【課題】搬送アームの保持部が半導体ウエハ表面を保持したままの状態で、半導体ウエハの水平面内の位置を調整する時に、半導体基板表面に傷が発生するのを防止することができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置は、表面が下を向いた半導体基板の表面に接触して、半導体基板を保持する保持部を有するとともに、半導体基板を保持した状態の保持部を、半導体基板に対して相対的に、水平面内で第１の方向に移動させることによって、半導体基板の水平面内の位置を調整する位置調整機構を有する。保持部は、内縁と外縁とを有する上面を有する環状の第１層と、第１層の上面に設けられ、内縁と外縁とを有する下面と、半導体基板表面に接触する上面とを有する環状の第２層とからなり、第１層の上面は、その外縁の、少なくとも第１の方向に平行な部分の全体において、第２層の下面の外縁から水平面内において外側に広がった形状を有する。 （もっと読む）

【課題】 半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板などの各種の基板処理装置に付着する０．２〜２．０μｍ程度の粒子径の異物を効率良く除去できるクリーニング部材を提供することを課題とする。

【解決手段】 搬送部材の少なくとも片面にクリーニング層が設けられてなるクリーニング機能付き搬送部材において、クリーニング層の膜厚のばらつきが１０％以下であることを特徴とするクリーニング機能付き搬送部材、とくに、上記のクリーニング層が実質的に粘着力を有しない上記構成のクリーニング機能付き搬送部材。 （もっと読む）

【課題】クリーニング容器本体の構造強度が増され、且つ荷重積載時の作用力伝送方式が良好で、クリーニング容器に自動化伝送時に、荷重による変形が精度に影響するのを防止し、またクリーニング容器本体の内部収容室の気密性を維持でき、更に静電防護の効果を提供し、並びに洗浄、乾燥などの維持作業を容易にする。
【解決手段】ホルダフレーム２がクリーニング容器本体１の前側開口１２より挿入されてクリーニング容器本体１の内部収容空間内部１１に収容され、並びにクリーニング容器本体１の上方と下方に、上取付板３と下取付板４が設置され、且つ上取付板３と下取付板４が更にホルダフレーム２と相互に組み合わされる。 （もっと読む）

【課題】 例えば、真空チャンバー内に装備されたＸＹステージの、走行車輪とステージ軌道とに付着したパーティクルに起因する位置決めの不具合を防ぐ。
【解決手段】 ＸＹステージ１００の少なくとも一方のステージが、複数の走行車輪のそれぞれに回動自在に弾接する車輪清掃ローラ５と複数のステージ軌道のそれぞれに回動自在に弾接する軌道清掃ローラ６とを有し、該車輪清掃ローラ５は、走行車輪の表面に付着したパーティクルを粘着除塵し、該軌道清掃ローラ６は、ステージ軌道の表面に付着したパーティクルを粘着除塵するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 基板処理装置のチャックテーブル温度が室温から高温でも（２５〜２００℃）チャックテーブルに貼り付かず、良好な搬送性を維持し、しかも異物除去性にすぐれており、チャックテーブルに付着している異物を確実に除去できるクリーニング部材を提供することを課題とする。


【解決手段】 ２５〜２００℃の温度範囲において、非粘着性であり、かつ引っ張り弾性率が３，０００ＭＰａ以下てある、とくに好ましくは１００ＭＰａ以下であるクリーニング層を有することを特徴とするクリーニング部材、このようなクリーニング部材として、上記クリーニング層を有するクリーニングシート、あるいは搬送部材上に上記クリーニング層を有するクリーニング機能つき搬送部材。 （もっと読む）

【課題】 サセプタ装置と板状試料との間の熱伝導特性が大きく変化することがなく、パーティクルの発生も少なく、板状試料の裏面へのパーティクルの付着を防止することが可能であり、さらに、サセプタ装置を静電チャックとして用いた場合においても、静電吸着力が変動したり、電圧印加中止後の離脱性が変化することもないサセプタ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明のサセプタ装置は、基体の一部を構成する誘電体板２１の上面に複数の突起部３１を設け、これらの突起部３１それぞれの頂面３１ａに複数の微小突起部３２を設け、これら微小突起部３２それぞれの頂面３２ａを板状試料Ｗを載置する載置面としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小ロットサイズのリソグラフィーベイを提供する。
【解決手段】小ロットサイズのリソグラフィーベイ３００は、（１）複数のリソグラフィーツール３１４〜３２８と、（２）小ロットサイズの基板キャリアをリソグラフィーツール３１４〜３２８へ搬送するように適応された小ロットサイズの搬送システム３３０とを備えている。各小ロットサイズの基板キャリアは、１３個より少数の基板を保持するように適応される。多数の他の態様も提供される。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、半導体、ガラス、基板、樹脂から形成されたウエハ若しくは基板の裏面に付着している異物の除去を連続して処理することができる装置を提供することである。さらに、本発明の第三の課題はウエハ若しくは基板に付着している異物の量あるいは大きさによって異物除去効果が最適にできる機能を有すことでウエハ若しくは基板一枚あたりに要する処理時間を最短化することである。
【解決手段】 基板を異物を捕捉することのできる樹脂シートを介して静電チャックに吸着させることにより、基板の裏面に付着している異物を樹脂シートに捕捉する。樹脂シートは基板ごとに逐次連続的に供給できるようロール状にし、異物を捕捉した一度使用済みの樹脂シートもロール状に回収し、樹脂シートを全部使い切った時には、使用済みのロールは廃棄し、新しいロールを装填する。 （もっと読む）

