【課題】所定以上の大きな排気能力による排気を必要とする高真空チャンバを含む複数の真空チャンバを備えた真空装置を低コストに構成する。
【解決手段】高真空チャンバ２を備えた真空装置１において、高真空チャンバ２に開閉自在のバルブ３、４を介してそれぞれ接続された少なくとも２つのバッファチャンバ５、６と、該バッファチャンバ５、６のそれぞれに、開閉自在のバルブ７、８を介して接続された真空チャンバ９、１０と、バッファチャンバ５、６のそれぞれに接続された、該バッファチャンバ５、６内を排気する真空ポンプ１１、１２とを備え、適宜バルブ３、４、７、８を開閉させ、高真空チャンバ２を同時に２つの真空ポンプ１１、１２により排気を可能とするとともに、高真空チャンバを含む複数の真空チャンバを少数の真空ポンプにより適宜排気可能とする。 （もっと読む）

【課題】光エネルギー変換装置における窒化物半導体を用いた半導体光電極の劣化防止を図る。
【解決手段】互いに電気的に接続された半導体光電極１５と対向電極１６を有し、半導体光電極１５が表面に酸化チタン膜１９を成膜した窒化物半導体１８で形成され、対向電極１６及び半導体光電極１５が溶液１３中に配置されて成る。 （もっと読む）

【課題】例えば光エネルギーを電気エネルギーに変換出来るエネルギー伝達性に優れた微細構造体とその製造方法の提供。
【解決手段】配列の規則化度が５０％以上のマイクロポアを有する微細構造体であって、少なくとも
（Ａ）可視光吸光性エネルギー供与体
（Ｂ）エネルギー受容体
を有する微細構造体。 （もっと読む）

【課題】高度な量子効果により高感度で赤外線を検知することができ、室温近くの温度条件下においても動作させることが可能な量子型赤外線センサを提供すること。
【解決手段】中心細孔直径が１．５〜５．０ｎｍであるメソ多孔体１１と、メソ多孔体１１の細孔内に配列された波長３〜１５μｍの光に対する屈折率が１．７〜２．１の範囲にある金属酸化物１２と、金属酸化物１２に電気的に接続されている電極１３とを備えること特徴とする量子型赤外線センサ。 （もっと読む）

【課題】安価な手法によりアクティブマトリクス基板３の表面の平坦化を実現し、Ｘ線光導電層４の特性を向上できるＸ線検出器１を提供する。
【解決手段】アクティブマトリクス基板３の画素電極９が設けられた表面に、エッチングによる除去性がアクティブマトリクス基板３の表面の材質より高い材質の平坦化層21を形成する。エッチングにより画素電極９の表面までの平坦化層21を除去し、アクティブマトリクス基板３の表面より窪む凹部20に平坦化層21を残し、アクティブマトリクス基板３の表面を平坦化する。安価な手法によりアクティブマトリクス基板３の表面の平坦化を実現し、Ｘ線光導電層４の特性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 画素電極から読み出される電気信号にノイズが発生するのを抑制することができる放射線検出器を提供する。
【解決手段】 X線検出器１では、絶縁性凸部２１に包囲された電圧供給パッド１５の一部に電圧供給線２２が固定され、絶縁性凸部２１の内側に絶縁性封止部材２８が充填されていると共に、光導電層１７及び共通電極１８を覆うように絶縁性の有機膜２７が形成されている。従って、電圧供給線２２を介して電圧供給パッド１５に高電圧が印加されても、電圧供給パッド１５と電圧供給線２２との固定部から信号読出し用のボンディングパッドや信号線等に漏れ電流が流れるのを防止することができ、画素電極７から読み出される電気信号にノイズが発生するのを抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】放射線画像検出器のデバイス構造をより簡単にし、製作を容易にする。
【解決手段】放射線画像を担持した記録用の電磁波を透過する第１の導電層と、第１の導電層を透過した前記記録用の電磁波および読取用の電磁波の照射を受けて電荷を発生する光導電層と、画素状導体が２次元状に多数配列されるとともに、画素状導体の列に対応して第１の線状電極が多数配列された第２の導電層と、絶縁層と、第２の線状電極が多数配列された第３の導電層とをこの順に積層した構造とする。 （もっと読む）

