【課題】プロセス内の構成要素の制御をより大きな中央処理能力に対する要求を減少することを可能とする工業システムを提供する。
【解決手段】流体流量調整装置は、流体流路内で移動可能な絞り要素を有するレギュレータ本体１２と、パイプライン１４，１６、レギュレータ本体１２及び前記絞り要素１８の状態を測定してその状態を示すセンサ信号を出力する複数のセンサ２６，３０，３４と、前記複数のセンサ２６，３０，３４から出力された一又は複数のセンサ信号に応じて複数の外部プロセスコントロール装置を制御するため出力信号を生成するように構成されているプロセッサ２８と、前記複数の外部プロセスコントロール装置と通信し、また前記プロセッサ２８と通信するように構成されている通信ユニット３６とを備える。前記プロセッサ２８は、一又は複数のセンサ信号及び前記装置信号に応じてレギュレータ本体１２を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】給水系に設けられた流量調節弁を長期間使用してその弁特性が変化した場合であっても、特に、給水流量の少ない低流量領域においても給水ポンプから吐出される給水流量が過流量となることを防止することができる給水ポンプ過流量防止装置を提供する。
【解決手段】給水ポンプ過流量防止装置は、条件出力手段２４ｃから入力した条件信号の変化率を制限して出力する変化率制限手段２４と、弁制限開度信号２０ａと変化率制限手段２４から出力された信号とを加算する加算手段２５と、弁制限開度信号２０ａと加算手段２５の出力とを比較して差分を補正弁制限開度信号２７ａとして出力する入力比較出力手段２６と、入力比較出力手段２６の出力信号に基づいた補正弁制限開度信号２７ａを下限値と入力する流量調節弁のローリミッタ２８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】圧力及び質量流量の両方を反映させるとともにタンク容積の変化も考慮した高精度の検定を行う質量流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路6の最上流に設けられた検定用バルブ42と、質量流量制御バルブ機構10と、質量流量制御バルブ機構10より上流側の流路6に設けられたタンク44と、質量流量検出手段8と、圧力検出手段46と、質量流量制御バルブ機構10を制御する手段18と、質量流量検定制御手段48とを有する質量流量制御装置を検定する方法であって、(1) 流路6に設定質量流量の流体を流し、(2) 流体の質量流量が設定質量流量と一致するように質量流量制御バルブ機構10の開度を保持し、(3) 検定用バルブ42を閉じ、(4) タンク44から流出する流体の流れが安定化した後で流体の圧力及び質量流量を測定し、(5) 初期状態において同じ手順で測定しておいた基準の圧力及び質量流量に対する圧力及び質量流量の変化率を求め、(6) 変化率に応じて検定を行う方法。 （もっと読む）

【課題】 圧力変動を吸収することができて流量の制御性が高い流量制御装置を提供する。
【解決手段】 流体を流す流路６に、流量を検出して流量信号を出力する流量検出手段８と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって流量を制御する流量制御弁機構１０とを設ける。そして、外部から入力される流量設定信号Ｓ０と流量信号Ｓ１とに基づいて流量制御弁機構を制御する制御手段４４を設けてなる流量制御装置において、流路に流体の圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段４２を設ける。前記制御手段は流量検出手段から得られる流量信号に基づいて、圧力検出信号を用いることなく流量信号と流量設定信号とに基づいて流量制御を行う第１制御モードがある。そして、圧力検出信号と流量設定信号とに基づいて流量制御を行う第２制御モードとを選択的に切り替える。 （もっと読む）

【課題】 バルブ等の他の構成部材と同じベース取付け部を有することでガス供給ラインを小型化できる集積タイプのマスフローコントローラを提供することである。
【解決手段】 本体ブロック１に流体入口８ａと流体出口８ｂを形成し、これら流体入口８ａと流体出口８ｂを接続する流体流路１１中に制御バルブ３１を設け、更に、流体入口８ａと制御バルブ３１との間に、流体Ｇをバイパスさせるバイパス素子７と、流体Ｇの流量測定を行う流量センサ部１０とを並列的に設け、前記流量センサ部１０からの流量測定信号と流量設定信号とを比較制御回路において比較し、この比較制御回路から出力される制御信号に基づいて制御バルブ３１の開度を制御するようにしたマスフローコントローラ３であって、前記本体ブロック１内に前記バイパス素子７を設けるとともに、前記本体ブロック１の側面ｎに前記流量センサ部１０を設ける一方、前記本体ブロック１の上面ｓに前記制御バルブ３１を設けている。 （もっと読む）

【課題】 製品出荷後に複数種類の実使用ガスと複数の流量レンジに対応したマスフローコントローラに仕様変更を可能とすること。
【解決手段】 質量流量制御装置の初期状態において、校正ガスを用いて流量設定信号に対する実流量を計測した校正ガス特性データを求め、この校正ガス特性データを制御手段に記憶し、一方、複数種類の実ガス毎に流量設定信号に対する実流量を計測した実ガス特性データを求め、この実ガス特性データを記憶媒体に保存し、その後、前記質量流量制御装置を稼働する前に、実使用ガスの実ガス特性データを前記記憶媒体からコンピュータを介して読み出し、また、前記制御手段に記憶した校正ガス特性データを読み出し、前記実ガス特性データを元に前記校正ガス特性データを制御流量補正データに変換し、制御流量補正データを制御手段に書き込み、この制御流量補正データを基に実ガス流量を補正する流量制御補正方法である。 （もっと読む）

