【課題】ゲート絶縁膜とゲート電極との間の界面層にカーボン層を導入して、低い閾値電圧を実現している例では、カーボン層中のカーボンはＳｉ半導体基板中に入り、欠陥準位を形成するため、ＥＷＦが不安定であった。本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、ｐ−ｍｅｔａｌを用いたＭＩＳ型半導体装置において、ＥＷＦを安定して増加させることが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板１０と、半導体基１０上に形成された絶縁膜２０と、絶縁膜２０上に形成され、且つ、ＣＮ基又はＣＯ基を含む界面層３０と、界面層３０上に形成された金属層４０とを備えて半導体装置を構成する。 （もっと読む）

平行伝導を改善する量子井戸デバイスを提供する方法及び装置の実施形態が主に記載される。その他の実施形態についても、記載及び特許請求される。 （もっと読む）

【課題】横方向の寸法の増大を抑制しつつ、横型二重拡散電界効果トランジスタのソースとドレインとの間の電界を緩和する。
【解決手段】Ｎ型ドリフト層１７には、埋込絶縁層１４下に配置されたＰ⁻ダンパ層１９を形成するとともに、Ｐ⁻ダンパ層１９を取り囲むように配置されたＮ⁻ダンパ層１８を形成し、Ｎ⁻ダンパ層１８およびＰ⁻ダンパ層１９にて埋込絶縁層１４下が空乏化されるように不純物濃度を設定する。 （もっと読む）

【課題】ドレイン電極からのホールリークが防止された横型のＦＥＴを提供することを課題とする。
【解決手段】基板の表面上に形成された第１導電型のチャネル層と、前記チャネル層上に形成されたソース電極、ドレイン電極及びゲート電極とを備え、前記ソース電極及びドレイン電極を前記チャネル層とオーミックコンタクトさせて電界効果型トランジスタを構成し、前記ドレイン電極の下部の前記チャネル層に第１導電型の拡散領域を備え、前記拡散領域が、式（１）Ｎｓ≧ε×Ｖｍａｘ／（ｑ×ｔ）（式中、εは前記チャネル層の誘電率［Ｆ／ｍ］、Ｖｍａｘは前記電界効果型トランジスタの仕様最大電圧［Ｖ］、ｑは電荷量（１．６０９×１０^-19）［Ｃ］、ｔは前記基板の表面から前記拡散領域の底面までの距離［ｍ］である）で表されるシート不純物濃度Ｎｓ［ｃｍ^-2］を有していることを特徴とする電界効果型トランジスタにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】耐圧性が高く反りが小さくオン抵抗が低い半導体電子デバイスおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】基板と、前記基板上に形成された、該基板よりも格子定数が小さく熱膨張係数が大きい窒化物系化合物半導体からなる第一半導体層と該第一半導体層よりも格子定数が小さく前記基板よりも熱膨張係数が大きい窒化物系化合物半導体からなる第二半導体層とが交互に積層した２層以上の複合層を有するバッファ層と、前記バッファ層上に形成された、窒化物系化合物半導体からなる半導体動作層と、窒化物系化合物半導体からなり、前記バッファ層直下から前記電子走行層内部までのいずれかの位置に形成され、凹凸形状の境界面を有する下層領域と上層領域とを有し、該下層領域から該上層領域へ延伸する貫通転位が該境界面において屈曲している転位低減層と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 化学酸化膜形成法により、厚膜の絶縁被膜形成にも応じることの可能な半導体への絶縁性被膜の形成方法並びにそれを用いた半導体装置の製造方法を実現する。
【解決手段】 酸化性溶液内に、表面に酸化シリコンを含む被膜形成用基材とシリコン又はシリコン含有固体またはシリコンを含む膜で覆われた固体とを浸漬して、前記酸化性溶液の沸点以下の温度で加熱して、前記基材上に稠密な酸化シリコン膜を形成することにより、被処理用シリコン基板１上に厚膜の酸化シリコン膜４を化学的形成法で実現して、絶縁性被膜の形成並びにそれを用いた半導体装置の製造を実用的短時間で達成することができる。 （もっと読む）

【課題】放熱効率を向上し且つ歩留りや信頼性の低下を防止することが可能な半導体装置および半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】裏面に凹部ＤＰ１が形成されたシリコン基板１０１と、シリコン基板１０１における裏面と反対側の上面上に成長されたｐ型半導体層１０３と、ｐ型半導体層１０３の上方または側方に互いに離間して形成されたソース電極１０８ｓおよびドレイン電極１０８ｄと、を含むＭＯＳＦＥＴと、を備える。ｐ型半導体層１０３は、シリコン基板１０１に対して格子定数および熱膨張係数のうち少なくとも１つが異なる。凹部ＤＰ１は、シリコン基板１０１の厚み方向から見て少なくともソース電極１０８ｓおよびドレイン電極１０８ｄで挟まれた領域を内包する領域に形成されている。 （もっと読む）

