【課題】コストアップを招くことなく、モータの作動時に発生するヒステリシスによる目標設定圧力に対する設定圧力のずれの発生を防止して設定圧力を目標設定圧力に調整することができる圧力コントローラの提供。
【解決手段】設定圧力を目標設定圧力に調整するべく、圧力設定バネ１４の圧縮量を調整自在な圧力調整ネジ１６を回転させるモータ１７の作動を制御するモータ制御部１８と、設定圧力を目標設定圧力に調整したときに、モータ１７の作動時に発生するヒステリシスにより設定圧力が目標設定圧力からずれるずれ量に関するずれ量情報を入手する情報入手部１９とを備え、モータ制御部１８は、情報入手部１９にて入手したずれ量情報に基づいて、設定圧力を目標設定圧力とするための圧力補正量を求め、その求めた圧力補正量を補正するようにモータ１７の作動を制御するヒステリシス補正処理を行う。 （もっと読む）

【課題】実調整用関係情報の設定を簡易に且つ正確に行う。
【解決手段】設定圧力を目標設定圧力に調整すべく、圧力設定バネ１４の圧縮量を調整自在な圧力調整ネジ１６を回転させるモータ１７の作動を制御するモータ制御部１８と、目標設定圧力と圧力調整ネジ１６の回転角度との関係における調整用傾きを決定するための調整用傾き決定情報、及び、現在の整圧器２の二次側圧力を示す現圧力情報を入手する情報入手部１９とを備え、モータ制御部１８は、情報入手部１９にて入手した調整用傾き決定情報に基づいて調整用傾きを決定し、その決定した調整用傾き、情報入手部１９にて入手した現圧力情報、並びに、現在の圧力調整ネジ１６の回転角度を示す現回転角度情報に基づいて、設定圧力を目標設定圧力に調整するときの目標設定圧力と圧力調整ネジ１６の回転角度との関係を示す実調整用関係情報を設定する実調整用関係情報設定処理を行う。 （もっと読む）

【課題】一次側の圧力が急激に変動しても、二次側の流量に影響が及びにくいマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、その流量センサ部の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブと、前記流量制御バルブへの制御値を算出する算出部と、を備えたものであって、マスフローコントローラの上流側における前記流体の圧力の測定値である一次側圧力測定値が所定量以上変化した期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間と、において、前記算出部は、前記安定期間では、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に所定の演算処理を施して安定時制御値を算出し、前記変化期間では、前記一次側圧力測定値と前記一次側圧力測定値の変化量とに所定の演算処理を施して変化時制御値を算出するようにした。 （もっと読む）

圧交替式パッド（１）は、圧縮機（２）から供給ライン（３）を介して、供給ライン（７、８）によって空気が供給される膨張可能な隔室（９、１０）を含む。圧力制御装置は圧縮機の出力を制御する。角度位置の上昇に伴って大気への空気流を制限する角度検出弁（４０）および圧力変換器（１７）もまた供給ライン（３）に接続している。検出弁（１９）の角度増加によるあらゆる圧力上昇によって、検出ラインに背圧が発生する。圧力制御器（２）は圧力変換器（１７）を用いてこの圧力変化を検知し、次いで、それに従って隔室（９、１０）への圧縮機出力を調整するように作動する。角度検出弁（４０）はヘッドレスト部とともに動くようにパッドの頭部部分に設置される。
（もっと読む）

【課題】ポペット弁の圧力バランスをとることで、二次圧の大気圧近くまで低下した場合や、規定以上に一次圧が上昇した場合にも一次圧により閉弁する力が強くなることの無いようにした減圧弁を提供する。
【解決手段】弁本体１１、弁本体１１に穿設された一次ポート１２、二次圧を吐出する二次ポート１３、一次ポート１２から二次ポート１３に流れる作動油の流れを規制するポペット弁１４、シート部材１５、ポペット弁１４を開閉する操作ロッド１６、二次ポート１３の二次圧を受圧して操作ロッド１６を閉弁方向へ付勢する受圧部材１７、ポペット弁１４の開弁方向の弾性付勢力を与えるばね部材１９と、受圧部材１７の内部に圧力室２５を構成するためのピストン２６、ばね部材２７を備えた。 （もっと読む）

