【課題】信頼性の劣化及び素子のばらつきを抑制しつつ、所望の閾値電圧を実現する。
【解決手段】実施形態による複数の閾値電圧を有する半導体装置５００は、基板５０２と、第１の閾値電圧を有する基板上の第１のトランジスタ５１０と、第２の閾値電圧を有する基板上の第２のトランジスタ５３０とを具備する。第１のトランジスタは、基板の第１のチャネル領域上に形成された第１の界面層５１６と、第１の界面層上に形成された第１のゲート誘電体層５１８と、第１のゲート誘電体層上に形成された第１のゲート電極５２０，５２２とを具備する。第２のトランジスタは、基板の第２のチャネル領域上に形成された第２の界面層５３６と、第２の界面層上に形成された第２のゲート誘電体層５３８と、第２のゲート誘電体層上に形成された第２のゲート電極５４０，５４２とを具備する。第２の界面層は第１の界面層内になくかつＳｉ、Ｏ及びＮと異なる添加元素を有する。第１及び第２の閾値電圧は異なる。第１及び第２のトランジスタは同一の導電型である。 （もっと読む）

【課題】複数のランクに分類された積層型の半導体装置において、異なるランクに対して連続アクセスされた場合のデータの衝突を防止する。
【解決手段】ライトデータを伝送する貫通電極ＴＳＶＷとリードデータを伝送する貫通電極ＴＳＶＲとをそれぞれ有する互いに積層された複数のコアチップＣＣ０〜ＣＣ７と、これらコアチップＣＣ０〜ＣＣ７に共通接続されたインターフェースチップＩＦとを備える。インターフェースチップＩＦは、データ入出力端子１６と、データ入出力端子と貫通電極ＴＳＶＷとの間に設けられた５２入力バッファと、データ入出力端子１６と貫通電極ＴＳＶＲの間に設けられた出力バッファ５１とを有する。本発明によれば、ライトデータとリードデータを互いに異なる貫通電極を介して伝送していることから、異なるランクに対して連続アクセスされた場合であってもデータの衝突が生じない。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の特性を向上させる。
【解決手段】本発明の半導体装置は、面方位が（１１０）のシリコン基板１と、ｐＭＩＳ領域１Ｂに形成されたｐチャネル型電界効果トランジスタを有する。このｐチャネル型電界効果トランジスタは、ゲート絶縁膜３を介して配置されたゲート電極ＧＥ２と、ゲート電極の両側のシリコン基板１中に設けられた溝ｇ２の内部に配置され、Ｓｉより格子定数が大きいＳｉＧｅよりなるソース・ドレイン領域と、を有する。上記溝ｇ２は、ゲート電極側に位置する側壁部において、面方位が（１００）の第１の斜面と、第１の斜面と交差する面方位が（１００）の第２の斜面と、を有する。上記構成によれば、基板の表面（１１０）面と（１００）面とのなす角は４５°となり、比較的鋭角に第１斜面が形成されるため、効果的にｐチャネル型のＭＩＳＦＥＴのチャネル領域に圧縮歪みを印加することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の特性を向上させる。
【解決手段】本発明の半導体装置は、面方位が（１１０）のシリコン基板１と、ｐＭＩＳ領域１Ｂに形成されたｐチャネル型電界効果トランジスタを有する。このｐチャネル型電界効果トランジスタは、ゲート絶縁膜３を介して配置されたゲート電極ＧＥ２と、ゲート電極ＧＥ２の両側のシリコン基板１中に設けられた溝ｇ２の内部に配置され、Ｓｉより格子定数が大きいＳｉＧｅよりなるソース・ドレイン領域と、を有する。上記溝ｇ２は、ゲート電極ＧＥ２側に位置する側壁部において、第１の斜面と、第１の斜面と交差する第２の斜面と、を有する。このように、溝ｇ２の形状をΣ形状とすることで、ｐチャネル型電界効果トランジスタのチャネル領域に加わる圧縮歪みを大きくすることができる。 （もっと読む）

