【課題】酸化物半導体膜の水素濃度および酸素欠損を低減する。また、酸化物半導体膜を用いたトランジスタを有する半導体装置の信頼性を向上させる。
【解決手段】下地絶縁膜と下地絶縁膜上に設けられた酸化物半導体膜と、酸化物半導体膜上に設けられたゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜を介して酸化物半導体膜に重畳して設けられたゲート電極と、を有し、下地絶縁膜は、電子スピン共鳴にてｇ値が２．０１で信号を表し、酸化物半導体膜は、電子スピン共鳴にてｇ値が１．９３で信号を表さない半導体装置である。 （もっと読む）

【課題】寄生抵抗がより低いチャネルボディ層を有する不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態の不揮発性半導体記憶装置は、半導体層と、第１絶縁層が表面に設けられた第２絶縁層と、第３絶縁層と、第２絶縁層および第３絶縁層の上に、電極層と絶縁膜とを有する第１積層体と、第１積層体の積層方向に貫通し第２絶縁層に達する一対の第１ホールのそれぞれの側壁に設けられたメモリ膜と、メモリ膜の内側に設けられた第１チャネルボディ層と、層間絶縁膜と選択ゲートとを有する第２積層体と、一対の第１ホールのそれぞれ上端と連通し、第２積層体の積層方向に貫通する第２ホールの側壁に設けられたゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜の内側に設けられた第２チャネルボディ層と、第１積層体の下側に設けられた連結部と、一対の第１ホールの間に挟まれ、第１積層体の表面から第１絶縁層に達する第４絶縁層と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高集積なＣＭＯＳ ＳＲＡＭを提供する。
【解決手段】第１の第１導電型半導体１３７と、第１の第１導電型半導体とは極性が異なる第１の第２導電型半導体１０４と、第１の第１導電型半導体と第１の第２導電型半導体との間に配置される第１の絶縁物１１２が一体となり基板に対して垂直に延びる１本の第１の柱と、
第１の第１導電型半導体の上に配置される第１の第２導電型高濃度半導体１８２と、第１の第１導電型半導体の下に配置される第２の第２導電型高濃度半導体１４１と、第１の第２導電型半導体の上に配置される第１の第１導電型高濃度半導体１８６と、第１の第２導電型半導体の下に配置される第２の第１導電型高濃度半導体１４３と、第１の柱を取り囲む第１のゲート絶縁物１７６と、第１のゲート絶縁物を取り囲む第１のゲート導電体１６７と、を有するインバータ５０１を用いてＳＲＡＭを構成する。 （もっと読む）

【課題】シリサイド工程によるゲート絶縁膜の金属汚染や、メモリセルのショートチャネル効果を抑制する。
【解決手段】実施形態によれば、不揮発性半導体記憶装置は、半導体基板と、前記半導体基板上に順に形成された第１絶縁層、電荷蓄積層、第２絶縁層、および制御電極を有し、前記電荷蓄積層の側面が傾斜面を有する複数のメモリセルトランジスタとを備える。さらに、前記装置は、前記メモリセルトランジスタの側面と、前記メモリセルトランジスタ間の前記半導体基板の上面に形成された第１の絶縁膜部分と、前記メモリセルトランジスタ間のエアギャップ上と前記メモリセルトランジスタ上に連続して形成された第２の絶縁膜部分と、を有する１層以上の絶縁膜を備える。さらに、前記メモリセルトランジスタ間の前記半導体基板の上面から前記エアギャップの下端までの第１距離は、前記メモリセルトランジスタの側面に形成された前記絶縁膜の膜厚よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】 対象セルのワード線に隣接するワード線の電位の影響に伴う対象セルのビット線への電界を緩和する。
【解決手段】 半導体基板１００に形成され、半導体素子１０１を形成するための活性領域と、半導体基板１００内に形成され、活性領域を分離するための素子分離領域（ＳＴＩ１０２、ＮＦ１０４）と、素子分離領域（ＳＴＩ１０２、ＮＦ１０４）内に設けられた空洞部１０５を有する半導体装置。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の駆動方法を提供する。
【解決手段】酸化物半導体を用いた書き込み用トランジスタ、該トランジスタと異なる半導体材料を用いた読み出し用のトランジスタ及び容量素子を含む不揮発性のメモリセルを有する半導体装置を提供する。メモリセルへの書き込みは、書き込み用トランジスタをオン状態として、書き込み用トランジスタのソース電極と、容量素子の電極の一方と、読み出し用トランジスタのゲート電極とが電気的に接続されたノードに電位を供給した後、書き込み用トランジスタをオフ状態として、ノードに所定量の電位を保持させることで行う。メモリセルの読み出しは、ビット線にプリチャージ電位を供給した後ビット線への電位の供給を止め、ビット線の電位がプリチャージ電位に保たれるか、または電位が下がるか、により行う。 （もっと読む）

