本発明は減圧弁を提供する。本減圧弁は、主本体と、入口と、出口と、ステムと、主シートと、パイロットダイヤフラムと、主ダイヤフラムと、主ヘッドと、制御バネとを有している。本減圧弁は、相応した補助ヘッド及び変位部材／面を備えた付加的な補助シートを有している。本減圧弁は、補助シート及び主シートを段階的に開放させる相応した補助ヘッド及び変位部材／面を備えた付加的な補助シートを有している。これにより、単一減圧弁を用い、ハンチング効果が殆どなくしかも多数の減圧弁の使用を排除する非常に変動する媒体の流れの需要に合致できる。 （もっと読む）

【課題】 オリフィスに付着する異物を自動的に排除できる減圧弁を提供する。
【解決手段】 上面と下面を連通するオリフィス２７を開けたピストン７の上面に設定圧力と二次側圧力との偏差に基づいて一次側流体を導入することによりピストン７を変位せしめてピストン７に連結した主弁６を開閉操作する。ピストン７の変位によりオリフィス２７内に進入してオリフィス２７に付着した異物を排除する異物排除部材２８を弁ケーシングにねじ結合して設ける。ピストン７が下方に変位したときに異物排除部材２８がオリフィス２７内に進入してオリフィス２７に付着した異物を排除する。 （もっと読む）

【課題】流量制御弁において、制御上の有効ストローク幅をより大きくし、分解能をより高くするとともに、それに伴い、外乱等によるストロークの微小変動に対しての許容幅も大きくする。
【解決手段】流量制御弁１に、内部に入口側流路３及び出口側流路４を有する弁ボディ２と、この弁ボディ２の入口側流路３と出口側流路４との間に設けられ、前記入口側流路３に連通する横孔５ａを設けてなる筒状のスリーブ５と、このスリーブ５の内部を進退可能である球状の弁体６とを具備し、この弁体とスリーブの横孔との隙間を流体が通過する。 （もっと読む）

【課題】圧力調整ネジの誤操作を防止できながら、低廉化を図り得る圧力制御装置を提供する。
【解決手段】モータＭがステッピングモータ１７にて構成され、ステッピングモータ１７の駆動軸１７ａが圧力調整ネジ３に直結されて、ステッピングモータ１７の回転駆動力が直接圧力調整ネジ３に伝動されるように構成され、制御部４が、手動操作を行わない通常操作状態において、ステッピングモータ１７に通電して、励磁状態でステッピングモータ１７が働く通常制御状態と、手動操作を行う手動操作状態において、ステッピングモータ１７への通電を停止して、非励磁状態でステッピングモータ１７の回転を許容する非制御状態とに切り換え自在に構成され、制御部４の制御状態を通常制御状態と非制御状態とに切り換える制御切換手段２０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧力制御性の低下を抑制しつつ流体圧力の発振を抑制することができる流体制御弁を提供する。
【解決手段】流体制御弁１０は、ボトムプレート１２、ボディ１４、及びカバー１６を備えている。ボディ１４には流入口１８及び流出口２０が設けられ、流入口１８は上流側流体室２２及び下流側流体室２４を介して流出口２０と連通可能とされている。上流側流体室２２及び下流側流体室２４間は弁体２６によって連通及び遮断される。弁体２６は、軸部３０と、該軸部３０に連結される可撓性膜部２８とを備え、軸部３０のボトムプレート１２側端部には、バネ受け部材３９が組み付けられている。バネ受け部材３９は、略円柱状の小径部３９ｂを有し、小径部３９ｂの外周側には環状に形成されたボトムプレート１２の規制部１２ａが設けられている。小径部３９ｂと規制部１２ａとの間には所定の隙間４８が設けられ、その隙間４８には真空用グリス５０が充填されている。 （もっと読む）

