【課題】圧力調整システム内に防食電流が流れるのを阻止できる技術を実現する。
【解決手段】パイロット弁４は、バネ荷重の調整により駆動圧を変更設定自在な圧力設定バネＧ２を有するとともに、従動回転軸の回転により圧力設定バネＧ２の伸縮方向に位置決めされてバネ荷重を調整自在な圧力調整ネジを有するパイロット圧調整機構Ｓを備えて構成される圧力調整システムであって、従動回転軸に連結された連結状態で、従動回転軸の回転位置を調整可能な駆動回転軸を調整装置１００に備え、従動回転軸と駆動回転軸とが連結された連結状態で、従動回転軸と駆動回転軸との間を電気的に絶縁する。 （もっと読む）

【課題】回転位置検出センサや駆動部が故障しているか否かを判定し、故障が発生している場合には、その故障に対して適切な処置を行うことができる圧力制御装置の提供。
【解決手段】第１回転位置検出センサの検出情報に基づいて回転出力軸の回転数を求め、且つ、第２回転位置検出センサの検出情報に基づいて回転出力軸の回転角度を求め、それら求めた回転出力軸の回転数及び回転角度から回転出力軸の回転位置を求める回転位置演算手段と、回転位置演算手段にて求めた回転出力軸の回転位置が目標回転位置になるように、駆動部の駆動指令値を調整する自動運転を行う制御部と、制御部による自動運転中に、第１回転位置検出センサの検出情報と第２回転位置検出センサの検出情報と駆動部の駆動指令値とを比較して、第１回転位置検出センサ、第２回転位置検出センサ、及び、駆動部の何れかが故障であることを判定する故障判定手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】クラッチ機構を伝達状態と遮断状態とに切り換えるための構成の複雑化を招くことなく、伝達状態と遮断状態との切り換えを行うときの操作性の向上を図ること。
【解決手段】クラッチ機構３０は、駆動ギア２４又は伝達ギアＦ１の何れか一方を固定側ギアとし且つ他方を移動側ギアとして、伝達ギアＦ１と駆動ギア２４とが噛み合う噛合位置と伝達ギアＦ１と駆動ギア２４との噛み合いを解除する噛合解除位置とに移動側ギアをその径方向に移動自在に構成されている。 （もっと読む）

【課題】従動回転軸と駆動回転軸とを適切に心出し、且つ従動回転軸を駆動回転軸に対して適切に位置決めした状態で、従動回転軸を駆動回転軸に連結する。
【解決手段】駆動回転軸Ｊ２を位置決めする固定架台５０が設けられ、固定架台５０には、ケーシング１４を、従動回転軸Ｊ１が駆動回転軸Ｊ２に連結可能な位置で位置決めする支持部５３と、従動回転軸Ｊ１の位置を駆動回転軸Ｊ２の位置に一致させた状態で、ケーシング１４を駆動回転軸Ｊ２の側へ案内する案内部５４とが設けられ、従動回転軸Ｊ１と駆動回転軸Ｊ２とを連結する回転軸連結部１６が設けられる。 （もっと読む）

【課題】構成の簡素化及び小型化を図り、しかも、駆動モータに不要な負荷がかかるのを防止しながら、回転出力軸の過剰な回転を防止することができる圧力制御装置の提供。
【解決手段】回転出力軸Ｊ２の回転を減速して減速回転軸Ｊ３に伝達する基準用減速機構Ｓ２と、基準用減速機構Ｓ２の減速用ギアＦ３又は減速回転軸Ｊ３が過剰回転位置に回転されると動作状態に切り換えられるスイッチ部２９と、そのスイッチ部２９が動作状態に切り換えられるに伴って駆動モータを駆動停止させる駆動モータ停止手段とが備えられ、過剰回転位置が、回転出力軸Ｊ２が適正回転範囲を越えて回転されるに伴ってスイッチ部２９を動作状態に切り換える位置に設定されている。 （もっと読む）

