【課題】トレンチゲートをゲート電極で完全に埋め込むトレンチゲート型ＭＯＳＦＥＴにおいて、パフォーマンスに優れた半導体回路装置を提供する。
【解決手段】第１の導電型のウェル層４内に形成された第２の導電型のウェル層５が、ゲート電極材料９で埋設された格子状のトレンチ溝７で囲まれたトレンチゲート型ＭＯＳＦＥＴであって、トレンチ溝７の側面と第２の導電型のウェル層５との間に形成される第１の絶縁膜８は、トレンチ溝７の側面と前記第１の導電型のウェル層４との間に形成される第２の絶縁膜１４よりも薄くしてある。 （もっと読む）

【課題】 電力増幅器に発生するホットキャリアの影響を抑制する。
【解決手段】 一つの実施形態の電力増幅器には、半導体層に形成され、少なくとも１つ以上から構成され、電力増幅動作する第１のグロースリングゲート構造体と、半導体層に形成され、第１のグロースリングゲート構造体を取り囲むように隣接配置され、第１の構造体が電力増幅動作するときに、逆バイアスが印加されて空乏化領域が形成され、第１の構造体を周囲からアイソレートする複数の第２のグロースリングゲート構造体とが設けられる。 （もっと読む）

【課題】交流電圧で使用することができる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板１１に形成された第１トランジスタＴ₁と、半導体基板１１上にＢＯＸ層１２を介して形成された第２トランジスタＴ₂と、を備え、第１トランジスタＴ₁は、半導体基板１１の表面に形成された第１ボディ領域１１ｆと、この第１ボディ領域１１ｆを挟むように形成された第１ソース領域１１ｄ及び第１ドレイン領域１１ｅと、有し、第１ボディ領域１１ｆ上に第２トランジスタＴ₂の第２ドレイン領域１３ｃが配置され、第１ドレイン領域１１ｅ上に第２トランジスタＴ₂の第２ボディ領域１３ａが配置され、第１ドレイン領域１１ｅとＢＯＸ層１２における第２ボディ領域１３ａとの間に接続層１７が形成され、かつ第２ドレイン領域１３ｃが第１トランジスタＴ₁のゲート電極を兼ねた。 （もっと読む）

【課題】主スイッチング素子の温度の急上昇に対応することができ、主スイッチング素子の保護を十分に行うことができる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置１００は、横型構造のパワーＩＧＢＴである主スイッチング素子６０と横型構造のサイリスタである感熱素子７０とを備える。主スイッチング素子６０と感熱素子７０とが同一のＰ⁻型半導体基板１上に形成されている。感熱素子７０のアノード電極２２が、主スイッチング素子６０のゲート電極８と電気的に接続されている。感熱素子７０のカソード電極２０が、主スイッチング素子６０のエミッタ／ソース電極９と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】従来に比して高いＥＳＤ耐量性能を有するＥＳＤ保護回路を備えた半導体装置、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】内部回路に用いられる第１の半導体素子と、静電気による内部回路の破壊を抑制するＥＳＤ保護回路として用いられる第２の半導体素子とを備える半導体装置の製造方法であって、基板に第１の半導体素子および第２の半導体素子各々についての端子領域層を形成する端子領域層形成ステップと、基板上の前記第２の半導体素子の端子領域層を除く領域について結晶欠陥を形成させる処理を施す欠陥形成ステップと、金属膜を第１の半導体素子および第２の半導体素子各々の端子領域層表面に形成する金属膜形成ステップと、金属膜と、第１の半導体素子および第２の半導体素子各々の端子領域層とをシリサイド化するシリサイド化ステップとを含む、半導体装置の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】サージ耐量を大きくすることが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】複数のフィールドプレート１７ｂ〜１７ｅをセル部の輪郭に沿う平行方向を長手方向としてセル部から外周耐圧部の外周側に向かって複数本並べられて配置された平行部３０と、該平行部３０それぞれから斜め方向に延設された連結部３３とを有した構成とし、平行部３０と連結部３３とが交互に接続されることにより、一方向に向かって階段状に形成された構造とする。そして、平行部３０には、ツェナーダイオードが逆方向に直列接続されたツェナーダイオード対を複数段形成したツェナーダイオード群１８ａ〜１８ｅを備え、複数本並べられて配置された平行部３０それぞれに備えられたツェナーダイオード対の段数がセル部に近い側からセル部の外周に向かって増やされるようにする。 （もっと読む）