【課題】パイロット弁が主弁に当ることによって生ずる様々な問題を解決でき、圧力制御を適正に行うことのできるパイロット式減圧バルブを提供する。
【解決手段】主弁20と、背圧室36と、１次側の液を背圧室36に導入して圧力上昇させる導入小孔38と、背圧室36内の液を主弁20の下流側の２次側に抜いて圧力低下させるパイロット通路40と、軸方向に進退移動し、パイロット通路40の開度を変化させることによって、主弁20を追従して同方向に進退移動させるパイロット弁70とを有し、主弁20の弁開度を変化させることで２次側液圧Ｐ_２を減圧制御するパイロット式減圧バルブにおいて、パイロット通路40を、パイロット弁70の進退移動方向に対して交差する方向の横孔78を有するものとなして、横孔78を挿入孔76の内面で軸直角向きに横向きに開口させ、その横向開口80の開度をパイロット弁70の軸方向の進退移動により変化させるようになす。 （もっと読む）

【課題】圧力調整やリリーフ時の設定を軽いハンドル操作で行うことができるようにする。
【解決手段】ケーシング１の内部に形成されたシリンダ部４と、シリンダ部４に摺動可能に配設されたピストン５と、ピストン５から弁体３側に延設され、先端部を弁座６１として内部にエア通路６を形成したピストン小径部５１と、弁体３を保持するとともに、ピストン小径部５１が摺動可能に挿入される弁室１２と、弁座６１が弁体３から離隔する方向にピストン５を付勢する圧力調整ばね７と、先端部が弁体３に当接するようにピストン小径部５１に挿入された中空のロッド８と、ロッド８の先端部が弁体３から離隔したときにロッド８を介して２次側通路２ｂを大気に開放するリリーフ通路９とを有する圧力制御弁において、２次側圧力を調整する圧力調整ハンドル１０をケーシング１に回転可能に配設し、圧力調整ハンドル１０の回転によりロッド８を軸方向に移動可能に設ける。 （もっと読む）

【課題】特に水の使用量が著しく減少しても、チャタリングの発生や二次側圧力が過大に上昇することのない減圧装置を提供する。
【解決手段】弁体を直接駆動する構成のために小流量域での開閉弁の応答性が良好でチャタリングの発生や閉弁時に二次側圧力がその設定圧力より上昇しない直動式減圧弁３と、大流量の給水に適したパイロット式減圧弁４とを並列に配管し、直動式減圧弁３の設定圧力をパイロット式減圧弁４の設定圧力よりも高く設定したので、必ずパイロット式減圧弁４が先に閉弁し、その時に二次側圧力が上昇しても、減圧装置１全体としては直動式減圧弁３が開弁中でその圧力は給水管２の末端に取付けられる使用中の蛇口などの水栓から排出され、その後に直動式減圧弁３が閉弁することにより、減圧装置１全体が全閉することになるので、チャタリングの発生や二次側圧力の過大な上昇は皆無である。 （もっと読む）

【課題】整圧器を複数の系列に分けて設置する複数系列整器において、各整圧器の破損の危険を可及的に防止できる複数系列整圧器制御システムを提供する。
【解決手段】複数系列に配置された複数の整圧器を制御するシステムであって、各整圧器３Ａ、３Ｂ、３Ｃの開度を検出する開度検出器１Ａ、１Ｂ、１Ｃと、複数の整圧器３Ａ、３Ｂ、３Ｃの開度を設定圧力及び二次側圧力に基づいて調整するパイロット整圧弁７と、パイロット整圧弁７から各整圧器３Ａ、３Ｂ、３Ｃに至る各流路にそれぞれ設けられて該流路を開閉操作する操作弁１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃと、作動状態にある整圧器の開度検出器の信号を入力して該入力値に基づいて前記操作弁の開閉制御を行なう制御手段１３とを備えたことを特徴とする複数系列整圧器制御システム。 （もっと読む）