【課題】配線幅若しくは配線間隔の縮小に伴い、加工限界の制約を受けるために微細な配線形成が困難になりつつある。
【解決手段】絶縁層（第１の絶縁層１２及び第２の絶縁層１３）に溝１５を形成し、導体膜（バリア膜１６及び金属膜１７）を溝１５を埋設しない膜厚で形成し、続いて導体膜をエッチバックすることで溝１５の側壁にサイドウォール状の配線１８を形成することで、配線幅は導体膜の膜厚で制御できるために加工限界の制約を受けず、配線抵抗は配線高さを高くすることにより所定の配線抵抗を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】導電膜を含む層の加工によって密の配線と疎の配線とが混在して形成された配線層で、所望の配線間の領域にのみ空隙を形成することができる電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、電子部品の製造方法は、まず、密の配線と疎の配線とを含む配線パターンとなるように、基板１上の導電性材料膜を含む加工対象を加工する。ついで、密の配線の形成領域にのみ配線間を埋め込む犠牲膜１１１を形成した後、基板１上に絶縁膜１１２を形成する。絶縁膜１１２上にレジスト１１３を塗布し、密の配線の形成領域上の一部と疎の配線の形成領域とが露出するようにレジスト１１３のパターニングを行った後、レジスト１１３をマスクとして絶縁膜１１２をエッチングする。さらに、密の配線の形成領域上の一部を通して、犠牲膜１１１を除去する。そして、疎の配線の形成領域で隣接する配線間を埋め込むように基板１上に埋込絶縁膜１１４を形成する。 （もっと読む）

【課題】隣接する浮遊ゲート電極間の間隔を増大させることなく、隣接する浮遊ゲート電極間の寄生容量を低減する。
【解決手段】空隙ＡＧ１の埋め込み絶縁膜４が除去される前に側壁保護膜３´にてトンネル絶縁膜５の側壁を覆うことにより、埋め込み絶縁膜４とトンネル絶縁膜５との間でウェット処理のエッチング選択比が確保できない場合においても、トンネル絶縁膜５を保護できるようにする。 （もっと読む）

【課題】隣接する浮遊ゲート電極間の間隔を増大させることなく、隣接する浮遊ゲート電極間の寄生容量を低減する。
【解決手段】電極間絶縁膜７下において、埋め込み絶縁膜９が上下に分離されることで、ワード線方向ＤＷに隣接する浮遊ゲート電極６間に空隙ＡＧ１が形成され、空隙ＡＧ１にて分離された上側の埋め込み絶縁膜９は電極間絶縁膜７下に積層し、下側の埋め込み絶縁膜９はトレンチ２内に配置する。 （もっと読む）

【課題】隣接する浮遊ゲート電極間の間隔を増大させることなく、隣接する浮遊ゲート電極間の寄生容量を低減する。
【解決手段】トレンチ２内に埋め込まれた第２の埋め込み絶縁膜４の一部が除去されることで、ワード線方向ＤＷに隣接する浮遊ゲート電極６間に空隙ＡＧ１が形成され、浮遊ゲート電極６間が完全に埋め込まれないようにして制御ゲート電極８間にカバー絶縁膜１０が掛け渡されることで、ビット線方向にＤＢに隣接する浮遊ゲート電極６間に空隙ＡＧ２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】隣接する浮遊ゲート電極間の間隔を増大させることなく、隣接する浮遊ゲート電極間の寄生容量を低減する。
【解決手段】レンチ２内に埋め込まれた埋め込み絶縁膜３の一部を除去することで、ワード線方向ＤＷに隣接する浮遊ゲート電極６間に空隙ＡＧ１を形成し、空隙ＡＧ１は、制御ゲート電極８下に潜るようにしてトレンチ２に沿って連続して形成する。 （もっと読む）

【課題】 エアギャップ構造を簡易な方法で形成する。
【解決手段】 本発明の一態様の半導体装置の製造方法によれば、半導体基板上に導電層を含む被加工膜を形成する工程と、前記被加工膜上にダミー膜を形成する工程と、を備えている。さらに、前記ダミー膜を所望の形状にデポ条件の異方性エッチングにより加工する工程と、前記被加工膜を所望の形状に異方性エッチングにより加工する工程と、前記所望の形状に加工された被加工膜上の前記ダミー膜を異方性エッチングにより除去する工程と、前記被加工膜上に上層膜を形成する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】どのようなレイアウトの配線に対しても、個々の配線ごとにエアギャップ部を設ける。エアギャップ部によって、配線の寄生容量を低減する。
【解決手段】半導体装置は、層間絶縁膜と、層間絶縁膜内に埋め込まれた配線と、配線の側面と層間絶縁膜との間に設けられたエアギャップ部と、を有する。半導体装置の製造方法は、配線の側面上に第２のサイドウォール膜を形成した後、第２のサイドウォール膜の一部が露出するように第１の絶縁膜を形成する。次に、第２のサイドウォール膜を除去することによりサイドスペースを形成した後、サイドスペースが埋め込まれないように第２の絶縁膜を形成することによりサイドスペースから構成されるエアギャップ部を形成する。 （もっと読む）

