【課題】 動作不良を抑制するのに適する半導体装置を提供すること。
【解決手段】 半導体チップ１と、半導体チップ１に積層された第１電極パッド２１と、方向ｘに延びる第１の縁４９ａと、方向ｙに延びる第２の縁とに規定された矩形状を呈する中間層４と、半導体チップ１とともに中間層４を挟むように配置された複数のバンプ５と、を備え、複数のバンプ５のいずれか一つは、複数のバンプ５のうち、方向ｘの一端且つ方向ｙの一端に配置され並びに第１電極パッド２１に導通する第１バンプ５１であり、複数のバンプ５のいずれか一つは、第１電極パッド２１に導通する第２バンプ５２である。 （もっと読む）

【課題】金属配線膜のドライエッチングレートの低下やエッチング残渣を発生させることがなく、また該金属配線膜のヒロック耐性や電気抵抗率が抑制され、更に該金属配線膜と直接接続する透明導電膜や酸化物半導体層とのコンタクト抵抗率が抑制された薄膜トランジスタ基板、及び該薄膜トランジスタ基板を備えた表示デバイスを提供する。
【解決手段】薄膜トランジスタ基板であって、金属配線膜は、ドライエッチング法によるパターニングで形成された、Ｎｉ：０．０５〜１．０原子％、Ｇｅ：０．３〜１．２原子％、Ｌａおよび／またはＮｄ：０．１〜０．６原子％を含有するＡｌ合金膜とＴｉ膜とからなる積層膜あって、該Ｔｉ膜が、該酸化物半導体層と直接接続していると共に、該Ａｌ合金膜が、該透明導電膜と直接接続している。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の歩留まりと信頼性を向上させる。
【解決手段】配線凹部に埋め込まれた部分以外のバリアメタル膜３ｂ上のＣｕ膜５ｂを化学機械研磨によって除去する。そして配線凹部内のＣｕ膜５ｂ上に、添加元素からなる層６ｂを形成する。添加元素を層６ｂからＣｕ膜５ｂ中に拡散させて、Ｃｕ表面、及びＣｕ結晶粒の粒界及び該粒界近傍の位置においてＣｕ結晶粒内部よりも添加元素の濃度が高い界面及びその近傍を形成するとともに、Ｃｕ膜５ｂ中の酸素を層６ｂにゲッタリングさせる。その後、余剰な層６ｂを除去し、さらに絶縁膜上のバリアメタル膜３ｂを除去する。 （もっと読む）

【課題】実装基板に信頼性よく実装できる多層構造の再配線を備えた半導体装置を提供する。
【解決手段】バンプ電極１８を備えた半導体基板１０ａと、半導体基板１０ａの上に形成され、バンプ電極１８の横方向に配置された第１絶縁層２０と、第１絶縁層２０の上に形成され、バンプ電極１８に接続された第１配線層３０と、第１配線層３０の上に形成された第２絶縁層２２と、第２絶縁層２２に形成され、第１配線層３０に到達するビアホールＶＨと、第２絶縁層２２の上に形成され、ビアホールＶＨに形成されたビア導体４０を介して第１配線層３０に接続される第２配線層３２と、第２配線層３２に接続された外部接続端子３４とを含み、第２絶縁層２２の弾性率は第１絶縁層２０の弾性率より低く設定されている。 （もっと読む）

【課題】積層される半導体基板同士が、貫通孔の内部に埋め込まれる導電体により、電気的に良好に接続される半導体装置を提供する。
【解決手段】第１半導体基板ＳＣＰは、主表面を有する基板ＳＵＢと、基板ＳＵＢ内および基板ＳＵＢ上に形成された半導体素子ＴＲと、半導体素子ＴＲに電気的に接続された配線ＭＴＬと、基板ＳＵＢの主表面であり、互いに対向する第１主面と第２主面とを貫通し、配線ＭＴＬに達する貫通孔の内部に形成された導電層ＴＳＶとを有する。第１半導体基板ＳＣＰと第２半導体基板ＳＣＰとが積層され、導電層ＴＳＶは第２半導体基板ＳＣＰの配線ＭＴＬと電気的に接続される。導電層ＴＳＶの第２主面では、貫通孔の端部の周囲には凹部ＤＵＭが形成され、凹部ＤＵＭの底壁面は基板ＳＵＢの内部に存在する。導電層ＴＳＶを構成する導電材料ＣＵが凹部ＤＵＭの内部に充填される。 （もっと読む）

【課題】微小なコンタクトホールを形成し、集積回路を微細化することを目的とする。
【解決手段】スイッチング素子および各配線を覆う層間絶縁膜１１１として有機材料を用い、且つ、金属膜１１２のマスクを用い、ドライエッチング法によってコンタクトホールを形成し、配線１１４を形成する。 （もっと読む）

