【課題】位置決め精度の向上に有利な技術を提供する。
【解決手段】位置決め装置は、ステージと、ベースと、前記ステージと前記ベースとの間に配置されていて、ばね性を有する支持部で前記ステージを支持する支持機構と、前記ステージを駆動するように前記ステージと前記ベースとの間に配置されたアクチュエータと、前記アクチュエータを制御する制御部とを備える。前記制御部は、目標位置に対する前記ステージの位置偏差と、前記ステージと前記ベースとの相対位置の変動量とに基づいて、前記位置偏差が低減され、かつ、前記支持部の前記ばね性によって前記ステージに作用する力の少なくとも一部が打ち消されるように前記アクチュエータを制御する。 （もっと読む）

【課題】 ４軸制御の原点復帰動作を駆動軸同士の機械的な姿勢の相互干渉を抑えた状態で可能にする。
【解決手段】 ＸＹθガイドとボールねじ直動機構からなる駆動ユニットを４台備えた４軸アライメントステージにて、各駆動ユニットに仮の原点位置を設定して（Ｓ１）、それを基準に４軸制御による原点復帰動作を行う（Ｓ３）。次いで、全軸同時サーボオフを行い（Ｓ４）、その直後に生じる各駆動ユニットのガイドブロックの移動量を計測し（Ｓ５）記憶させる（Ｓ６）。その後、移動量の計測値を補正量として各駆動ユニットの仮の原点位置を補正し（Ｓ７）、補正後の仮の原点位置を基準とする原点復帰動作と、全軸同時サーボオフ直後の移動量の計測及び記憶と、移動量の計測値を補正量とする仮の原点位置の補正を繰り返し、全軸同時サーボオフ直後の移動量が収束したときの仮の原点位置を、４軸制御による実際の原点復帰動作用の原点位置に設定する。 （もっと読む）

【課題】誤差（エラー）のある位置対応値を検出する方法及び監視ユニットを提供すること。
【解決手段】動作確認時間差の時間間隔において位置測定装置２０からの位置対応値が供給される監視ユニット２００により位置対応値をチェックする方法であって、移動量対応値を少なくとも２つの位置対応値及びこれらの入力時間差により算出するステップと、少なくとも２つの位置対応値に続くチェックすべき位置対応値に対する期待値を、移動量対応値及びチェックすべき位置対応値の入力までの時間から得られる位置変化量と、少なくとも２つの位置対応値とを合計して算出するステップと、期待値と最大位置差から位置期待値差を決定するステップと、チェックすべき位置対応値を位置期待値差と比較するステップと、該比較の結果を示す信号を出力するステップとを行う。 （もっと読む）

【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 ウエハステージＷＳＴの位置情報は、ウエハＸ干渉計１８Ｘ_１，１８Ｘ_２、ウエハＹ干渉計１８Ｙ等と、該干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダ５０Ａ，５０Ｂ等とを用いて計測される。エンコーダ５０Ａ，５０Ｂ等は、計測値の短期安定性が良好であるので、ウエハステージＷＳＴの２位置情報が精度良く計測される。ウエハステージＷＳＴは、エンコーダ５０Ａ，５０Ｂ等の計測範囲内では、それらの計測結果に基づいて精度良く駆動される。 （もっと読む）

【課題】正確なショートストローク位置決めを提供する。
【解決手段】ステージシステムは、オブジェクトを保持するオブジェクトテーブルと、第１の移動範囲にわたりオブジェクトテーブルを移動させるショートストロークアクチュエータ素子と、第１の移動範囲よりも大きい第２の移動範囲にわたりショートストロークアクチュエータ素子を移動させるロングストロークアクチュエータ素子と、を備える。ステージシステムは、ショートストロークアクチュエータ素子上の空気外乱力を表す量を測定するセンサと、空気外乱を少なくとも部分的に補償する補償力を提供するアクチュエータと、コントローラと、を有する空気式補償デバイスをさらに備える。センサはコントローラのコントローラ入力に接続され、アクチュエータはコントローラのコントローラ出力に接続される。コントローラは、センサから受け取る信号に応答してアクチュエータを駆動する。 （もっと読む）

【課題】位置フィードバック機構を用いたモータの制御において、整定時間を短縮することができる制御装置を提供する。
【解決手段】制御装置は、外部より一定間隔ごとに入力される位置指令値から位置指令値の変化量を算出し、算出した変化量に基づいて、モータにおいて生じる位置指令値に対する動作の遅れを補正する補正値を算出する位置指令補正部と、補正値により位置指令値を補正した補正位置指令値に応じた電力をモータに供給する駆動部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】エンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムを提供する。
【解決手段】リニア・エンコーダ２３は、移動式往復台２５の側面に設置した一対の側面リニア・エンコーダ２３−１、２３−１’と、移動式往復台２５の一側部の下部に設置した一対の下面リニア・エンコーダ２３−２、２３−２’とで構成され、このように構成されたリニア・エンコーダ２３が、基準マーク、垂直位置誤差を補償するためのＬトラック、および水平位置［誤差］を補償するためのＴトラックを有するスケールに沿って移動することで、高い精度レベルで平面度、ピッチ、真直度、ヨー、およびロールに関連した誤差を補償するものであり、したがって、加工することが不可能である部分を最小限にし、加工コストを減少させ、精密なステージを実現する。 （もっと読む）

