【課題】一定流量の濃縮汚泥を安定して濃縮及び脱水する。
【解決手段】汚泥濃縮脱水システムは、汚泥を濾過して、濃縮汚泥を生成する濃縮装置１０１と、濃縮装置から排出される濃縮汚泥を一時的に貯留して、貯留した濃縮汚泥の液位を計測する液位計測装置１０２と、液位計測装置１０２により一時的に貯留された濃縮汚泥を排出する濃縮汚泥供給ポンプ１０３と、濃縮汚泥供給ポンプ１０３から排出された濃縮汚泥の圧入圧力を計測する圧力計１０４と、濃縮汚泥供給ポンプ１０４から排出された濃縮汚泥が圧入され、且つ当該濃縮汚泥を脱水する脱水装置１０５と、圧力計１０４が計測した圧入圧力に基づいて、濃縮汚泥供給ポンプ１０３からの排出量を制御し、且つ液位計測装置１０２が計測した液位に基づいて、脱水装置１０５が備える脱水スクリュー軸の回転数を制御する制御装置１０６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】コストを低減した制御装置により、粘性の低い液体と粘性の高い液体とを混合する場合であっても所望の比率で混合することができる。
【解決手段】複数の液体供給源Ｔ１，Ｔ２に接続する給液配管ＳＰ１，ＳＰ２を分岐させ、分岐管路を複数の混合タンクＭＴ１，ＭＴ２に接続して第１液体と混合用液体とからなる液体を供給可能とし、混合タンクに供給された第１液体の積算流量を測定し、この測定値から混合タンクに供給することが必要な液体の積算流量を算出し混合用液体の理論上の必要量を求め、混合タンクに供給された混合用液体の積算流量を測定し、この測定値と混合用液体の理論上の必要量とから混合用液体の不足量を算出し、混合用液体の積算流量の測定値が混合用液体の理論上の必要量に対し不足する場合には、予め求めておいた混合用液体の不足量に対する流量制御弁の弁開度に基づいて流量制御弁の弁開度を制御し混合用液体を混合タンクに供給する。 （もっと読む）

【課題】固形分を含有する流体の流量が設定値からズレないように流量計の測定値をオンラインで校正すること。
【解決手段】固形分を含有する流体を貯蔵するタンク１と、タンク１へ流体を送るポンプ８と、流体の貯蔵レベルがタンク１の上限／下限レベルに到達した際にポンプ８を停止／稼働するタンクレベル制御手段６と、タンク１から流体配管３を通って流出する流体の流量を測定する流量計４と、流量計４の測定値を校正する校正手段６と、流量計４の測定値に基づいて流体配管３を流れる流体の流量を調節する流量調節手段５とから構成される流量制御装置１５において、前記校正手段６は、タンク１内の流体の貯蔵レベルが上限レベルから下限レベルまで低下するまでの期間内に、流体の貯蔵量の変化量を求め、当該貯蔵量の変化量に基づき前記期間の少なくとも一部の時間内の流体の平均流量を計算し、当該平均流量の計算値により流量計４の測定値を校正する。 （もっと読む）

【課題】質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および／動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成する方法を提供する。
【解決手段】さまざまな異なるタイプの流体および動作条件の下で一定の制御ループ利得を有するように質量流量コントローラを制御し、質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および／動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成するシステムおよび方法。さらに、このシステムおよび方法には、非動作信号をソレノイド作動装置に供給することによってソレノイド作動装置のヒステリシスの影響を減らすことによって制御を提供することが含まれる。 （もっと読む）

材料放出システムの放出操作（例えば、実際の放出量）を測定し、確認するための放出確認メータ。この放出確認メータは好ましくは自動的にゼロオフセットドリフトを補正し、好ましくは十分に大きなサンプル率で放出された材料の流速をサンプルし、所望の放出操作がなされたか否かを確認する。 （もっと読む）

【課題】正確な量の１つまたは複数の流体を提供する。
【解決手段】複数の流体出口に、第１流体出口と少なくとも１つの第２流体出口が含まれる。第１流体出口は、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給し、少なくとも１つの第２流体出口は、プロセス流体の流れの残りの部分を供給する。１実施形態では、制御システムに、圧力変換器、第１乗算器、第２乗算器、第１フローコントローラ、および第２フローコントローラが含まれる。第１乗算器は、圧力変換器から受け取る圧力信号に、第１セットポイントをかけて、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給する第１フローコントローラを制御する。第２乗算器は、圧力信号に第２セットポイントをかけて、残りの部分を供給する第２フローコントローラを制御する。 （もっと読む）

導管１０を通過する流体の流れを制御する流量制御装置は、流体の流れに対して抵抗を発生させるウェッジ１２と、前記導管１０の上流側と下流側にそれぞれ配置され、前記導管の上流側における流入圧力と前記導管の下流側における流出圧力とをそれぞれ検出する圧力センサー２０−１，２０−２と、前記流入圧力と前記流出圧力との間の差圧に対応する流量を検出し、検出流量を設定流量と比較して、前記検出流量と前記設定流量との間の偏差によって計算された開度率で前記導管１０の流出側開度率を調節する流量制御部２２と、前記流量制御部によって調節された開度率を正確に一致させるために前記差圧の不正確な増加を感知する誤謬感知部２８とを含む。 （もっと読む）

【課題】少ない刺激によって高速かつ高精度に微粒子を分別できる微粒子分別マイクロシステムおよび微粒子分別方法を提供することを目的とする。
【解決手段】微粒子分別マイクロシステム１は、刺激感応物質としてのゾル-ゲル転移物質が添加された微粒子含溶液11が流れる微粒子含溶液流路３と、所定位置で当該微粒子含溶液流路３と合流するシース溶液12が流れるシース溶液流路４と、微粒子含溶液流路３とシース溶液流路４とが合流した合流流路９と、当該合流流路９に設けられた導入された微粒子10を計測するための微粒子計測部５と、合流流路９の下流に設けられ、分岐点６を介して分岐する微粒子10を分別するための微粒子回収流路７ａ及び微粒子廃棄流路７ｂとが、基板２上に設けられるとともに、当該微粒子廃棄流路７ｂ上に刺激付与手段としての赤外線照射装置８が設けられた構成を有する。 （もっと読む）

【課題】流体の圧力等の条件変動の影響を受けにくい流量制御を実現する。
【解決手段】 流体流制御装置５は、装置に流体を流入させるための注入口１２０と、装置から流体を流出させるための排出口１２５を含んでいる。この装置は、流体を受け取ってその流体を制御された圧力で送出するように構成された圧力調整部１５も含んでいる。更に、圧力調整部により送出された流体を受け取って、その流体を制御された流量で送出するように構成された流量制御弁調節部を更に含んでいる。更に、流体の流量を測定するように構成された流量計２５と、少なくとも流量計により測定された流量に従って少なくとも流量制御弁調節部を制御する制御装置１１５とを含んでいる。本装置は、流体を半導体処理工具に流入させるため及び／又は複数の流体を配合するために使用される。 （もっと読む）