多重モード制御アルゴリズムを使用して、流体の流量を制御するためのシステムおよび方法を説明する。一実施形態は、閉ループモードから開ループモードに多重モード制御アルゴリズムを変化させるための方法を含む。本方法は、センサによって生成される少なくとも１つのセンサ指標を受信するステップを含む。多重モード制御アルゴリズムは、少なくとも１つのセンサ指標に基づいて、閾値条件が充足される場合に、閉ループモードから開ループモードに修正される。多重モード制御アルゴリズムは、設定値に従って流体の流量を制御するために、流量制御器によって使用される。 （もっと読む）

【課題】微少な吐出量を制御可能な液体流量制御装置を提供すること。
【解決手段】電気制御装置２００は、第２バルブ４を閉弁状態に維持しながら第１バルブ３を開弁することによって第１通路１３をダイアフラムポンプ２に連通し、ダイアフラムポンプ２に通電することによって第１通路１３内の液体をダイアフラムポンプ２内に吸引し、その後、第１バルブ３を閉弁することによって第１通路１３を遮断するとともにダイアフラムポンプ２への通電を停止することによってダイアフラムポンプ２を原状へ復帰可能な停止状態に維持し、第２バルブ４を開弁開始することによってダイアフラムポンプ２を原状へ復帰開始させ、ダイアフラムポンプ２の原状への復帰途中で第２バルブ４を閉弁する制御を行う。 （もっと読む）

１つの質量流量を複数Ｎ個の副次流に分割するシステムは、１つの質量流量を受けるように構成されている入口と、マスタＦＲＣ（流量比コントローラ）と、１つ以上のスレーブＦＲＣとを含む。各ＦＲＣは、入口に接続されており、少なくとも１つの副次流導管を含む。マスタＦＲＣおよびスレーブＦＲＣは、組合せにおいて、Ｎ個の副次流導管を含む。各流導管ｉ（ｉ＝１、．．．Ｎ）は、Ｎ個の副次流の内対応する１つを搬送するように接続されている。ホスト・コントローラから事前選択比率設定点に応答して、マスタＦＲＣおよびスレーブＦＲＣは、個々の流量Ｑ_ｉ（ｉ＝１、．．．Ｎ）と総流量Ｑ_Ｔとの間おける比率Ｑ_ｉ／Ｑ_Ｔ（ｉ＝１、．．．Ｎ）を、事前選択比率設定点に維持する。 （もっと読む）

【課題】自動的に流量を調整することができる流量制御システムを提供する。
【解決手段】共通管路１６と、各半導体製造装置５１〜５３へ冷却水を供給する分岐管路と、分岐管用流量調整弁と、冷却水の流量の設定条件を入力する半導体製造装置用操作部と、分岐管用流量センサと、分岐管用流量調整弁の制御にかかる信号を出力する流量調整用の比較器を備えた半導体製造装置用命令処理部と、各半導体製造装置への冷却水の供給量の総和となる設定条件を自動的に入力する自動入力手段５０と、自動入力手段５０から設定条件が入力される操作部３２と、共通管路１６に設けられた流量調整弁３４と、共通管路１６内における冷却水の流量を検出する流量センサ２６と、操作部３２から入力される設定信号と流量センサ２６による検出信号とを比較し、流量調整弁３４の制御にかかる信号を出力する流量調整用の比較器３６を備えた命令処理部４０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 流体の種別等に応じた各種の変更設定操作を簡単に行うことのできる取り扱い性に優れた汎用性の高い流量制御装置を提供する。
【解決手段】 熱式流量センサを備え、流量制御弁の開度を比例制御して流体の流量を制御する流量制御装置であって、流体の種別に対応付けて熱式流量センサにて計測可能な最大流量を登録したテーブルと、流量制御弁を介して制御する流体の種別を設定する種別設定手段と、設定された流体の種別に応じて前記テーブルを参照して求められる最大流量に従って最大制御レンジを自動設定するレンジ設定手段と、設定された最大制御レンジに対する相対値に従って運用制御レンジをマニュアル設定するレンジ変更手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができ、幅広い流量範囲で微細に流量を制御することができる流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、流路の開口面積を変化させることにより流体の流量を制御する流体制御弁と、流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器と、該流量計測器からの前記電気信号と設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御弁の開口面積を制御するための指令信号を、前記流体制御弁または該流体制御弁を操作する機器へ出力する制御部と、を具備することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、流量を幅広い流量範囲で微細に制御することができ、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができる流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁５と、流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器４と、流量計測器４からの前記電気信号と設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御弁５の開口面積を制御するための指令信号を、前記流体制御弁５または該流体制御弁を操作する機器１０３へ出力する制御部８と、開口面積が調節可能な絞り弁６と、を具備し、前記流体制御弁５と前記流量計測器４と前記制御部８と前記絞り弁６とが全て一つのケーシング２内へ収納配設されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができ、幅広い流量範囲で微細に流量を制御することができる流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁４と、流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器３と、該流量計測器３からの前記電気信号と設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御弁４の開口面積を制御するための指令信号を、前記流体制御弁４または該流体制御弁を操作する機器５６へ出力する制御部６と、を具備することを特徴としている。 （もっと読む）

