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Fターム[5F088LA05]の内容

Fターム[5F088LA05]に分類される特許

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【課題】センサ部での光の利用効率の低下を防止することができる電磁波検出素子を提供する。
【解決手段】互いに交差して配設された複数の走査配線及び複数の信号配線の各交差部と、2次元状に配列された複数のセンサ部であって、各々が、検出対象とする画像を示す電磁波が照射されることにより電荷が発生する半導体層、半導体層の電磁波が照射される照射面側に電磁波に対して透過性を有する導電性部材により形成され、半導体層に対してバイアス電圧を印加する第1電極、及び半導体層の電磁波に対する非照射面側に形成され、半導体層に発生した電荷を収集する第2電極を備えた複数のセンサ部と、センサ部よりも電磁波の下流側に形成され、各々コンタクトホールを介して第1電極に接続されてバイアス電圧を供給する共通電極配線と、走査配線と、信号配線及び共通電極配線との間に形成されている第1の絶縁膜と、を備え、信号配線及び共通電極配線は同層に形成。 (もっと読む)


【課題】
放射線を測定するための容量センサデバイスを提供する。
【解決手段】
デバイスは2つのセンサ領域および上部プレート構造を含む。センサ領域は、放射線がその材料に当たると電子−正孔対を生成する材料から成る。2つのセンサ領域の間に分離領域が配置される。センサ領域と上部プレートとの間のキャパシタンスはセンサ領域に当たる放射線に応じて決まる。遮断構造が、放射線の選択された入射角において他方のセンサ領域内の電子−正孔対生成に対してとは異なるように一方のセンサ領域の電子−正孔対生成に影響を与えるように、或る範囲内のパラメータ値を有する放射線をセンサ領域から選択的にかつ異なって遮断する。 (もっと読む)


【課題】複数の検出電流経路が発生することを防止し、光吸収層の表面状態にかかわらず、高感度で安定して検出することができる光検出素子及び光検出装置を提供する。
【解決手段】光検出素子は、透光性基板1、光吸収層2、電極3、電極4、接着層5、絶縁膜6、パッケージ7で構成される。透光性基板1上に光吸収層2が形成され、光吸収層2に電極3と電極4の一部が埋め込まれている。パッケージ7上に光検出部がジャンクションダウンで接着層5により接合されている。光吸収層2は、特定波長の光を選択的に吸収して、電気信号に変換する。測定する光は、透光性基板1の裏面から照射される。 (もっと読む)


【課題】 簡素な構造で適切な受光感度を得ることが可能な紫外線センサ素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 紫外線センサ素子は、ステム60に紫外線透過フィルタ72が形成されたキャップ70が溶接されて、チップ50が封止された構造を有する。外部から照射される紫外線は、紫外線透過フィルタ72を透過して、チップ50を構成するチップ状酸化亜鉛単結晶30の受光面であるa面に到達する。チップ状酸化亜鉛単結晶30のa面に紫外線が到達することによって、チップ状酸化亜鉛単結晶30の抵抗値は変化する。そして、抵抗値の変化に伴って、チップ状酸化亜鉛単結晶30を流れる信号の電流(光電流)の値も変化する。図示しない外部の装置は、端子62に接続されており、信号の電流値を検出し、当該電流値に基づいて、紫外線量を算出することができる。 (もっと読む)


【課題】チップ窓を持つ構造で、小型でかつ薄型で、簡便な構造でありながら、パッケージ強度を低下させない樹脂封止パッケージを提供すること。
【解決手段】中央が開口した凹形の絶縁性基板301の絶縁性基板開口部312の中央部の開口部311内に封止するチップ307を配置し、このチップ307裏面側がパッケージ表面に露出する構造になっている。絶縁性基板の内側には段差部があり、段差部にチップ307とボンディングワイヤー305で電気的に接続するための第1電極303が配置されている。第1電極303は、内部配線302,306を介して樹脂封止パッケージの外部接続端子である第2電極304に接続されている。 (もっと読む)


【課題】ショットキーバリアダイオードとアンテナとのインピーダンスミスマッチを低減することができる電磁波検出素子を提供する。
【解決手段】電磁波検出素子は、基板11に設けられたショットキーバリアダイオード111、112とアンテナとを含む。アンテナが、分割された第一導電要素101と第二導電要素102、分割された第三導電要素103と第四導電要素104、第一及び第三導電要素を電気的に接続する第一接続部105、及び第二及び第四導電要素を電気的に接続する第二接続部104を含む。第一導電要素と第二導電要素、及び第三導電要素と第四導電要素が、夫々、電磁波の入射方向に沿って隔たった基板11上の複数の面に形成される。ショットキーバリアダイオードが、第一導電要素と第二導電要素との間に電気的に接続されて設けられる。 (もっと読む)


