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平面酸化亜鉛系エピタキシャル層、付随ヘテロ構造、およびデバイスを形成する方法が提供される。本発明の一実施形態によると、酸化亜鉛系エピタキシャル層を成長させる方法は、m平面または微斜面m平面ウルツ鉱基板を提供するステップと、金属有機化学蒸着を使用して、基板上に酸化亜鉛系エピタキシャル層を形成するステップとを含む。本発明の関連する実施形態によると、本方法は、基板を約400℃乃至約900℃に加熱するステップを含み得る。
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【課題】特に発光への寄与率の高い、最もp層側の井戸層のピエゾ電界を結晶性を悪化させることなく、効率的に低減し、発光効率の高い発光ダイオードを提供する。
【解決手段】基板上に、n型窒化物半導体層、活性層、p型窒化物半導体層を有する発光ダイオードにおいて、活性層とp型窒化物半導体層の間にInを含む窒化物半導体層を形成することを特徴とする窒化物半導体発光ダイオード構造に関する。 (もっと読む)


【課題】オフ角が10度以上のGaAs基板を用いても、発光出力の低下を起こさずに、低順方向電圧の半導体発光素子を提供する。
【解決手段】オフ角が10度以上である第一導電型のGaAs基板10上に、少なくとも、高Al組成のAlGaAsを含む複数層からなる第一導電型光反射層12と、第一導電型クラッド層13、アンドープ活性層14および第二導電型クラッド層15を有する発光層と、第二導電型電流分散層17と、が順次積層された構造の半導体発光素子において、前記GaAs基板10上の第一導電型層の第一導電型決定ドーパントとして、Seを用いる。 (もっと読む)


【課題】光度の高いLEDランプを提供すること。
【解決手段】樹脂製リフレクタを備えるLEDランプの製造方法において、樹脂製リフレクタが形成するキャビティの中に充填される熱硬化性封止樹脂の硬化工程を、不活性ガス雰囲気下、還元雰囲気下又は真空雰囲気下で実施する。 (もっと読む)


【課題】 p型窒化物系半導体層を再現性よく高活性化することが可能な窒化物系半導体素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明による窒化物系半導体素子の製造方法は、基板1上に、少なくとも一層の窒化物系半導体層(2,3)を形成する工程と、窒化物系半導体層(2,3)上に、マグネシウムをドープしたp型窒化物系半導体層4を形成する工程と、p型窒化物系半導体層4を窒素雰囲気中において800〜920℃でアニーリングする工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】 窒化物半導体の単結晶基板の両面に、III族極性の発光素子を作製することが可能な発光素子用基板、およびそれを具備し、1素子当たりの電流注入量を低下させ、また1素子のサイズを大きくすること無く高輝度化した発光装置を提供する。
【解決手段】 III族極性を示す第1の主面1aと、N極性を示す第2の主面1bと、を有する窒化物半導体の単結晶基板1と、前記第2の主面1b上に設けられ、化学式Ga1-x-yAlxInyN(ただし、0<x≦1,0<x+y≦1,0≦y<0.1である)で表される極性反転層2と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】ドナー元素を含む半導体層を備えた半導体素子を形成する場合に、このドナー元素が上層に拡散することを抑制することができる半導体素子を提供する。
【解決手段】ZnO基板上にGaドープMgZnO層、アンドープMgZnO層、窒素ドープMgZnO層、アンドープ活性層、窒素ドープMgZnO層と積層した積層体でGaの拡散を分析した。アンドープMgZnO層の次の窒素ドープMgZnO層で、拡散してきたGaの濃度が表面側になるにつれて、急激に減少しており、この窒素ドープMgZnO層の上層にGaは拡散していない。このように、ドナー元素を含む同一組成のドナー含有半導体層の一部に、アクセプタ元素を含み前記ドナー含有半導体層と同一組成のアクセプタ含有半導体層を形成することで、ドナー元素の拡散を防止できる。 (もっと読む)


【課題】 フォトニック結晶構造を用いて外部量子効率を向上させるにあたって、凹凸の高さを低減して、結晶欠陥に起因する非発光準位の発生を抑制することができる発光装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の半導体結晶層が積層されてなり、発光層12を備える発光素子2と、発光素子2の一方の主面21側に配置され、発光素子2を支持する支持基板3と、金属膜4とを備え、発光素子2の前記一方の主面部には、発光層12からの光を他方の主面22の側に反射するフォトニック結晶構造体23が形成されており、発光素子2の一方の主面21が、前記金属膜4によって覆われている。 (もっと読む)