本発明は、流量圧力の緩慢低減を経時的に測定可能な流量に変える磁気式流量制御装置に関する。閾値差圧に到達すると、流量制御装置を通る流路は、相対的に大きな開口部に向け急激に開き、その結果、特に、従来の水量計における流体容量の測定を可能にするために流路を通る高流量にて流体容量が生成される。本発明の装置は、この低流量を統合して、測定可能な流体流量に変えることで、流体を流量計によって最適な誤差範囲で測定することができるようにする。これは、許容標準値内である流量計の圧力降下を維持しながら達成される。したがって、本発明は、パルスと同様の方法で、実質的に高流量と無流量との間で相対的に著しい変化を実現する。
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【課題】 被検ガスの流量の変化を正確に測定することができるガス流量測定機構を備えることにより、ガスセンサに供給される被検ガスの流量を高い安定性をもって一定に維持することができ、信頼性の高い検知出力が得られるガス検知器を提供する。
【解決手段】 このガス検知器は、ガスセンサと、ガス流路を介して被検ガスをガスセンサに供給するガス供給ポンプと、ガス流路に設けられた超音波ガス流量測定機構と、この超音波ガス流量測定機構よりのガス流量信号により、ガスセンサに供給される被検ガスの流量が一定となるようガス供給ポンプを制御する制御機構とを有する。超音波ガス流量測定機構は、被検ガスの流通方向に互いに離間して位置された一対の超音波発信−受信素子により構成されており、各超音波発信−受信素子は、ガス流路の外部に配置することができる。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、配管接続による圧力損失を低減し、各モジュールの配置変更を容易に行なえるもので、また流体に腐食性流体を使用しても腐食が起こることなく、スラリーを使用してもスラリーが固着しにくく、配管後の流量の設定変更や、流路の遮断が可能であり、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、超音波を流体中に発信する超音波振動子１２と超音波振動子１２から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部６０に出力する超音波振動子１３とを有する流量計センサ部４と、操作圧により流体の流量を調整する空気駆動式ピンチ弁５とを具備し、少なくとも流量計センサ部４と空気駆動式ピンチ弁５とが、流体流入口３と流体流出口６とを有する１つのケーシング２内に接続されて設置されてなる。 （もっと読む）

【課題】市場で調達可能な各方式のディスペンサを用いて、流体媒体の配量システムの配量精度を改善する。
【解決手段】制御信号を伝送するためのインタフェース３６、及び、センサ出力信号を伝送するためのインタフェース５０を有する制御装置１０と、インタフェース３６からの制御信号により制御され、所定量の流体媒体を吐出させる流体媒体用ディスペンサ３０と、インタフェース５０からの制御信号により制御され、ディスペンサ３０に配送される流体媒体の流量率を連続的に検出し、その流量率に対応するセンサ出力信号４４を出力するセンサ・ユニット４０とを備え、制御装置１０は、センサ出力信号４４を検出して該センサ出力信号４４から配送された流体媒体の流量を演算し、その流量に従って設定された流体媒体の所定量に合致するように、ディスペンサ３０から吐出される流体媒体の量を制御する。 （もっと読む）

【課題】 装置全体を小型化して、特に占有面積を大幅に削減することが可能な質量流量制御装置を提供する。
【解決手段】 質量流量を制御する質量流量制御装置において、上下方向に延びて内部が中空になされたケーシング本体４２と、流体出口に２次側空間を介して連通された弁口に着座可能になされた弁体を有する流量制御弁１０と、弁体を押圧するためのアクチュエータ機構２６と、アクチュエータ機構と並列に上下方向に配列されたバイパス流路１２と、入口ヘッダ空間と流体入口とを連通する流体導入路７４と、入口ヘッダ空間と出口ヘッダ空間との間に連通されると共に、アクチュエータ機構に沿って上方へ向かって延びた後に下方向へ屈曲されるようにして設けられたセンサ管１４と、出口ヘッダ空間と流量制御弁の１次側空間とを連通する連通路４８と、検出された質量流量が外部より入力される設定流量に一致するようにアクチュエータ機構を駆動するためにアクチュエータ機構の上方に設けられた制御回路部１６と、を備える。 （もっと読む）

流れ制御装置（１０）に装填された投与給送セット（１４）内の流れを検出及び識別できる流れ監視システム（１２）を有する流れ制御装置（１０）を開示する。流れ制御装置（１０）は、投与給送セット（１４）内での流体の有無を検出できる単一のセンサ（３２）を備える。ソフトウエアサブシステム（３６）は、単一のセンサ（３２）と協調動作し、流れ制御装置（１０）に装填された投与給送セット（１４）内の上流の流れの状態と下流の流れの状態とを識別することができる。 （もっと読む）