【課題】圧力調整弁の二次側圧力の変動を低減して、流量制御機器から排出するガス流量を高精度に検定でき、測定用タンク内の圧力降下率を一定に維持する。
【解決手段】プロセスガス供給源からのガスを第１ライン遮断弁２２と第２ライン遮断弁２３と流量制御機器２４とを経由しプロセスチャンバに供給する複数のプロセスガスライン２と、共用ガス供給源からのガスを第２ライン遮断弁２３と流量制御機器２４とを経由し排出すべく、分岐接続された共用ガスライン１とを有し、共用ガスライン１には、共用遮断弁１２と測定用タンク１３と第１圧力センサ１４１と圧力調整弁１５とを備え、第１ライン遮断弁２２及び共用遮断弁１２を弁閉したとき、測定用タンク１３内におけるガスの圧力降下を第１圧力センサ１４１により測定し流量制御機器２４の流量検定を行うガス流量検定システムにおいて、圧力調整弁１５は、該圧力調整弁１５の二次側圧力を制御する。 （もっと読む）

【課題】圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。圧力センサと熱センサとは、それぞれが測定された入口流率とデッド・ボリュームの中の圧力とを示す信号を電子コントローラに提供する。電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】マスフローコントローラの流量制御バルブのより長期間の使用を可能にするとともに、流量設定値を減少させた場合に実流量をより正確に制御可能にする。
【解決手段】流量センサ部２と、その流量センサ部２の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ３と、流量測定値と流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部６と、フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ３に出力する開度制御信号出力部７とを備えており、前記比例演算における偏差に乗算するゲイン値を、流量設定値を所定量以上減少させた時点から所定期間である減少変化期間において、減少前の設定流量値と減少後の設定流量値との変化分を用いて得られる演算値が小さくなれば大きな値が算出される関数を用いて算出している。 （もっと読む）

【課題】マイクロ処理装置の特性や流体の物性に拘わらず閉塞箇所を高精度に検出することができる流体分配装置、及び当該装置を備えることによって安定した長期連続運転が可能なマイクロプラントを提供する。
【解決手段】流体分配装置１は、入力流路１１に供給される流体を３以上の出力流路１３に分配するものであって、複数の枝マイクロ流路Ｒc21〜Ｒc33，Ｒs11〜Ｒs36を組み合わせてなり、入力流路１１に供給された処理対象流体Ｗ１を出力流路１３の数だけ分配する分配流路１２と、分配流路１２をなす複数の枝マイクロ流路Ｒc21〜Ｒc33，Ｒs11〜Ｒs36のうちの２つの枝マイクロ流路（例えば、枝マイクロ流路Ｒc31，Ｒc33）の流量を測定するマイクロ流量計１４ａ，１４ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】コストを低減した制御装置により、粘性の低い液体と粘性の高い液体とを混合する場合であっても所望の比率で混合することができる。
【解決手段】複数の液体供給源Ｔ１，Ｔ２に接続する給液配管ＳＰ１，ＳＰ２を分岐させ、分岐管路を複数の混合タンクＭＴ１，ＭＴ２に接続して第１液体と混合用液体とからなる液体を供給可能とし、混合タンクに供給された第１液体の積算流量を測定し、この測定値から混合タンクに供給することが必要な液体の積算流量を算出し混合用液体の理論上の必要量を求め、混合タンクに供給された混合用液体の積算流量を測定し、この測定値と混合用液体の理論上の必要量とから混合用液体の不足量を算出し、混合用液体の積算流量の測定値が混合用液体の理論上の必要量に対し不足する場合には、予め求めておいた混合用液体の不足量に対する流量制御弁の弁開度に基づいて流量制御弁の弁開度を制御し混合用液体を混合タンクに供給する。 （もっと読む）

【課題】搬送流路に取り外し可能な流量調整装置を仮設し、該流量調整装置により搬送流路を流れる流体の流量を目標流量に自動的に調整することができる流体搬送設備を提供する。
【解決手段】流体送出装置から主ダクトに送出された流体の流量を調整すべく分岐ダクトとの分岐部と流体送出装置との間に第１流量調整部材が設置され、主ダクトから分岐された分岐ダクトには第２流量調整部材が取り付けられ、これら流量調整部材を通過する流量が流量調整装置により目標流量に調整され、この流量調整装置が、流量調整部材ごとに設置される流量調整ユニットと、これら各流量調整ユニットを操作する１つの情報処理装置とを備る。流量調整ユニットのそれぞれは、流量検知装置と、流量調整部材の操作部を作動させる作動装置と、操作部の操作力を検知する操作力検知装置と、作動装置に開閉部の開閉量変更値を出力する制御装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】水量管理システムにおいて、無駄な吐水を防ぎ、容易に節水することができるようにする。
【解決手段】水量管理システム１は、一つの供給元から分岐した複数の給水管のそれぞれ流量の設定や表示を行なう設定・表示部３と、流量を検出する流量検出部４と、流量を調整する流量調整部５と、流量調整部５を制御する制御部６を有している。制御部６は、他の給水管に設けられた全ての制御部６と接続されており、他の給水管の流量検出部４が検出した流量を受信する。設定・表示部３は、ユーザによってそれぞれの給水管の流量や合計流量を設定される。設定・表示部３は、設定値をそれぞれの給水管の制御部６に送信する。制御部６は、流量が設定値になるようにそれぞれの流量調整部５を制御する。給水管毎の流量や合計流量を設定することができるので、無駄な吐水が防がれて節水することができる。 （もっと読む）

