【課題】搬送手段の支持部材が搬送処理可能であるか否かを確認することにより、支持部材と基板の干渉による基板の破損を確実に防止できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】制御部は、蓋着脱部１５により蓋７を取り外させ、搬送機構１０を受渡位置に移動させた後、マッピングアーム２１に設けられたマッピングセンサによる基板Ｗの検出結果と、検出アーム３５に設けられた支持部材センサによる支持部材４３の検出結果とに基づいて、基板Ｗの搬送処理が可能か否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】
２次元面内で移動する移動体の位置を、計測領域の異なる２つの位置計測システムを用いて、安定且つ高精度に計測する。
【解決手段】
ステージ（ＷＳＴ２）上に、２つのＸヘッド（ＥＸ_１，ＥＸ_２）と１つのＹヘッド（ＥＹ）とを搭載し、これらのヘッドに対応するＸスケール（ＳＸ_２）とＹスケール（ＳＹ_２）とを、露光領域とアライメント領域との間を結ぶように、ステージ（ＷＳＴ２）に対向して設置する。３つのエンコーダヘッド（ＥＸ_１，ＥＸ_２，ＥＹ）を用いて位置計測を行いながら、ステージ（ＷＳＴ２）を、スケール（ＳＸ_２，ＳＹ_２）の設置経路に沿って、露光領域とアライメント領域との間を往来させる。これにより、ＸＺ干渉計（１１６，１１７）間、及びＸＺ干渉計（１２６，１２７）間の切り換え処理が不要となるとともに、ＸＹ平面内で移動するステージの位置を、計測領域の異なる２つの位置計測システムを用いて計測することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】複数の基板を同時に搬入出および搬送することが可能な複数のアーム部を有する基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置１００は、基台１１０と、基台の側面に互いに平行に配置された複数のアーム部１２０と、複数のアーム部上に配置された真空吸着用の複数のファスナ１３０と、を備え、アーム部上に基板が載置されているか否かを検知するセンサと、センサがアーム部上に基板が載置されていることを検知したときに、複数の真空チャックを駆動させて基板を吸着させる駆動装置と、をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】 高温検査でプローブカードが熱膨張しても常に適正な接触荷重で検査を行うことができる検査装置を提供する。
【解決手段】 本発明の検査装置１０は、温度調節可能な載置台１１、昇降駆動機構１２、プローブカード１３及び制御装置１４を備え、昇降駆動機構１２は、載置台１１を昇降させる、カップリング部材１２５Ａ、１２５Ｂを介して連結された第１、第２駆動軸１２３Ａ、１２３Ｂと、これらの駆動軸１２３Ａ、１２３Ｂを駆動させるステッピングモータ１２４と、複数のプローブ１３Ａとデバイス間の接触荷重に基づくトルクを第１、第２駆動軸１２３Ａ、１２３Ｂ間で検出するトルク検出手段１２８と、備え、制御装置１４は、プローブカード１３が温度変化により膨張する時のトルク検出手段１２８からのトルク信号に基づいて基準トルクに制御するトルク制御部１４３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】測定試料を変えるたびごとに測定点の位置補正を行う必要がなく、更に、測定試料上の同一点についての複数種類の特性の測定を、同一検査装置を用いて行なうことができる検査装置を提供する。
【解決手段】試料を載置するためのステージ３と、１又は複数の検査機器６、７を支持可能な検査機器支持用ヘッド５と、ステージ及び／又は検査機器支持用ヘッドを支持している移動機構２３、４３と、ステージ上の基準点の実座標と目標座標との偏差を格納する偏差格納部と、複数の検査機器の測定点間のオフセット値を格納するオフセット値格納部と、格納された偏差及びオフセット値を参照して、複数の検査機器のうちのいずれか１つの検査機器の測定点と他の検査機器の測定点とが一致するように、ステージ及び／又は前記検査機器支持用ヘッドを移動させる位置制御部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ステージの整定時に発生する振動を効果的に減衰させる。
