【課題】高歩留まり且つ低コストで半導体装置を製造することができるパターン作成方法を提供すること。
【解決手段】実施形態によれば、パターン作成方法が提供される。パターン作成方法では、設計パターンに応じた基板上パターンを形成できるよう前記基板上パターンに応じたマスクパターンを作成する際に、前記設計パターン間が満たす必要のある相対関係に基づいて、前記設計パターン間に対応するマスクパターン間が前記相対関係を満たすよう前記マスクパターンを作成する。 （もっと読む）

【課題】入出力（Ｉ／Ｏ）積層体を含むシステムを提供する。
【解決手段】入出力（Ｉ／Ｏ）積層体を含むシステム及びこのシステムを製造する方法が記述されている。一実装において、本方法は、Ｉ／Ｏ素子を含むと共に論理素子を含まないＩ／Ｏダイを積層するステップを有する。又、一実装において、本方法は、Ｉ／Ｏダイに対して集積回路ダイを積層するステップを更に含む。集積回路は、論理素子を含み、且つ、Ｉ／Ｏ素子を含まない。集積回路ダイからＩ／Ｏダイを分離することにより、それぞれのダイの独立的な開発や従来のダイのものとの比較におけるＩ／ＯダイのＩ／Ｏ基板上のＩ／Ｏ素子用の相対的に大きな空間などの様々な利益が得られる。空間の増大により、多数の論理素子を集積回路ダイの基板の同一の表面積内に収容する集積回路ダイの新しいプロセス世代が可能となる。 （もっと読む）

【課題】従来の設計支援装置により生成したインダクタは、周囲の回路の影響により特性ずれが生じる問題があった。
【解決手段】本発明の設計支援装置は、生成対象のインダクタに接続される接続対象回路領域の第１、第２の接続端子の位置情報を回路設計情報から生成されるフロアプラン結果から得て、インダクタを他の回路と接続する第３、第４の接続端子を、第１の接続端子と第３の接続端子との間及び第２の接続端子と第４の接続端子との間が最短の配線によって接続可能な位置に設定する端子位置設定部１０と、第３、第４の接続端子の位置を基準としてインダクタの配線パターンを生成し、当該配線パターンに基づきインダクタのレイアウト情報を生成するパターン生成部１３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】配線及びビア間接続の信頼性を向上させた半導体装置を提供する。
【解決手段】実施形態に係る半導体装置は、半導体基板と、前記半導体基板上の異なる高さに配置され、配線が形成された複数の配線層と、前記配線層の積層方向に延びる柱状に形成され、異なる複数の前記配線層の配線間を電気的に接続するビアとを備える。前記配線の一部は、前記ビアの中間部において前記ビアに接触する中間配線であり、所定の前記配線層の中間配線は、前記ビアを前記積層方向に直交する方向で貫通し、且つ、上面、下面及び両側面において前記ビアと接触していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】隣接する２つのトランジスタ同士が接続された構成を有し、省スペースと電流集中による信頼性の低下の抑制とを両立させた半導体装置を実現できるようにする。
【解決手段】半導体装置は、第１のトランジスタ１０１と接続された第１のバス１１１、第２のトランジスタ１０２と接続された第２のバス１１２と、第１のバス１１１と第２のバス１１２との間に形成され、第１のバス１１１と第２のバス１１２とを接続するバス間配線１２１とを備えている。バス間配線１２１は、第１のバス１１１における第２のバス１１２と対向する辺の一部及び第２のバス１１２における第１のバス１１１と対向する辺の一部と接続されている。第１のコンタクトパッド１３１は、第１のバス１１１の一部と接続され、第２のコンタクトパッド１３２は、第２のバス１１２の一部と接続されている。 （もっと読む）

