【課題】チップサイズを縮小し、再配線層の配線を容易にすることが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】略矩形のＬＳＩ基板１の上面に、パッド電極４ａ１、４ａ２、４ｃ１を被覆する絶縁膜３ａ、３ｂが設けられ、前記絶縁膜３ｂ上に、前記パッド電極４ａ１、４ａ２、４ｃ１の何れかに接続された第１のコンタクト配線７ａ１、７ａ２、７ｃ、および前記第１のコンタクト配線７ａ１、７ａ２に接続された再配線８ｂ１、８ｂ２が設けられ、第１の再配線エリア３上に設けられたボール電極２ｂ、２ｃと、第１のパッド電極４ｃ１が上面の端部に設けられたＬＳＩコア１ａ３と、前記第１のパッド電極４ｃ１に接続された第２のコンタクト配線９ｂ１に接続された配線層６ｂ１と前記パッド電極４ａ１、４ａ２のうちの第２のパッド電極４ａ１とに接続された第３のコンタクト電極９ｂ２が形成され、前記ＬＳＩコア１ａ３に隣接した第２の再配線エリア１ａ２、とを有する。 （もっと読む）

【課題】面積の増加を抑えつつ、ヒューズ構造体のデータの保持量を増加する。
【解決手段】半導体装置１００は、基板（不図示）上に形成されたヒューズ構造体１２０を含む。ヒューズ構造体１２０は、第１の配線（１２２）および第２の配線（１２４）と、これらを接続するビア１２３とから構成された電気ヒューズ１２１と、一端がビア１２３の側方にビア１２３に接続して形成された抵抗配線１２８と、を含む。電気ヒューズ１２１のビア１２３は、基板の積層方向において、第１の配線（１２２）との接続箇所から抵抗配線１２８との接続箇所までの間に、面内方向の断面積が第２の配線（１２４）との接続箇所から抵抗配線１２８との接続箇所までの面内方向の断面積よりも小さい箇所を有する。 （もっと読む）

【課題】工程を追加せずに、アライメントマークの形成領域におけるゲート電極膜の残渣を低減する。
【解決手段】半導体装置の製造方法は、アライメントマーク１０を有する第１領域Ｒ１と、抵抗体４０が形成される第２領域Ｒ２と、ゲート電極１５が形成される第３領域Ｒ３と、を主面１ａに有する基板の主面１ａ上に、金属材料を含有するゲート電極膜１１を形成する工程を有する。更に、第１及び第２領域Ｒ１、Ｒ２のゲート電極膜１１を等方性エッチングにより除去する工程を有する。更に、ゲート電極膜１１を除去した第２領域Ｒ２と、第３領域Ｒ３と、に導電膜（ポリシリコン膜１３）を成膜する工程を有する。更に、導電膜を成膜する工程の後に、基板の主面１ａ上にフォトレジスト膜を形成し、アライメントマーク１０をアライメントに用いて所定のパターンをフォトレジスト膜に転写する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】電源配線と接地配線とを有する半導体装置において、配線の一部における電圧ドロップや、電圧ドロップに伴うマイグレーションの発生を抑制することが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】主表面を有する半導体基板ＳＵＢと、主表面に沿うように層状に広がる電源シート状配線ＰＰＷＲと、主表面に沿うように、主表面に交差する方向に関して電源シート状配線と一定の距離を隔てて層状に広がる接地シート状配線ＰＧＮＤと、上記主表面上に形成され、主表面内の一の方向に延在する電源配線ＰＷＲと、主表面上に形成され、一の方向に沿う方向に延在し、電源配線ＰＰＷＲと一定の距離を隔てて形成された接地配線ＧＮＤとを備える。上記電源シート状配線ＰＰＷＲは、電源配線ＰＷＲと電気的に接続されており、接地シート状配線ＰＧＮＤは、接地配線ＧＮＤと電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】フューズ開口部に起因する水分の浸入における長期信頼性の劣化を防止する半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板上にフィールド酸化膜を介して抵抗体を設け、抵抗体上に第一の金属配線を設け、第一の金属配線上に吸湿性膜を含む平坦性の良い金属間層間膜を形成する。抵抗体のトリミング用フューズは吸湿性膜を含む金属間層間膜の上に形成することで吸湿性膜の露出を防止する。 （もっと読む）