【課題】量子効率の高い光電面及びこれを用いた光検出器を提供する。
【解決手段】光電面１０は、紫外線Ｌの入射に応じて光電子を生成する第１のIII族窒化物半導体層８と、III族窒化物半導体層８に隣接して設けられており、III族窒化物半導体層８のＡｌ組成よりも高いＡｌ組成を有すると共に、厚み方向にｃ軸配向性を有する薄膜結晶からなる第２のIII族窒化物半導体層６とを備える。 （もっと読む）

【課題】照射された放射線の線量あるいは該放射線の励起により発せられる光の光量に応じた量の電荷を潜像電荷として蓄積する蓄電部に、潜像電荷を同電位化せしめる導電部材を潜像の画素毎に各別に複数設けた放射線固体検出器において、導電部材の電荷収集効率を向上させる。
【解決手段】第１導電層２１、記録用光導電層２２、読取用光導電層２３、第２導電層２４、絶縁層３０、支持体１８をこの順に配し、記録用光導電層２２と読取用光導電層２３との界面に潜像電荷を同電位化せしめるマイクロプレート２８を潜像の画素毎に各別に２次元状に複数配設し、この界面において潜像電荷を蓄積する蓄電部２７を形成させ、放射線固体検出器２０を構成する。このとき、マイクロプレート２８の端部の断面形状を円弧状とし、この円弧の半径Ｒを、互いに隣接するマイクロプレート２８同士の間隔Ｉの１／２よりも大きくなるように構成する。 （もっと読む）

【課題】集積回路素子と放射線検出素子とから構成される放射線画像検出モジュールを、基板上において前後左右の４辺方向に隙間なく連設可能にする。
【解決手段】信号処理回路１９の配置エリア上に位置する信号処理側ピクセル電極パッド１５を、信号処理回路１９の配置エリア外の集積回路素子１２上に延設される配線２０を介して、該集積回路素子１２における各ピクセル対応のピクセル信号処理回路２１に出力する。 （もっと読む）

【課題】電子走行性を改良し、経時による画像欠陥の増加を抑制することが可能な光導電層、およびこの光導電層を備えた放射線撮像パネルを提供する。
【解決手段】放射線画像情報を静電潜像として記録する放射線撮像パネルを構成する光導電層であって、該光導電層が、一価金属を０．1〜１０００モルｐｐｍおよびＶ族元素を０．１〜４０００モルｐｐｍ含有するセレン合金を用いて形成されたものである。 （もっと読む）

【課題】記録光の照射を受けることにより導電性を呈する光導電層を含む静電記録部を備えてなり、画像情報を担持する記録光の照射を受けて画像情報を記録し、記録した画像情報を表す画像信号を出力する放射線固体検出器において、より効果的に残留電荷を消去する。
【解決手段】記録光の照射を受けることにより導電性を呈する光導電層１２を含む静電記録部を備えてなり、画像情報を担持する記録光の照射を受けて画像情報を記録し、記録した画像情報を表す画像信号を出力する放射線固体検出器１０に対して、記録時に光導電層１２中に流れる電流量以上のメジャーキャリアを光導電層１２中に走引し、光導電層１２中に蓄積されたマイナーキャリア（残留電荷）の再結合を促進させる。 （もっと読む）

【課題】短波長化された光源に対しても受光感度が低下することなく、かつ応答速度が低下しない光検出素子を提供する。
【解決手段】強誘電体表面に遮光性を有する電極２１を設けて、所定の光強度の複数の単位領域と該複数の単位領域よりも光強度が小さい領域とに分割し、電極間にバイアス電圧を印加することで光強度の大きな部分においてのみ分極変化を起こすことで変位電流を生じさせる構成とすることで、高い受光感度を有した高い応答速度の光検出器とする。 （もっと読む）

【課題】 半導体装置及びその製造方法において、簡易な電極構造によって平面化・小型化が容易であると共に、より簡便な構造で低コストなセンサ構造を得ること。
【解決手段】 半導体基板１と、半導体基板１の表面に形成され溝部２で少なくとも２つに分離された誘電体層３と、分離された各誘電体層３上に形成された電極４と、を備えている。この簡易な構成により、入射光の強度、ガス濃度、温度及び湿度のいずれの変動に対しても電極４間で電気的特性の変化を得ることができ、低コストなセンサとして対応することができる。 （もっと読む）