【課題】貫通電極を持つ半導体装置を提供する。
【解決手段】パッドと、パッドの下部に配される貫通電極と、を備える半導体装置。貫通電極は、円筒形の第１金属プラグと、第１金属プラグの外周を取り囲む第１半導体レイヤと、第１半導体レイヤの外周を取り囲む第２金属プラグと、第１金属プラグの外周を取り囲む第２半導体レイヤと、第１金属プラグの外周に、第１半導体レイヤ及び第２金属プラグの内周及び外周に、そして第２半導体レイヤの内周に形成される少なくとも一つの絶縁膜と、を備え、第１半導体レイヤ内に第１絶縁膜との界面から広がる空乏層が形成されるように、第１半導体レイヤに第１バイアス電圧を印加するが、第１バイアス電圧は、第２半導体レイヤに印加される第２バイアス電圧とは異なる。 （もっと読む）

【課題】太い幅の配線溝と細い幅の配線溝をＣｕの電解メッキで充填する際に、アンダープレートの発生を抑制し、化学機械研磨後におけるディッシングの発生を抑制する。
【解決手段】表面の第１の領域に縦／横比小さい第１の配線溝２２Ａが形成され、表面の第２の領域に縦／横比が大きい第２の配線溝２２Ｂを形成された絶縁膜の表面上にレジスト膜Ｒ１を形成し、第１の領域を露出する第１のレジスト開口部Ｒ１Ａを形成する工程と、レジスト膜をマスクに電解メッキを行い、第１の配線溝を第１の配線パタ―ン２５Ａで充填する工程と、第２の領域を露出する第２のレジスト開口部を形成する工程と、レジスト膜をマスクに電解メッキを行い、第２の配線溝を第２の配線パタ―ンで充填する工程と、レジスト膜を除去し、第１の配線パタ―ンおよび第２の配線パタ―ンを、それぞれの表面が絶縁膜の表面に一致するように、化学機械研磨により平坦化する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】大画面化しても低消費電力、歩留まり及び信頼性の向上を実現するための半導体
装置の構造及びその作製方法を提供する。
【解決手段】画面で使われる画素薄膜トランジスタを逆スタガ型薄膜トランジスタで作製
する。その逆スタガ型薄膜トランジスタにおいて、ソース配線、ゲート電極を同一平面上
に作製する。また、ソース配線と逆スタガ型薄膜トランジスタ、画素電極と逆スタガ型薄
膜トランジスタをつなぐ金属配線を同一工程で作製する。 （もっと読む）

【課題】高い電荷移動度を有し、大面積表示装置に対して均一な電気的特性を得ることができる薄膜トランジスタ表示板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁基板上に形成されたゲート電極と、前記ゲート電極上に形成されたＳｉＮｘから構成された第１ゲート絶縁膜と、前記第１ゲート絶縁膜の上に形成されたＳｉＯｘから構成された第２ゲート絶縁膜と、前記ゲート電極と重畳するように形成され、チャネル部を有する酸化物半導体層と、前記酸化物半導体層及び前記ゲート電極の上部に形成されたＳｉＯｘから構成された保護膜とを含み、前記保護膜はドレイン電極拡張部を露出するコンタクトホールを含む。ここで、前記コンタクトホールは、ドレイン電極拡張部を直接的に露出する部分の保護膜が、その上部の保護膜よりさらに狭い領域を占める形状を有する。 （もっと読む）

【課題】配線抵抗が低く配線間の絶縁性の高い回路基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に、Ｃｕを含む導電性材料の配線構造体を形成し、配線構造体の表面に、Ｃｕ−Ｎ結合を有する絶縁性の拡散防止膜を形成した後、拡散防止膜が形成された配線構造体を覆うように、絶縁膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】 配線の特性の劣化を生じさせることなく、額縁面積を削減することが可能な回路基板、及び、該回路基板を備える表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 支持基板上にトランジスタ及び外部接続端子が載置されたトランジスタ基板と、該トランジスタ基板上に取り付けられた外付け部材とを含んで構成される回路基板であって、上記外付け部材は、導電部材を介して外部接続端子と電気的かつ物理的に接続されており、上記トランジスタは、外部接続端子と横並びに配置されている回路基板である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、製造コストの増加を抑制可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置１は、半導体基板部１０、誘電体膜２２、再配線２４、上部電極２５、絶縁膜２６、及び外部接続端子２８を有する。半導体基板部１０は、回路が形成され、回路にそれぞれ接続される下部電極１５、上部電極パッド１６、接続パッド１７、１８を上面に有する。誘電体膜２２は、下部電極１５を被い、上部電極パッド１６、接続パッド１７、１８の上面に達する開口部を有する。再配線２４は、一部の接続パッド１７、１８に電気的に接続される。上部電極２５は、誘電体膜２２を介して下部電極１５の上面に対向して配置され、上部電極パッド１６に接続され、再配線２４を含む。絶縁膜２６は、誘電体膜２２、再配線２４、及び上部電極２５を被う。外部接続端子２８は、絶縁膜２６を貫通し再配線２４に接続され、絶縁膜２６の上面から露出する。 （もっと読む）