【課題】電力変換回路に用いられる電界効果型トランジスタの等価回路モデルにおけるパラメータを比較的簡単な方法において高精度に抽出することにより、高精度な回路シミュレーションが行える環境を提供する。
【解決手段】電力変換回路に用いられる電界効果型トランジスタの等価回路モデルにおいて、ゲート−ソース間容量Ｃｇｓ、ゲート−ドレイン間容量Ｃｇｄ、及びチャネル電流源Ｉｃｈを、電界効果型トランジスタの誘導性負荷におけるスイッチング波形から抽出する。 （もっと読む）

【課題】高耐圧の半導体装置のオン抵抗を低減し、かつ寸法を縮小することを課題とする。
【解決手段】半導体基板上に形成したリサーフ領域を含むドレインドリフト領域を備える半導体装置であり、ドレインドリフト領域及び／又はリサーフ領域がゲート幅方向に波型（ウェーブ）状の下面形状の拡散領域を有することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】高耐圧の半導体装置の耐圧を低下させることなく寸法を縮小することを課題とする。
【解決手段】半導体基板上に形成したリサーフ領域を含むドレインドリフト領域を備える半導体装置であり、ドレインドリフト領域がゲート長方向に波型（ウェーブ）状の下面形状を有することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】トレンチ開口部の緩やかな傾斜部の角度ゆらぎを低減することを課題とする。
【解決手段】半導体基板上の素子領域上にトレンチエッチマスクを形成する工程と、前記トレンチエッチマスクを用いて、前記半導体基板をエッチングすることで、第１の傾斜部を有する第１の溝を形成する工程と、前記トレンチエッチマスクの側壁と、前記第１の傾斜部の少なくとも一部を覆うサイドウォールスペーサーを形成する工程と、前記トレンチエッチマスクとサイドウォールスペーサーとを用いて、前記半導体基板をエッチングし、前記第１の傾斜部より急な第２の傾斜部を有する第２の溝を形成する工程を経ることで、第１の傾斜部と第２の傾斜部とから構成されるトレンチを形成することを特徴とする半導体装置の製造方法により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】ドナー元素を含む半導体層を備えた半導体素子を形成する場合に、このドナー元素が上層に拡散することを抑制することができる半導体素子を提供する。
【解決手段】ＺｎＯ基板上にＧａドープＭｇＺｎＯ層、アンドープＭｇＺｎＯ層、窒素ドープＭｇＺｎＯ層、アンドープ活性層、窒素ドープＭｇＺｎＯ層と積層した積層体でＧａの拡散を分析した。アンドープＭｇＺｎＯ層の次の窒素ドープＭｇＺｎＯ層で、拡散してきたＧａの濃度が表面側になるにつれて、急激に減少しており、この窒素ドープＭｇＺｎＯ層の上層にＧａは拡散していない。このように、ドナー元素を含む同一組成のドナー含有半導体層の一部に、アクセプタ元素を含み前記ドナー含有半導体層と同一組成のアクセプタ含有半導体層を形成することで、ドナー元素の拡散を防止できる。 （もっと読む）

【課題】ゲートに絶縁体を用いるＺｎＯ系トランジスタで、ゲート制御動作を迅速に行うことができるＺｎＯ系トランジスタを提供する。
【解決手段】Ｍｇ_ＺＺｎＯ基板１上に、Ｍｇ_ＸＺｎＯ層２、Ｍｇ_ＹＺｎＯ層３が積層されている。Ｍｇ_ＸＺｎＯ層２とＭｇ_ＹＺｎＯ層３の界面で２次元電子ガスが発生する。４はゲート絶縁膜であり、Ｍｇ_ＹＺｎＯ層３に接して形成されている。ゲート絶縁膜は、立方晶の結晶構造を有し、Ｍｇ及びＣａ成分を含んだ酸化物であるＭｇＣａＯ膜４で構成されている。ＭｇＣａＯ膜４上にはゲート電極５が形成される。このようにして、ゲート絶縁膜とＺｎＯ系半導体との格子不整合を緩和する。 （もっと読む）

【課題】素子形成領域間の分離絶縁膜を保護し、接合リークなしに素子と配線膜とを電気的に接続することができる半導体装置およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】半導体基板１に形成されて素子形成領域２を画定する分離絶縁膜３と、素子形成領域２に形成された素子と、素子および分離絶縁膜３を覆うように半導体基板１上に形成された層間絶縁膜５と、層間絶縁膜５をエッチングして形成されたコンタクトホール内に埋め込まれて素子と電気的に接続する配線膜６、７とを備え、少なくとも分離絶縁膜３と層間絶縁膜５との間に、前記エッチングによる分離絶縁膜３の浸食を防止するための３層以上の絶縁膜４ａ、４ｂ、４ｃが積層されてなる保護積層膜４が形成されていることを特徴とする半導体装置。 （もっと読む）