【解決手段】並進運動の変位ｙと回転運動の変位θをそれぞれ別個に用い、並進運動の振動を減衰させるのに必要なＹステージに与える推力Ｆｙと、回転運動の振動を減衰させるのに必要なＹステージに与えるトルクＴｙとを、それぞれ独立に算出する。この算出した推力ＦｙおよびトルクＴｙをＹステージの２つの電磁ダンパの減衰力Ｆｙ_ｌｍ１，Ｆｙ_ｌｍ２に変換し、この減衰力Ｆｙ_ｌｍ１とＦｙ_ｌｍ２とによってＹステージの振動を制御する。 （もっと読む）

【課題】ステージにかかる偏荷重による位置ずれを補正できるステージの昇降装置を実現する。
【解決手段】ステージをＺ軸方向に移動させる昇降機構と、位置指令値に基づいてステージをＸ軸方向及びＹ軸方向に位置決めする位置決め部とを有するステージの昇降装置において、ステージに加わる偏荷重の大きさと、この偏荷重がステージに加わることによって生じたステージのＸ軸方向及びＹ軸方向の位置ずれ量とを対応させた補正テーブルを格納し、この補正テーブルは補正テーブル用メモリと、荷重センサと、ステージのＸ軸方向及びＹ軸方向の位置を検出する位置センサと、位置指令値に基づいて偏荷重が加わっているステージの位置を求め、位置に応じた補正テーブルを選択し、荷重センサの検出荷重から位置ずれ量を読み出すずれ量算出手段と、このずれ量算出手段で読み出した位置ずれ量で補正した位置指令値と、荷重による位置ずれを補正する位置制御部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】デバイスに押し当てられる各ピンの接触圧を均一にできるステージの昇降装置の提供。
【解決手段】ステージをＺ軸方向に移動させるステージの昇降装置において、上面に検査対象のデバイスが載せられ、下面に球形の第１の曲面部が形成された載置台と、第１の曲面部を収容し得る形状になった球形の第２の曲面部が形成された支持台と、第１の曲面部と第２の曲面部の間隙に圧縮空気を充満させ、この圧縮空気により載置台を支持台上に浮揚させ、載置台を傾斜自在に支持する曲面エアベアリングと、第１の曲面部と第２の曲面部の間隙に対して真空吸引して載置台を支持台に固定するロック手段と、載置台の回転を防止する回転防止機構と、プローブカードのピンがデバイスに押し当てられると、デバイスはプローブカードと平行になる姿勢をとり、デバイスに押し当てられる各ピンの接触圧を均一化し、均一化したときに前記ロック手段は載置台の姿勢をロックする。 （もっと読む）

【課題】反りのあるウェハに対しても適切な位置合わせを行うことが可能なアライナ装置を提供する。
【解決手段】アライナ装置１０は、エッジセンサ２２、変位センサ２４、および制御部２０を備える。エッジセンサ２２は、ウェハ１００のエッジ位置を検出する。変位センサ２４は、真空チャック１２とエッジセンサ２２との間に配置され、ウェハ１００までの距離を測定するように構成される。制御部２０は、変位センサ２４の検出結果に基づいて、ウェハ１００の断面形状を表す近似式を算出し、算出した近似式の長さに基づいてウェハ１００のエッジ位置を算出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】装置構成を複雑にすることなく、処理される基板の温度を正確かつリアルタイムに測定することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】処理ユニットと基板Ｗを搬送する搬送ロボットとを備える処理ブロックを複数連接して基板処理装置が構成される。隣接する処理ブロックの接続部分には基板載置部が設置されている。基板載置部の支持ピン７１に、センサコイル７２を搭載した検知板７０が設けられる。