【課題】EUV光の出力を精度良く検出できる、受光装置、露光装置、及び電子デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光を受光する受光装置50である。光を受光する受光面60aを有する受光素子60と、受光面60aの大きさよりも大きく形成された開口62を有する第1端部62aと、内側面に設けられ、開口62から入射した光を受光面60aに向けて反射する反射面61aとを有する枠状の反射部材61と、を備える。 (もっと読む)


【課題】青色及び紫外線領域において高感度で暗電流が極小である新規な光検出器を得る。
【解決手段】光検知デバイスは以下の構成要素を有している。(a)絶縁層に覆われたSi基板、(b)前記絶縁層上に置かれた単結晶ZnSeナノベルト、及び(c)前記ZnSeナノベルトの上に形成された2つの分離された金属電極。前記絶縁層は、SiO又はAlで、厚さは、200nmから600nmの範囲である。 (もっと読む)


【課題】本発明は、サイズが基板の水平方向に対して大きくなることなく、使用時の消費電力を抑えることができる光センサを提供する。
【解決手段】本発明に係る光センサは、基板11と、該基板11上に積層してある第1電極層13と、該第1電極層13上の一部の領域に積層してある第1酸化物半導体層14と、該第1酸化物半導体層14上に積層してある第2電極層15とを備える。入射する光を遮る第1電極層13の外周13A又は第2電極層15の外周15Aの少なくとも一部は、第1第1酸化物半導体層14を介して第2電極層15又は第1電極層13と重なるようにしてある。 (もっと読む)


【課題】可視域よりもはるかに高い感度を波長が紫外域で有するZnSナノベルトを提供する。
【解決手段】陰極線ルミネッセンスによる発光ピークが紫外域、特に337nm付近に特徴的に存在する、ベルト状に単結晶化した硫化亜鉛ナノベルトが与えられる。硫化亜鉛粉末の蒸発時の昇温速度を従来よりも緩慢にすることにより、この特徴を有する新規なナノベルトが得られる。
更に、一対の金属電極間にこのナノベルトを1本あるいは複数本掛け渡すことによって、可視域に比べて紫外域にはるかに大きな感度を有する紫外線センサーが得られる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、製造コストが安く、酸化物半導体の温度特性に応じて電圧(電流)値を適正に補正することが可能な紫外線センサを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る紫外線センサ1は、酸化物半導体で構成された基板2と、基板2内に形成された内部電極7と、基板2の第1面に形成された外部電極3と、内部電極7の一部が外部へ露出した基板2の第2面に形成され、外部電極3が形成された第1面及び端子電極5が形成された第2面と異なる基板2の第3面に形成された端子電極6とを備えている。紫外線センサ1は、外部電極3と端子電極6との間に印加する所定の電圧を、内部電極7で分圧する。 (もっと読む)


【課題】安価で特性が安定し、応答速度の速い紫外線センサを提供すること。
【解決手段】本発明の紫外線センサは、酸化亜鉛の光導電効果を利用した紫外線センサであって、前記酸化亜鉛が無添加の酸化亜鉛からなり、前記酸化亜鉛のX線回折パターンにおいて(002)面における回折ピークの半値幅が0.5度以下であることを特徴とする。これにより、安価で応答速度の速い紫外線センサを実現することができる。 (もっと読む)


シンチレーション材料層と、シンチレーション材料上のスペーサ材料層と、スペーサ材料上のスペクトル純度フィルタ層と、を含むディテクタである。方法は、スペクトル純度フィルタ層を通してEUV放射を誘導することと、スペクトル純度フィルタ層の下に設けられたスペーサ材料層を通してEUV放射を誘導することと、シンチレーション材料層上にEUV放射を誘導することと、そしてシンチレーション材料によって放出されたシンチレーション放射を検出することと、を含む。 (もっと読む)


【課題】筐体外に曝しても受光感度等の測定性能の劣化を抑えられ、モジュールを取り付けた装置全体としての小型・薄型化が可能で、取り回しが容易な、特定波長域の光強度を測定する光センサモジュールを提供する。
【解決手段】UVセンサモジュール1はベース基板3とUVセンサ素子2と樹脂材4とを備える。ベース基板3は主面外形状が矩形状である。UVセンサ素子2はベース基板3に搭載され、ベース基板3に並行する受光面に入射する光から紫外線光量を検出する。樹脂材4は、UVセンサ素子2をベース基板3に封止し、ベース基板3に並行する表面4Aがベース基板3と一致する主面外形状で且つ研磨処理されていて、該表面4Aから入射する紫外線を透過する。 (もっと読む)


