こうした、支持部材３２がガラス基板１１に当接する部分は、円周面を成す形状、例えば、半円形のロール部３２ａ、３２ｂを形成しているのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】２枚の基板受載板を用いて基板を搬送する場合でも基板検出センサが正確にウェーハの有無を検出することができ、又空間的な制約を受けにくい基板処理装置を提供する。
【解決手段】上下２枚の基板受載板８１，８２を用いて基板１２を搬送する基板搬送モジュール部４を具備する基板処理装置に於いて、上受載板と対向可能な位置に上反射型光基板検出器８５を設けると共に、下受載板と対向可能な位置に下反射型光基板検出器８８を設け、前記上反射型光基板検出器が光を射出し、前記下受載板に反射された光を前記上反射型光基板検出器が受光するかどうかで基板の有無を検出し、前記下反射型光基板検出器が光を射出し、前記上受載板に反射された光を前記下反射型光基板検出器が受光するかどうかで基板の有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】複数枚の基板のうち最初の基板の処理を開始してから最後の基板の処理を完了する迄の残時間の把握を容易にする。
【解決手段】複数枚の基板のうち最初の基板について処理を開始してから、複数枚の基板のうち最後の基板について処理を完了する迄の残時間を算出する算出手段と、算出手段により算出された残時間を表示する表示手段と、を備え、基板の搬送完了、前室内の大気圧復帰完了、前室内の減圧完了、及び処理室内での基板の処理完了のうちいずれかを検知したら、残時間を前記算出手段により再算出させて表示手段に表示させる。 （もっと読む）

【課題】構造の複雑化を招来することなく、搬送距離を伸ばすことができるとともに、剛性にも優れた搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送対象物Ｘを載置して運搬する運搬台２と、一端部を運搬台２に接続し、且つ折り畳み動作及び伸長動作によって運搬台２を一定方向に進退動作させるリンク機構３と、リンク機構３の他端部を支持し、且つ運搬台２の進退方向にリンク機構３をスライド移動させるスライド機構４とを備えたものとした。
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【課題】被搬送物である配線基板の帯電を防止することにより、配線基板の歩留まりを向上することができる配線基板の非接触搬送装置を提供すること。
【解決手段】本発明の非接触搬送装置は吸引部２０を備える。吸引部２０は、吸引面２１に凹部７３が設けられるとともに、凹部７３の内周面にて開口するエア吹出穴８１が設けられる。非接触搬送装置は、エア吹出穴８１から凹部７３の内周面に沿って噴出したエアにより発生する負圧によって、配線基板１１０の基板主面１２０を吸引面２１に吸引保持して搬送する。また非接触搬送装置では、吸引部２０とは別体にイオナイザを設け、イオナイザから放出されるイオンエアをエア吹出穴８１から噴出するエアとして用いる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板とその保護シートの高速搬送を実現し、併せて、高精度で高品質の積載梱包を達成する。
【解決手段】ガラス基板梱包装置は、保護シート３上にガラス基板４が載置される載置ステーションと、保護シート３とガラス基板４とを交互に積載する積載ステーションと、保護シート３上に載置されたガラス基板４を保護シート３と共に保持し、積載ステーションに積載する積載手段としてのガラス基板積載装置とを備える。ここで、ガラス基板積載装置を構成するロボットアームは保護シート３およびガラス基板４を保持する保持部４３を有し、この保持部４３は、ガラス基板４を吸着する複数の吸着パッド４５と、載置された状態のガラス基板４からはみ出た保護シート３の辺縁部分のうち互いに対向する２つの辺縁部３ａ，３ｂを挟持する挟持部４６とを有する。 （もっと読む）

【課題】煩雑な操作を解消し、効率よく基板の位置ずれを補正して目的位置まで正確に搬送することができる基板搬送方法を提供する。
【解決手段】ウエハＷに対して第１の処理を施すＰＭ１２と、第２の処理を施すＰＭ１３と、ＰＭ１２とＰＭ１３との間でウエハＷを搬入出する搬送アーム２１とを有する基板処理装置における基板搬送方法において、ウエハＷをＰＭ１２のチャンバから搬出する際に、ウエハＷの位置ずれを検出する位置ずれ検出ステップと、位置ずれ検出ステップにおける検出結果に基づいてウエハＷの位置ずれを補正する補正ステップと、位置ずれ補正後のウエハＷをＰＭ１３のチャンバ内の目的位置に搬入する搬入ステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成と省スペースを実現できるダブルアーム型ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物２，３が載置されるハンド部２３，３３、各々が関節部で回動可能に連結された複数のアーム２１，２２，３１，３２を有し、ハンド部２３，３３がアーム２２，３２の一端に関節部で回動可能に連結される、第１及び第２の多関節アーム１１，１２と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２の一端が、基端の関節部によって各々回動可能に連結されるアーム支持部１３と、アーム支持部１３の一端を鉛直方向に移動可能に保持し、基台１５に固定される基柱１４と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２を基端の関節部で回動させる第１及び第２のアーム駆動部と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２における基端の関節部以外の関節部での回動を行わせる第１及び第２の関節回動部とを備える。 （もっと読む）