【課題】隣接メモリセルへの漏洩電流を減らすフラッシュメモリ、特にチャージトラップメモリおよびそれを形成するプロセスフローの提供。
【解決手段】セルチャンネル６２０を含む半導体線が、ＳＴＩ領域１２０上に形成される。セルチャンネルは、トンネル酸化物層６２１、トラッピング誘電体層６２３、およびブロッキング誘電体層６２８を含む活性誘電体スタックで覆われる。結果として得られるセルチャンネルを分離するトレンチ６２５は、伝導層４６０で少なくとも部分的に充填され得る。活性誘電体層および／または伝導層の部分は、セルチャンネルの下、たとえば、セルチャンネルおよびＳＴＩ領域の間の界面６９５の下に位置し得る。そのような構成は、活性誘電体スタックおよび／または半導体層がセルチャンネルの下に位置しない構成に比べて、あるセルチャンネルから隣接セルチャンネルに拡散する荷電粒子６７０に対して経路長の増大をもたらす。 （もっと読む）

【課題】書き込み／消去におけるディスターブを抑制し、かつ面積の増大を抑えた不揮発性半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】複数のメモリセルＭＣを含む第１セルアレイ３２が形成された第１導電型の第１のウェル領域と、複数のメモリセルＭＣを含む第２セルアレイ３２が形成された第１導電型の第２のウェル領域と、第１、第２のウェル領域を含む第２導電型の第３のウェル領域とを備える。さらに、第１セルアレイ３２が含むメモリセルと第２セルアレイ３２が含むメモリセルとに共通に接続されたビット線ＢＬと、ビット線ＢＬに接続されたカラムデコーダ１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】不揮発性メモリを用いた半導体装置において、消去動作の高速化及び低消費電力化を実現する。
【解決手段】チャネル形成領域、トンネル絶縁膜及び浮遊ゲートを順に積層した不揮発性メモリにおいて、チャネル形成領域を酸化物半導体層により構成する。さらに、チャネル形成領域の下側に、浮遊ゲートと対向する位置に消去用の金属配線を設けた構造とする。上記構造により、消去動作において、浮遊ゲートに蓄積された電荷はチャネル形成領域を介して金属配線に引き抜かれる。これにより、半導体装置の消去動作を高速化し、低消費電力化を実現できる。 （もっと読む）

【課題】不揮発性であって、作成が簡単であり、追記が可能な記憶回路を有する半導体装
置及びその作製方法の提供を課題とする。
【解決手段】一対の導電層間に有機化合物層が挟まれた単純な構造の記憶素子を有する半
導体装置及びその作製方法を提供する。また、不揮発性であり、作製が簡単であり、追記
が可能な記憶回路を有する半導体装置及びその作製方法を提供する。絶縁層上に設けられ
た複数の電界効果トランジスタと、複数の電界効果トランジスタ上に設けられた複数の記
憶素子とを有する。複数の電界効果トランジスタは、単結晶半導体層をチャネル部とした
電界効果トランジスタである。複数の記憶素子の各々は、第１の導電層と、有機化合物層
と、第２の導電層が順に積層された素子である。 （もっと読む）

【課題】メモリセルを高集積度化することができるチャージトラップ型フラッシュ構造の不揮発性半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】半導体記憶装置５０は、接地線ＳＵＢＬとしての半導体基板層１ａの第１主面（表面）上に、素子分離層２、ソース電極３ａ、ソース電極３ｂ、ドレイン電極４ａ、及びドレイン電極４ｂを柱状にエッチング開口した開口部５が互いに離間して複数設けられる。開口部５には、半導体基板層１ｂ、積層膜６、及びゲート電極７が埋設され、開口部５の内側には半導体基板層１ｂが半導体基板層１ａと接するように設けられる。半導体基板層１ｂの内側には、トンネル酸化膜、電荷蓄積膜、電流遮断膜から構成される積層膜６が設けられる。積層膜６の内側にはゲート電極７が埋設される。半導体基板層１ｂにはソース層８とドレイン層９が垂直方向に複数設けられ、チャネルが垂直方向に設けられるメモリトランジスタが積層形成される。 （もっと読む）

【課題】ビット線及びワード線の抵抗の低い半導体装置、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】第１のシリサイド層及び第１のポリシリコン層６を含むビット線ＢＬと、ビット線ＢＬ上に形成された基部１４ａ及び基部１４ａに立設された柱状のボディ部１４ｃを有する第２のシリコン層１４と、基部１４ａに形成されたソースドレイン領域ＳＤ_１と、ビット線ＢＬの一部を貫通して基板１と第２のシリコン層１４を連結する第１のシリコン層１３と、ボディ部１４ｃを覆うゲート絶縁膜１７を介してボディ部１４ｃを覆うゲート電極１８と、ボディ部１４ｃ上に形成されてゲート電極１８に接続される第２のシリサイド層及び第２のポリシリコン層２３を含むワード線ＷＬと、ワード線ＷＬを貫通してボディ部１４ｃの上方に接続されるソースドレイン領域ＳＤ_２を有する第３のシリコン層３４とを具備してなる。 （もっと読む）