【課題】ビアの信頼性を改良するための技術を提供する。
【解決手段】別の半導体デバイスが、複数の導電性配線（１２−２０）を含む第１層（２１）および第２層（３３）を含み、複数の非機能的ビアパッド（３４）が、第２層または第１層と第２層との間に含まれる。複数のダングリングビア（４０）は、第１層の特定の領域内に含まれる。ダングリングビアは、第１層の１つまたは複数の配線をビアパッドの対応する一つに接続する。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現し得る半導体装置を提供することにある。
【解決手段】半導体基板に形成され、素子分離領域により画定された第１の素子領域１２ｂと、第１の素子領域上に形成された第１のゲート電極２１ｂと、第１のゲート電極の第１の側における第１の素子領域に形成された第１のソース領域３２Ｓと、第１のゲート電極の第２の側における第１の素子領域に形成された第１のドレイン領域３２Ｄとを有する第１のトランジスタ３６と、第１のゲート電極の第１の側における素子分離領域上に、第１のゲート電極と並行するように形成された第１のパターン３８ａと、第１のソース領域に接続された第１の導体プラグ４４ｃとを有し、第１の導体プラグは、接地線及び電源線のうちの一方に電気的に接続されており、第１のパターンは、接地線及び電源線のうちの他方に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、半導体集積回路を備えた半導体装置および半導体集積回路の設計方法に関し、ＩＯ領域を有効に利用しつつパッケージの高さ寸法の増大を有効に抑えた接続を可能とする。
【解決手段】半導体基板の表面の第１の辺に沿って、第１のＩＯセルと、第２のＩＯセルとを交互に配置したＩＯ領域を有し、第１のＩＯセルは、第１の辺から所定の距離の位置に配置されたボンディングパッドを有し、第２のＩＯセルは、第１のＩＯセルのボンディングパッドより第１の辺から遠い位置にボンディングパッドを有し、かつ、第１のＩＯセルの少なくとも１つは、第１の辺から所定の距離の位置に配置された第１のボンディングパッドに加えて、第２のＩＯセルのボンディングパッドより第１の辺から遠い位置に、第２のボンディングパッドを有する第３のＩＯセルに置きかえられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、少ない工程で多層配線化を実現し、小面積で高機能な機能回路を有する配線基板及び半導体装置を提供する。またこのような高機能な機能回路を表示装置と同一基板上に一体形成した半導体装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、絶縁表面を有する基板上に、第１の配線と、第２の配線と、第３の配線と、第１の層間絶縁膜と第２の層間絶縁膜と、第１のコンタクトホールと第２のコンタクトホールを有し、前記第２の配線の幅を前記第１の配線の幅より広いか、あるいは前記第３の配線の幅を前記第１の配線の幅もしくは前記第２の配線の幅より広く、且つ前記第２のコンタクトホールの直径を前記第１のコンタクトホールの直径より大きく形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】製造コストを増大させずに、半導体集積回路の電源配線、接地配線の電圧降下を減少させる。
【解決手段】半導体チップ１上の第１の方向に延びる電源配線１２Ａが配置され、半導体チップ１上の第２の方向に延びると共に、第２の方向から第１の方向に屈曲し、電源配線１２Ａの一部と重畳する屈曲部２４Ａを有する電源引き出し配線２２Ａが配置されている。また、第１の方向に延びる接地配線１２Ｂが配置され、第２の方向に延びると共に、第２の方向から、第１の方向とは逆方向の第３の方向に屈曲し、接地配線１２Ｂの一部と重畳する屈曲部２４Ｂを有する接地引き出し配線２２Ｂが配置されている。電源引き出し配線２２Ａと接地引き出し配線２２Ｂを覆う第１の層間絶縁膜１３の中には、電源配線１２Ａと屈曲部２４Ａを接続する電源配線ビアコンタクト１４Ａと、接地配線１２Ｂと屈曲部２４Ｂを接続する接地配線ビアコンタクト１４Ｂが配置されている。 （もっと読む）

【課題】電源遮断がされる領域同士の場合であっても生じる、電源遮断移行時および復帰時の貫通電流の問題を解決しつつアイソレーション回路を不要とする半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置は、第１の電源線６０１と、第１のスイッチ６０５を介して第１の電源線に接続される第２の電源線１０１、および第２の電源線に接続されるマクロセルコア５０８を有するマクロセルと、第２のスイッチ６０３を介して第１の電源線に接続される第３の電源線６０２と、第３の電源線に接続され、マクロセルコアの入力または出力の少なくともいずれかに接続される回路ブロック５０１とを備え、第２の電源線と第３の電源線とが接続される。 （もっと読む）

【課題】電位ドロップに起因するセルの動作不良を防止すること。
【解決手段】本発明に係る半導体集積回路は、チップ１上に配置された電源パッド２ａと、電源配線構造１０を介して電源パッド２ａに接続された回路群２１，２２とを備える。その電源配線構造１０は、異なる配線層に形成され複数の交差点ＩＳ１，ＩＳ２においてオーバーラップする複数の第１電源配線１１及び複数の第２電源配線１２と、それら複数の第１電源配線１１と複数の第２電源配線１２を接続するビア１３とを有する。上記回路群は、第１領域Ｒ１に配置された機能ブロック２１を含む。ビア１３は、第１領域Ｒ１と電源パッド２ａの間の第２領域Ｒ２における複数の交差点ＩＳ２の一部に配置されていない。 （もっと読む）

【課題】配線及びビア間接続の信頼性を向上させた半導体装置を提供する。
【解決手段】実施形態に係る半導体装置は、半導体基板と、前記半導体基板上の異なる高さに配置され、配線が形成された複数の配線層と、前記配線層の積層方向に延びる柱状に形成され、異なる複数の前記配線層の配線間を電気的に接続するビアとを備え、前記配線の一部は、前記ビアの中間部において前記ビアに接触する中間配線であり、所定の前記配線層の中間配線及びその他の所定の前記配線層の中間配線は、それぞれ前記ビアを前記積層方向に直交する方向で貫通し、且つ、前記ビア内において相互に交差していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】内側のセル列と外側のセル列とでセルの形状が同じ場合において、内側のセル列におけるセルの配列ピッチを外側のセル列におけるセルの配列ピッチより大きくしなくても外側のセル列のセルに接続される配線のための領域を確保することができる。
【解決手段】半導体集積回路は、半導体チップの外周１１に沿って配置される複数の第１セル４０と、複数の第１セル４０の内側で外周１１に沿って配置される複数の第２セル４０とを具備する。複数の第１セル４０及び複数の第２セル４０は同一の長方形形状に形成される。複数の第１セル４０のそれぞれの長辺４ａは外周１１に平行である。複数の第２セル４０のそれぞれの長辺４ａは外周１１に垂直である。 （もっと読む）