【課題】トランジスタの耐圧を向上し得る半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１０上にゲート絶縁膜１６を介して形成されたゲート電極１８ｃと、ゲート電極の一方の側の半導体基板に形成された第１導電型のドレイン領域５４ａと、ゲート電極の他方の側の半導体基板に形成された第１導電型のソース領域５４ｂと、ドレイン領域からゲート電極の直下に達する第１導電型の第１の不純物領域５６と、ソース領域と第１の不純物領域との間に形成された、第１導電型と反対の第２導電型の第２の不純物領域５８とを有し、ゲート電極は、第１導電型の第１の部分４８ａと、第１の部分の一方の側に位置する第２導電型の第２の部分４８ｂとを含み、ゲート電極の第２の部分内に、下端がゲート絶縁膜に接する絶縁層２４が埋め込まれている。 （もっと読む）

【課題】安定した静電気保護機能を有する半導体装置を提供すること。
【解決手段】半導体装置は、シリコン柱を有するシリコン基板、シリコン柱の側壁に沿って形成されたゲート電極、ゲート電極とシリコン柱との間に形成されたゲート絶縁膜シリコン柱の上部に形成された上部拡散層、及びシリコン基板において上部拡散層より下方に形成された下部拡散層、を有する縦型ＭＯＳトランジスタと、下部拡散層と電気的に接続されたパッドと、を備える。サージ電圧が印加された際に下部拡散層と基板との間においてブレイクダウンが発生する。 （もっと読む）

【課題】小さな面積で電源端子との間に保護素子が設けられていないオープンドレイン信号端子のＥＳＤ保護を図る半導体装置を提供する。
【解決手段】第１導電型ウェルの表面にソースが第２の電源に接続され、ドレインがオープンドレイン信号端子に接続された第２導電型ＭＩＳトランジスタを設ける。ＭＩＳトランジスタの電流が流れる方向と並行にＭＩＳトランジスタの両側に第２導電型の第１領域を設け、オープンドレイン信号端子に接続する。その全体を第２の電源に接続された第１導電型ガードリングで囲い、さらにその外側を第１の電源に接続された第２導電型ガードリングで囲う。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の製造方法において、半導体装置の小型化を図ること。
【解決手段】第１の領域IにフラッシュメモリセルFLを形成する工程と、第２の領域IIにキャパシタQの第１の電極１１ａを形成する工程と、第２の絶縁膜１４として第１の酸化シリコン膜１４ａ、窒化シリコン膜１４ｂ、及び第２の酸化シリコン膜１４ｃをこの順に形成する工程と、第１の電極１１ａの一部領域CRにおける窒化シリコン膜１４ｂと第２の酸化シリコン膜１４ｃとを除去する工程と、第３の領域III_Hにおける第１の絶縁膜１０と第２の絶縁膜１４とをウエットエッチングする工程と、キャパシタQの第２の電極３０ａを形成する工程と、一部領域CRにおける第１の酸化シリコン膜１４ａをエッチングして除去する工程とを有する半導体装置の製造方法による。 （もっと読む）