水晶振動子にコイルを接続して構成される検温素子８０を装着した温度測定用基板ＴＷが支持ピン７１に載置されたときに、送受信部６０から水晶振動子の固有振動数に相当する送信波がセンサコイル７２を介して検温素子８０に送信される。送信停止後、検温素子８０からの電磁波をセンサコイル７２を介して送受信部６０が受信し、その電磁波の周波数に基づいて温度算定部６９が基板温度を算定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ステージを支持する基体２と、この基体２に設けられ前記ステージを微動可能に支持する支持部と、ステージを微動動作させる手段と、ステージの微動量を検出する変位センサ手段とを具備した微動ステージにおいて、変位センサ手段の分解能を向上させることを目的とする。
【解決手段】本発明は、ステージを支持する基体と、前記基体に設けられ、前記ステージを微動自在に支持する支持体と、前記ステージを微動作動させる微動駆動手段と、前記ステージの微動を検出する変位センサ手段を有する微動ステージ装置において、前記変位センサ手段は、前記ステージの微動量を検出するプローブ部と、前記プローブ部が検出した検出信号を処理するアンプ部と、前記プローブ部の検出信号を前記アンプ部に送信するケーブルを有し、微動ステージ装置の内部に、前記プローブ部、前記アンプ部、および前記ケーブルを内置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エピタキシャルウェーハの生産性を向上させる、ウェーハ自動移載装置およびこれを用いたウェーハ移載方法を提供する。
【解決手段】エピタキシャル成長装置のサセプタにウェーハをロードまたはアンロードするためのウェーハ自動移載装置であって、可動アームと、この可動アームに取り付けられるウェーハ保持ハンドと、このウェーハ保持ハンドに固定され、ウェーハ保持ハンドとサセプタとの相対位置をモニタする位置センサと、ウェーハ保持ハンドに固定され、ウェーハ保持ハンドとサセプタ間の距離を計測する距離センサを有することを特徴とするウェーハ自動移載装置およびこれを用いたウェーハ移載方法。 （もっと読む）

【課題】
基板処理装置の稼働中にツイーザのピッチの確認を行い、ツイーザピッチ確認作業を装置を休止させることなく、効率よく行い、更に基板搬送のトラブルを未然に防止する。
【解決手段】
基板６を収納した基板収納容器７を移載棚２３に搬送する第１の工程と、移載機２６がツイーザ２７により前記基板収納容器から基板保持具２８へ基板を搬送する第２の工程と、該第２の工程より前に前記ツイーザの調整状態を確認する為のツイーザの状態確認工程とを具備する。
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弱衝撃性の薄い結晶板、特にガラス板（１１）を水平位置から所定の垂直位置に汚すことなく運搬するための方法及び装置が開示される。前記方法及び装置は、下記の特徴を有する：ａ）運搬フォークの横支柱（６）が、ガラス板（１１）を保持するためにガラス板の下に配置され、横支柱（６）は、それに垂直に取り付けられた吸引ヘッド支持支柱（７）が取り付けられ、その上面に分布してローラ間の空間の中を通る吸入ヘッド（８）を有し；ｂ）吸引ヘッド（８）は、ガラス板（１１）の底部側に近づいて、その吸引部（１５）は吸気によってガラス板（１１）に接触され；ｃ）ガラス板（１１）は、微調整の後、設置装置（１２）に入る。コンピュータプログラム及び関連のプログラムコードを含む、コンピュータ読取可能な媒体も開示される。 （もっと読む）

薄い弱衝撃性の結晶板、特にガラス板（１１）を、汚すことなく、正確に定義された水平配向及び、定義された垂直位置に運搬するための方法及び装置が開示される。ガラス板（９）が、産業ロボットを使うことなく、また、人によって汚染されることなく位置決めされ、運搬されて、さらなる過程のために正しい位置に送られる。 （もっと読む）

