【課題】積層形液体制御装置の圧力スイッチを構成する環状隙間を通過する漏洩液体の量を少なくする圧力スイッチを提供。
【解決手段】圧力スイッチ１５は他のバルブ、例えば上面３０ａに減圧弁１６、下面３０ｂにパイロットチェック弁１４と接合するボディ２５と、前記ボディ２５の一側面に図示しない取付ボルトにより係着されたカバー２６と、前記ボディ２５に対向した位置にあって前記カバー２６の他側面に螺合したリテーナ２７と、前記ボディ２５及び前記リテーナ２７に直交するように前記カバー２６の図示しない取付ボルトにより固着されたカバー２８と、前記カバー２７に取付られたガスケット２９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】精密かつ高速に圧力制御を行なうことができる圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】実施形態の圧力制御装置は、バルブと、前記バルブに接続されている軸部と、ソレノイド部と、マイクロメータ部と、制御部と、を備えている。前記ソレノイド部は、前記軸部をソレノイド駆動によって軸方向に移動させることにより、前記軸部を介して前記バルブのゲート開度を調整し、前記マイクロメータ部は、前記軸部に着脱自在に取り付けられるとともに、前記軸部に取り付けられた場合には前記軸部をねじ機構によって軸方向に移動させることにより、前記軸部を介して前記バルブのゲート開度を調整する。前記制御部は、前記マイクロメータ部を用いて前記ガス圧力を制御する際には、前記マイクロメータ部を前記軸部に取り付け、前記ガス圧力を制御する際には、前記マイクロメータ部を前記軸部から取り外す。 （もっと読む）

【課題】現場での改造又は再取付けが容易なモジュラー式インライン型流体調整装置を提供する。
【解決手段】モジュラー式流体調整システムは、本体２１８を備えており、この本体は、流体の入口２２０と、もう一方の流体調整装置のねじが設けられた開口２２４に螺合して第１の調整装置２０２と第２の調整装置２０４を直列に流体連通させるねじが設けられた外面２２２とを有する。この例示的な流体調整設備はまた、第１の流体調整装置を通過する流体の流れを調整する弁２３２と、この弁の位置を調整して第１の流体調整装置の出口２４２における出力圧力を調整する、この弁に作動可能に結合された圧力検出部材２３４も備える。圧力検出部材及び弁は、ねじが設けられた開口に近接した第２の流体調整装置のキャビティ２３１内に収容されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】データの準備に要する労力を軽減し、キャビテーションの有無及び状態を診断する。
【解決手段】キャビテーション診断装置は、調節弁１の上流側流体圧力Ｐ１と下流側流体圧力Ｐ２と調節弁１による圧力損失から回復する途中の流体圧力Ｐ３から診断係数を算出する診断係数算出部７と、キャビテーションが発生し始めるときの診断係数であるしきい値σｔｈ０、特性圧力比ＸＦｚの条件を満たす状態に達したときの診断係数であるしきい値σｔｈ１、臨界キャビテーションの状態に達したときの診断係数であるしきい値σｔｈ２、チョークフローの状態に達したときの診断係数であるしきい値σｔｈ３を記憶する記憶部８と、調節弁１の相対容量係数に対応するしきい値σｔｈ０，σｔｈ１，σｔｈ２，σｔｈ３を求め、算出された診断係数と比較してキャビテーションの有無及び状態を判定する判定部９を備える。 （もっと読む）

【課題】内部構造の複雑化を招くことなく、受圧デバイス側への高圧流体の過大な漏れを防止することのできる締切り機構付き減圧弁を提供する。
【解決手段】高圧側の一次側圧力室１３と、受圧デバイス側の二次側圧力室１４を連通孔１７によって連通する。二次側圧力室１４の圧力を受けるダイヤフラム１９を設け、弁体１８をダイヤフラム１９に連結する。ダイヤフラム１９は開弁スプリング２０で開弁方向に付勢する。弁体１８に対する閉弁荷重の増減切り換えが可能な荷重操作手段２９を設ける。荷重操作手段２９は、弁体１８に対して離接可能なプランジャ２６と、プランジャ２６を付勢する閉弁スプリング２７と、プランジャ２６に、弁体１８から離間する方向の磁気推力を作用させる電磁コイル２８と、によって構成する。 （もっと読む）

【課題】ヒータを使用せずに真空容器内の圧力のアンダーシュートを防止する真空圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】真空容器と真空ポンプとを接続する配管上であって開度を変化させることにより真空容器内の真空圧力を変化させ、弁座と当接又は離間するＯリングを備える弁体とエア式シリンダを備えるパイロット式の真空比例開閉弁１８と、真空容器内の真空圧力を計測する圧力センサ１７と、圧力センサ１７の圧力に基づいてＯリングの弾性変形量を変化させ、Ｏリングからの漏れ量を変化させることにより真空容器内の圧力を制御するコントローラと５６、を有する真空圧力制御装置８において、圧力センサ１７により計測された真空容器内の圧力が一定以上の圧力下降率となったときに、エア式シリンダの内圧を排気する。 （もっと読む）