【課題】構成の簡素化を図りながら、回転位置検出の信頼性を向上して、回転出力軸の回転位置をきめ細かく検出できる圧力制御装置の提供。
【解決手段】回転出力軸Ｊ２の回転が基準用減速機構Ｓ２により減速されて伝達された第１減速回転軸Ｊ３の回転位置を検出する第１回転位置検出センサ２７と、回転出力軸Ｊ２の回転位置又は回転出力軸Ｊ２の回転が基準用減速機構Ｓ２よりも減速率が低い低減速率用減速機構により減速されて伝達された第２減速回転軸の回転位置を検出する第２回転位置検出センサ２６と、第１回転位置検出センサ２７の検出情報に基づいて回転出力軸Ｊ２の回転数を求め、且つ、第２回転位置検出センサ２６の検出情報に基づいて回転出力軸Ｊ２の回転角度を求め、それら求めた回転出力軸Ｊ２の回転数及び回転角度から回転出力軸Ｊ２の回転位置を求める回転位置演算手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】圧力調整ネジを自動的に回転駆動させるための構成を追加して、簡易に且つコストの低減を図りながら、圧力制御弁の設定圧力を自動的に変更設定する。
【解決手段】ケーシングに取り付け自在な閉塞部材が設けられ、当該閉塞部材がケーシングに取り付けられた状態で、閉塞部材とケーシングとにより、圧力設定バネ９を収納するとともに圧力設定バネ９の伸縮方向に延びる収納空間６１が形成され、閉塞部材に対し伸縮方向に沿う姿勢で収納空間へ向けて貫設された回転駆動軸と、回転駆動軸を回転駆動させる駆動部とが設けられ、圧力調整ネジが、圧力設定バネ９の一端を支持するとともに、駆動部による回転駆動軸の回転駆動により伸縮方向に沿って移動自在に収納空間６１内に配設されている。 （もっと読む）

【課題】自身の現在の動作型式を簡単に知ることができるようにする。
【解決手段】演算部１にポジショナ動作型式判別機能１Ｂを設ける。単動パイロットリレー３からの増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの圧力値を圧力センサ５によって検出し、演算部１へ送る。演算部１は、ポジショナ動作型式判別機能１Ｂによって、制御出力Ｋの変化に対応する増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの変化を監視し、制御出力Ｋの変化方向と増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの変化方向とが同方向の場合、ポジショナ１００の動作型式を正動作型と判別する。制御出力Ｋの変化方向と増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの変化方向とが異なる方向の場合、ポジショナ１００の動作型式を逆動作型と判別する。この判別結果は表示部７の画面上に表示される。 （もっと読む）

【課題】簡単な設備構成により、正圧及び負圧のいずれの圧力も付与することが可能な圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】排気通路領域２３は、給気通路領域２１と排気ポート１４とを繋ぐ分岐通路領域２４を備えている。分岐通路領域２４は、給気通路領域２１から分岐させて形成されており、さらに負圧発生用領域２５を備えている。負圧発生用領域２５にはノズル３１が形成されているとともに吸引空間３４が形成されている。吸引空間３４には排気用電磁弁１７側に分岐させて吸引通路領域３６が形成されている。給気通路領域２１から負圧発生用領域２５に分流された作動エアがノズル３１を通過することで吸引空間３４内が減圧され、吸引通路領域３６側に負圧が付与されることとなる。そして、排気用電磁弁１７が開制御されている場合には出力ポート１５に負圧が付与されることとなる。 （もっと読む）

【課題】流体圧機器の弁構造において、安定したシール性能が得られると共に、製造性及び耐久性を向上させる。
【解決手段】減圧弁１０を構成する弁体５０は、ステム４８に連接される第１ハウジング５８と、該第１ハウジング５８の外周側に設けられる第２ハウジング６０と、前記第１ハウジング５８と第２ハウジング６０との間に設けられるパッキン６２とを備え、前記パッキン６２が、前記第１ハウジング５８のテーパ部６６と第２ハウジング６０の外壁部７４との間に装着され挟持されることによって固定される。また、第１ハウジング５８の第１筒部６４が、第２ハウジング６０の第２筒部７０の内部に挿入され、例えば、溶接や接着等によって一体的に固定される。 （もっと読む）

