【課題】現在、半導体集積回路で使用されているバイポーラトランジスタとＭＯＳトランジスタは最初に発明された時よりその構造は変わっておりません。構造と原理を根本的に見直し、高速化・低消費電力化・微細化を進展させる。
【解決手段】サブミクロンスケールの微細加工技術を用い、新しい原理と構造のトランジスタによる半導体集積回路を形成する。 （もっと読む）

【課題】半導体基板内に縦型のスイッチング素子群が設けられている半導体装置において、スイッチング素子領域内の局所的な温度上昇を抑制する。
【解決手段】半導体装置１００の半導体基板内に、縦型のスイッチング素子群が設けられているスイッチング素子領域５０を備えている。スイッチング素子領域５０は、第１領域５１と第２領域５２を有している。第１領域５１には、バイポーラ構造の第１スイッチング素子群が設けられている。第２領域５２には、ユニポーラ構造の第２スイッチング素子群が設けられている。第２スイッチング素子群は、第１スイッチング素子群の間に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 ＣＭＯＳデバイスのプロセスで、副産物的に作成できる縦型ＰＮＰトランジスタ等のバイポーラトランジスタに有効利用する。
【解決手段】 Ｎ―ＭＯＳトランジスタは、Ｐ型ウエル３２−１にドレイン領域３７、ソース領域３８、及びチャネルストッパー３９として形成される。Ｐ−ＭＯＳトランジスタは、半導体基板３１−１の表面に、ドレイン領域４０、ソース領域４１、及びチャネルストッパー４２として形成される。チャネルストッパー４２と同時に、すなわち同じ工程で、ｐ型ウェル３２−２にはバイポーラトランジスタを形成するベース領域４３が形成される。また、Ｐ−ＭＯＳトランジスタのドレイン／ソース領域４０，４１と同時に、バイポーラトランジスタのエミッタ領域４９及びコレクタ領域の電極取り出し部４８が形成される。 （もっと読む）

【課題】制御電極層のない素子のレイアウトサイズを増加させることなく、ＣＭＰによる平坦化での過研磨を防ぐことができる半導体装置を提供すること。
【解決手段】半導体基板上に配されるとともに拡散層で構成された拡散層抵抗７と、拡散層抵抗７の外周を囲むように配されるとともに拡散層で構成されたＰウェルコンタクト６と、Ｐウェルコンタクト６の外周を囲むように配されるとともに拡散層で構成されたＮウェルコンタクト４と、を備えた抵抗セルを有する半導体装置であって、Ｐウェルコンタクト６及びＮウェルコンタクト４は、それぞれ複数に分断されており、隣り合うＰウェルコンタクト６間の領域に制御電極層９ｂが配されてＰウェルコンタクト６と制御電極層９ｂが交互に配置され、隣り合うＮウェルコンタクト４間の領域に制御電極層９ａが配されてＮウェルコンタクト４と制御電極層９ａが交互に配置されている。 （もっと読む）

【課題】結晶薄膜の膜質および膜厚を均一にする。
【解決手段】半導体デバイスを形成するためのデバイス用薄膜と、デバイス用薄膜を囲み、デバイス用薄膜の前駆体が結晶に成長することを阻害する阻害部と、前駆体が結晶に犠牲成長することによって形成された犠牲成長部であって、デバイス用薄膜の周辺に阻害部で隔てられて設けられた犠牲成長部と、犠牲成長部の上部を覆い、かつデバイス用薄膜の上部を露出する保護膜を備えた。保護膜はポリイミドであってもよい。 （もっと読む）

【解決手段】ベースコンタクト接続部（１２）、エミッタ部（４、５）及びコレクタ部がｎ層（３）上に配置され、当該ｎ層は、更なるｎｐｎバイポーラトランジスタために用いることができる。当該コレクタ部はエミッタ部に対して側方に配置され、当該エミッタ部及びコレクタ部の少なくとも一方は、当該ｎ層の表面領域上でショットキーコンタクト（１４）を備える。 （もっと読む）

【課題】複合高電圧素子工程を用いたポリエミッタ型バイポーラトランジスタ及びその製造方法、ＢＣＤ（複合高圧）素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】実施の形態に係るポリエミッタ型バイポーラトランジスタは、半導体基板１００の上側の一部に形成された埋込層１１０と、上記半導体基板の上に形成されたエピ層１２０と、上記エピ層に形成され、上記埋込層と連結されるコレクタ領域１３０と、上記エピ層の上側の一部に形成されたベース領域１４０と、上記ベース領域の基板の表面に形成され、ポリシリコン材質からなるポリエミッタ領域１７０と、を含む。実施の形態に係るＢＣＤ素子は、ポリシリコン材質からなるポリエミッタ領域を含むポリエミッタ型バイポーラトランジスタを含み、上記バイポーラトランジスタと同一な単一ウエハ上に形成されたＣＭＯＳとＤＭＯＳのうちの１つ以上のＭＯＳを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、発光素子アレイの構造を利用して信号線の引き回しの複雑化を軽減した発光素子チップを提供する。
【解決手段】発光素子チップ５１ａは、ＧａＡｓ系の半導体で構成され、基板２００上に形成されたｐｎｐｎ構造からなる、発光部１２０の発光サイリスタ４０１と、設定部１３０の転送サイリスタ４０２と、制御部１４０の論理演算素子４０３とを備え、基板２００上にｐ型の第１半導体層２０１とｎ型の第２半導体層２０２と、ｐ型の第３半導体層２０３と、ｎ型の第４半導体層２０４とを積層し、その後、予め定められた箇所をエッチングして形成される。 （もっと読む）