【課題】マスフローコントローラにおけるＰＩ性能を向上させる。
【解決手段】マスフローコントローラにおいて、安定状態におけるＰＩＤ演算に用いる比例係数、積分係数及び微分係数を、一次側圧力、当該一次側圧力の時間変化量、及び流量設定値の少なくとも２つに基づいて変更させる。 （もっと読む）

【課題】柔軟、正確、かつ汚染の無いリアルタイムの連続混合システム、また、適切な混合および処理ツールへの正確な流体流量を確実にするための正確な圧力制御を提供する。
【解決手段】流量制御装置と、流量制御装置１１０と流体連通しているコリオリ質量流量計１１２とを含む流体供給システムである。コリオリ流量計は、ＰＦＡのような高純度プラスティック材料で作製されたフローチューブを有し、供給システムを高純度用途に適したものにする。コントローラ１１４は、ピンチバルブ１２０を含むことが可能な流量制御装置１１０に制御出力信号を供給し、設定点信号および流量計１１２から受け取った測定値信号に応答して、流量制御装置の出力を変化させる。 （もっと読む）

【課題】流量比可変型ガス分流供給装置を小型化低コスト化すると共に、流量比の調整を簡単且つ高精度で出来るようにする。
【解決手段】流量制御装置６から供給された流量Ｑのガスを第１分流管路１及び第２分流管路２へ所定の流量Ｑで分流させ、両分流管路１、２から流量Ｑのガスをチャンバ内へ供給するように、前記第１分流管路１に第１オリフィス３を介設し、また、前記第２分流管路２を複数の分岐管路２ａ〜２ｎを並列状に直結した管路としてオリフィス４ａ〜４ｎ介設すると共に、前記分岐回路の全部又は一部に開閉バルブＶｂ〜Ｖｎを介設し、当該開閉バルブＶｂ〜Ｖｎの開又は閉により第２分流管路２の流通可能なオリフィスの合計開口面積Ｓ２ｏを調整することにより、前記第１分流回路１の第１オリフィス３と前記第２分流路２の流通可能なオリフィスの合計開口面積との比に等しい流量比でもって、各分流管路１、２へ流量Ｑのガス流を分流させる。 （もっと読む）

【課題】各ラインの流体を任意の比率で混合させ、脈動した流体も流量制御することができ、コンパクトな構成で狭いスペースに設置可能であり、設置における配管及び配線接続が容易である流体混合装置の提供。
【解決手段】２つの供給ラインがそれぞれ第一、第二流体制御弁と、各ラインの実流量を計測し信号を出力する各流量計測器と、各流体制御弁を制御するための指令信号を出力する各制御部とを具備し、２つの供給ラインに流れる各々の流体を任意の比率で混合させる。第一流体制御弁は制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御し、第２流体制御弁は流路の開口面積を変化させて流体の流量を制御する。例えば、半導体製造用の洗浄液を得るためにフッ化水素酸または塩酸が１に対して純水が１０〜２００の比率で混合される。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置の二次側流体の圧力変動が発生した場合であっても流体流量の安定化を高精度で実現することができる流量制御装置及びその方法を提供する。
【解決手段】流体供給部１１から所定の流体使用部１５に対して流通する流体の供給ラインＬに配される流量制御装置１０であって、流体供給部側に配置される第１圧力制御弁部２０と、第１圧力制御弁部と圧力損失部４０を介して流体使用部側に配置される第２圧力制御弁部６０とを含み、第１圧力制御弁部は、一次側流体の圧力変動に対して第１弁室２２内に配置された第１弁部３０が第１弁座２５に対して進退して二次側流体を所定の圧力に維持する第１圧力制御機構Ｃ１を備えており、第２圧力制御弁部は、二次側流体の圧力変動に対して第２弁室６２内に配置された第２弁部７０が第２弁座６５に対して進退して一次側流体を所定の圧力に維持する第２圧力制御機構Ｃ２を備えている。 （もっと読む）

【課題】 所望の比率の流量で流体を分配することができるマイクロ流量分配コントロール装置を実現することにある。
【解決手段】 本発明は、入力側流路を流れる流体を、複数のマイクロ流路に分配するマイクロ流量分配コントロール装置に改良を加えたものである。本装置は、マイクロ流路に設けられ、流量を測定する流量センサと、この流量センサの上流側または下流側のマイクロ流路に設けられるバルブと、流量センサの測定結果によってバルブの調整を行う調整手段とを設けたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 高精度な汚水流入量の予測を実現しうる汚水流予測制御装置を提供すること。
【解決手段】 汚水ポンプ４を制御することによって汚水の揚水量を制御している汚水揚水計画制御装置において、管理区域からの汚水流量を予測する汚水流入量予測演算部１と、この汚水流入量予測演算部１による演算結果によって汚水揚水量を制御する汚水揚水計画制御部３とを備え、さらに前記汚水流入量予測演算部１では管理区域での人口分布データ、工場の有無等の環境条件及び下水排水設備の状態とを考慮に入れた演算パラメータに基いて汚水流入量の予測を行う。 （もっと読む）