【課題】減圧弁の流量特性を維持しつつ、圧力特性を向上させることにある。
【解決手段】一次側ポート１１と二次側ポート１２を連通させる連通孔１３に装着された主弁軸１４には、連通孔１３を閉じる方向に一次側圧力が加えられる一次側受圧部２４が形成されている。二次側圧力室２６とパイロット圧室２７は主弁ダイヤフラム２５により区画され、パイロット圧調整室３９と大気開放室４２はリリーフ孔４４が形成されたパイロットダイヤフラム４３により区画される。パイロット弁軸５１のパイロット弁体５３にはパイロット孔４８を開く方向に一次側圧力が加えられるパイロット受圧部５６が形成されている。一次側の圧力変動は一次側受圧部２４に加わる圧力とパイロット圧室２７の圧力とにより相殺される。 （もっと読む）

【課題】圧力制御性の低下を抑制しつつ流体圧力の発振を抑制することができる流体制御弁を提供する。
【解決手段】流体制御弁１０は、ボトムプレート１２、ボディ１４、カバー１６を備える。ボディ１４には上流側流体室２２及び下流側流体室２４を介して流入口１８と流出口２０とが連通可能とされ、各流体室２２，２４間は弁体２６により連通及び遮断される。弁体２６は軸部３０と可撓性膜部２８とを備え、軸部３０の端部にはバネ受け部材３９が設けられている。バネ受け部材３９の小径部３９ｂには、規制部１２ａ側へ変位可能な径拡張部５１が設けられ、径拡張部５１の外周にはＯリング５７が設けられている。そして、バネ受け部材３９の調整用孔に調整ねじ５５を締め込むことで径拡張部５１を規制部１２ａ側に変位させ同規制部１２ａをＯリング５７を介して押圧する。また、調整ねじ５５の締め込み量を調整することで径拡張部５１の変位量を調整できる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で耐圧性の向上を図った減圧弁を提供する。
【解決手段】高圧となる一次側のポート２３から、低圧となる二次側のポート２４に至る経路の途中に設けられた弁座２１に着座することによって弁を閉じ、弁座２１から離れることで弁を開く弁体１０を備え、弁体１０は、その一方が前記経路内であって弁座２１よりも上流側の領域に通じる貫通孔２２内で、往復動自在に配置される軸部１２を有すると共に、軸部１２と貫通孔２２との間の環状隙間を封止する封止部材３０を備えた減圧弁１００において、封止部材３０は、筒状の弾性体によって構成されており、その内周面が軸部１２の外周面に接着により固定され、かつその外周面が貫通孔２２の内周面に接着により固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エアーベアリング等の制御対象に供給される流体圧力を高安定かつ高感度に制御する。
【解決手段】差圧計７にて基準圧力６と測定圧力４との差圧を測定し、制御コントローラ８の制御指令に従い、ノズルフラッパ弁３を開閉することで、制御対象２に供給される流体圧力を制御する。差圧計７に耐圧以上の圧力がかかり破損することを防ぐため、基準圧力６と測定圧力４との過大圧力差から差圧計７を保護するための電磁弁９を設ける。圧力制御部１の圧力値と、基準圧力発生装置５の基準圧力６と、電磁弁９を開閉するリレー１１を作動させる圧力スイッチ１０ａ、１０ｂによる圧力閾値とを同期して制御することで、低圧から高圧まで高感度な制御が可能となる。 （もっと読む）

【課題】弁機構の弁体に連結されるダイヤフラムの一面を臨ませる圧力作用室の容積を減少させる側にダイヤフラムを付勢するばね力を発揮するダイヤフラムばねが、ばね荷重を調整可能としてダイヤフラムカバーおよびダイヤフラム間に設けられる減圧弁において、ダイヤフラムばねのばね荷重を減圧弁の外方から容易には変更できないようにする。
【解決手段】ダイヤフラム１６の中央部に結合されるダイヤフラムロッド６８に、係合凹部８５を有する調整ねじ８６が嵌合、支持され、調整ねじ８６の回転軸線と同軸の軸線まわりの回転を不能としつつ軸線方向の移動を可能としてばね室８２に収容されるばね受け部材８７に調整ねじ８６が螺合され、コイルばねであるダイヤフラムばね８３をばね受け部材８７との間に縮設せしめたダイヤフラムカバー２２に、キャップ８９で閉じられる工具挿入孔８８が係合凹部８５に対向して設けられる。 （もっと読む）