【課題】解像度特性に優れた放射線検出器を提供する。
【解決手段】放射線検出器は、基板と、基板上に互いに隙間を置いて配設された複数の画素電極１９と、画素電極に接して基板上に設けられ、入射される放射線の強度に対応する大きさの電荷に変換する複数の結晶３１を含む光導電層２０と、光導電層に所定のバイアス電圧を印加可能なバイアス電極層とを備えている。複数の結晶３１の面方向の平均粒径は、画素電極１９間の隙間ｇ未満である。 （もっと読む）

【課題】 寿命を長寿命化でき、しかも安定な出力画像を継続して得られる放射線検出器を提供する。
【解決手段】 この発明の放射線検出器１は、外部から入射した放射線を電気信号に変換するハロゲン化合物を主成分とする光導電層１１と、画素電極とスイッチング素子とが二次元的に複数配列された回路基板２１とを有し、回路基板と対向する側の前記光導電層の光導電膜表面に上部電極が形成されているものにおいて、画素電極と光導電膜との界面に、タンタル、ニオブ、バナジウム、チタン、ジルコニウム、もしくはハフニウムの任意の１つ以上の材質と窒化物、または炭化物、もしくは酸化物とを主成分とする膜を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】解像度特性に優れた放射線検出器を提供する。
【解決手段】放射線検出器は、基板１０と、基板上に互いに隙間を置いて配設された複数の画素電極１９と、画素電極に接して前記基板上に設けられた光導電層２０と、光導電層に所定のバイアス電圧を印加可能なバイアス電極層２３とを備えている。光導電層２０は、それぞれ画素電極１９に重なっているとともに入射される放射線の強度に対応する大きさの電荷に変換する複数の分割部２１と、分割部間に設けられた絶縁性の他の分割部２２とを有している。 （もっと読む）

【課題】検出した画像の画質を向上し、製造歩留まりの高い放射線検出器を提供する。
【解決手段】放射線検出器は、ＴＦＴ回路基板５の上部に画素電極５７を置き、下部光電変換膜３７、導電性中間膜３５、上部光電変換膜３３とを含む光導電層３を形成する。下部光電変換膜３７は、実質的にはＴＦＴ６３および画素電極５７の全域を覆う。下部光電変換膜３７は上部光電変換膜３３を形成する種結晶膜として機能するとともに、画素電極５７との界面で生じるショットキー障壁の大きさを小さくし、また、画素電極５７の表面の凹凸を埋めている。 （もっと読む）

【課題】高い感度特性および解像度特性が長期間安定したＸ線検出器を提供する。
【解決手段】Ｘ線検出器１のバイアス電極層32上の保護膜33中のエポキシ樹脂層34内に発生する内部応力低減の点から、エポキシ樹脂層34中のエポキシ樹脂の曲げ弾性率を小さくする。保護膜33は形状維持や機械的な損傷を受けない程度の曲げ弾性率が必要である。常温での曲げ弾性率が５ＧＰａ付近の保護膜33は、常温での曲げ弾性率が６ＧＰａ程度のガラス基板３を破壊してしまう。エポキシ樹脂の常温での曲げ弾性率を５ＧＰａ以下する。エポキシ樹脂層34を複数の水分バリア層35で多層化して多層化保護膜とする。水分バリア層35がエポキシ樹脂層34のピンホールなどの欠陥を防止する。保護膜33とバイアス電極層32との界面での水分透過率が大きくならない。
（もっと読む）

【課題】 低吸湿性、高発光量フッ化物シンチレータ材料を提供すること。さらにコストダウンを図るために低融点であるフッ化物シンチレータを提供すること。
【解決手段】 Ｃｅ_ｘＡＥ_１−ｘＦ_２＋ｘで表されることを特徴とするフッ化物シンチレータ材料。 但し、ＡＥはＭｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａから選ばれた１種又は２種以上である。 （もっと読む）