【課題】ヒューズ素子の仮想切断を可能にすると共に、高電圧又は大電流によるヒューズ溶断の際に、周辺回路を破損する確率も低減できる信頼性の高いトリミング回路を提供する。
【解決手段】ヒューズトリミングを行うための回路であって、トリミングヒューズと、
前記トリミングヒューズに接続されるトリミング用のパッド端子と、仮想切断時に制御信号を入力するテスト端子と、入力端子の一方が前記テスト端子に接続され他方が前記トリミングヒューズに接続され、入力された制御信号に応じた制御信号を出力する制御回路と、を有し、前記トリミングヒューズの切断により、前記制御回路の他方の入力端子がＧＮＤレベルへプルダウンする手段を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】修正前の特性値がその特性値の出現頻度分布における平均値±２×(標準偏差)の範囲に入る製造品に対するヒューズ溶断本数を少なくする。
【解決手段】素子アレイ１４には抵抗アレイを設け、特性値の分布の平均値を素子アレイ１４で得られる合成抵抗値の中央値に対応付け、トリミング情報生成回路１２における上記中央値より大きい合成抵抗値に対応するトリミング情報の配列を、１０進数で「１５」〜「８」の降順に、上記中央値以下の合成抵抗値に対応するトリミング情報の配列を、１０進数で「０」〜「７」の昇順に設定する。変換回路１３は、トリミング情報生成回路１２からのトリミング情報を変換して、素子アレイ１４の抵抗アレイから各合成抵抗値を得るためにオフする抵抗を選択する素子選択情報を生成する。こうして、上記分布における「平均値±２σ」の範囲内に対応付けられトリミング情報を生成する場合のヒューズ溶断数を大幅に削減する。 （もっと読む）

【課題】ビアヒューズ素子の径を小さくし、ビアヒューズ素子を低電流で溶断することが可能な半導体回路装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】一方向に配置された複数の配線層と、前記複数の配線層のうちの少なくとも２つの前記配線層の間に設けられたビアヒューズ素子と、前記複数の配線層の配置方向に直交する平面内において前記ビアヒューズ素子に隣接する穴と、前記穴内に設けられた貫通ビアとを備えた半導体回路装置。 （もっと読む）

【課題】ヒューズ素子の列数増に伴うトリミング時間の伸長を抑制する。
【解決手段】ｘ方向に延伸する接地配線Ｇと、接地配線のｙ方向の一方側に設けられたヒューズ素子領域Ａにｘ方向に沿って３列に並べて配置され、かつそれぞれの一端が接地配線Ｇに共通に接続される複数のヒューズ素子と、ヒューズ素子領域Ａを挟んで接地配線Ｇの反対側に設けられ、ヒューズ素子領域Ａに配置された複数のヒューズ素子それぞれの他端と接続される救済回路とを備え、上記複数のヒューズ素子は、それぞれ1つの欠陥選択線を示すアドレス情報を記憶する複数のヒューズ素子グループに所定個ずつグループ化され、同一のヒューズ素子グループに属する所定個のヒューズ素子は、同一列に配置されることを特徴とする （もっと読む）

【課題】十分な読み出しマージンを確保し、ヒューズ素子のデータ読み出しの際に誤判定を防止することができるヒューズ素子読み出し回路を提供することを課題とする。
【解決手段】切断済みと未切断とで抵抗値が異なる第１のヒューズ素子（１１５）と、通常モードと試験モードとで異なる抵抗値を有する第１の抵抗回路（７０１，７０２）と、前記第１のヒューズ素子の抵抗値及び前記第１の抵抗回路の抵抗値に応じた読み出し電圧を出力する読み出し電圧出力回路（１０１）とを有することを特徴とするヒューズ素子読み出し回路が提供される。 （もっと読む）