【課題】フラッシュメモリセルと低電圧動作トランジスタや高電圧動作トランジスタを集積化し、異種トランジスタを混載する半導体装置の製造法を提供する。
【解決手段】半導体装置の製造方法は、（ａ）トンネル絶縁膜、Ｆゲート電極膜、電極間絶縁膜を堆積したＦゲート電極構造を形成し（ｂ）ゲート絶縁膜を形成し（ｃ）導電膜、エッチストッパ膜を堆積し（ｄ）エッチストッパ膜、導電膜をエッチングした積層ゲート電極構造を形成し（ｅ）積層ゲート電極構造の側壁上に第１絶縁膜を形成し（ｆ）積層ゲート電極側壁上に第１サイドウォールスペーサ層を形成し（ｇ）エッチストッパ層を除去し（ｈ）他の領域の導電層から、ゲート電極構造を形成し（ｉ）積層ゲート電極構造、ゲート電極構造側壁上に第２サイドウォールスペーサを形成し（ｊ）希弗酸水溶液で半導体基板表面を露出し（ｋ）半導体基板表面にシリサイド層を形成する。 （もっと読む）

【課題】電力が供給されない状況でも記憶内容の保持が可能で、かつ、書き込み回数にも制限が無い、新たな構造の半導体装置を提供する。
【解決手段】トランジスタのオフ電流を十分に小さくすることができる材料、例えば、ワイドギャップ半導体である酸化物半導体材料を用いて半導体装置を構成する。トランジスタのオフ電流を十分に小さくすることができる半導体材料を用いることで、長期間にわたって情報を保持することが可能である。また、書き込みワード線に電気的に接続する容量素子またはノイズ除去回路を設けることで、駆動回路等からメモリセルに入力されうる制御信号とは異なる短パルスやノイズ等の信号を低減または除去することができる。これにより、メモリセルが有するトランジスタが瞬間的にオンすることでメモリセルに書き込まれたデータが消失してしまう誤動作を防ぐことが可能である。 （もっと読む）

【課題】酸化物半導体を用いたトランジスタを用いて、高速動作が可能で、信頼性も高い半導体装置を歩留まりよく作製する。
【解決手段】絶縁膜上にマスクを形成し、該マスクを微細化する。微細化されたマスクを用いて凸部を有する絶縁層を形成し、これを用いて、微細なチャネル長（Ｌ）を有するトランジスタを形成する。また、トランジスタを作製する際に、微細化された凸部の上面と重なるゲート絶縁膜の表面に平坦化処理を行う。これにより、トランジスタの高速化を達成しつつ、信頼性を向上させることが可能となる。また、絶縁膜を凸部を有する形状とすることで、自己整合的にソース電極及びドレイン電極を形成することができ、製造工程の簡略化、また生産性を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、複数の積層チップパッケージを積層し互いに電気的に接続することを可能にし、所望の数の半導体チップを含むパッケージを低コストで実現する。
【解決手段】積層チップパッケージ１Ｓは、本体２を備え、本体２は、主要部分２Ｍと、主要部分２Ｍの上面、下面に配置された複数の第１の端子４、第２の端子５を有している。主要部分２Ｍは、２つの階層部分１０Ｓ１，１０Ｓ２と、これらを貫通する複数の貫通電極Ｔを含んでいる。複数の貫通電極Ｔは、複数の端子４，５に電気的に接続されている。各階層部分は、第１の面と第２の面を有する半導体チップと、複数の表面電極を含んでいる。階層部分１０Ｓ１，１０Ｓ２は、第２の面同士が対向するように接合されている。端子４は階層部分１０Ｓ１の表面電極を用いて構成され、端子５は階層部分１０Ｓ２の表面電極を用いて構成されている。 （もっと読む）

【課題】保護対象の回路ブロックの上に配置された導電パターンに加えられた改変の検出する精度を向上するための技術を提供することを目的とする。
【解決手段】半導体基板に形成された回路ブロックと、回路ブロックのうち保護対象の部分の上層に配置された導電パターンと、導電パターンに接続され、導電パターンの回路定数により決定される発振周波数で発振する発振回路と、発振回路の発振周波数が事前に設定された範囲に含まれるか否かを判定し、発振周波数が事前に設定された範囲に含まれない場合に、導電パターンに改変が加えられたことを検出する検出回路とを有することを特徴とする半導体集積回路装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能な不揮発性メモリを備えた半導体装置を提供する。
【解決手段】基板９０１上に画素と不揮発性メモリとを備え、不揮発性メモリは、基板９０１上に形成される半導体活性層と、半導体活性層上に形成される絶縁膜９２３と、絶縁膜９２３上に形成されるフローティングゲイト電極９０７と、フローティングゲイト電極９０７を酸化して得られる酸化膜９０８，９１５，９２２と、酸化膜９０８，９１５，９２２に接して形成されるコントロールゲイト電極９２９と、を備え、画素と不揮発性メモリとは、基板９０１上に一体形成される。 （もっと読む）