【課題】３−５集積回路とシリコン集積回路とは別々の集積回路上に設けられてきた。３−５集積回路とシリコン集積回路等の相違する基板を必要とする複数の回路を１つの集積回路において組み合わせることを可能にするハイブリッド基板回路を提供すること。
【解決手段】ハイブリッド基板回路は、第１半導体材料の第１領域と、埋め込み酸化層および埋め込み酸化層の上方の第２半導体材料を含んでいる第２領域と、第１半導体材料内に形成された第１回路と、第２半導体材料内に形成された第２回路と、第１回路と第２回路との間のシャロー・トレンチ・アイソレーション領域１０３と、を含んでいる。第１半導体材料はシリコンを含み、第２半導体材料はシリコンを含んでいない。第１回路はＣＭＯＳ回路１０１であり、第２回路は高電子移動度トランジスタ回路１０２である。 （もっと読む）

【課題】同一の半導体基板上に数種類のトランジスタを簡易なプロセスによって形成する半導体装置の製造方法の提供。
【解決手段】ＬＤＭＯＳ領域１００とオフセットドレインＭＯＳ領域２００とに、同時に、第２導電型の第１ウェル３０を形成する工程と、ＬＤＭＯＳ領域１００の第１ウェル３０と、ＣＭＯＳ領域１００とに、同時に、第１導電型の第２ウェル３２を形成する工程と、ＣＭＯＳ領域３００に、第２導電型の第２ウェル３４を形成する工程と、オフセットドレインＭＯＳ領域２００に第１導電型のオフセット層２２を形成する工程とを含み、第１ウェル３０は、第２ウェル３２，３４よりも深いウェルであり、第２ウェル３２，３４は、高エネルギーイオン注入法によって形成されたレトログレードウェルである、半導体装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】同一基板上に形成された縦型ＰＮＰトランジスタとＮＰＮトランジスタの両方の特性向上が図られた半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置はＰＮＰトランジスタ５０を備えている。ＰＮＰトランジスタ５０は、第１のＰ型コレクタ領域３ｂと、第１のＰ型コレクタ領域３ｂの底面を覆い、第１のＰ型コレクタ領域３ｂの不純物濃度のピークよりも深い位置に不純物濃度のピークを有する第１のＮ型埋め込み領域２と、第１のＰ型コレクタ領域３ｂ上に形成された第２のＰ型コレクタ領域５ｂとを備えている。第１のＰ型コレクタ領域３ｂの側面もＮ型領域に囲まれている。このため、ＰＮＰトランジスタ５０におけるパンチスルーの発生が抑えられるとともに、コレクタ領域内のキャリア通過経路を短くしてコレクタ抵抗の低減を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】 接合型ＦＥＴを簡単な製造工程で形成しながら、そのｐチャネル接合型ＦＥＴと同じ工程で形成することができｐｎ接合を含む保護素子とを内蔵する半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 ｐチャネルＦＥＴと保護素子とを有し、化合物半導体からなる半導体装置の製造方法で、基板１上にｎ型チャネル層２とｎ⁺型コンタクト層３と、ｎ型半導体層５と、ｐ型チャネル層７とｐ⁺型コンタクト層８とを積層することにより半導体積層部１０を形成し、その半導体積層部１０の一部をエッチングにより除去してｎ⁺型コンタクト層３を露出させ、露出したｎ⁺型コンタクト層３の表面に接合型ｐチャネルＦＥＴ２２のゲート電極１３を形成し、半導体積層部１０の一部で保護素子２３を形成する。 （もっと読む）

【課題】絶縁ゲートバイポーラトランジスタのスイッチング特性および低オン抵抗を維持しつつ耐圧特性を改善しかつ占有面積を低減する。
【解決手段】絶縁ゲートバイポーラトランジスタ（ＩＧＢＴ：２）のターンオフ時のホール流入を抑制するＰチャネルＭＯＳトランジスタ（ＰＱ）のゲート電極ノード（６）に対し、ＩＧＢＴのオフ状態時においてゲート絶縁膜に印加される電圧を緩和する電圧緩和素子（１）を設ける。 （もっと読む）

寄生ＮＰＮなしでバルクシリコンからの電流フローを許容する、非常に短いチャネルを有するハイブリッドパワー電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）装置。装置は、ＪＦＥＴコンポーネント、ＪＦＥＴコンポーネントに近接して配置された第１の蓄積型ＭＯＳＦＥＴ、およびトレンチ端の底部のＪＦＥＴコンポーネントに近接して配置された第２の蓄積型ＭＯＳＦＥＴまたはソースに接続する絶縁ゲートを有するＭＯＳＦＥＴを含む。 （もっと読む）