【課題】パッドが設けられた面の向きを変えても、パッドを基板に接続するボンディングワイヤが交差しない半導体装置を提供する。
【解決手段】複数のパッドを含む第１のパッド群と、第１のパッド群に平行に一列に配置された複数のパッドを含む第２のパッド群と、第１のパッド群を基準にして第２のパッド群とは反対側に設けられた複数のバッファ回路を含む第１のバッファ回路群と、第２のパッド群を基準にして第１のパッド群とは反対側に設けられた複数のバッファ回路を含む第２のバッファ回路群と、第１のパッド群の複数のパッドのそれぞれを第２のバッファ回路群の複数のバッファ回路のそれぞれに対応して接続する複数の第１の配線と、第２のパッド群の複数のパッドのそれぞれを第１のバッファ回路群の複数のバッファ回路のそれぞれに対応して接続する複数の第２の配線と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ＬＳＩ素子の性能劣化及びヒューズ素子の欠陥の増加を抑制できる半導体記憶素子及び半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】半導体記憶素子１００は、第１ヒューズ線１１１と、第１ヒューズ線１１１と並列接続された第２ヒューズ線１１２とを有し、切断されているか否かによって２値のデータを保持するヒューズ素子１１０と、一端がワード線１３０に接続されており、ヒューズ素子１１０に電流を流すか否かを選択する選択素子１２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】多層配線プロセスでＳＯＧエッチバックにて平坦化を行なうプロセスにて、ヒューズ開口部に起因する水分の浸入における長期信頼性の劣化を防止する半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ヒューズ開口部からの水分侵入を防ぐためのメタル１層目のガードリングの下部まで多結晶シリコンが伸びているヒューズ形状にする。これによりヒューズの電極をとるためのメタル配線とガードリングのメタル配線の高さがそろい、ＳＯＧ層がＩＣ内部に到達することを防ぐことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】半導体チップのチップ面積の削減を図るとともに、半導体チップへの入力を記憶させる時間を短縮する。
【解決手段】本発明の半導体ウエハ１は、チップ領域１０に形成され、絶縁膜を有し、電圧の印加による絶縁膜の絶縁破壊により導通状態となる複数のアンチヒューズ１４を有するアンチヒューズ回路１２と、チップ領域１０を区画するダイシング領域２０に複数のアンチヒューズ１４の各々に対応して形成され、配線を有し、レーザー照射による配線の切断により非導通状態となる複数のレーザーヒューズ２４を有するレーザーヒューズ回路２２と、複数のアンチヒューズ１４のうち、半導体チップへの入力に応じて非導通状態とされたレーザーヒューズ２２に対応するアンチヒューズ１４の有する絶縁膜に、電源からの電圧を印加させて、そのアンチヒューズ１４を導通状態とする制御回路１３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】抵抗体とヒューズ素子が並列に接続された半導体装置において、ヒューズ素子切断時に抵抗体への損傷がなく、抵抗体とヒューズ素子とを積層すること。
【解決手段】半導体基板上に第１の絶縁膜を介して形成された抵抗体を設け、抵抗体の上に第２の絶縁膜を介して形成された遮光層を設け、遮光層の上に第３の絶縁膜を介して形成されたヒューズ素子のヒューズ部を有し、抵抗体と遮光層とヒューズ部を重畳した半導体装置とする。 （もっと読む）

【課題】ヒューズ開口部からの水分侵入による電特異常及び配線腐食を防止する半導体装置を提供する。
【解決手段】ヒューズ配線４の下方には凸領域となるＴＥＯＳ膜１４の下敷きがあり、ヒューズ配線４はＴＥＯＳ膜１４を跨ぐように設けられ、ヒューズ配線４の上方にはＴＥＯＳ膜１４よりも小さい領域のヒューズ開口部１３が設けられる。さらに、ＴＥＯＳ膜１４の無い領域にてヒューズ配線１４の両端に設けられたヒューズ端子１５には第１金属配線７が電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】ヒューズ開口部からの水分侵入による電特異常及び配線腐食を防止する半導体装置を提供する。
【解決手段】シリコン基板１上に絶縁膜２とゲート酸化膜３を設け、ゲート酸化膜２上の一部にヒューズ配線４の両端にヒューズ端子１５を有するヒューズを設ける。ヒューズを構成するヒューズ配線４の上方には酸化膜５を介して窒化膜１４が形成された凸領域があり、ヒューズ端子１５は第１金属配線７と電気的に接続している。 （もっと読む）

【課題】過電流に対して内部回路を保護する半導体集積回路装置を提供することを目的としている。
【解決手段】多層配線構造を有する半導体集積回路装置であって、半導体集積回路装置の内部にある内部回路と半導体集積回路装置の外部にある外部回路とを接続するために半導体集積回路装置の内部に設けられたパッドパターンにおいて、第１の配線層と、第１の配線層が形成されている層とは別の層に形成されている第２の配線層と、第１の配線層と第２の配線層を接続するビアと、を備え、第２の配線層にヒューズパターンが形成されており、ヒューズパターンを経由して内部回路と外部回路とを電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】トリミングや冗長に用いられるヒューズを有する半導体装置に関し、安定且つ確実に溶断しうるヒューズを有する半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板上に、第１の絶縁膜を形成し、第１の絶縁膜上に、ヒューズを形成し、ヒューズが形成された半導体基板上に、第１の絶縁膜に接して第２の絶縁膜を形成し、ヒューズ上の第２の絶縁膜に、開口部を形成し、第２の絶縁膜上及び開口部内に第３の絶縁膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】格納された鍵の値の推測を困難にすることができる、鍵格納回路、半導体集積回路、及びシステムを提供する。
【解決手段】ＬＳＩ１０に搭載された鍵格納ブロック２０は、ｋ個のヒューズメモリセル３０を有するヒューズブロック２２と、鍵生成回路２４と、を備えており、ヒューズブロック２２からは予め実装されているビット長ｋの固定出力値ｆｏｕｔ［ｋ−１：０］が出力される。鍵生成回路２４は、レジスタ及び復号器を含んで構成されており、復号器は、演算処理により、固定出力値ｆｏｕｔ［ｋ−１：０］と、レジスタの出力値と、からビット長ｎ（ｎ＞ｋ）の鍵ｋｅｙ［ｎ−１：０］を生成して出力する。 （もっと読む）

