【課題】異なる直流電流増幅率（ｈｆｅ）を有する複数のバイポーラトランジスタを混載した半導体装置を、簡易且つ工程数が少なく得られる半導体装置の製造方法を提供すこと。
【解決手段】第２バイポーラトランジスタ２０のエミッタ領域２５又はその周囲上であって、当該エミッタ領域２５におけるコンタクト領域２５Ａの周辺上にダミー層５２を形成することで、その後、層間絶縁層５３の厚みを厚層化することができるため、第２バイポーラトランジスタ２０のエミッタ領域２５では第１バイポーラトランジスタ１０のエミッタ領域１５に比べコンタクト深さを浅くしてコンタクトホール５４が形成される。これにより、第１バイポーラトランジスタ１０と第２バイポーラトランジスタ２０との直流電流増幅率（ｈｆｅ）を変更できる。ダミー層５２の形成は第２バイポーラトランジスタ２０のベース領域２６、コレクタ領域２７であってもよい。 （もっと読む）

【課題】抵抗素子を有する半導体装置に関し、印加電圧により抵抗値にバラツ
キが生じない半導体装置を提供することを目的とする。
【解決手段】半導体基板（２）上にバイポーラ素子とともに抵抗素子を形成さ
れる半導体装置（１００）において、抵抗素子は、半導体基板（２）上に形成さ
れ、半導体基板（２）を絶縁する絶縁層（１０１）と、絶縁層（１０１）上に形
成され、抵抗を形成する抵抗層（１０２）とを設ける。 （もっと読む）

【課題】回路面積を増加させることなく、動作状態のトランジスタからの発熱を抑制することによって、小型化及び低コスト化を図ることができる高周波増幅器を提供する。
【解決手段】複数の単位トランジスタ３が並列に接続されたトランジスタ列からなり、高周波を増幅する増幅素子と、トランジスタ列の隣り合った単位トランジスタ３のフィンガ間にそれぞれ形成された出力整合回路の回路素子２とを備える。 （もっと読む）

【課題】表面が（１１１）面以外であるシリコン層と、表面が（０００１）面である窒化物半導体層とを基板に設け、かつシリコンと窒化物半導体の線膨張係数の違いに起因した応力を小さくする。
【解決手段】まずＳＯＩ（Silicon On Insulator）基板を準備する。ＳＯＩ基板は、表面が（１１１）面であるシリコン基板１００上に絶縁層１２０及びシリコン層２００を積層した基板である。シリコン層２００は、表面が（１１１）面以外の面方位である。次いで、絶縁層１２０及びシリコン層２００に、底面にシリコン基板１００が露出している開口部２０１を形成する。次いで、開口部２０１内にＩＩＩ族の窒化物半導体層３００を形成する。 （もっと読む）

【課題】 バイポーラ・トランジスタ構造体、バイポーラ・トランジスタを設計し製造する方法、及びバイポーラ・トランジスタを有する回路を設計する方法を提供する。
【解決手段】 バイポーラ・トランジスタを設計する方法は、バイポーラ・トランジスタの初期設計を選択するステップ（図２５の２４０）と、バイポーラ・トランジスタの初期設計をスケーリングしてバイポーラ・トランジスタの縮小設計を生成するステップ（２４５）と、バイポーラ・トランジスタの縮小設計の応力補償が必要かどうかを、スケーリング後のバイポーラ・トランジスタのエミッタの寸法に基づいて判断するステップ（２５０）と、バイポーラ・トランジスタの縮小設計の応力補償が必要な場合に、縮小設計のトレンチ分離レイアウト・レベルのレイアウトを、縮小設計のエミッタ・レイアウト・レベルのレイアウトに対して調節して（２５５）バイポーラ・トランジスタの応力補償縮小設計を生成するステップ（２６０）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】同一基板に形成されるＨＢＴとＦＥＴとの相互影響を低減する。
【解決手段】第１半導体と、第１半導体の上方に形成された第２半導体とを備え、第２半導体は、Ｐ型の伝導型を示す不純物またはＮ型の伝導型を示す第１不純物原子と、第２半導体が第１不純物原子を有する場合のフェルミ準位を、第２半導体が第１不純物原子を有しない場合のフェルミ準位に近づける第２不純物原子とを有する半導体基板を提供する。一例として、当該第２半導体の多数キャリアは電子であり、第２不純物原子は、第１不純物原子を有する第２半導体のフェルミ準位を下降させる。第２半導体は３−５族化合物半導体であり、第２不純物原子が、ベリリウム、ボロン、炭素、マグネシウム、および亜鉛からなる群から選択された少なくとも１つであってもよい。 （もっと読む）