弱衝撃性の薄い結晶板、特にガラス板（１１）を汚すことなく運搬するための方法及び装置が開示される。前記方法及び装置は、下記の特徴を有する：ａ）ガラス板（１１）の位置決めをするために、持ち上げフレーム（１）は、この持ち上げフレーム（１）の上方にある位置決めフレーム（２）に沿うローラ（１３）間の自由空間を通して下方から引き上げられ、そして、ちょうつがいで動くような形で位置決めフレーム（２）に接続された支持支柱に取り付けられ、ローラ（１３）間の自由空間を貫通し、ローラの支持水平面を超えて突き出て、ガラス板（１１）を支持する支持部（８）を備え、：ｂ）ガラス板（１１）は、スライド部（３）に固定される回転可能結合部（６）によって前記位置決めフレーム（２）の２つの長手方向に延びる横桁に移動される動作を行う前記スライド部（３）によって、衝撃のない方法で位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】搬送物を多段に収納する収納ラックの高さを増大させることなく、収納ラックの各段の搬送物に対するフォークの意図しない当接を回避しながら搬送物の載置または取り出しを行うことが可能なロボット用ハンドを提供する。
【解決手段】このロボット用ハンド６は、先端部へ向かって上向きに傾斜して延びるように配置されるフォーク１０を備え、そのフォーク１０上に搬送物としてのガラス基板１００を載せて搬送するものであって、フォーク１０には、その基端部側の第１位置Ｐ１と、この第１位置Ｐ１よりも先端部側の第２位置Ｐ２とに移動可能な加重部材１３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】
ステージが搭載される除振台の初期化を従来よりも短時間に行うことができる露光装置を提供する。
【解決手段】
露光装置の電源をオン状態にし、第１のアクチュエータを駆動することによりベローズに前記気体圧力を供給して、除振台を水平状態にする場合において、電源がオフ状態におけるステージの位置と予め用意した計算式とを用いてベローズへの負荷に対応する第１の気体圧力を計算し、第１の電磁弁が閉状態のまま、第１の圧力計測手段および第１のアクチュエータを用いて第１の気体圧力を供給した後で、第１の電磁弁を開状態にして、除振台の位置に基づいて第１のアクチェエータによりベローズに気体圧力を供給することにより、記除振台を水平状態にすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】支持ピン３の位置再現性を向上させること、及び載置板２と支持ピン３間の移載において基板Ｗの水平方向のずれを防止することである。
【解決手段】基板Ｗの反りを測定する反り測定系７、及び当該基板Ｗの反り以外の物理量又は化学量を測定する通常測定系６に用いられる基板測定用ステージ１であって、前記通常測定系６の通常測定位置Ｐ１、及びその通常測定位置Ｐ１から下方に離間した退避位置Ｐ２の間を移動可能な載置板２と、前記載置板２に設けられた貫通孔２１に挿通可能であり、前記反り測定系７の反り測定位置Ｐ３に固定された複数の支持ピン３と、前記載置板２を前記通常測定位置Ｐ１及び前記退避位置Ｐ２の間で昇降移動させる駆動機構と、を備え、前記反り測定位置Ｐ３が、前記通常測定位置Ｐ１及び退避位置Ｐ２の間に設定されている。 （もっと読む）

【課題】可動体を目標方向に駆動する際に該可動体に作用しうる他の方向の力を低減する。
【解決手段】可動体をＸ方向に位置決めするためのＸ１、Ｘ２電磁石（第１アクチュエータ）を駆動する電流アンプ５３４Ｘを含む系と、該可動体をＹ方向に位置決めするためのＹ１、Ｙ２電磁石（第２アクチュエータ）を駆動する電流アンプ５３４Ｙを含む系と、該可動体を第１アクチュエータによってＸ方向に駆動する際に該可動体に作用するＹ方向の力を低減する従方向成分補正部６０１Ｘと、該可動体を第２アクチュエータによってＹ方向に駆動する際に該可動体に作用するＸ方向の力を低減する従方向成分補正部６０１Ｙとを備える。 （もっと読む）