【課題】結晶化半導体薄膜に対して適正かつ効率的なフォトマスクの作成を可能にする。
【解決手段】１実施形態に係る設計ライブラリデータベースは、２次元的に区画して各々薄膜トランジスタのチャネル領域のサイズを超える複数の結晶粒規定領域が配置された結晶化半導体薄膜を用いる薄膜トランジスタ回路の設計ライブラリデータベースであって、各々のチャネル領域が単一の前記結晶粒規定領域内の固定位置に配置される２個以上の薄膜トランジスタおよび前記２個以上の薄膜トランジスタを相互接続する配線を含む様々な論理ゲート回路をそれぞれ表す複数のスタンダードセル、並びに前記様々な論理ゲート回路の様々な組み合わせをそれぞれ表す複数のマクロセルの少なくとも一方のセルのライブラリ、および前記複数の結晶粒規定領域が配置された結晶化アレイパターンのスタンダードセルのライブラリを含みハードディスクに登録される。 （もっと読む）

【課題】電源回路解析を、高速かつ少ないメモリ使用量で高精度に行なえるようにする。
【解決手段】解析対象回路における電源回路の解析対象領域を複数の分割領域に分割する分割部１１と、この分割部１１によって分割された各分割領域での消費電流値と各分割領域で上下層の電源配線を接続すべく各層間に形成されたビアのホール数とに基づき電源回路を分割領域毎に解析する解析部１２とをそなえる。 （もっと読む）

【課題】プロセスマージンを大きく取れる配線配置構造を提供する。
【解決手段】基板上に形成された複数の第１配線６を含む第１配線層と、第１配線層上に形成され、第１配線６に接続された複数のビアコンタクト１０を含むコンタクト層と、コンタクト層上に形成され、ビアコンタクト１０に接続された複数の第２配線１４を含む第２配線層とを備える半導体装置において、コンタクトピッチは、第１配線６の最小配線ピッチ、又は、第２配線１４の最小配線ピッチ、よりも大きくなるようにする。 （もっと読む）

【課題】セル内のメタル配線幅を、設計上許容すべき最大駆動容量Ｃｍａｘ未満の配線幅に設定して、セル内の容量を削減し、セル相互間距離が非常に近い回路などにおいて伝播遅延を所定時間以下に設計することができるようにする。
【解決手段】配線幅以外は全て同一のレイアウトパターンを備えた２種類のスタンダードセル１０１、１５１が用意される。一方のスタンダードセル１０１は、セル内部のメタル配線１０８、１１０の配線幅Ｗｓ１、Ｗｄ１は太く、他方のスタンダードセル１５１では、セル内部のメタル配線１５８、１６０の配線幅Ｗｓ２、Ｗｄ２は、前記一方のスタンダードセル１０１の配線幅Ｗｓ１、Ｗｄ１よりも細く設定される（Ｗｓ２＜Ｗｓ１、Ｗｄ２＜Ｗｄ１）。配線幅の細いセルライブラリ１５１は、駆動負荷の小さい回路に限定して適用される。 （もっと読む）

【課題】信号配線が電源配線と長距離に亘って並走することを回避して、信号配線の寄生容量を低減してノイズの影響を低減する半導体装置の配線構造及びそれを備えた半導体装置を提供すること。
【解決手段】第１方向Ｘ１に延びる複数の第１配線１Ｖから構成される第１配線層１１０と、第１配線層１１０の上に配設され、第１方向Ｘ１に交差する第２方向Ｘ２に延びる複数の第２配線２Ｖから構成される第２配線層１２０とを備え、第１配線層１１０および第２配線層１２０は、第１方向Ｘ１および第２方向Ｘ２により規定される平面内に設定された配線領域Ｒ内に配設され、第１配線１Ｖは、配線領域Ｒの第１方向Ｘ１における一端から他端までの全長よりも短い長さでそれぞれ形成され、第２配線２Ｖは、配線領域Ｒの第２方向Ｘ２における一端から他端までの全長よりも短い長さでそれぞれ形成されている半導体装置１００の配線構造。 （もっと読む）

