【課題】電気特性が良好で生産性の高い薄膜トランジスタを提供する。
【解決手段】ゲート電極を覆うゲート絶縁層と、ゲート絶縁層に接する半導体層と、半導体層の一部に接し、ソース領域及びドレイン領域を形成する不純物半導体層と、不純物半導体層に接する配線とを有し、半導体層において、ゲート絶縁層側に形成される凹凸状の微結晶半導体領域と、当該微結晶半導体領域に接する非晶質半導体領域とを有し、半導体層及び配線の間に障壁領域を有する薄膜トランジスタである。 （もっと読む）

【課題】表示装置の作製工程で紫外線の照射を行っても、酸化物半導体層を用いた薄膜トランジスタのしきい値電圧のシフトを低減させることができる、表示装置の作製方法を提供することを課題の一つとする。
【解決手段】少なくとも一回以上の紫外線の照射を行い、且つ酸化物半導体層を有する薄膜トランジスタをスイッチング素子として用いる、表示装置の作製方法において、全ての紫外線照射工程を終えた後で、紫外線照射による該酸化物半導体層のダメージを回復させる熱処理を行う表示装置の作製方法である。 （もっと読む）

【課題】ドレイン電流のオン／オフ比が高く維持されつつ、光電流とオフ電流が十分に小さい薄膜トランジスタを提供することを課題とする。
【解決手段】ゲート電極層と、ゲート電極層を覆って設けられたゲート絶縁層と、ゲート電極層と全面が重畳して設けられた第１の半導体層と、第１の半導体層上に接して設けられ、前記第１の半導体層よりもキャリア移動度が低い第２の半導体層と、第２の半導体層に接して設けられた不純物半導体層と、少なくとも前記第１の半導体層の側壁を覆って設けられたサイドウォール絶縁層と、少なくとも前記不純物半導体層に接して設けられたソース電極及びドレイン電極層と、を有する薄膜トランジスタとする。第２の半導体層は、第１の半導体層上に離間して設けられていてもよい。 （もっと読む）

【課題】高い開口率を得ながら十分な保持容量（Ｃｓ）を確保し、また同時に容量配線の負荷（画素書き込み電流）を時間的に分散させて実効的に低減する事により、高い表示品質をもつフロント型プロジェクタである。
【解決手段】チャネル形成領域、ソース領域、及びドレイン領域を有する半導体層と、島状のゲート電極とを備えた薄膜トランジスタを有し、ゲート電極が接続する第１配線と、ソース領域又はドレイン領域が接続する第２配線とは直交し、第２配線や容量配線と平行かつ重なるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】画素電極電位に起因したオフリーク電流が上昇しにくい低消費電力の表示装置を提供すること。
【解決手段】表示装置は、対向配置された第１の基板及び第２の基板と、第１の基板と第２の基板との間に配置された表示素子と、第１の基板の表示素子側に形成された薄膜トランジスター２４と、薄膜トランジスター２４の表示素子側に、平面視で薄膜トランジスター２４と重なるように形成された画素電極２１と、薄膜トランジスター２４と画素電極２１との間の層に形成されたシールド電極２６と、を備える。シールド電極２６は、平面視で少なくとも薄膜トランジスター２４の低濃度不純物領域に重なる位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】基板の大面積化を可能とするとともに、結晶性の優れた酸化物半導体層を形成し、所望の高い電界効果移動度を有するトランジスタを製造可能とし、大型の表示装置や高性能の半導体装置等の実用化を図る。
【解決手段】基板上に一元系酸化物半導体層を形成し、５００℃以上１０００℃以下、好ましくは５５０℃以上７５０℃以下の加熱処理を行って表面から内部に向かって結晶成長させ、単結晶領域を有する一元系酸化物半導体層を形成し、単結晶領域を有する一元系酸化物半導体層上に単結晶領域を有する多元系酸化物半導体層を積層する。 （もっと読む）

【課題】ＡＯＳ−ＴＦＴの課題として、電気的ストレスによる特性変化、主に閾値電圧の変化がある。
【解決手段】半導体層と、絶縁層１と、絶縁層２と、導電層１と、導電層２と、を有し、半導体層は絶縁層１と絶縁層２とに挟まれ、絶縁層１は半導体層と接する面とは反対側の面で導電層１と接し、絶縁層２は半導体層と接する面とは反対側の面で導電層２と接するトランジスタの駆動方法であって、導電層２に、ＶＢＧ＜Ｖｏｎ１×Ｃ１／（Ｃ１＋Ｃ２）を満たす電圧ＶＢＧを印加することを特徴とするトランジスタの駆動方法。但し、Ｃ１：絶縁層１の単位面積当たりの容量、Ｃ２：絶縁層２の単位面積当たりの容量、ＶＯＮ１：ソース電圧を基準電圧とし、かつ導電層２にかかる電圧を０Ｖにしたときのドレイン電流の立ち上がり電圧である。 （もっと読む）