【課題】銅ヒューズに起因する故障または特性悪化を抑制または防止できる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置は、半導体基板１と、銅ヒューズ４と、半導体基板１と銅ヒューズ４との間に配置された銅膜からなるシール膜７，８と、銅ヒューズ４よりも上の層に形成された銅以外の金属材料膜からなり、銅ヒューズ４の両端にそれぞれに接続された最上層配線５０１，５０２と、シール膜７，８に結合され、銅ヒューズ４の周囲を取り囲む筒状に形成された銅シールリング６とを含む。 （もっと読む）

【課題】２個のビアを用いた配線接続構造を、ホットスポットが生じにくい構造によって実現する。
【解決手段】第１配線層において第１方向に延びる第１配線１１と、第１配線層の上層または下層の配線層に形成された接続対象配線３０とを電気的に接続するために、第１および第２のビア２１，２２が設けられている。そして、第１配線１１の第２端部１１ｂから、第１方向と直交する第２方向に第３配線１３が延びており、さらに第３配線１３から、第１方向において第１配線１１と反対の向きに第４配線１４が延びている。すなわち、第１、第３、第４配線１１，１３，１４によってクランク状の配線が形成されている。そして、第３配線１３の配線幅Ｗ３は、第１配線１１における端部１１ａ，１１ｂ間の部分の配線幅Ｗ１以上である。 （もっと読む）

【課題】モジュール間の配線を自動的に削減する。
【解決手段】モジュール１１Ａ及び１１Ｂの間に接続された配線に関する情報を含む仮配置／仮配線情報３３に基づき、モジュール１１Ａ及び１１Ｂの間に接続された配線の本数を抽出し、抽出された配線の本数と、予め設定された、配線の本数に対する閾値を少なくとも含む閾値情報３４とを比較し、比較の結果、配線の本数が閾値を超えた場合に、モジュール１１Ａ及び１１Ｂのうち、送信側のモジュール１１Ａに、パラレル信号をシリアル信号に変換するパラレルシリアル変換回路１３を挿入するとともに、受信側のモジュール１１Ｂに、シリアル信号をパラレル信号に変換するシリアルパラレル変換回路１４を挿入し、モジュール１１Ａ及び１１Ｂの間の接続をパラレル接続からシリアル接続に変更する。 （もっと読む）

【課題】内部電源と、該内部電源に電源を供給する補償容量部を有する半導体装置では、コンデンサの容量値が配置場所で変化するため、容量値の見積もりが煩雑になるという問題を解決する。
【解決手段】内部電源と、該内部電源に電源を供給する補償容量部を有する半導体装置の補償容量部のレイアウト配置の際に、補償容量部を構成する領域に拡散層の矩形領域を配置する。また、該拡散層の矩形領域の各辺に対し、各辺の中心が直行する箇所に矩形開口部を設ける。また、該拡散層の矩形領域の中心線近傍に沿ってゲート電極を直行するように形成する。また、該拡散層の該矩形領域の四隅に上層の金属層と接続するためのコンタクトを形成する。また、該ゲート電極と該拡散層の矩形開口部の重なる箇所にゲート電極と上層の金属層を接続するコンタクトを形成する。また、該ゲート電極が直行する箇所で容量を形成する。また、補償容量の単位セルを構成する。 （もっと読む）

【課題】 配線と非配線とを分けて扱い、マクロ等にも半導体集積回路全体にも適用できるアンテナルールを用いるチャージアップダメージの検証方法等を提供できる。
【解決手段】 配線層毎のアンテナ比の上限値を、注目配線層の階層数と総配線層数とに基づいて設定する第１のステップＳ１０、半導体集積回路のレイアウトデータに基づいて、配線層毎に所与のゲートにチャージアップダメージを与えるノードの面積を演算し、下位の配線層に含まれる同一のノードの面積との積算値を求める第２のステップＳ２０、半導体集積回路のモジュール毎に、注目モジュールに含まれる所与のゲートにチャージアップダメージを与えるノードについて、注目モジュールの最上位配線層までの面積の積算値と所与のゲートの面積とに基づいてアンテナ比を求め、注目モジュールの最上位配線層におけるアンテナ比の上限値と比較する第３のステップＳ３０を含む。 （もっと読む）

【課題】短波長リソグラフィ装置において、広いフィールドサイズと高い解像力との両立が困難であった。
【解決手段】半導体集積回路１は、基板上の領域１１（第１の領域）に設けられた第１の配線と、基板上の領域１２（第２の領域）に設けられた第２の配線と、を備えている。領域１２は、領域１１を取り囲む領域である。第１の配線の配線幅の最小設計寸法は、第２の配線の配線幅の最小設計寸法よりも小さい。これにより、短波長リソグラフィにおいて充分な光強度を得ることが可能となる。 （もっと読む）