【課題】油圧で作動する機器の圧力制御弁において、簡単な構成で、シュート圧を抑えることができ、かつ油圧脈動によるスプールの振動を抑えることができるようにする。
【解決手段】この圧力制御弁１０はハウジング２２及びスプール２３を備えている。ハウジング２２は、入力ポート２５、出力ポート２６及びドレンポート２７，２８を有している。スプール２３は、ハウジング２２内部に摺動自在に設けられ、出力ポート２６を入力ポート２５又はドレンポート２８に連通させる。また、スプール２３は、スプール軸方向の一端側に設けられ出力ポート２６に連通するフィードバック室３６と、出力ポート２６とフィードバック室３６とを連通するフィードバック流路Ｐ４と、フィードバック流路Ｐ４に設けられスプール２３の摺動位置に応じて絞り径が変化する可変絞り機構４２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 ピストン及び主弁が傾斜し難い減圧弁を提供する。
【解決手段】 弁ケーシング１で入口２と弁口５と出口３を形成し、弁口５を開閉する主弁６を弁ケーシング１内に配置し、主弁６を操作するピストン７を弁ケーシング１内に配置し、ピストン７の上面に一次側圧力を作用させ下面に二次側圧力を作用させてピストン７を変位させることにより主弁６を操作して弁口５を開閉することにより二次側圧力を設定圧力に保つものであって、主弁６の下部弁軸６ａを軸方向に案内する案内孔１ｂを弁ケーシング１に設け、ピストン７の下面の弁口５から噴出した流体が直進する噴出流体の中心軸上に下方に突出した半球部７ｂを設けたものにおいて、ピストン７の半球部７ｂの中心軸上に凹部７ａを設け、ピストン７の半球部７ｂの凹部７ａに主弁６の上部弁軸６ｂを嵌め合わせたる。 （もっと読む）

【課題】発生させる負圧を安定化することができる真空圧制御装置及び真空圧制御方法を提供する。
【解決手段】気体供給源８から供給される気体流量を制御することにより気体が供給される負圧発生装置に発生させる負圧を安定化する真空圧制御装置及び制御方法であって、負圧発生装置で発生された負圧の圧力を圧力センサ１０により検出し、検出された圧力値Ｐと、予め記憶されている目標負圧Ｐ_０とが異なる場合に、予め定められた負圧と気体流量との関係式とに基づき、目標気体流量Ｆ_０を第１の制御装置１３で求め、第２の制御装置１４が、目標気体流量Ｆ_０に基づいて流量コントローラ９による流量を目標気体流量Ｆ_０とし、かつ負圧発生装置２に現に供給されている気体流量を流量センサ１１で検出し、第２の制御装置１４において、検出された気体流量Ｆと目標気体流量Ｆ_０とを比較し、気体流量Ｆが気体流量Ｆ_０となるように流量コントローラ９の流量を設定する、真空圧制御装置及び真空圧制御方法。 （もっと読む）

【課題】減圧室の圧力に応じて作動する圧力受動部材に弁軸の一端部が連結され、減圧室に通じる弁孔を中央部に開口させた弁座に着座し得るシート面を有する弁体が、弁室に収容されるようにして弁軸の軸方向中間部に固定される減圧弁において、合成樹脂から成る弁体の加工コストを低減する。
【解決手段】弁体２６には同軸の中央孔３０が設けられ、弁軸２５Ａは、挿入軸３３を同軸に有する第１軸部材３１と、挿入軸３３を圧入もしくは螺合せしめる有底の挿入孔３４を同軸に有する第２軸部材３２とが、それらの軸部材３１，３２の少なくとも一方を中央孔３０に挿通せしめつつ同軸に結合されて成り、弁体２６が、中央孔３０よりも大径の外周を有しつつ半径方向外方に突出するようにして第１および第２軸部材３１，３２にそれぞれ設けられる第１および第２係止突部３５，３６で軸方向両側から挟まれて弁軸２５Ａに固定される。 （もっと読む）