【課題】価格の安いリニアエンコーダを用いて安価な平面モータを実現する。
【解決手段】プラテン上に載置され該プラテン上をＸ−Ｙ方向に駆動可能に構成されたスライダを有する平面モータにおいて、前記スライダの位置検出手段として前記スライダに固定したヘッドと前記スライダが駆動されるＸ−Ｙ方向に配置されたスケールからなるリニアエンコーダを用いた。 （もっと読む）

【課題】位置決めを高精度に実行することができる位置決め装置の設計方法、位置決め装置の製造方法、位置決め装置、及び露光装置を提供する。
【解決手段】第１方向に移動可能なＸステージ１００と、結合部により該Ｘステージ１００に結合され、該Ｘステージ１００に対して第２方向に移動可能なＹステージ２００と、Ｘステージ１００を第１方向に移動させるモータ（不図示）と、を備える位置決め装置において、モータ（不図示）がＸステージ１００を移動させる力と、第１方向における該Ｙステージ２００の位置と、の関係を表す伝達関数に基づく、剛体モードと、１次共振と、２次共振と、の関係に基づいて、位置決め装置のＸステージ１００及びＹステージ２００の少なくとも一方の作製上の諸元が定められる。 （もっと読む）

【課題】 複数のモータで同一方向の座標軸を駆動する機械に対して、汎用的な電機品を用いて各軸間相互に加わる無効反力を抑制すると共に、作業位置に対する同期制御を高精度に行なう同期制御装置を提供する。
【解決手段】 位置指令１２１を生成する位置指令生成部２１と、２台の位置情報１３１，１４１に基づいてＸＹ軸座標系である作業位置１２２を演算し、位置指令１２１と作業位置の一方の軸座標系位置１２２との差に基づいて新たな位置指令１２５を演算する第１の位置制御系を有する指令装置２と、新たな位置指令１２５と位置情報１３１，１４１との差に基づいてモータを駆動する指令を演算する第２の位置制御系をそれぞれ有する２台のモータ制御装置３，４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】実際の使用状態にある機械の運動軌跡をジグや工具を外すことなく精度よく測定すること。
【解決手段】可動軸の運動加速度を測定するための加速度計１３ａ、１３ｂと、可動軸の加速度および指令位置またはフィードバックされた検出位置またはその両方とから運動軌跡を解析する運動軌跡解析部１４と、解析された運動軌跡を表示する運動軌跡表示部１５とを備え、加速度を２回積分して得られる機械位置と、検出位置または指令位置から推定される機械位置とを比較することで、加速度の測定とその積分に起因する誤差を分離し、機械位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】測長距離の制限を受けることがないと共にリニアモータの能力を十分に発揮させて制御時間の短縮を図ることができるリニアモータ位置検出システムを提供する。
【解決手段】リニアモータ５により移動されるテーブル４の直線運動をラック１２とピニオンギア１３により回転運動に変換するようにしたので、直線運動系での検出は有限目盛りであるのに対して回転運動系での検出は無限目盛りとなり、理論的には直線運動系の測長距離が無限であっても、直線運動系の測長距離を回転運動系の測長距離に容易に変換することができ、測長距離の変更に容易に対応することができる。 （もっと読む）

【課題】ステージの移動方向の剛性を向上させる。
【解決手段】位置決めステージにおいて、ステージ１の移動方向の位置検出点とステージ１が振動して姿勢変化したときにステージ１の位置が変動しない節の位置を合わせる。この位置を合わせるために、ステージ１の重量分布を調整するための第１の錘１１及び第２の錘１２を有している。そして、ステージ１の伝達特性の振動モードが０ｄＢに近づくように第１の錘１１及び第２の錘１２の調整量を決定する。 （もっと読む）