【課題】従来の調査方法では、質問事項に対して回答しない客がいるという問題があった
。また客の主観や見栄等による影響があり、客のニーズを的確に判断することが困難であ
った。
【解決手段】客に無線通信が可能なチップ（無線チップ）の装着された物を持たせる。更
に、店舗の売場の入口、出口、及び売場の内部の複数のポイント各々にアンテナを配置す
る。客が入口、出口及び複数のポイントに近づくと、近づいたポイントに配置されたアン
テナから無線チップに位置情報と時刻情報とを書き込む。無線チップに書き込まれた情報
を読み取ることで客の売場内での移動経路等を判断する。この結果をもとに客のニーズを
判断する。 （もっと読む）

【課題】相変化メモリの信頼性を向上させる。
【解決手段】例えば、ワード線ＷＬ０とビット線ＢＬ０の交点に設けられたメモリセル内の相変化素子に対して、この相変化素子をｒｅｓｅｔ動作によってアモルファス状態にする場合、ビット線ＢＬ０の立ち上がり時間ｔｒｂ／立ち下がり時間ｔｆｂを、ワード線ＷＬ０の立ち上がり時間ｔｒｗ／立ち下がり時間ｔｆｗより長くなるように構成する。この際に、ｒｅｓｅｔ動作で必要な相変化素子の急冷は、ワード線ＷＬ０の立ち下がり時間ｔｆｗを用いて行う。このような構成および動作を用いることで、ビット線ＢＬ０とワード線ＷＬ１の交点に設けられた非選択メモリセル内の相変化素子に対するディスターブ電流ＩＢＬ０１が低減する。 （もっと読む）

【課題】オフ状態のソース、ドレイン間のリーク電流の低いトランジスタを書き込みトランジスタに用いて、データを長期間にわたり保存する半導体メモリ装置の駆動方法を提供する。
【解決手段】書き込みトランジスタのドレインと素子トランジスタのゲート、および、容量素子の一方の電極を接続したメモリセルを複数用いて形成されたマトリクスにおいて、書き込みトランジスタのゲートを書き込みワード線に接続し、キャパシタの他方の電極を読み出しワード線に接続する。そして、容量素子に蓄えられた電荷量を、読み出しワード線の電位を変化させることにより確認し、基準以上に電荷量が減少している場合にはメモリセルのリフレッシュをおこなう。 （もっと読む）

【課題】トランジスタの性能の劣化の防止に有利な半導体集積回路を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、半導体集積回路は、ワード線とビット線との交差位置にそれぞれ配置されデータを保持するデータ記憶部（ＳＲＡＭセル）と前記データ記憶部に記憶された保持データを論理的に反転させる反転回路２２と、前記データ記憶部が記憶するデータの論理反転の有無を識別するフラグをロウ単位で記憶するフラグビットカラム１１−１とを備える、メモリセルアレイ１１を具備する。 （もっと読む）

【課題】回路サイズを減少させることを可能にする。
【解決手段】素子分離領域１０２によって分離された、隣接する第１導電型の第１半導体領域１０１ａおよび第２導電型の第２半導体領域１０１ｃと、第１半導体領域１０１ａ上に設けられた不揮発性メモリセルトランジスタ１０と、第２半導体領域１０１ｃ上に設けられ、第１半導体領域１０１ａに設けられた第１ドレイン領域１０ｂと電気的に接続されたゲート電極２０_Ｃ２とを有するパストランジスタ２０と、第１半導体領域１０１ａに設けられ第１半導体領域に基板バイアスを印加する第１電極８と、第２半導体領域１０１ｃに設けられ第２半導体領域に基板バイアスを印加する第２電極９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】製造効率の向上、コストダウン、信頼性の向上、小型化を容易に実現させる。
【解決手段】各配線１１１ｈ，２１１ｈにおいて、第１半導体チップ１００および第２半導体チップ２００の側端部にて露出した側面を、導電層４０１で被覆される。これにより、導電層４０１によって両配線１１１ｈ，２１１ｈの間が電気的に接続させる。 （もっと読む）