【発明の課題】 より高いスループットで、ウェハー表面の汚染を生ずることなく当該ウェハー上に膜を堆積できるＣＶＤ装置を提供すること。
【解決手段】 ＣＶＤ装置は、ウェハー搬入／搬出チャンバ１ａ，１ｂ、処理チャンバ３、ウェハー搬送チャンバ２を備える。処理チャンバは、２つまたはそれより多いウェハーステージ６ａ〜６ｄであって、当該ウェハーステージの各々は回転可能な中央ポールに水平アーム８ａ〜８ｄを介して連結されているものと、ウェハー・ロード／アンロード室５と、２つまたはそれより多い分離された処理反応容器４ａ，４ｂとで構成され、当該処理反応容器では各々に膜の化学的気相成長のために必要な１タイプの処理ガスのみが供給される。ウェハー・ロード／アンロード室と処理反応容器は、中央ポールから同じ半径距離に配置され、中央ポールが回転する時、ウェハーステージの各々は処理反応容器等を通って移動する。 （もっと読む）

【課題】 静電チャックのクリーニング時間を短縮できる基板処理装置及び静電チャックのクリーニング方法を提供する。
【解決手段】 基板処理装置１は、チャンバ３内に設置され、基板Ｗを支持する表面２０ａを有する静電チャック２０を備える。チャンバ３内には、静電チャック２０の表面２０ａに接触可能なクリーニング面３２ａを有するクリーニングディスク３２と、クリーニングディスク３２を搬送する搬送装置３６とが設置されている。 （もっと読む）

【課題】 洗浄時の洗浄液等の外部への飛散を防止して外部周辺機器類等が腐食するのを抑制すると共に、洗浄処理の効率の向上を図れるようにした洗浄処理方法及びその装置を提供すること。
【解決手段】 被洗浄体であるチャック３０と、洗浄液を噴射する２流体供給ノズル５０とを相対的にチャック３０の保持部材３１〜３３に沿って水平方向に移動して、保持部材を洗浄する洗浄処理方法において、２流体供給ノズルに対して少なくともチャックへの洗浄時の移動方向側に、保持部材が挿通可能な陽圧室４００を形成し、２流体供給ノズルから洗浄液を保持部材の保持溝３１ａに向かって噴射する間、陽圧室内に気体を噴射して陽圧室内を陽圧状態にして、洗浄液等の外部への飛散を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 使用したクリーニング部材の表層に付着したパーティクルを除去して、新品同様のクリーニング部材の表面状態に再生する半導体装置用クリーニング部材の再生方法を提供することを課題とする。

【解決手段】 ウエハ１の少なくとも片面にポリアミック酸を熱硬化させた耐熱性樹脂からなるクリーニング層２が設けられてなる半導体装置用クリーニング部材の再生方法であって、上記クリーニング層の表層に付着したパーティクルをドライエッチング方式を用いて除去することを特徴とする半導体装置用クリーニング部材の再生方法。 （もっと読む）

【課題】 基板の外観や品質を良好に保つことができる基板搬送装置、基板搬送方法およびプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。
【解決手段】 基板搬送装置２０は、基板２３上に形成された被処理物のうち、除去すべき当該被処理物の除去を行う現像部（ウェット処理部）２１に対して基板２３の搬送方向下流側に位置し、現像部（ウェット処理部）２１から搬出された基板２３を搬送する搬送ローラー２７と、この搬送ローラー２７を洗浄する洗浄液２８を搬送ローラー２７に対して噴射する洗浄液噴射手段３０と、搬送ローラー２７上の基板２３の有無を検出する基板検出手段３２と、を有し、基板検出手段３２により搬送ローラー２７上の基板２３が存在しない状態であると検出した時に、洗浄液噴射手段３０により洗浄液２８を搬送ローラー２７に噴射する。 （もっと読む）

内側ドア部と外側ドア部を有するウエハーキャリアドア。内側ドア部はほぼ連続する内面を有している。外側ドア部は内側ドア部の少なくとも一部分の上に延びている。外側ドア部はその中に形成された複数の開口部を有する。外側ドア部は内側ドア部に取り付けられる。
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投影光学系と液体とを介したパターンの像によって露光された基板を搬送する基板搬送装置は、前記基板を支持する基板支持部材と、前記基板支持部材と、前記基板の裏面のうち少なくとも一部の領域との少なくとも一方に付着した前記液体を除去する液体除去機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板を処理する処理槽と、処理槽に沿って設けられた搬送路と、搬送路上を移動して基板を搬送する基板搬送装置とからなる基板処理装置で、基板処理装置の設置面積を拡大することなく、基板処理のスループットを向上することが可能な基板処理装置及び基板処理装置における基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】同一搬送路上を移動可能な少なくとも２以上の基板搬送装置を具備し、基板を搬送する前記基板搬送装置は、互いに複数の処理槽を重複して移動可能するようにする。また、スケジューラにより生成されたスケジューリングデータで同時に複数の処理槽での基板搬送が生じた場合には、基板搬送分担処理条件と照合してスケジューリングデータを決定するようにする。 （もっと読む）