【課題】ＥＣＭのインピーダンス変換および増幅に、Ｊ−ＦＥＴを入力としバイポーラトランジスタを出力とする増幅素子に、バックゲート構造のＪ−ＦＥＴを用いると、バックゲート−半導体基板間の容量が、増幅素子の入出力間の寄生容量（ミラー容量）となり、増幅素子の入力ロスが増大する問題に対し有効な半導体装置を提供する。
【解決手段】接地されたｐ型半導体基板11にｐ型半導体層12を積層し、ｐ型半導体層12にｎ型チャネル領域22を有するＪ−ＦＥＴと、ｎ型コレクタ領域33ｂを有するバイポーラトランジスタを設けた増幅素子とする。これにより、増幅素子の入出力間の寄生容量が発生しなくなるため、ミラー容量による入力ロスの増大を防止できる。また、Ｊ−ＦＥＴのチャネル領域は、エミツタ拡散31と同時に形成できるため、ＩＤＳＳＳや、ピンチオフ電圧が安定し、増幅素子としての消費電流のばらつきが低減し、生産性が向上する。 （もっと読む）

半導体スイッチング素子は、ワイドバンドギャップパワートランジスタと、前記パワートランジスタと並列に接続されたワイドバンドギャップサージ電流トランジスタと、前記サージ電流トランジスタを駆動するように構成された駆動トランジスタを含む。前記半導体スイッチング素子の、オン状態での出力電流のほぼすべては、前記パワートランジスタのドレイン−ソース電圧が第一の電圧範囲内にあるときには、前記パワートランジスタのチャネルを通って流れる。当該第一の電圧範囲は、例えば、通常動作中に期待されるドレイン−ソース電圧に対応し得る。その一方で、前記半導体スイッチング素子は、さらに、オン状態で、前記パワートランジスタのドレイン−ソース電圧が第二の（より高い）電圧範囲内にあるときには、出力電流が、前記サージ電流トランジスタ、および前記パワートランジスタのチャネルの両方を通って流れるように構成される。 （もっと読む）

【課題】高周波帯域で動作する半導体装置の特性の低下を抑制しつつ、製造コストを低減できる半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る半導体装置１００は、電界効果型トランジスタと、ヘテロ接合バイポーラトランジスタと、ヘテロ接合バイポーラトランジスタのＧａＡｓベース層７を用いて形成されたベースエピ抵抗素子２８と、電界効果型トランジスタのＩｎＧａＡｓチャネル層４を用いて形成された配線部２６と、配線部２６とベースエピ抵抗素子２８とを絶縁する高抵抗化領域２７と、配線部２６の水平方向の周囲を囲う絶縁性の素子分離領域２４とを含む。また、ベースエピ抵抗素子２８は、半絶縁性ＧａＡｓ基板１の主面に垂直な方向から見て、配線部２６と交差しているベースエピ抵抗素子領域２９を有する。 （もっと読む）

【課題】単一半導体基板上にＨＢＴおよびＦＥＴのような異なる種類の複数デバイスを形成するに適した化合物半導体基板を提供する。
【解決手段】第１半導体１１０と、第１半導体上に形成された、電子捕獲中心または正孔捕獲中心を有するキャリアトラップ層１３０と、キャリアトラップ層上にエピタキシャル成長され、自由電子または自由正孔が移動するチャネルとして機能する第２半導体１４４と、第２半導体上にエピタキシャル成長したＮ型半導体／Ｐ型半導体／Ｎ型半導体で表される積層体、または前記第２半導体上にエピタキシャル成長したＰ型半導体／Ｎ型半導体／Ｐ型半導体で表される積層体を含む第３半導体１６０とを備える半導体基板。 （もっと読む）