ガス圧力レギュレーター（１）は、第一のガス入口パイプ（３）と第二のガス出口パイプ（４）を有している中心体（２）と、前記中心体（２）の中に少なくとも部分的に収納されており、ガスの通過のための断面（６）の開口を調節するために、前記断面（６）が完全に開かれた位置（Ｂ）と、前記断面（６）が閉じられた位置（Ａ）の間を移動可能なシャッター（５）と、前記ガスの通過によって作り出されるノイズの低減のための、前記中心体（２）の中に前記通過断面（６）に配置された消音デバイス（７）と、前記消音デバイスを前記中心体（２）に固定するための手段（１１）を備えている。前記消音デバイス（７）は、前記ガスの通過を可能にする円筒状穴あきプレート（９）を備えている。
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【課題】ガス流路に配設した流路弁が供給側ガス圧の影響を受けず、出口側ガス圧を安定的に維持できるとともに、構造が簡単で、部品点数が少なく低コストの減圧装置を提供すること。
【解決手段】ガス流路に配設した流路弁２２を有天筒状の弁体で構成し、この流路弁２２の周壁２２ａをガス供給口２１ａ１、２１ａ２の開口面と平行に摺動させることによって、流路弁２２の摺動方向に長いスリット状の複数のガス供給口２１ａ１、２１ａ２を開閉するようにするとともに、流路弁２２によるガス供給口２１ａ１、２１ａ２の閉鎖側のガス供給口２１ａ１、２１ａ２の長さを複数のガス供給口２１ａ１、２１ａ２の間で異なるように形成する。 （もっと読む）

流体調整デバイスは、入口、出口、弁口を有する弁本体と、弁本体内でシフト可能な制御要素とを含む。制御アセンブリは、制御要素に連結されるアクチュエータを含み、ダイヤフラムチャンバに隣接して配置されるダイヤフラムを含む。検知管は、第１の端部、第２の端部、および中間部分を有し、第１の端部は、ダイヤフラムチャンバと連通するように位置付けられ、第２の端部は、出口に隣接して配置され、中間部分は、出口の中間部分に隣接して配置される。検知管は、肩部および広がり部分を含み、広がり部分は、第２の端部に隣接して配置される。 （もっと読む）

【課題】チャンバ室の圧力を目標圧力降下勾配に近づけるように電動真空弁の弁開度を切り換える設定点を簡単かつ安価に設定できる電動真空弁による排気速度制御方法を提供すること。
【解決手段】電動真空弁２１の弁開度を等比倍数に従って段階的に制御し、弁開度毎に、真空ポンプ１３により粘性流領域から排気を行わせ、圧力センサ１５によりチャンバ室の真空圧力を測定して圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を実測した後、圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を目標圧力降下勾配Ｘに近似させるように時間的にずらし、圧力降下カーブ同士の交点を電動真空弁２１の弁開度を切り換える設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に決定し、その後、設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に基づいて電動真空弁２１の弁開度を切り換え、粘性流領域における排気速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】真空容器の真空引きの過程において発生するパーティクルの巻き上がりを抑制する技術を簡易に実装する技術を提供する。
【解決手段】真空制御バルブ１００は、真空容器に接続される上流側流路１４１と、真空ポンプに接続される下流側流路１４２と、を含む流路１４０と、弁開度を操作することによって、上流側流路１４１と下流側流路１４２との間のコンダクタンスを変化させる開閉弁１１０と、上流側流路１４１の内部の圧力を計測する圧力センサ１２０と、上流側流路１４１の目標圧力値を予め設定された時間関数として変化させ、計測された圧力と目標圧力値との間の偏差に応じて開度を操作する制御部１５０と、を備え、制御部１５０は、真空制御バルブ１００の外部からの開始入力に応じて、コンダクタンスを操作することによって偏差を小さくする制御を開始する。コンダクタンスは、ゼロから予め設定された範囲までの連続した範囲で操作することができる。 （もっと読む）

【課題】圧力制御応答性を向上させることができる真空圧力制御システムを提供すること。
【解決手段】真空比例開閉弁１６の弁開度を調整して、反応室１０内の真空圧力を目標圧力にフィードバック制御する真空圧力制御システムにおいて、反応室１０内の真空圧力、または真空目標圧力からＯリング４９のリーク開始位置を算出し、その予圧圧力値をフィードバック制御の下限値とする。 （もっと読む）