【課題】 ノーマリオフ動作の半導体素子で、高耐圧と大電流の両立を図ったノーマリオフ型のIII族窒化物半導体を用いた電界効果トランジスタを提供する。
【解決手段】 MOSFET１００は、基板１０１上に形成されたp型GaN層の半導体層１０３と、チャネル領域１０３ａ上にゲート酸化膜１０５を介して形成されたゲート電極１０８と、ソース電極１０６及びドレイン電極１０７とを備える。チャネル領域１０３ａの両側にコンタクト領域１１０,１１１が形成され、ゲート電極１０８とドレイン電極１０７の間にリサーフ領域１１２が形成されている。リサーフ領域１１２の厚さを30nm以上100nm以下の範囲内に設定することによって高耐圧と大電流の両立を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】素子抵抗の低抵抗化とMR比の向上とを同時に実現する。
【解決手段】本発明の例に係るスピンＦＥＴは、ソース・ドレイン部に、少なくとも半導体基板１１／トンネルバリア１２／低仕事関数材料１３／強磁性体１４からなる積層構造を有し、低仕事関数材料１３は、未酸化のＭｇ，Ｋ，Ｃａ，Ｓｃのうちの１つ、又は、その１つを原子数比で５０％以上含む合金から構成される。 （もっと読む）

【課題】表面リーク電流を低減することができる、III族窒化物半導体を用いた窒化物半導体素子およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】この電界効果トランジスタは、ｎ型ＧａＮ層３、ｐ型ＧａＮ層４およびｎ型ＧａＮ層５が、順に積層された窒化物半導体積層構造部２を備えている。ゲート絶縁膜９が形成されている。このゲート絶縁膜９は、窒化物半導体積層構造部２の表面全域に接して形成された窒化シリコン膜２０と、この窒化シリコン膜２０の上に形成された酸化シリコン１０膜とを備えている。ゲート絶縁膜９の上には、ゲート絶縁膜９を挟んで領域１２に対向するようにゲート電極１１が形成されている。また、窒化物半導体積層構造部２の引き出し部６の表面には、ドレイン電極７が接触形成されている。一方、窒化物半導体積層構造部２のｎ型ＧａＮ層５の頂面には、ソース電極１３が接触形成されている。 （もっと読む）

【課題】製造装置への負担を軽くすることができ、ドーピングの制御性や再現性が良くなり、かつ結晶構造を変化させずにｐ型伝導が得られるＺｎＯ系薄膜及びＺｎＯ系半導体素子を提供する。
【解決手段】
ＺｎＯ系薄膜は、ｐ型化を行うために、基本構造をＭｇＺｎＯ／ＺｎＯ超格子層３の超格子構造とし、この超格子層は、アクセプタドーピングされたＭｇＺｎＯ層３ｂとアクセプタドーピングされたＺｎＯ層３ａとの積層構造で形成されているので、ドーピングの制御性や再現性が良くなり、かつドーピング材料による結晶構造の変化を防止できる。 （もっと読む）

【課題】水素原子の拡散による特性変動が少ない半導体装置を提供することを課題とする。
【解決手段】半導体基板上に、ゲート絶縁膜を介してゲート電極を形成する工程と、前記半導体基板及び前記ゲート電極上に第一のシリコン窒化膜を形成する工程と、前記ゲート電極をマスクとして前記第一のシリコン窒化膜を介して不純物注入することにより前記半導体基板の表面層に拡散領域を形成する工程と、前記第一のシリコン窒化膜上に第二のシリコン窒化膜を形成する工程とを含み、前記第一のシリコン窒化膜が、前記第二のシリコン窒化膜より水素含有量が小さいことを特徴とする半導体装置の製造方法により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】オフリーク電流を低減することができる、III族窒化物半導体を用いた窒化物半導体素子およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】この電界効果トランジスタは、ｎ型ＧａＮ層３、ｐ型ＧａＮ層４およびｎ型ＧａＮ層５が、順に積層された窒化物半導体積層構造部２を備えている。窒化物半導体積層構造部２には、ドレイントレンチ６およびゲートトレンチ７が形成されている。ドレイントレンチ６の壁面８および底面の全域を覆い、ｎ型ＧａＮ層５の頂面においてソース電極１８に至る領域には、表面絶縁膜９が形成されている。表面絶縁膜９は、ＳｉＮからなる下層膜１０とＳｉＯ_２からなる上層膜１１とが積層された積層膜で形成されている。 （もっと読む）