【課題】集積性に優れた半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置は、半導体基板１と、半導体基板１上に設けられた埋め込み絶縁膜２と、埋め込み絶縁膜２上に設けられた第１の薄膜ＦＥＴ１００と、第１の薄膜ＦＥＴ１００と隣接して埋め込み絶縁膜２上に形成された第２の薄膜ＦＥＴ１０１と、第１の薄膜ＦＥＴ１００直下の半導体基板１内に設けられた第１ウェル領域４と、第２の薄膜ＦＥＴ１０１直下の半導体基板１内に設けられた第２ウェル領域５と、を備え、第１ウェル領域４から第２ウェル領域５までの距離が、第１の薄膜ＦＥＴ１００から第２の薄膜ＦＥＴ１０１までの距離よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】Ｄｔ−ＭＯＳトランジスタよりなる半導体装置の素子寸法を縮小する。
【解決手段】シリコン基板２１と、素子分離領域２１Ｉと、前記素子分離領域により画成された、第１の導電型を有する第１のウェルよりなる素子領域２１ＤＮＷと前記第１の導電型と逆の第２の導電型のコンタクト領域２１Ｐ＋１と、ゲート絶縁膜を介して、前記素子領域上から、前記素子分離領域のうち前記素子領域と前記コンタクト領域との間に延在するゲート電極と、第２の導電型のソース拡散領域と、第２の導電型のドレイン拡散領域と、前記ソース拡散領域の下端部に接して形成された第１の絶縁領域と、前記ドレイン拡散領域の下端部に接して形成された第２の絶縁領域と、前記ゲート電極と前記コンタクト領域とを電気的に接続するビアプラグと、を含み、前記第１のウェルは前記素子分離領域部分の下の前記シリコン基板を介して前記コンタクト領域に電気的に接続されていること。 （もっと読む）

【課題】絶縁層上に形成された部分空乏型のトランジスターにおいて、ヒストリー効果を低減し、なおかつ高いＯＮ／ＯＦＦ比、及び急峻なサブスレッショルド特性を実現する。
【解決手段】絶縁層上の半導体層に形成された第１導電型のソース領域、第１導電型のドレイン領域、及び、第２導電型のボディ領域と、第１ゲート絶縁膜と、第１ゲート電極と、を含む部分空乏型の第１トランジスターと、絶縁層上の半導体層に形成された第１ダイオードと、を具備し、第１ダイオードは、第１導電型の第１不純物領域と、第１不純物領域上に形成された第２導電型の第２不純物領域と、を含み、第１トランジスターのボディ領域は、第１ダイオードの第１不純物領域及び第２不純物領域に接続されている。 （もっと読む）

【課題】従来よりも低消費電力かつ小面積であるとともに設計性のよいパワーオンリセット回路またはスタートアップ回路を備えた半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置１は、出力部１０と、第１および第２の電位設定部８，９とを備える。出力部１０は、電源投入時に、中間電位ノードＮ１の電位に応じた制御信号ＲＳを内部回路３に出力する。第１の電位設定部８は、第１の基準電位ノードＶＤＤと中間電位ノードＮ１との間に接続された第１の導電型を有するエンハンスメント型の第１のＭＯＳトランジスタＥＰを含む。第２の電位設定部９は、第２の基準電位ノードＧＮＤと中間電位ノードＮ１との間に直列接続された第２の導電型を有するディプレッション型の複数の第２のＭＯＳトランジスタＤＮ１＿〜ＤＮ＿ｎを含む。複数の第２のＭＯＳトランジスタＤＮ１＿〜ＤＮ＿ｎの各々において、ソースとウェルとが互いに接続される。 （もっと読む）

【課題】トレンチゲート構造で共用ドレインを有する２つのＭＯＳ型トランジスタから構成される双方向スイッチのオン抵抗の低減を図る。
【解決手段】Ｎ型ウエル層２に複数のトレンチ３を形成する。次に前記複数のトレンチ３に挟まれたＮ型ウエル層２に１列おきにＰ型ボディ層６を形成する。複数のＰ型ボディ層６にはＮ＋型第１ソース層７とＮ＋型第２ソース層９を交互に形成する。Ｎ＋型第１ソース層７を挟む１対のトレンチ３のそれぞれに第１ゲート電極５ａ、Ｎ＋型第２ソース層９を挟む１対のトレンチ３のそれぞれに第２ゲート電極５ｂを形成する。第１ゲート電極５ａが形成されたトレンチ３のＰ型ボディ層６側と反対側の側壁と第２ゲート電極５ｂが形成された同様の側壁に挟まれたＮ型ウエル層２を電界緩和層としてのＮ型ドレイン層１１ａとする。該Ｎ型ドレイン層１１ａを双方向スイッチのオン電流の流れる電流経路とする。 （もっと読む）