【課題】複数の電源を使用する半導体集積回路装置において、接続対象の接続する電源配線を容易に選択ないし変更できる半導体集積回路装置及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】半導体集積回路装置は、静電気保護素子及び入出力回路素子のうちの少なくとも１つを含む接続対象と、１以上の電源配線及びパッドから選択される２以上の要素と、同一層に形成された複数の配線と、複数の配線のうちのいずれか１つの配線と、接続対象とを電気的に接続する第１コンタクトと、を備える。複数の配線は、電源配線、パッド、又は電源配線及びパッドのうちのいずれかと電気的に接続された配線である。 （もっと読む）

【課題】素子と配線、配線と配線の交差部分の耐圧を検証することができるレイアウト検証装置及びレイアウト検証方法を提供する。
【解決手段】レイアウト検証装置は、半導体集積回路の回路図データと、該回路図データに基づいて生成されたレイアウトデータとの整合性を検証する整合性検証手段と、整合性検証手段により整合性が検証された場合に、レイアウトデータに基づいて、互いに交差する位置関係にある素子と配線、又は、配線と配線がなす交差対を抽出する抽出手段と、判定基準となる基準電位差を記憶する記憶手段と、回路図データに基づいて、交差対の電位差を求める電位差検出手段と、交差対の電位差と基準電位差とを比較する電位差比較手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】金属層からなるガードリングで囲まれたトリミング素子形成領域のヒューズ上の保護膜の開口からヒューズ上の層間絶縁膜に浸入した水分等がガードリングに形成されたヒューズ引き出し電極用の開口を通ってデバイス形成領域に浸入することを防止する。
【解決手段】ヒューズ５ａを取り囲む第１ガードリング３０とその外側の第２ガードリング４０に囲まれたヒューズ電極引き出し領域４１を形成する。ヒューズ５ａと連続し層間絶縁膜６とフィールド酸化膜４の間をヒューズ電極引き出し領域４１まで延在するヒューズ電極５と、該ヒューズ電極５と接続する第１ヒューズ引き出し電極７ｃと、該第１ヒューズ引き出し電極７ｃと接続する第２ヒューズ引き出し電極９ｃとを形成し、該第２ヒューズ引き出し電極９ｃを層間絶縁膜８上に形成された第２ガードリング４０を構成する第２電極の開口２４を通してデバイス素子形成領域８０に引き出す。 （もっと読む）

【課題】ダイオードセルを有する半導体装置において、ダイオードセルに隣り合う標準セルについて、光近接効果によるゲート長のばらつきを確実に抑制できるレイアウトを提供する。
【解決手段】標準セルＣ１は、Ｙ方向に延び、Ｘ方向に同一ピッチで配置されたゲートパターンＧ１，Ｇ２，Ｇ３を有する。ダイオードセルＣ２は標準セルＣ１にＹ方向において隣り合っている。ゲートパターンＧ１，Ｇ２，Ｇ３は、各終端部ｅ１，ｅ２，ｅ３がＹ方向において同じ位置にあり、Ｘ方向における幅が同一である。ダイオードセルＣ２は、ダイオードとして機能する拡散層Ｄ１〜Ｄ１０に加えて、標準セルＣ１のゲートパターンＧ１，Ｇ２，Ｇ３の終端部ｅ１，ｅ２，ｅ３に対向するように配置された、ゲートパターンＧ４，Ｇ５，Ｇ６からなる複数の対向終端部ｅｏ１，ｅｏ２，ｅｏ３を備えている。 （もっと読む）

【課題】従来の半導体装置では、電源制御領域への突入電流の発生を抑制するためにチップ面積が増大する問題があった。
【解決手段】本発明にかかる半導体装置は、オン抵抗が大きな第１のスイッチトランジスタＳＷＬと、オン抵抗が小さな第２のスイッチトランジスタＳＷＳと、を有し、第１、第２のスイッチトランジスタＳＷＬ、ＳＷＳは、異なる領域に電流を供給し、第１のスイッチトランジスタＳＷＳは、制御信号ＣＯＮＴを直列的に伝搬するように直列に接続され、第２のスイッチトランジスタＳＷＬは、前記制御信号を直列的に伝搬するように直列に接続され、第２のスイッチトランジスタＳＷＬのうち初段に配置される第２のスイッチトランジスタＳＷＬは、第１のスイッチトランジスタＳＷＳのうち最も後ろに配置される第１のスイッチトランジスタＳＷＳが出力する制御信号ＣＯＮＴが入力される。 （もっと読む）