【課題】長波長の発光を提供でき小さなブルーシフトを示す構造の発光素子を提供する。
【解決手段】窒化物系発光ダイオード11では、窒化ガリウム基板13の主面13aは半極性を示しており、また該六方晶系窒化ガリウムの(000−1)面に対して18度以上28度以下の角度θで所定の方向に傾斜している。活性層19は量子井戸構造23を有しており、量子井戸構造23は、InGa1−XN(0.2<X<1)からなる井戸層25aと窒化ガリウム系半導体からなる障壁層25bとを含む。活性層19は、510nm以上の波長範囲にピーク波長を有する光を生成する。井戸層25aは、井戸層25aのInGa1−XNの(000−1)面に対して傾斜した所定の平面(X軸及びY軸によって規定される平面)に沿って延びている。 (もっと読む)


【課題】高い駆動電圧で動作できる発光装置を提供する。
【解決手段】絶縁基板上に複数のGaN系発光ダイオード素子を形成してなる発光装置であって、前記複数の発光素子が前記絶縁基板上に一体として形成され、直列に接続されていることを特徴とする発光装置を提供する。また、複数の発光ダイオード素子は、前記絶縁基板上にニ次元配置されていてもよい。また、複数の発光ダイオード素子は2つの組に分けられ、前記2つの組は2個の電極に互いに反対極性となるように並列接続されていてもよい。 (もっと読む)


【課題】高発光効率(高光出力)を達成するための構成、構造を有するGaN系半導体発光素子を提供する。
【解決手段】GaN系半導体発光素子は、第1GaN系化合物半導体層21、多重量子井戸構造を有する活性層30、第2GaN系化合物半導体層22を備えており、活性層30を構成する障壁層の少なくとも1層は組成変化障壁層33から成り、第2GaN系化合物半導体層22に近い側の井戸層31と組成変化障壁層33の境界に隣接した組成変化障壁層の領域33Aにおけるバンドギャップエネルギーが、第1GaN系化合物半導体層21に近い側の井戸層31と組成変化障壁層33の境界に隣接した組成変化障壁層の領域33Bにおけるバンドギャップエネルギーよりも低くなるように、組成変化障壁層33の組成は、その厚さ方向に沿って組成が変化している。 (もっと読む)


【課題】発光層の内部量子効率を向上できて高出力化が可能な窒化物半導体発光素子を提供する。
【解決手段】エピタキシャル成長用の単結晶基板1の一表面側に第1のバッファ層2が形成され、第1のバッファ層2の表面側にn形窒化物半導体層3が形成され、n形窒化物半導体層3の表面側に第2のバッファ層4を介して第3のバッファ層5が形成され、第3のバッファ層5の表面側に発光層6が形成され、発光層6の表面側にp形窒化物半導体層7が形成されている。第3のバッファ層5は、発光層6の貫通転位および残留歪みを低減するとともに発光層3の下地の平坦性を向上させ、さらには当該第3のバッファ層5で生成されたキャリアを利用して発光層6のピエゾ電界を緩和するために設けたものであり、ドナーとなる不純物としてSiを添加してある。 (もっと読む)


【課題】実用レベルの発光素子を与えるに十分な低い抵抗率で且つn型ZnOと接合したとき優れたダイオード特性を示すp型ZnO単結晶及びその製造方法の提供。
【解決手段】ドーパントとして窒素とIB族元素とを含有し,IB族元素がCu及びAgより選ばれる少なくとも1種であり,温度20℃における抵抗率が0.1〜20Ω・cmである,p型単結晶ZnO,並びに,化学気相成長法によるp型単結晶ZnOの製造方法であって,(a)(0001)面を表面とする単結晶ZnO基板を加熱しつつ,基板の表面にZn源ガス,O源ガス,アンモニア並びに,Cu及びAgより選ばれるIB族元素源ガスを供給して基板上に,窒素及びIB族元素をp型ドーパントとして含んだ単結晶ZnOを成長させるステップと,(b)p型ドーパントを含んだ単結晶ZnOをO源ガスの存在下にアニールするステップを含んでなる,p型単結晶ZnOの製造方法。 (もっと読む)