【課題】配線回路基板において、コンタクト抵抗の上昇を抑制し、熱応力による断線を防止することのできるコンタクト構造を提供する。
【解決手段】 配線回路基板は、第１配線層（５）、第２配線層（７）、及び前記第１配線層と前記第２配線層を電気的に接続するコンタクト配線（６）を有する。前記コンタクト配線は、前記第１配線層のコンタクト面を被覆する第１被覆部（６ａ）と、前記第２配線層のコンタクト面を被覆する第２被覆部（６ｃ）と、前記第１被覆部と前記第２被覆部の間に延びるプラグ部（６ｂ）を有する。前記第１被覆部、前記プラグ部、及び前記第２被覆部は、同一の導電性材料で一体的に形成された内部に界面のないコンタクト配線である。 （もっと読む）

【課題】マスク数を増加させることなく、ブラックマスクを用いずに反射型または透過型の表示装置における画素開口率を改善する。
【解決手段】画素間を遮光する箇所は、画素電極１６７をソース配線１３７と一部重なるように配置し、ＴＦＴはＴＦＴのチャネル形成領域と重なるゲート配線１６６によって遮光することによって、高い画素開口率を実現する。 （もっと読む）

【課題】基材の内部に空隙を形成するための方法を提供する。
【解決手段】基材を用意する工程；少なくとも１つの犠牲材料前駆体の堆積によって犠牲材料を堆積する工程；複合層を堆積する工程；該複合層中のポロゲン材料を除去して多孔質層を形成する工程；及び積層基材を除去媒体と接触させて前記犠牲材料を実質的に除去し、前記基材の内部に空隙を与える工程を含み、前記少なくとも１つの犠牲材料前駆体が、有機ポロゲン、シリコン、極性溶媒に可溶な金属酸化物、及びそれらの混合物からなる群より選択される方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】反射型液晶表示装置において、回路素子へ到達する入射光の量を低減するための技術を提供する。
【解決手段】回路素子に電気的に接続された、第１金属層１１２の上に、開口部１２７及び第１スルーホール１２６を有するようにパターニングされた第１絶縁層１１３を形成し、第１絶縁層に、開口部１２７に埋め込まれた金属部１１４及び第１スルーホール１２６に埋め込まれた第１プラグ１１５を形成した後、第２絶縁層１１６を形成する。第２絶縁層１１６の上に、開口部を有するようにパターニングされた第２金属層１１７を形成し、第２金属層の上に第３絶縁層１１９を形成した後、第２金属層１１７の開口部を通り且つ第１プラグ１１５の上面を露出させる第２スルーホール１２０を、第２絶縁層１１６及び第３絶縁層１１９に形成し、第２スルーホール１２０に埋め込まれた第２プラグ１２１と、第２プラグに接続された反射電極１２２とを形成する。 （もっと読む）

【課題】コンタクトホールをより微細に形成することができる薄膜のパターニング方法及び表示パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】所定の段差部を有した絶縁層２５を形成する工程と、スパッタ法により前記段差部を覆うようにして前記絶縁層２５上に犠牲層２８を成膜する工程と、前記段差部に対応する領域における前記犠牲層２８のうちの少なくとも一部の除去と、前記除去により前記犠牲層２８から露出された領域における前記絶縁層２５の除去とを、ドライエッチングにより連続して行う工程と、前記ドライエッチングで残存した前記犠牲層２８の少なくとも一部をウェットエッチングにより除去する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】任意の方向に傾斜した開口部を形成可能な基板の製造方法、半導体装置の製造方法、およびこれを適用した半導体装置を備えた電気光学装置を提供すること。
【解決手段】本適用例の素子基板１０１の製造方法は、素子基板１０１上に設けられた半導体装置としてのＴＦＴ１１０を覆うと共に第１開口部としての孔１０４ａが設けられた第２絶縁膜としての層間絶縁膜１０４をマスクとして、素子基板１０１の面法線１０１ａと交差する一の方向からドライエッチングを第１絶縁膜としてのゲート絶縁膜１０３に施して、孔１０４ａに連通すると共にＴＦＴ１１０のドレイン電極１１０ｄに開口する第２開口部としての孔１０３ａを形成する。 （もっと読む）

【課題】基板切断などの切出し加工の際に生じるクラックからの水分侵入に起因する金属配線端面の腐食防止、あるいは金属配線端面の腐食が生じている場合でも該腐食が液晶表示装置を駆動する液晶表示部分を構成するゲート配線、ソース配線や配線端子部に金属配線にまで到達することを防止する技術を提供する。
【解決手段】基板の上に、切り出し加工により切断端面が露出している第１の金属配線と、第２の金属配線と、絶縁膜と、を有する表示装置用配線構造であって、前記第１の金属配線は１００μｍ以上の不連続部を有し、前記不連続部によって分断された各第１の金属配線は、第２の金属配線によって連結されており、前記分断された第１の金属配線と、前記第２の金属配線との接触界面の少なくとも一方は、前記第１の金属配線または前記第２の金属配線を構成する金属よりも貴な金属を含むもので構成される腐食防止層を有する配線構造。 （もっと読む）