【課題】軽量化しても耐久性の高い弁装置を提供することを解決すべき課題とする。
【解決手段】高圧流体の流れを制御する弁部材と、前記弁部材が内設され、前記高圧流体が流入する高圧側の内面が円筒状である弁挿着孔と、前記弁挿着孔の前記高圧側の円筒状空間の側面に一端が開口し、前記円筒状空間の軸方向に交叉する方向に形成された連通孔であり、前記高圧流体が前記弁挿着孔内に流れ込む導入流路１１１と、をもつ内部空間を区画するボディ１１とを有し、ボディ１１はアルミニウム合金から形成され、導入流路１１１は円筒状空間１１ａ内面の導入流路１１１の開口部における法線に対して円筒状空間１１ａの軸方向から見て傾斜していることにある。 （もっと読む）

【課題】 流量調整器の出力流量を変更したり、流通するガス種を変更した場合に、その出力側の流量にオーバーシュートが生じないようにする。
【解決手段】 流量調整器へ供給するガス供給圧力の自動圧力調整器２０であって、圧電素子駆動型圧力調整弁１５と，圧力調整弁１５の出力側に設けた制御圧検出器１４と，制御圧検出器１４の検出値Ｐ₂と制御圧の設定値Ｐｓｔとが入力され、圧力調整弁１５の圧電素子駆動部へ比例制御方式により制御信号を供給して弁の開度調整を行うコントローラ１６とから前記自動圧力調整器２０を構成すると共に、積分動作を無効とすることにより、コントローラの前記比例制御方式を制御圧に残留偏差を生ずる制御とする。 （もっと読む）

フロー制御弁は、流体入口、流体出口、第１作業ポート及び第２作業ポートを包含するハウジングを含む。ハウジングは、スプール孔及びパイロットスプール孔を形成する。主段階用スプールはスプール孔に配置される。パイロット段階用スプールは前記パイロットスプール孔に配置される。パイロット段階用スプールは、主段階用スプールと選択的に流体連通されている。マイクロプロッセサは、制限され構造化された制御器及び補償制御器を持つ制御器を含む。制限され構造化された制御器及び補償制御器の出力は合計され、パイロット段階用スプールに通信される電気信号を形成する。 （もっと読む）

流体流量を調整する装置を開示する。該装置は、例示的な調整弁、例示的な自動調節または自己調節増幅弁を含み、下流要求が低い流体流量条件の間は、流体流量を維持し、下流要求が高い流体流量条件の間は、該調整弁の操作の正確性および安定性を維持する。 （もっと読む）

【課題】圧力流体の流通する流体圧機器において塵埃等による目詰まりを防止しつつ、前記圧力流体の消費量を削減する。
【解決手段】一次側ポート３８とノズル背圧室７８との間にノズル通路９８が形成され、前記ノズル通路９８には、複数のオリフィスプレート１０４ａ〜１０４ｄからなる絞り機構１０６が設けられる。このオリフィスプレート１０４ａ〜１０４ｄには、ノズル通路９８より小径な開孔１０２を有し、その外縁部がシール部材１０８を介して第２ボディ３４に保持されている。また、オリフィスプレート１０４ａ〜１０４ｄは、ノズル通路９８の延在方向に向かって互いに所定間隔離間して設けられている。 （もっと読む）

ガス調整器は、アクチュエータ、レギュレータバルブ、および圧力負荷装置を備える。圧力負荷装置は、ダイヤフラムの反対側表面に印加されレギュレータにより制御される下流側圧力に対抗するために、アクチュエータのダイヤフラムの表面に圧力負荷を提供する。下流側圧力を調整するために、下流側圧力が変化しダイヤフラムが制御要素を動かすようにずれても、圧力負荷装置は特定の負荷圧力を維持する。レギュレータは、制御要素にかかる上流側圧力の力を打ち消すために、バランス力を印加するバランストリムをさらに備えてもよい。
（もっと読む）