【課題】過電圧がＬＳＩの電源端子に印加されたことを確認できるようにする。
【解決手段】半導体集積回路装置（１０）は、内部回路（１１）と、上記内部回路に電源電圧を供給するための電源端子（１５，１６）とを含む。このとき、上記内部回路の電源電圧として想定されるレベルを越える電圧（過電圧）が上記電源端子に印加された事実を記録するための過電圧印加情報記録回路（１２）を設ける。過電圧印加情報記録回路には、過電圧が上記電源端子に印加された事実が記録されているため、それに基づいて、過電圧がＬＳＩの電源端子に印加されたことを確認することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体ダイ上に相互接続部又はボンドパッドなどのフィーチャ構造を電気めっきする方法を提供する。
【解決手段】方法は半導体基板の上方に複数のヒューズ（２０８）を形成する工程と、半導体基板の上方の複数の相互接続層（４００〜４０８）と、該複数の相互接続層の上面の複数の相互接続パッド（５０２）とを形成する工程と、を含む。シールリング（２０２）が、半導体基板（３０２）と、前記複数の相互接続パッド（５０２）と、前記複数のヒューズ（２０８，３２０）とに形成された能動回路を包囲する。各ヒューズ（２０８，３２０）は、対応する相互接続パッド（５０２）とシールリング（２０２）とに電気的に接続される。各ヒューズ（２０８）が導通状態にあるとき、該ヒューズは対応する相互接続パッド（５０２）をシールリング（２０２）に電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】トリミングヒューズの上の絶縁膜が、トリミングヒューズの機能を高めるために適正な状態を維持することが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】表面を有する絶縁膜ＩＩＩ上のヒューズ配線Ｆ１と、ヒューズ配線Ｆ１上の層間絶縁層ＩＩ１，ＩＩ２，ＰＩと、層間絶縁層ＩＩ１，ＩＩ２，ＰＩの内部に位置する、ヒューズ配線Ｆ１と平面視において重ならない領域に形成された電極部ＰＤとを備える。上記ヒューズ配線Ｆ１の真上のうち少なくとも一部の第１の領域において、層間絶縁層ＩＩ１，ＩＩ２，ＰＩの厚みが、第１の領域以外の第２の領域における層間絶縁層ＩＩ１，ＩＩ２，ＰＩの厚みより薄くなるようにトリミング開口部ＬＴＣが形成される。トリミング開口部ＬＴＣの内側において側壁および底面の少なくとも一部を覆うアルミニウム薄膜部ＳＡＬを備える。アルミニウム薄膜部ＳＡＬは、側壁の少なくとも一部から、底面より上側において上記表面に沿う方向に連なる。 （もっと読む）

【課題】ヒューズ開口部の端部に必ず切断すべきヒューズを配設することにより、レーザー照射後のその切断／未切断をもって、端部のポリイミド膜の膜厚の良否を容易に判定する。
【解決手段】ヒューズ回路は、ヒューズ開口部ＦＡの、ポリイミド膜の厚さが不本意に厚く残りやすい端部に配設された２つの切断確認用ヒューズ１ａ，１ｂと、ポリイミド膜の厚さ変動が端部に比べ少ない領域ＲＡに配設された複数の実使用ヒューズ７ａ〜７ｄと、２つの切断確認用ヒューズ１ａ，１ｂからの信号を入力して当該ヒューズ１ａ，１ｂが確実に切断されているかを判定するヒューズ未切断判定回路２と、を備えている。なお、ヒューズ未切断判定回路２は、更にテストモード信号を入力すると共に、出力回路（例えばＤＱ回路）に判定結果を出力している。 （もっと読む）

【課題】回路規模が増大化する。
【解決手段】抵抗値が順に小さい値となって直列接続される複数のヒューズを備えるヒューズ部と、前記ヒューズ部の複数のヒューズのそれぞれ一端と、第１の電源電圧との間に接続される複数の選択スイッチと、前記第１の電源電圧から所定の電位差を有するヒューズ溶断用電圧を、前記ヒューズ部の最も小さい抵抗値のヒューズ側に出力するヒューズ溶融電圧出力回路と、ヒューズ溶断時に、前記ヒューズ溶融電圧出力回路が前記ヒューズ溶断用電圧を出力し、前記ヒューズ部の最も大きい抵抗値のヒューズに接続される選択スイッチから最も小さい抵抗値のヒューズに接続される選択スイッチまでを順に導通させる制御回路と、を備える半導体装置。 （もっと読む）