【課題】複数のスタンダードセルを有する半導体装置のチップ面積をさらに小さくする。
【解決手段】半導体装置ＳＤ１は第１および第２スタンダードセルＳＣ１，ＳＣ２を備える。第１スタンダードセルＳＣ１は、拡散領域Ａｎ１１、拡散領域Ａｎ１１に対向する機能素子領域ＦＥ１、および金属層ＭＴ１１を有する。第２スタンダードセルＳＣ２は、拡散領域Ａｎ１１に連続する拡散領域Ａｎ２１、拡散領域Ａｎ２１に対向する機能素子領域ＦＥ２、ならびに拡散領域Ａｎ２１および機能素子領域ＦＥ２の間に形成された拡散領域ＣＲ２１を有する。金属層ＭＴ１１および機能素子領域ＦＥ２は、拡散領域Ａｎ１１、拡散領域Ａｎ２１、および拡散領域ＣＲ２１通して電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィ工程で生じる光近接効果に起因するゲート長のばらつきとゲートの寄生容量のばらつきを抑制し、標準セルの実際の特性を反映させたライブラリを設計可能とし、これにより設計マージンを小さくして高性能な半導体集積回路を提供する。
【解決手段】標準セルＳｃ１を配列して半導体集積回路を設計する方法において、標準セルＳｃ１を構成するゲートパターン５の端部に、該ゲートパターン５と垂直な方向にダミーパターン３を配置し、該ダミーパターン３の配置により、ゲートパターン５の端部での該ゲートパターンの占有密度の低下を補う。 （もっと読む）

【課題】ＲＤＲに従い設計され、活性領域と電源配線との境界部や周辺部における不具合の発生が抑制された、小型化かつ高集積化された半導体装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つのスタンダードセル内における半導体基板ＳＢの主表面に形成される第１導電型の機能素子用不純物領域Ａｐと、電源電位が印加される第２導電型の電源電位用不純物領域Ａｎとを備える。半導体基板ＳＢの主表面上に形成され、かつ半導体基板ＳＢの主表面に達する貫通孔ＳＣＴＨを有する絶縁層ＩＩ１、ＩＩ２と、絶縁層ＩＩ１、ＩＩ２の貫通孔内に形成されたコンタクト用導電層ＰＣＬとを備える。上記機能素子用不純物領域Ａｐと電源電位用不純物領域Ａｎとをまたぐように形成されるコンタクト用導電層ＰＣＬを通じて電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】配線に多数のスルーホールが存在する場合にも、多数のスルーホール分割要素に分割されることを回避し、分割要素の数の増大を抑制し、配線抵抗の算出時間を短縮する装置の提供。
【解決手段】第１配線層と第２配線層の配線を接続する複数のスルーホールを有する領域に、複数のスルーホールを含む枠図形ＦＦ１を設定し、枠図形を複数の枠領域ＦＲ１〜３に分割する。各枠領域内の複数のスルーホールを合成して１つのスルーホールにまとめ、各枠領域内にはそれぞれ１つの合成スルーホールＣＴ１〜３が設定される。各枠領域に１つに設定されたスルーホールの位置を基準として、第１配線層、第２配線層における枠図形に対応する配線抵抗を分割した抵抗値ＲＬ１１〜１４、ＲＬ２１〜２２と、各枠領域内で１つに設定されたスルーホールの抵抗値ＲＣＴ１〜３とを用いて、抵抗回路網を作成し、抵抗回路網を１つの抵抗ＲＳに合成する。 （もっと読む）

【課題】配線層の平坦性を維持しつつ、配線とインダクタとの間に生じる寄生容量を低減させた半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置は、半導体基板１０１上に形成された第１の層間絶縁膜５０６と、第１の層間絶縁膜５０６のうち配線形成領域内に位置する部分に埋め込まれた配線１０６と、第１の層間絶縁膜５０６のうち配線形成領域内に位置する部分に埋め込まれた第１のダミーパターン１０７と、第１の層間絶縁膜５０６のうちインダクタ領域内に位置する部分に埋め込まれた第２のダミーパターン１０８と、第１の層間絶縁膜５０６の上方に形成された第２の層間絶縁膜と、第２のダミーパターン１０８の上方であって、第２の層間絶縁膜のうちインダクタ領域内に位置する部分に埋め込まれたインダクタ１１１とを備える。第２のダミーパターン１０８として金属が形成されていない。 （もっと読む）