【課題】既存の整圧器に対しても容易に設置することができ、また地震時において確実にガスの供給を停止できる整圧器システムを提供する。
【解決手段】主整圧器３とパイロット整圧弁１３とを有し、主整圧器３内のガス圧力を抜くことにより作動させるアンローディング型整圧器において、主整圧器３とパイロット整圧弁１３を繋ぐ第２パイロット経路１１に設けられた操作弁１５と、地震を感知したときに感知信号を発信する地震感知器１９と、地震感知器１９の発信する感知信号を入力し、該感知信号が予め設定された値を超えていると判断されたときに操作弁１５を閉止する制御装置１７とを備えたことを特徴とする整圧器システム。 （もっと読む）

本発明は、高純度の流体を取扱う分野における使用に適した高純度用レギュレータに関する。本発明は、レギュレータの構成部品の一つであるプラグを本体側に固定するとき、プラグを本体に直接掛止して固定させる新しい形態のプラグ固定方式を実現することで、異物が引っかかる問題や、騷音を誘発する問題などを完全に排除しながら流体の流れの安全性を確保することができ、それゆえ高純度用に使用することに適し、また追加部品などを必要としないので部品数の減少および装置の小型化を実現できる高純度用レギュレータを提供する。 （もっと読む）

【課題】整圧器を複数の系列に分けて設置する複数系列整器において、各整圧器の破損の危険を可及的に防止できる複数系列整圧器制御システムを提供する。
【解決手段】複数系列に配置された複数の整圧器を制御するシステムであって、各整圧器の開度を検出する開度検出器１Ａ、１Ｂ、１Ｃと、各整圧器の開度を設定圧力及び二次側圧力に基づいて調整するパイロット整圧弁５Ａ、５Ｂ、５Ｃと、該パイロット整圧弁５Ａ、５Ｂ、５Ｃの設定圧力を調節する調節器７Ａ、７Ｂ、７Ｃと、作動状態にある整圧器の開度検出器の信号を入力して該入力値に基づいて他の整圧器のパイロット整圧弁の設定圧力を調節するように調節器に指示する制御手段１１とを備えたことを特徴とする複数系列整圧器制御システム。 （もっと読む）

【課題】 ディスク状主弁体が小刻みに開閉弁を繰り返すチャタリング現象を生じない安価な減圧弁を提供すると共に、ディスク状主弁体の凸部を短くできる減圧弁を提供する。
【解決手段】 弁ケーシング１に入口２と出口３を形成する。入口２と出口３を連通する主弁口５を開けた弁座部材４を弁ケーシング１に取り付ける。主弁口５を開閉するディスク状主弁体６をコイルバネ１７で閉弁方向に付勢して配置する。コイルバネ１７のピッチをディスク状主弁体６に近い側は小さくし、ディスク状主弁体６に遠い側は大きくした不均等ピッチのコイルバネ１７にすると共に、ディスク状主弁体６のコイルバネ１７当接面に凸部１０を設けて、当該凸部１０の外周にコイルバネ１７のピッチの小さな部分を位置させてコイルバネ１７のディスク状主弁体６に近い側を保持する。 （もっと読む）

【課題】 上流側の圧力とと下流側の圧力との圧力差の、ピストンの変位量に対する変化量を調整することのできる、汎用性の高い圧力制御装置を提供する。
【解決手段】 圧力制御装置１０は、ピストン１１と、シリンダ１２とを含んで構成される。シリンダ１２は、流体が流れる管路内に設けられ、ピストン１１を内部空間１４に収容する。シリンダ１２には、複数の連通孔１３が形成される。連通孔１３は、内部空間１４と外部空間１６とを連通る。複数の連通孔１３のうちの少なくとも一部は、個別に閉塞可能に形成される。 （もっと読む）