【課題】既存の圧力レギュレータに付随する「降圧」および「昇圧」の問題と、保守性の問題を解決した自己調整圧力レギュレータを提供する。
【解決手段】あらかじめ定められた圧力にプロセスにおける流量を維持するためのインテリジェント圧力レギュレータ１０であって、レギュレータの性能を向上させ、自己診断および通信能力を与える電子制御器を含む。電子制御器は、制御されている流体の圧力を示す信号を与える圧力センサと、絞り要素の位置を調整する調整圧力と、制御されている流体の圧力を示す信号を受信し、この信号に応答にしてアクチュエータに調整圧力を与えるＰＩＤ制御器３４とを備える。 （もっと読む）

【課題】電磁ソレノイドを用いた電磁比例減圧弁では、電磁ソレノイドが残留磁界によるヒステリシス成分を有するために、圧力特性にヒステリシス成分が影響してしまい、精密な制御ができなかった。
【解決手段】弁部と、弁部に押圧力を与えるピストン部と、ピストン部に外嵌するシリンダ部と、ピストン部が弁部を押圧する押圧方向に移動できるようにピストン部とシリンダ部に固定されて、シリンダ部の一部に気密空間を形成する仕切幕とを備える減圧弁。 （もっと読む）

【課題】自身の現在の動作型式や制御のための各種パラメータの設定変更を自動的に行わせる。
【解決手段】演算部１にポジショナ動作型式判別機能１Ｂおよび使用パラメータ選択機能１Ｃを設ける。記憶部６に正動作パラメータと逆動作パラメータを記憶させておく。ポジショナ動作型式判別機能１Ｂは、制御出力Ｋの変化方向と増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの変化方向とからポジショナ１００の動作型式を判別し、その判別結果をポジショナ１００の現在の動作型式として自動設定する。使用パラメータ選択機能１Ｃは、判別されたポジショナ１００の現在の動作型式に応じ、正動作型である場合には正動作パラメータを、逆動作型である場合には逆動作パラメータを記憶部６から使用パラメータとして選択し、選択した使用パラメータを自動設定する。 （もっと読む）

【課題】チャンバ室の圧力を目標圧力降下勾配に近づけるように電動真空弁の弁開度を切り換える設定点を簡単かつ安価に設定できる電動真空弁による排気速度制御方法を提供すること。
【解決手段】電動真空弁２１の弁開度を等比倍数に従って段階的に制御し、弁開度毎に、真空ポンプ１３により粘性流領域から排気を行わせ、圧力センサ１５によりチャンバ室の真空圧力を測定して圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を実測した後、圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を目標圧力降下勾配Ｘに近似させるように時間的にずらし、圧力降下カーブ同士の交点を電動真空弁２１の弁開度を切り換える設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に決定し、その後、設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に基づいて電動真空弁２１の弁開度を切り換え、粘性流領域における排気速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】圧力調整ネジの誤操作を防止できながら、低廉化を図り得る圧力制御装置を提供する。
【解決手段】モータＭがステッピングモータ１７にて構成され、ステッピングモータ１７の駆動軸１７ａが圧力調整ネジ３に直結されて、ステッピングモータ１７の回転駆動力が直接圧力調整ネジ３に伝動されるように構成され、制御部４が、手動操作を行わない通常操作状態において、ステッピングモータ１７に通電して、励磁状態でステッピングモータ１７が働く通常制御状態と、手動操作を行う手動操作状態において、ステッピングモータ１７への通電を停止して、非励磁状態でステッピングモータ１７の回転を許容する非制御状態とに切り換え自在に構成され、制御部４の制御状態を通常制御状態と非制御状態とに切り換える制御切換手段２０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】乾式機械式一次ポンプと少なくとも１つの二次ポンプとからなるポンプユニットに配管によって接続された、排出物を含んでいるチャンバ内の圧力調整の範囲を増大させ、短い反応時間を得る。
【解決手段】乾式機械式一次ポンプ４と少なくとも１つの二次ポンプ５との両方の回転速度を同時に制御する速度調整器６を含む。 （もっと読む）

流体のための流路（１０８）を画定し、かつ、弁座（１０４）と、弁本体に結合された駆動器筐体（１２２、１２４）と、駆動器筐体内に配置され、開放位置と制御部材が弁座に係合する閉鎖位置の間で移動することによって流路を通る流体の流れを調節するために、弁本体および弁座に対する変位のために適合された、制御部材（１３０）と、制御部材に動作可能に結合され、制御部材を開放位置に向かって付勢する、ばね（１９３）と、を有する弁本体（１０２）を有する調節器（１００）。制御部材は、弁座に面し、陥凹状である表面を含む。陥凹表面は、座ぐり穴（１４８）であってもよく、もしくは、凸形状、円錐形状、または他の適切な陥凹表面を有してもよい。そうした構成によって、取り替えられた調節器は、高い入口圧力、低い出口圧力、高流速の実施において、安定性を向上させる。 （もっと読む）