【課題】ドレイン電極をソース電極に対して負バイアスすることがあっても、半導体集積回路においてラッチアップが発生することを防止できるエネルギー伝達装置、及び該エネルギー伝達装置を実現可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】第１の半導体基板に形成された半導体装置２４と、第２の半導体基板の表面に形成された第２導電型の逆電流防止層、及び第２の半導体基板中に形成され逆電流防止層を覆う第１導電型のウェル層を含む逆電流防止ダイオード４１を備えた半導体集積回路４８と、直流電圧源５２と、変圧器６０とを備え、変圧器６０は、半導体装置２４及び直流電圧源５２と直列に接続される一次巻線５３と、負荷と接続される第１二次巻線５４とを含み、変圧器６０の第１二次巻線５４から負荷へ電力が供給されるように構成されている。半導体装置２４の第２ドレイン電極（ＴＡＰ電極）は、半導体集積回路４８の逆電流防止層と電気的に接続している。 （もっと読む）

【課題】部品点数の削減及び実装面積を小さくすることができる半導体装置及び半導体集積装置を提供する。
【解決手段】トランジスタＱ１に形成されたコレクタ電極は、リードフレームによりコレクタ端子Ｔｃに直接接続してあり、エミッタ電極は、ボンディングワイヤによりエミッタ端子Ｔｅに直接接続してある。また、トランジスタＱ１のベース電極には、抵抗素子Ｒ１を介して接続された第１ベース端子Ｔｂ１と、ベース電極に直接接続した第２ベース端子Ｔｂ２とを備えている。また、トランジスタＱ１のベース電極とエミッタ電極との間には抵抗素子Ｒ２を接続してある。トランジスタ装置１０は、外部との接続用の端子を４つ備える４端子構造を有する。 （もっと読む）

【課題】バイポーラトランジスタの特性が劣化するのを抑制することが可能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】この半導体装置１００の製造方法は、シリコン基板１１の領域Ａ上にプレーナ型のバイポーラトランジスタ１を形成する工程と、プレーナ型バイポーラトランジスタ１が形成される領域を覆うようにシリコン窒化膜からなるカバー膜３２ａを形成する工程と、その後、プレーナ型のバイポーラトランジスタ１が形成される領域Ａがカバー膜３２ａに覆われた状態で、バイポーラトランジスタ１が形成される領域にイオン注入する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高周波帯域で動作する半導体装置の特性向上と製造コストの低減とを両立した半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】同一の半絶縁性ＧａＡｓ基板１上に積層された複数の半導体層を用いて複数の半導体素子が形成された半導体装置１００であって、ＦＥＴ領域２３を用いて形成されたＦＥＴと、ＦＥＴ領域２３と隣接するＨＢＴ領域２２を用いて形成されたＨＢＴと、ＦＥＴ領域２３とＨＢＴ領域２２との間である素子分離領域２４に設けられ、ＦＥＴ領域２３とＨＢＴ領域２２とを分離する分離溝２５とを備え、分離溝２５は、内壁面と該内壁面の端部とに接地電位を有する導電性金属層が形成されることにより、素子分離領域２４を通過する素子間リーク電流を抑制する。 （もっと読む）

【課題】シリサイド化の工程をＭＯＳトランジスタ及びＨＢＴと別けることなく、抵抗値のばらつきが小さいヒューズ素子を形成する半導体装置の製造方法を実現できるようにする。
【解決手段】半導体装置の製造方法は、ＭＯＳトランジスタ形成領域１１Ｂにゲート電極２２及びソースドレイン領域２５を形成する工程と、ＭＯＳトランジスタ形成領域１１Ｂを除いて、半導体基板１１の上にシリコン及びシリコン以外のIV族元素を含む混晶膜と、シリコン膜とが順次積層された積層膜３１Ａ、３１Ｂを形成する工程と、シリコン膜３０Ｂの露出部分、ゲート電極２２の上部及びソースドレイン領域２５の上部をシリサイド化する工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ＥＣＭのインピーダンス変換および増幅を行うために、増幅集積回路素子や、Ｊ−ＦＥＴが用いられている。増幅集積回路素子は、回路定数によりゲイン（Ｇａｉｎ：利得）を適宜選択でき、一般的にはＪ−ＦＥＴを用いた場合と比較してゲインが高い利点があるが、回路構成が複雑でありコストも高い問題がある。一方、Ｊ−ＦＥＴのみでは出力が十分に増幅されず、ゲインが低い問題がある。
【解決手段】Ｊ−ＦＥＴとバイポーラトランジスタを１チップに集積化し、Ｊ−ＦＥＴのソース領域とバイポーラトランジスタのベース領域を接続し、Ｊ−ＦＥＴのドレイン領域とバイポーラトランジスタのコレクタ領域を接続したディスクリート素子を提供する。これにより、高入力インピーダンスで低出力インピーダンスのＥＣＭ用増幅素子を実現できる。 （もっと読む）