【課題】不揮発性メモリ（ＮＶＭ）領域及び前記ＮＶＭ領域と重ならないよう非ＮＶＭ領域を有する半導体基板の上にＮＶＭのゲートスタックを形成する。
【解決手段】
上記の製造方法は、半導体基板上のＮＶＭ領域及び非ＮＶＭ領域に選択ゲート層を形成する工程と、ＮＶＭ領域及び非ＮＶＭ領域における選択ゲート層を同時にエッチングする工程と、ＮＶＭ領域及び非ＮＶＭ領域における半導体基板上に電荷蓄積層を形成する工程と、ＮＶＭ領域及び非ＮＶＭ領域における電荷蓄積層上に制御ゲート層を形成する工程と、ＮＶＭ領域及び非ＮＶＭ領域における電荷蓄積層を同時にエッチングする工程とを備える。ＮＶＭ領域における選択ゲート層をエッチングする工程は、電荷蓄積層の部分が選択ゲート層の第１部分上にあり、かつ選択ゲート層の第１部分の側壁と重なるように行い、かつ、制御ゲート層の部分を電荷蓄積層の部分上にあるように行う。 （もっと読む）

【課題】 不揮発記憶保持用途の電界効果トランジスタと、論理演算用途の電界効果トランジスタの製造工程を別々に設けることなく前記２用途の電界効果トランジスタを同一半導体基板上に同一構造に作製できるようにする。
【解決手段】 ゲート絶縁構造体12に記憶保持材料を含むｎおよびｐチャネル型電界効果トランジスタで半導体集積回路のメモリ回路とロジック回路の両方を構成し、ゲート絶縁構造体に記憶保持材料を含むｎおよびｐチャネル型電界効果トランジスタのゲート-基板領域間に印加する電圧の大きさと印加タイミングを制御することによって、論理演算状態と記憶書込み状態と不揮発記憶保持状態を電気的に切り替える。 （もっと読む）

【課題】リークパスを確実に防止することができる、半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置は、ゲート絶縁膜を介して半導体基板上に設けられたゲート電極と、前記ゲート電極の側部に設けられた側壁絶縁膜と、前記半導体基板内における前記ゲート絶縁膜を挟むような位置に形成され、前記側壁絶縁膜により覆われた被覆領域と前記側壁絶縁膜により覆われていない露出領域とを有する、ソース又はドレイン領域と、前記ゲート電極及び前記側壁絶縁膜を覆うように形成された、エッチングストッパ膜と、前記半導体基板上に、前記エッチングストッパ膜を埋め込むように設けられた、層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜を貫通するように設けられ、前記露出領域に接続される、第１セルコンタクトプラグとを具備する。前記エッチングストッパ膜は、前記被覆領域と前記露出領域との境界部分が完全に覆われるように、前記露出領域の一部を覆っている。 （もっと読む）

【課題】半導体記憶装置の面積を縮小する技術を提供する。
【解決手段】高抵抗付加型ラッチ回路（１２）と、その高抵抗付加型ラッチ回路（１２）に保持されるデータの読み出しと書込みとを制御する選択回路（１３）とを具備する半導体記憶装置（１１）を構成する。その高抵抗付加型ラッチ回路（１２）は、第１駆動トランジスタ（２２）と、第２駆動トランジスタ（２４）と、第１抵抗（１２１）と、第２抵抗（１２３）とを備えることが好ましい。また、その選択回路（１３）は、第１選択トランジスタ（３１）と、第２選択トランジスタ（３２）とを備えることが好ましい。ここにおいて、その第１抵抗（１２１）と第２抵抗（１２３）とは、サイドウォール状の導電性材料（２１）（２３）で形成されるものである。 （もっと読む）