【課題】安価なＳｉ基板に化合物半導体の結晶薄膜を形成する。
【解決手段】ベース基板と、絶縁層と、Ｓｉ_ｘＧｅ_１−ｘ結晶層（０≦ｘ＜１）とをこの順に有する半導体基板であって、Ｓｉ_ｘＧｅ_１−ｘ結晶層（０≦ｘ＜１）は少なくとも一部の領域がアニールされており、少なくとも一部の領域でＳｉ_ｘＧｅ_１−ｘ結晶層（０≦ｘ＜１）に格子整合または擬格子整合している化合物半導体を備える半導体基板を提供する。また、サブストレートと、サブストレート上に設けられた絶縁層と、絶縁層上に設けられて少なくとも一部の領域がアニールされたＳｉ_ｘＧｅ_１−ｘ結晶層（０≦ｘ＜１）と、少なくとも一部の領域でＳｉ_ｘＧｅ_１−ｘ結晶層（０≦ｘ＜１）に格子整合または擬格子整合している化合物半導体と、化合物半導体を用いて形成された半導体デバイスとを備える電子デバイスを提供する。 （もっと読む）

【課題】モジュール化された、相互作用しないやり方で、単一の半導体ウェハにともに接近して実装され、十分に分離された、最適化されたトランジスタまたは他のデバイスの任意の集合の作製を可能にする。
【解決手段】
一群の半導体デバイスが、エピタキシャル層を含まない基板に形成される。一実施例では、この一群は、５ＶのＣＭＯＳペア、１２ＶのＣＭＯＳペア、５ＶのＮＰＮ、５ＶのＰＮＰ、いくつかの形状の横型トレンチＭＯＳＦＥＴ、および３０Ｖ横型Ｎ−チャネルＤＭＯＳを含む。これらのデバイスの各々は、横方向かつ縦方向の双方において極めて小型であり、基板の他のすべてのデバイスから十分に分離され得る。 （もっと読む）

【課題】安価なＳｉ基板に化合物半導体の結晶薄膜を形成する。
【解決手段】ベース基板と、絶縁層と、Ｓｉ結晶層とをこの順に有する半導体基板であって、Ｓｉ結晶層上に設けられてアニールされたシード結晶と、シード結晶に格子整合または擬格子整合している化合物半導体とを備える半導体基板を提供する。また、サブストレートと、サブストレート上に設けられた絶縁層と、絶縁層上に設けられたＳｉ結晶層と、Ｓｉ結晶層上に設けられてアニールされたシード結晶と、シード結晶に格子整合または擬格子整合している化合物半導体と、化合物半導体を用いて形成された半導体デバイスとを備える電子デバイスを提供する。 （もっと読む）

【課題】バイポーラトランジスタの高速化に伴うMOSトランジスタの分離特性の低下を抑制する半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置１０００ａは、第一導電型のバイポーラトランジスタ１００及びMOSトランジスタ２００を備え、MOSトランジスタ２００は、第二導電型の半導体基板１と半導体基板１上に形成された第一導電型のエピタキシャル層２との界面付近に形成された、半導体基板１上面から第一の深さに不純物濃度のピークを持つ第一導電型埋込層１６と、第一導電型埋込層１６上に形成された第二導電型埋込層１７及びウェル層１８と、第二導電型ウェル層１８に形成された第一導電型のソース層１９及びドレイン層２０と、第一の深さより浅い第二の深さに不純物濃度のピークを持つ第一導電型埋込層２７とを有し、第一導電型埋込層２７は、第一導電型埋込層１６と接し、かつ、第二導電型埋込層１７の外縁部を囲むように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 半導体構成体がバイポーラトランジスタ（１０１）及び間隔構成体（２６５−１又は２６５−２）を包含している。
【解決手段】 該トランジスタはエミッタ（２４１）、ベース（２４３）、コレクタ（２４５）を有している。該ベースはベースコンタクト部分（２４３−１）、該エミッタの下側で且つ該コレクタの物質上方に位置されているイントリンシックベース部分（２４３Ｉ−１）、該イントリンシックベース部分とベースコンタクト部分との間に延在しているベースリンク部分（２４３Ｌ−１）を包含している。該間隔構成体は、間隔コンポーネント及び上部半導体表面に沿って延在する分離用誘電体層（２６７−１又は２６７−２）を包含している。該間隔コンポーネントは、該ベースリンク部分の上方で該誘電体層上に位置されており、好適には多結晶半導体物質であるほぼ非単結晶の半導体物質の横方向間隔部分（２６９−１又は２６９−２）を包含している。該横方向間隔部分の両側の第１及び第２下部端部（３０５−１及び３０７−１）は該ベースリンク部分の両側の第１及び第２上部端部（２９７−１及び２９９−１）に対して横方向に適合し、その長さを決定し且つそれにより制御する。 （もっと読む）