温度制御圧力調節器が記述される。本明細書に記載される、例示的な温度制御圧力調節器は、第１の通路を介して出口に流体連通される入口を有する、調節器本体を含む。加熱ブロックは、該調節器本体内に配置され、該第１の通路の少なくとも一部分を受容する。該加熱ブロックは、プロセス流体が、該プロセス流体を該加熱ブロックから分離する該第１の通路を介して、該加熱ブロックを通って流れる際、該プロセス流体に熱を提供するためのものである。 （もっと読む）

内部逃し弁装置を有する、負荷調整装置の一例は、第１のケーシングと第２のケーシングとの間に配置される、負荷ダイヤフラムを有する、本体を含む。負荷ダイヤフラムの第１のケーシングおよび第１の側面は、第１のチャンバを画定し、負荷ダイヤフラムの第２のケーシングおよび第２の側面は、第２のチャンバを画定する。逃し弁アセンブリが、負荷ダイヤフラムに連結される。逃し弁アセンブリは、第１のチャンバおよび第２のチャンバを流体的に連結するための通路を形成する開口部を有する、逃し弁座と、逃し弁座に可動的に連結される逃し弁プラグとを含む。逃し弁プラグは、負荷調整装置がロックアップ状態に入る圧力よりも実質的に高い出口圧力に応じて、第１のチャンバと第２のチャンバとの間の流体の流動を可能にするように、逃し弁座から離れて、流出位置まで移動するためのものである。
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【課題】デジタル制御による電流−圧力変換器（ＣＰＣ）を提供する。
【解決手段】デジタルＣＰＣは、デジタル制御装置とオンボード圧力変換器とを利用して、入力アナログ制御信号に基づいて出力圧力を正確に制御する。デジタル制御装置は、ＣＰＣの３方向回動弁からシルト汚染物を弛緩させて噴流除去するよう、前記弁の衝撃運動を与えるシルティング防止アルゴリズムを含んでいる。油圧ドレインへの中間通路を含む冗長シールスタックが、アウトボードシール周りの圧力降下を確実に少なくし、漏れの可能性を最小にし、ＣＰＣの信頼性を高める。デジタル制御装置はまた、冗長性および欠陥管理アルゴリズムを含み、これによりＣＰＣ制御用に複数の入力およびフィードバック信号の使用が可能になる。マスター／スレーブ動作及びその移行もデジタル制御装置によって提供される。 （もっと読む）

【課題】ピストン型の減圧弁において、シリンダとピストンとの摩擦によって生じる摩擦粉に起因したガス漏れを抑制する。
【解決手段】減圧弁１００は、シリンダ１０と、シリンダ１０内を往復動するピストン２０と、ピストン２０の外周部に設けられ、ピストン２０とシリンダ１０の内壁面との間の気密性を確保するＵシール３０と、ピストン２０が往復動の方向に対して傾いた状態でシリンダ１０内を往復動した場合に、ピストン２０の一部とシリンダ１０の内壁面との摩擦を抑制する摩擦抑制機構と、を備える。摩擦抑制機構として、例えば、Ｕシール３０をピストン２０に固定するためのナット２４に、ナット２４とシリンダ１０の内壁部との衝突を抑制するための切り欠き部２４Ｒを設ける。 （もっと読む）

調節可能な直列型の流体調整器が記載されている。記載されている流体調整器の一例は、流体注入口および流体排出口を有する本体を備える。本例示の調整器も、当該注入口から当該排出口への流体流を制御するバルブ、軸部を通じて当該バルブに連結したピストンを備え、当該ピストンが当該排出口に関連した圧力を受容する第１流体調整器を備える。当該第１流体バルブも、当該軸部の縦軸に沿って可動なバネ板、当該ピストンおよび当該バネ板の間に配置されたバネ、ならびに、当該バネの圧縮、および当該流体調整器の調整された出力圧力を変化させるために当該バネ板を動かす当該本体と係合した調節器を備える。 （もっと読む）

流体調節器を構成するための装置が開示される。一例においては、流体調節器において使用するためのステムガイドが説明される。ステムガイドが、バルブステムをスライド可能に受け入れるための開口を有している本体を備えており、該本体の外表面が、前記本体を調節器のケーシングの穴に着脱可能に接続させ、前記調節器のケーシングまたはバルブに整列させる複数の周状のシールを有している。 （もっと読む）

流体調整制御は、様々なシステム、装置、および技法によって達成することができる。１つの応用例において、流体調整制御装置（２００）は、プロセッサ（２１１）、流体制御アセンブリ（２２０）、および電源（２１５）を含むことができる。プロセッサ（２１１）は、流体レギュレータを制御するためのコマンド（２７０）を生成して、装置の電力条件を調節するように適合することができるが、電力条件は低電力モードおよび高電力モードを含むことができる。装置（２００）は、低電力モード時には、消費する電力を高電力モード時よりも著しく小さくすることができる。流体制御アセンブリ（２２０）は、変換器（２２５）を含むことができ、この変換器（２２５）は、制御流体（１３５）を受け取り、高電力モード時にコマンド（２７０）に応答してその制御流体を調節することができる。流体制御アセンブリ（２２０）はまた、低電力モード時に調節済み制御流体（１４５）をほぼ一定の値に保持することができる。
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