【課題】開口部を必然的に有し且つ当該開口部を覆わなければならない構造であっても、組み立てが容易な光センサモジュールを実現する。
【解決手段】筐体100には所定面積の開口部101が形成されている。当該開口部101にはカバー部材40が設置されている。カバー部材40は開口部101に面する平板部41と当該平板部材41を回路基板20に対して支持する弾性を有する支持部材42とが互いに固着されてなる。回路基板20のカバー部材40側にはUVセンサ素子10が実装されている。ここで、支持部材42と回路基板20とは固着されていることで、カバー部材40、UVセンサ素子10および回路基板20からなるUVセンサモジュール1が形成される。この構造により、平板部材41が筐体100の開口部101に面するように、このUVセンサモジュール1を筐体100内に設置するだけで、パッケージ型UVセンサモジュール1Pが組み立てられる。 (もっと読む)


【課題】紫外線センサにおいて、より高い感度を得られるとともに、より高い波長選択性を得られるようにする。
【解決手段】(Ni,Zn)O層2と、(Ni,Zn)O層2の一方主面の一部を覆うように、スパッタリング法により形成されるたとえばZnOを含む酸化物半導体からなる薄膜材料層4とを含む積層体5を備え、さらに、(Ni,Zn)O層2と薄膜材料層4との接合部6の少なくとも一部を露出させた状態で積層体5の外表面上に形成され、かつ(Ni,Zn)O層2に電気的に接続される、第1の端子電極7と、上記接合部6の少なくとも一部を露出させた状態で積層体5の外表面上に形成され、かつ(Ni,Zn)O層2および薄膜材料層4の双方に電気的に接続される、第2の端子電極8と、第1の端子電極7に電気的に接続されながら、(Ni,Zn)O層2内に形成される、内部電極9とを備える。 (もっと読む)


【課題】赤外線の通信帯の波長域のみを特異的に多く透過させることができ、なおかつ目視において可視光域の光を散乱反射させて白色を呈する赤外線通信用光学物品及び赤外線通信用受光部を提供すること。
【解決手段】透明なバインダー樹脂に同バインダー樹脂とは屈折率の異なる微粒子を均一に分散させて散乱反射層23を形成する。その際に一部あるいは全部の同微粒子の径Dを下記式で示される大きさとし、同微粒子に可視光域の光を散乱反射させて白色を発色させるようにするとともに、赤外線の通信帯の波長域における透過率を12%以上に設定する。散乱反射層23を基板21の外面に形成させて赤外線通信用受光部15を作製する。
D<0.4・λ÷π
D:粒子径
λ:赤外線の通信帯の波長 (もっと読む)


【課題】簡便な構造で紫外光を選択的に検出できるようにし、装置コストの低減及び装置の小型化を可能にし、最も簡素化した場合には、携帯することもできる紫外検出装置を提供する。
【解決手段】紫外検出装置は、400nmを超える光波長域では受光感度が略0であり、400nm以下の光波長域で受光感度を有する半導体光電変換層を有する光電変換素子を備えている。半導体光電変換層は、光を電流に変換する作用を持つ半導体層である。このように、半導体ベースの光電変換素子で紫外検出装置を構成できるので、軽量で携帯性に優れた検出装置とすることができる。 (もっと読む)


【課題】広帯域に亘って紫外線を検知できる感度領域の広い紫外線センサを提供すること。
【解決手段】本発明の紫外線センサは、紫外線感知部を備えた紫外線センサであって、前記紫外線感知部は、酸化亜鉛と、前記酸化亜鉛のバンドギャップよりも広いバンドギャップを持つ感知波長域拡張材料と、を含有する混合物で構成されていることを特徴とする。これにより、広帯域に亘って紫外線を検知できる感度領域の広い紫外線センサを実現することができる。 (もっと読む)


【課題】紫外線発光素子と受光素子とを近接して備えて小型化でき、かつ紫外線発光光量を大きくできる反射型送受光装置を提供する。
【解決手段】本発明は、凹状ケース6の凹状反射面2の上方中央部に先端の素子マウント部7fが位置するように素子マウント側リード7を設置し、また、反射面2の上方中央部に先端のワイヤ接続部81a,82a,83aが位置するように複数本のワイヤ接続側リード81,82,83を設置し、素子マウント部に紫外線発光素子91,93と受光素子92とをマウントし、各素子91,92,93と複数のワイヤ接続部81f,82f,83fとの間にワイヤ101,102,103をボンディングし、凹状ケースの凹部内に透明樹脂を充填して硬化させ、凹部内に位置するリード、紫外線発光素子と受光素子、ワイヤを固定した反射型送受光装置1を特徴とする。 (もっと読む)


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