【課題】アクティブマトリクス型基板において、薄膜トランジスタと、その端子接続部を同時に作り込み、少ないマスク数で歩留まりの良い表示装置を提供する。
【解決手段】画素部および外部入力端子を有する表示装置であって、画素部は、ゲート電極と、半導体膜と、ゲート電極上に形成された絶縁膜、および絶縁膜上に半導体膜と電気的に接続された電極を有するＴＦＴを有し、外部入力端子は、ゲート電極と同じ層に形成された第１の配線と、電極と同じ層に形成され、絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介し第１の配線と接続された第２の配線と、第２の配線に接続され、第２の配線上に形成された透明導電膜と、第２の配線と透明導電膜が接続している位置で透明導電膜と電気的に接続するフレキシブルプリント配線板を有する表示装置。 （もっと読む）

【課題】多層配線間で形成される寄生容量を低減することを目的の一とする。
【解決手段】絶縁表面上に第１配線と、前記第１配線を覆う第１層間絶縁膜と、前記第１層間絶縁膜上の一部に接して第２層間絶縁膜と、前記第１層間絶縁膜及び前記第２層間絶縁膜上に第２配線とを有し、前記第１配線と前記第２配線とが重なっている領域には、前記第１層間絶縁膜と前記第２層間絶縁膜とが積層された半導体装置である。第１配線と第２配線間に層間絶縁膜が積層されていることで寄生容量の低減が可能となる。 （もっと読む）

【課題】薄膜トランジスタへの外部光の入射を遮光できるとともに、画素の開口率の向上を図った液晶表示装置を提供する。
【解決手段】表示装置の画素領域における薄膜トランジスタＴＦＴはゲート電極ＧＴと前記ゲート電極ＧＴの上方に配置した半導体層ＡＳと、前記半導体層ＡＳの上層に配置したドレイン電極ＤＴおよびソース電極を有し、前記半導体層ＡＳは、ドレイン信号線ＤＬの延在方向においてゲート電極ＧＴの形成領域からはみ出して形成される延在部を有し、前記ゲート電極ＧＴは、ゲート信号線の延在方向において前記半導体形成領域からはみ出して形成されている。 （もっと読む）

【課題】例えばアクティブマトリクス基板等の半導体装置用基板の製造方法において、省資源及び低コストの要請に対応しつつ基板におけるたわみを抑制すると共に、ＴＦＴにおける光リーク電流の発生を低減する。
【解決手段】半導体装置用基板の製造方法は、基板（１０）上に、チャネル領域を有するように半導体層（３０ａ）を形成する工程と、基板上に、半導体層に電気的に接続されるように第１の導電膜（８）を形成する工程と、第１の導電膜より上層側に、基板上におけるコンタクトホール（４０）が形成されるべき一の領域を除く他の領域に絶縁材料を塗布することにより、層間絶縁膜（３３）及びコンタクトホールを形成する工程と、層間絶縁膜より上層側に、コンタクトホールを埋めるように且つチャネル領域に基板上で平面的に見て少なくとも部分的に重なるように第２の導電膜（９）を形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】液晶装置等の電気光学装置において、高品質な表示を行う。
【解決手段】電気光学装置の製造方法は、基板（１０）に、トランジスタの半導体層（１ａ）を形成する半導体層形成工程と、半導体層のチャネル部（１ａ’）に不純物を導入する不純物導入工程と、基板を平面的に見て、チャネル部に重なるようにゲート電極（３ｂ）を形成するゲート電極形成工程とを備える。不純物導入工程においては、不純物は、チャネル幅方向においてチャネル部の端部に位置する第１領域、及びチャネル長方向において第１領域よりも幅が狭いチャネル部の第２領域にそれぞれ導入される。 （もっと読む）

【課題】工程数の増大を引き起こさずに、遮光層で囲まれた薄膜トランジスタと同等以上の遮光能力を有する薄膜トランジスタおよびそれを用いた表示装置を提供する。
【解決手段】第１のゲート電極２と、第１のゲート電極２を覆う第１のゲート絶縁層３と、第１のゲート絶縁層３の上の半導体層６と、半導体層６の上の第２のゲート絶縁層７と、第２のゲート絶縁層７の上の第２のゲート電極８と、半導体層６に電気的に接続されたドレイン電極５及びソース電極４を有する薄膜トランジスタにおいて、半導体層６がＺｎ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｓｎのうち少なくとも１種以上を含む非晶質酸化物半導体であり、第１のゲート電極２が下方から半導体層６への光の入射を遮り、第２のゲート電極８が上方から半導体層６への光の入射を遮り、第２のゲート電極８は第１のゲート絶縁層３及び第２のゲート絶縁層７を貫通して第１のゲート電極２と電気的に接続され、少なくとも一方の側方から半導体層６に入射する光を遮る。 （もっと読む）