【課題】統合型のインテリジェントスイッチデバイス、統合型の入力信号・伝達ＩＣまたは統合型のパワーＩＣなどに用いられる横型ＭＯＳＦＥＴにおいて、複雑な分離構造を用いずに、より小さいチップ面積で高ＥＳＤ耐量および高サージ耐量を具えた半導体装置を提供する。
【解決手段】Ｐ型半導体よりなるエミッタ領域２５、ベース領域として機能するＮウェル領域１０およびＰ型エピタキシャル成長層１３およびＰ型半導体基板１２をコレクタとするベースオープンの縦型バイポーラトランジスタの表面電極２６と、横型ＭＯＳＦＥＴのドレイン電極２２とを金属電極配線２７により電気的に接続し、高ＥＳＤ電圧や高サージ電圧が印加されたときに、ベースオープンの縦型バイポーラトランジスタの動作によりＥＳＤおよびサージエネルギーを吸収するとともに、破壊に至る横型ＭＯＳＦＥＴの降伏耐圧以下の電圧に制限する。 （もっと読む）

【課題】高耐圧化及び高温動作を実現できる、ＨＢＴとＦＥＴを備える半導体装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る半導体装置１００は、基板１０１の上に順時積層されたｎ⁺型ＧａＮ層１０３及びｎ型ＧａＮ層１０４と、ｐ型ＩｎＧａＮ層１０５と、アンドープＧａＮ層１０６及びｎ型ＡｌＧａＮ層１０７と、ＨＢＴ領域１２１のｎ⁺型ＧａＮ層１０３と電気的に接続されたコレクタ電極１１４と、ＨＢＴ領域１２１のｐ型ＩｎＧａＮ層１０５と電気的に接続されたベース電極１１３と、ＨＢＴ領域１２１のｎ型ＡｌＧａＮ層１０７と電気的に接続されたエミッタ電極１１２と、ＨＦＥＴ領域１２０のｎ型ＡｌＧａＮ層１０７と電気的に接続されたソース電極１０９及びドレイン電極１１１と、ｎ型ＡｌＧａＮ層１０７の上に形成されたゲート電極１１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】低コストかつ高製造歩留まりで、ＢｉＣＭＯＳ型半導体集積回路装置を実現することができる半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】シャロートレンチ３、ディープトレンチ６に囲まれた半導体層２の基板領域１７に、ｐ型の単結晶半導体からなるエピタキシャル・ベース層２４が島状に形成される。当該島状領域を含む半導体層２上の全面に窒化シリコン膜４２、酸化シリコン膜４３が形成される。島状領域上の異なる位置の窒化シリコン膜４２、酸化シリコン膜４３には、少なくとも２つの開口部が形成され、開口部が形成された窒化シリコン膜４２、酸化シリコン膜４３上に半導体膜４４が形成される。当該半導体膜４４が選択的に除去され、一方の開口部において島状領域に接続するベース電極と、他方の開口部において島状領域に接続するエミッタ電極とが同時に形成される。 （もっと読む）

【課題】ＤＭＯＳ電力回路、ＣＭＯＳデジタル論理回路、及びコンプリメンタリバイポーラアナログ回路の全てを単一の集積化された回路チップ上に実現するＢｉＣＤＭＯＳ構造及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基層１０内に下向きに延出し、且つ基層の上に配置されたエピタキシャル層４０内に上向きに延出し、かつエピタキシャル層の上側主面の下に配置された埋め込み絶縁領域２１Ｂと、エピタキシャル層内のみに配置され、かつ埋め込み絶縁領域の上側主面から上向きに延出した埋め込みウェル領域４４Ｂと、エピタキシャル層内に配置され、かつエピタキシャル層の上側主面からエピタキシャル層内に下向きに延出し、かつ埋め込みウェル領域の上側主面に接触する下側主面を備えたウェル領域５１Ｂとを有し、バイポーラトランジスタがウェル領域内に形成され、ＭＯＳトランジスタがウェル領域外のエピタキシャル層の上側主面に形成される。 （もっと読む）

【課題】耐熱性の低い部分を有する基板であっても加熱処理が可能となる、基板の熱処理方法を提供する。
【解決手段】熱処理される被熱処理部を備えるベース基板を熱処理して半導体基板を製造する方法であって、電磁波を吸収して熱を発生し、被熱処理部を選択的に加熱する被加熱部をベース基板上に設ける段階と、ベース基板に電磁波を照射する段階と、被加熱部が電磁波を吸収することにより発生する熱によって、被熱処理部の格子欠陥密度を低減する段階とを備える半導体基板の製造方法を提供する。 （もっと読む）