【課題】弁軸方向と直角な面に対するダイヤフラムの傾き、ならびにダイヤフラム側の軸心および弁体側の軸心のずれを許容しつつ、製造コストを安価とした単純な構造で弁軸をダイヤフラムロッドに連結する。
【解決手段】ダイヤフラムロッド６８に、挿入凹部７２が弁機構１５側に開放するようにして同軸に設けられ、弁機構１５側に開放した有底の連結凹部７３を有して挿入凹部７２に緩く嵌合される笠部材７４が、挿入凹部７２の開口端内周にかしめもしくは圧入によって固定される環状の保持プレート７５と端壁７２ａとの間に保持され、連結凹部７３に嵌合される弁軸３０の一端部外周ならびに連結凹部７３の内周に環状の係合溝７６，７７がそれぞれ設けられ、弁軸３０の半径方向に沿う拡縮を可能とした係合リング７８が両係合溝７６，７７に係合される。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムに連結される弁体に、弁体を弁座から離座させる側にダイヤフラムばねからのばね荷重を作用せしめるとともに、ダイヤフラムばねからのばね荷重作用方向とは反対側から弁体に背面コイルばねのばね荷重を作用せしめ、その背面コイルばねのばね荷重を調節可能とした減圧弁において、背面コイルばねを用いた調圧構造の小型化を図るとともに優れた搭載性が得られるようにする。
【解決手段】ガイド孔８に同軸に連なる収容孔３７が、弁体１２と反対側を開口するようにして弁ハウジング９に設けられ、調節部材１４が軸線方向での移動を可能とするものの回転作動することを不能として収容孔３７に挿入され、収容孔３７の軸線に沿う方向を一定として収容孔３７の開口端に回転可能に嵌合される操作部材３８が、調節部材１４の中央部に螺合される。 （もっと読む）

【課題】弁座を有する弁座部材と、弁座部材に圧入によって結合される弁ガイド部材と、弁ガイド部材でガイドされる弁体と、弁座部材および弁ガイド部材間に組付けられる円筒状のフィルタとを備える減圧弁において、高い寸法精度を必要としない簡易な構成でフィルタを弁座部材および弁ガイド部材に密接させるようにして異物の弁室への流入を防止する。
【解決手段】フィルタ２５が金属ビーズの焼結によって円筒状に形成され、弁座部材２３および弁ガイド部材２２の一方にフィルタ２５の一端内周側または外周側の角部３４に当接するテーパ面２９がフィルタ２５と同軸に形成され、弁座部材２３および弁ガイド部材２２の他方側にフィルタ２５の他端を当接させる受け面３０が形成され、弁座部材２３および弁ガイド部材２２の圧入時に、角部３４を押し潰すようにしてテーパ面２９が角部３４に密着し、受け面３０にフィルタ２５の他端が密接する。 （もっと読む）

【課題】 減圧弁の閉弁時に一次圧が上昇した場合に、一次側通路から直接減圧弁外へ排水することなく前記一次圧を低減できる減圧弁を提供する。
【解決手段】 一次側通路と、二次側通路と、シリンダとシリンダに摺動可能に挿通されたピストンとピストンの一端に固定された第一弁体とピストンの他端に固定されて二次圧を受圧するダイヤフラムとダイヤフラムを第一弁体の開弁方向へ付勢する第一バネとを有し、一次側通路と二次側通路との間の第一連通部の流路面積を可変調整する第一弁機構とを備える減圧弁であって、第二弁体と第二弁体を閉弁方向に付勢する第二バネとを有し一次側通路と二次側通路との間の第二連通部を開閉する第二弁機構を備え、第二弁機構は第一弁機構のピストン内に収容されており、前記第一弁機構が一次側通路と二次側通路との間の第一連通部を閉じている時に、前記第二弁機構は所定の一次圧で一次側通路と二次側通路との間の第二連通部を開く。 （もっと読む）