【目的】シリコンウェハとホルダの貼り付きを防止することが可能な気相成長装置および方法を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様のエピタキシャル成長装置１００は、シリコンウェハ１０１を載置する円盤部材１１２と、円盤部材１１２表面にシリコンウェハ１０１を密着させた状態で、シリコンウェハ１０１が載置された円盤部材１１２を搬入し、シリコンウェハ１０１にシリコン（Ｓｉ）含有膜を成膜するチャンバ１２０と、チャンバ１２０内で、シリコンウェハ１０１が載置された円盤部材１１２の裏面外周部を支持するホルダ１１０と、シリコンウェハ１０１を回転させる回転部材１７０と、を備えたことを特徴とする。本発明によれば、シリコンウェハとホルダとの貼り付きを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、吸気孔から容易に除去することができない脱落粒子や不要物が吸気孔から出てこないようにして、ウェーハ割れなどを防止することができる半導体ウェーハ吸着保持具及び半導体ウェーハ裏面研削装置を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを吸着する吸着体を備え、該吸着体は多孔質のセラミックス焼結体であり、前記吸着体８０の吸気孔９０内面が粒子の脱落を防止する脱落防止剤９５で被覆されている。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ間のゲートバルブを開放するときの衝撃波を抑えると共に真空チャンバ内にガスが供給されるときの粘性力によるパーティクルの剥がれを抑え、これにより基板に対するパーティクル汚染を抑えること。
【解決手段】例えば一方の真空チャンバが基板に対して真空処理を行うための基板処理室、他方が基板搬送装置を備えた搬送室であるとするとゲートバルブを開く前に両方のチャンバ内の圧力が６６．５Ｐａよりも低くかつ圧力検出値の高い方が低い方の２倍よりも小さいことを条件にゲート弁を開くようにする。この場合、基板処理室内に圧力調整用のパージガスを供給する前に圧力調整用のパージガスの流量よりも大きな流量でパーティクル剥離用のパージガスを供給することが好ましい。また両方のチャンバ内のいずれもが９．９８Ｐａよりも低いことを条件にゲートを開くことも有効である。 （もっと読む）

【課題】積み動作時と卸し動作時とでフォークのストロークを変えることにより、置台でのワークの位置ずれをなくし、置台側のガイドとの擦れによる発塵を防止するようにした移載機のフォークストロークの補正方法を提供すること。
【解決手段】ベース１からフォーク２を横方向に移動させるアーム３と、アーム３のベース１を昇降させる昇降装置４とを備え、積み動作時にワークＷの積載によりフォーク２が傾斜状態から水平状態になる移載機のフォークストロークの補正方法において、フォーク２が傾斜状態から水平状態になることにより変位するフォーク２のずれ量ΔＳを検出し、積み動作に続く卸し動作でずれ量ΔＳだけフォークストロークを短くする。 （もっと読む）

【課題】微細なレジストパターンを精度良く形成することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】制御部は、塗布処理ユニットＳＣと加熱冷却ユニットと現像処理ユニットＳＤとにおける各処理と露光機ＥＸＰへの搬送とを含むパターン形成処理を基板Ｗ上の同じ膜に対して２回以上行わせ、かつ、位置決めユニット２３において基板Ｗの向きを調整させる。これにより、各パターン形成処理において塗布処理ユニットＳＣに搬入する際の基板Ｗ_０５、Ｗ_１６の向きを略一致させる。この結果、塗布処理ユニットＳＣにおける処理の条件が各パターン形成処理の間で等しくなり、基板Ｗ上の同じ膜に対して互いに一様なレジストパターンを、複数回のパターン形成処理にわけて形成することができる。このため、微細なレジストパターンを精度良く形成することができる。 （もっと読む）

【課題】互いに直交した搬送経路に沿って基板を傾斜姿勢で搬送しながらより少ないスペースで効率良く基板の搬送方向を転換できるようにする。
【解決手段】姿勢変換装置２２は、支持テーブル２２１とこのテーブル２２１を揺動させる揺動機構とを含む。揺動機構は、テーブル上面が特定方向から見て傾斜しかつ当該方向に傾斜姿勢で搬送される基板Ｓを受入れる基板受入れ姿勢と、テーブル上面が特定方向と直交する方向から見て傾斜しかつテーブル上に支持した基板Ｓを当該方向に傾斜姿勢で送り出す基板受渡し姿勢とに亘って支持テーブル２２１を揺動させる。基板受渡し姿勢は、基板受入れ姿勢で受入れた基板Ｓの先頭側の辺Ｓ１を一辺として基板Ｓ上に形成した仮想正方形の対角線のうち当該基板Ｓの先頭下位側の頂部を通る対角線と平行な軸回りに辺Ｓ１が前記直交方向と平行となる位置まで基板Ｓを回動させた姿勢とされる。 （もっと読む）

【課題】ポッド内に置かれた複数の薄型基板の間の垂直ピッチを測定するための薄型基板ピッチ測定装置を提供する。
【解決手段】ポッド内の薄型基板に光束を発し、この薄型基板から反射される光束を受ける光電素子と、光電素子を薄型基板の垂直方向に沿って移動させ、ポッド内の複数の薄型基板の間の垂直ピッチを測定する走査装置と、ポッドを載せ、複数の角度に回転させて、これらの薄型基板の間の垂直ピッチを測定する回転台座とを主に含む。 （もっと読む）

【課題】高さが低く、収納ガラス基板を増やせる、構造が簡単で安価に作成できるカセット装置を用いて、ロボットハンド作業動作を低減して工程タクト短縮が行えるガラス基板移載システムを提供する。
【解決手段】複数のガラス基板を搬送・保管するカセット装置と、プロセス装置と前記カセット装置との間でガラス基板を移載する基板搬送用ロボットとを備えるガラス基板移載システムにおいて、カセット装置全体を昇降させる第一の昇降機構と、カセット装置内の基板受けの一部のみを昇降させる第二の昇降機構とを別に備え、第一の昇降機構によりカセット装置の移載対象基板受けの位置がプロセス装置のガラス基板パスラインの高さに合わせて昇降し、且つ、第二の昇降機構により基板搬送用ロボットのロボットハンドの基板受け渡し用フォークが挿入可能に移載対象基板受けの隣接する上下が開閉する。 （もっと読む）