【課題】ステージの位置決め後にモータのサーボ制御を停止してもステージの位置ずれを発生させないように、ブレーキ機構を最適に制御できるステージ装置及び同装置のステージ位置決め制御方法を提供する。
【解決手段】ピエゾ素子６３２で駆動されるブレーキ機構を備える。それぞれの位置決めすべき点に初めて位置決めする際、ステージを移動、停止した後に、ブレーキ制御最適化手段６４０によりリニアモータ６２２に対する推力指令を０に近づけるようにブレーキ駆動指令を調整し、リニアモータ６２２のサーボ制御をオフにしてもステージの位置ずれを発生させないような最適なブレーキ駆動指令を求め、これをブレーキ制御パラメータ記憶手段６４１に記憶する。さらに、同じそれぞれの位置決めすべき点に再度ステージを位置決めする際、ステージを移動、停止した後に、記憶した最適なブレーキ駆動指令をブレーキ機構に対して出力し、高精度な位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】コイルに流れる電流の遅れに起因して生じる、駆動すべき方向とは異なる方向への力を低減させる。
【解決手段】コイル４、及び複数の永久磁石を有するリニアモータと、コイル４に電流を供給する電流ドライバ９と、該電流ドライバ９への指令を生成する制御手段７とを備えたステージ装置であって、制御手段７は、コイル４と永久磁石との相対位置に基づいて算出した電気角を用いた正弦波を、リニアモータへの推力指令値に乗ずるコミュテーション処理により指令を生成し、更に、指令に対して、推力指令値に比例した振幅を持ち、かつ、正弦波と９０度に位相がずれた正弦波の成分を含ませる。 （もっと読む）

【課題】いずれかの駆動体の加減速駆動により発生する外乱が機台を介して隣接する他の駆動体に伝達される装置において、隣接する駆動体から伝達される外乱による駆動体の位置決め精度の悪化の課題を、ソフトウエアの変更又は追加のみで解決できるようにする。
【解決手段】外乱の影響を受ける側の駆動体の観測量に対して外乱の非干渉化補償を行う外乱非干渉化補償器は、外乱発生側の駆動体の操作量ｕ_bを入力として、外乱の影響を受ける側の駆動体の観測量ｘ_lmに対する該外乱の非干渉化補償を行うためのフィードフォワード補償量ｕ_cを出力する第１のフィードフォワード補償器Ｆ_n1(s)と、外乱の影響を受ける側の駆動体の操作量Ｃ_l(s)の出力を第１のフィードフォワード補償器Ｆ_n1(s)の出力で補正する第１の演算器１１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】負荷の質量や、負荷とＸ軸駆動部との距離が変化した場合でも、安定して機械共振および反共振を吸収できるＸＹステージを実現する。
【解決手段】Ｘ軸方向に移動制御される第１部材と、この第１部材上に直交して結合しＹ軸方向に移動制御されると共に、前記第１部材との結合位置より所定距離を隔てて負荷が搭載された第２部材よりなるＸＹステージにおいて、
Ｘ軸指令値に基づいて前記第１部材を移動制御するＸ軸制御系と、
Ｙ軸指令値に基づいて前記第２部材を移動制御するＹ軸制御系と、
前記Ｘ軸フィードバック制御系に挿入され、この制御系で発生する機械共振および反共振を吸収するようにパラメータが設定されているフィルタ手段と、
を具備し、
前記フィルタ手段は、前記Ｙ軸制御系における前記負荷の情報を取得し、前記パラメータの設定値を更新する動的パラメータ設定部を備える。 （もっと読む）

【課題】安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現する。
【解決手段】Ｘ軸方向に位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを有するとともに、
スライダ１のＸ軸方向の位置に応じた信号を出力するレゾルバ３０と、スライダ１のＸ軸方向の加速度を検出する加速度センサ３１とを備えた位置検出装置３００を備え、
位置検出装置３００がレゾルバ３０と加速度センサ３１の出力に基づいてスライダ１の位置を求めることを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】自動操作と手動操作が可能な操作子において、自動位置決め完了時の実位置と目標位置との誤差を、その後の手動操作に際して実効的に解消し、違和感のない制御データを発生する。
【解決手段】通常は所定のスケール特性に従う制御データを位置データに応じて発生する。操作子が目標位置Ｐｔに自動位置決めされた直後の手動操作において変更スケール特性を適用する。変更スケール特性においては、位置決め完了時における実位置Ｐｒに対応して前記所定のスケール特性上の目標位置Ｐｔに対応する制御データＤｔが出力されるように起点を設定し、該起点の位置から少なくとも目標位置に達するまでの区間を含む第１の変更区間を設定し、位置検出器１２で検出された位置データに対応して発生される制御データが、起点に対応する制御データＤｔから該第１の変更区間の終点の位置に対応する前記所定のスケール特性上の制御データまで漸次変化するようにする。 （もっと読む）

【課題】安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸およびＹ軸の少なくとも１軸方向に位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の１軸方向の位置を検出するレゾルバ２と、
このレゾルバ２のスライダ１の進行方向側に隣接して配置されたレゾルバ２ａ，２ｂと、
このレゾルバ２ａ，２ｂの出力に基づいてレゾルバ２の出力を補正する補正部と、
この補正部からの出力に基づいてスライダ１の位置を算出する位置算出部と、
を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）