【課題】微細化によってキャパシタが小型化された場合であっても、キャパシタの実効的なキャパシタ容量の低下を抑制することができる半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】下部電極に形成した凹部開口の内周面を含む下部電極上に誘電膜を形成し、凹部開口内を含む誘電膜上に下部電極と対向する上部電極を形成する。さらに、下部電極を、第１導電膜と、絶縁膜と、不純物がドープされた低抵抗の第２導電膜とを順次積層して形成し、第１導電膜と第２導電膜とを接続する。 （もっと読む）

【課題】 高耐圧の薄膜トランジスタと高電流駆動能力を持った薄膜トランジスタを同一基板上に形成する。
【解決手段】 絶縁性基板上に形成され、半導体層、ソース領域、ドレイン領域で構成される薄膜トランジスタを備えるトランジスタ回路において、半導体層の下側に第１の絶縁層を介してボトムゲート層があり、半導体層を挟んでボトムゲート層と対向する側に第２の絶縁層を介してトップゲート層を具備した少なくとも一つの第１の薄膜トランジスタと、半導体層の下側に第１の絶縁層を介してボトムゲート層のみを具備する少なくとも一つの第２の薄膜トランジスタと、を同一基板上に形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタに含まれる不純物による汚染の問題を解決する。
【解決手段】薄膜トランジスタと、薄膜トランジスタに電気的に接続されるソース電極及びドレイン電極と、薄膜トランジスタ、ソース電極及びドレイン電極上の第１の絶縁膜と、第１の絶縁膜上のカラーフィルタと、カラーフィルタ上の第２の絶縁膜と、第２の絶縁膜上の画素電極とを有し、第１の絶縁膜は窒化シリコンを有し、カラーフィルタは第１の開口部を有し、第２の絶縁膜は第２の開口部を有し、第２の開口部は第１の開口部の内側に設けられ、画素電極は、第１の開口部及び第２の開口部を介してソース電極及びドレイン電極の一方に電気的に接続され、カラーフィルタは、画素電極、ソース電極及びドレイン電極に接触しない。 （もっと読む）

【課題】高い開口率を得ながら十分な保持容量（Ｃｓ）を確保し、また同時に容量配線の負荷（画素書き込み電流）を時間的に分散させて実効的に低減する事により、高い表示品質をもつ液晶表示装置を提供する。
【解決手段】ゲート電極１０４と異なる層に走査線１０７を形成し、容量配線１１１が信号線１０９と平行になるよう配置する。各画素はそれぞれ独立した容量配線１１１に誘電体を介して接続されているため隣接画素の書き込み電流による容量配線電位の変動を回避でき、良好な表示画像を得る事ができる。 （もっと読む）

【課題】安定した電気的特性を有するトランジスタを用いて安定した動作を行う表示装置を提供することを課題とする。
【解決手段】酸化物半導体層をチャネル形成領域とするトランジスタを適用して表示装置を作製するに際し、少なくとも駆動回路に適用するトランジスタの上に更なるゲート電極を配する。酸化物半導体層をチャネル形成領域とするトランジスタを作製するに際しては、酸化物半導体層に対して脱水化または脱水素化のための加熱処理を行い、上下に接して設けられるゲート絶縁層及び保護絶縁層と酸化物半導体層の界面に存在する水分などの不純物を低減する。 （もっと読む）

【課題】光リーク電流の発生を抑制しつつ、半導体膜のアライメント要求精度を緩和した薄膜トランジスタを有する液晶表示装置を提供する。
【解決手段】透明基板の上側に積層されたゲート電極と、ゲート電極の上側に積層されるソース電極及びドレイン電極と、ゲート電極の上側に積層されて、ゲート電極が発生させる電界によりソース電極及びドレイン電極間の電流を制御する半導体膜とを含み、半導体膜は、ゲート電極と平面的に重複する第１の領域と、ゲート電極と平面的に重複しない第２の領域とを有する平面的形状で形成され、ソース電極とドレイン電極は、第２の領域において半導体膜と接続せず、第１の領域において半導体膜と接続する、ことを特徴とする薄膜トランジスタを有する液晶表示装置。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の表示領域と駆動回路に設けられたＴＦＴの構造を機能に応じて適切なものとするとき、ｐチャネル型ＴＦＴにおいて、チャネル形成領域と、不純物領域との接合に欠陥が形成され、オフ電流が増加することを防止する。
【解決手段】表示領域に第１のｎチャネル型ＴＦＴが配置され、駆動回路に第２のｎチャネル型ＴＦＴ及びｐチャネル型ＴＦＴが配置された半導体装置であって、ｐチャネル型ＴＦＴはチャネル形成領域と、これに隣接した不純物領域を有し、不純物領域にはｎチャネル型ＴＦＴのために添加された不純物元素を含ませない。そのために、ｐチャネル型ＴＦＴのチャネル長はｎチャネル型ＴＦＴのチャネル長より短くなる。 （もっと読む）