【課題】駆動電圧を低減させるとともに出力を向上させることが可能なIII族窒化物半導体発光素子を提供する。
【解決手段】基板と、積層半導体層と、透明電極層17と、p型電極パッド18と、n型電極パッド19とを具備してなり、平面視形状が四辺形であり、透明電極層17がIn、Zn、Al、Ga、Ti、Bi、Mg、W、Ce、Sn、Niのいずれか一種以上を含む透明導電性酸化物から構成され、p型電極パッド18とn型電極パッド19の端間距離mが0.7L<m(Lはp型電極パッド18とn型電極パッド19の重心O、O同士を結ぶ直線n上における透明電極層17の長さからp型電極パッド18の外径dを引いた長さ)を満たすとともに、長辺の長さをXとし、短辺の長さをYとしたときに、1.5≦X/Yを満たすIII族窒化物半導体発光素子1を採用する。 (もっと読む)


【課題】 ドナー・アクセプター対発光による面発光を直流駆動によって十分に得ることができるとともに、発光輝度を従来よりも向上させることが可能な発光素子を提供すること。
【解決手段】 発光素子100は、一対の電極2,6と、一対の電極2,6間に配置された、ドナー・アクセプター対発光機能を有する発光層4と、電極の一方と発光層4との間に配置されたp型半導体からなるキャリア注入層3とを備え、発光層4は、Se以外のVI族元素を有する発光材料にSeがドープされた発光体を含み、発光層4の価電子帯頂部のエネルギーレベルとキャリア注入層3の価電子帯頂部のエネルギーレベルとの差が1.18eV以下であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】発光効率の高いLED構造の作製可能なエピタキシャル成長用基板を提供する。
【解決手段】本発明のエピタキシャル成長用基板2は、凹凸形状の主表面3aを有する単結晶基板3と、単結晶基板3上に、エピタキシャル成長により形成された、凹凸形状の第1表面4aを有する第1のIII族窒化物結晶からなる下地層4と、下地層4上に、エピタキシャル成長により形成された、第2のIII族窒化物結晶からなる中間層5とを少なくとも有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 ドナー・アクセプター対発光による面発光を低電圧の直流駆動によって十分に得ることができるとともに、寿命特性を従来よりも向上させることが可能な発光素子を提供すること。
【解決手段】 発光素子100は、一対の電極2,6と、電極2,6間に配置されたドナー・アクセプター対発光機能を有する発光層4と、発光層4と電極2との間に配置され、発光層4に隣接するキャリア注入層3とを備え、キャリア注入層3には、Y、Nb、Mo、Zr、Hf、Ta、W及びReのうちの少なくとも1種の元素が含まれていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】例えばZnO系半導体発光素子の良好な分割に適したZnO系半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ZnO系半導体装置の製造方法は、ウルツァイト構造を持ち、上面が+C面で下面が−C面であるZnO系半導体部材の−C面にスクライブ溝を形成するスクライブ工程と、+C面の、スクライブ溝の上方の位置に劈開用部材を押し当てて、ZnO系半導体部材を割るブレーキング工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】抵抗率の制御が可能な発光膜と、低電圧駆動が可能で高輝度な、該発光膜を用いた発光素子とを提供する。
【解決手段】母体材料である硫化亜鉛化合物に添加元素としてCuを含む発光膜であって、
前記硫化亜鉛化合物は、柱状のZnS結晶を有し、該ZnS結晶同士が接する粒界に硫化銅からなる部位を有する。 (もっと読む)


【課題】電気伝導性及び/または結晶性が向上したp型窒化物半導体層を有する発光素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】n型窒化物半導体層と;前記n型窒化物半導体層上に形成された活性層と;前記活性層上にAlNとGaNが交互に反復的に成長されて形成された超格子構造のAlN/GaN層と;前記超格子構造のAlN/GaN層上に形成されたp型窒化物半導体層と;を含み、前記AlN及び前記GaNのうち少なくとも一つはp型ドーパントがドーピングされたp型であることを特徴とする発光素子を構成する。 (もっと読む)


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