【課題】電源制御装置システム（２５）の動作中に、システム（２５）の動作を抑止する方法を提供する。
【解決手段】例えば、負荷（６３）にシステム（２５）の動作を抑止する条件を検出した場合、抑止トランジスタ（３５）をオンにし、出力（４８）を低に引き下げ、キャパシタ（４９）を放電させる。キャパシタ（４９）が初期電圧値より低い値まで放電されると、検出器４０は、トランジスタ（４４）をオンにし、装置（１２）のトランジスタ（１５）をオフにする。その結果、システム（２５）は、出力（２１）から供給される第２出力電流の供給を抑止し、第２出力電流よりはるかに小さい第１出力電流のみを出力（１９）から供給する。制御装置（５１）が動作しないため、システム（２５）から負荷（６３）への電圧供給が停止される。 （もっと読む）

【課題】小さいサイズでラッチアップの発生を防止できる半導体装置を提供する。
【解決手段】第１導電型の半導体基板１と、前記半導体基板内に形成された第１導電型の第１ウェル領域４と、前記半導体基板内に形成され、第１ウェル領域と隣り合う領域に配置された第２導電型のエピタキシャル領域２と、前記エピタキシャル領域内下方の領域に形成され、前記エピタキシャル領域よりも不純物濃度が高い第２導電型の埋め込み領域６と、第１ウェル領域と前記エピタキシャル領域及び前記埋め込み領域との境界に形成されたトレンチ８と、第１ウェル領域上に形成され、第２導電型のソース及びドレイン領域を有する第１半導体素子と、前記エピタキシャル領域上に形成され、第１導電型のソース及びドレイン領域を有する第２半導体素子と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ドレインオフセット領域を有する高周波増幅用ＭＯＳＦＥＴにおいて、微細化およびオン抵抗低減を図る。
【解決手段】ソース領域１０、ドレイン領域９およびリーチスルー層３（４）上に電極引き出し用の導体プラグ１３（ｐ１）が設けられている。その導体プラグ１３（ｐ１）にそれぞれ第１層配線１１ｓ、１１ｄ（Ｍ１）が接続され、さらにそれら第１層配線１１ｓ、１１ｄ（Ｍ１）に対して、導体プラグ１３（ｐ１）上で裏打ち用の第２層配線１２ｓ、１２ｄが接続されている。 （もっと読む）

【課題】低電位領域と高電位の配線が交差することの無い優れた耐圧性能を示す半導体装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の半導体装置は、ロジック回路（５０１）と、ロジック回路からの制御信号に従い低電位側パワー素子を駆動する低電位側駆動回路（５０２）と、ロジック回路からの制御信号がレベルシフト回路を介して入力され、高電位側パワー素子（５０６）を駆動する高電位側駆動回路（５０５）と、複数に重なったトレンチ分離領域により、前記高電位側パワー素子を含む高電位島を分離する多重トレンチ分離領域（５０８）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ドレインオフセット領域を有する高周波増幅用ＭＯＳＦＥＴにおいて、微細化およびオン抵抗低減を図る。
【解決手段】ソース領域１０、ドレイン領域９およびリーチスルー層３（４）上に電極引き出し用の導体プラグ１３（ｐ１）が設けられている。その導体プラグ１３（ｐ１）にそれぞれ第１層配線１１ｓ、１１ｄ（Ｍ１）が接続され、さらにそれら第１層配線１１ｓ、１１ｄ（Ｍ１）に対して、導体プラグ１３（ｐ１）上で裏打ち用の第２層配線１２ｓ、１２ｄが接続されている。 （もっと読む）