【課題】大気圧又は大気圧に近い低真空から高真空までの広い圧力レンジを簡単に圧力制御でき、高精度に圧力制御しながらスロー排気してパーティクルの飛散を確実に防止する真空圧力制御システムを提供する。
【解決手段】真空ポンプ５を介して真空容器４内の真空圧力を変化させる開閉弁２と、真空容器４内の真空圧力を計測する真空圧力センサ３を介して開閉弁２の開度を制御する真空圧力制御システムであり、到達関数ｆ(ｘ)を算出する演算機能と、開閉弁２を任意の時間幅でオープンクローズするタイマー６０と、オープン・クローズ開度値を真空圧力センサ３の出力と到達関数ｆ(ｘ)から演算する機能とを有する制御ユニット手段１０と、開度値を駆動する駆動手段１２と、圧力低下の所要時間Ｔと到達圧力Ｐを外部からコマンド入力する入力手段１３とを設けて、大気圧又は任意の圧力から目標とする任意の圧力まで低下させるようにした。 （もっと読む）

【課題】真空弁のメンテナンスサイクルを長くできる排気圧力制御システム及び排気圧力制御方法を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ３に接続される排気系１０に配設される真空弁１５と、排気系１０の排気圧力を目標圧力に制御するように真空弁１５のバルブ開度を制御するコントローラ１２とを有する排気圧力制御システム１１において、排気系１０に接続するパージガス供給系１４と、パージガス供給系１４に配設され、排気系１０に供給されるパージガスの流量を制御するパージガス流量コントローラ１３と、を有し、パージガス流量コントローラ１３により流量制御されたパージガスを排気系１０に供給することにより、コントローラ１２が制御する真空弁１５のバルブ開度を、パージガスを排気系１０に供給しないで排気圧力を目標圧力に制御する場合より大きくする。 （もっと読む）

【課題】調圧スプリングをハウジングに組み込んでからでもバネ荷重を外部から調整することができ、もってスプリングのバネ荷重について製品ごとのバラツキが発生するのを抑制し、しかも圧力損失が小さい減圧弁を提供する。
【解決手段】流入口と流出口の間に弁座を備え、流体が弁座の外周から内周へ流れるハウジングと、弁座の流出口側に配置され、筒状を呈し、弁体を備え、筒状内部を流路とし、流体の流出側圧力を受けて移動するピストンと、ピストンを弾性付勢するスプリングと、スプリング固定端を保持する保持部材と、ピストン外周側をシールする手段と、保持部材をハウジング内で変位可能とするとともにその停止位置をハウジング外部から操作可能とすることによりスプリングのバネ荷重を調整する調整手段とを有する。弁座、弁体、ピストン、スプリング、保持部材、シール手段および調整手段は一軸上に配置されている。 （もっと読む）

【課題】流体を精密に分配するように停止／吸引弁を調整する制御システムを提供する。
【解決手段】第１及び第２の流れ制限装置２０，２１は停止／吸引弁１０の停止部分及び吸引部分とそれぞれ流体的に連通した第１及び第２の空気出口を有する。第１及び第２の圧力センサ２４，２５は第１の空気出口内の圧力及び第２の空気出口内の圧力を感知する。コンピュータプロセッサ３０は第１及び第２の圧力センサに応答して第１及び第２の空気出口の圧力をそれぞれ独立して制御する。停止／吸引弁の停止部分及び吸収部分の各々を所定の開放位置に維持するように、所定の時間に亘り前記第１及び第２の空気出口の圧力が維持され、且つ所定の時間に亘り停止／吸引弁の停止部分及び吸収部分の各々を所定の閉鎖位置に維持するように、第１及び第２の空気出口の圧力がそれぞれ独立して制御される。 （もっと読む）

【課題】ガスの種類、流量等で変化する真空容器内の圧力をシミュレーションし得る装置を提供する。
【解決手段】真空バルブにより真空容器内圧力を所定の処理時間間隔で制御する圧力制御装置９を具備する真空処理装置における真空容器のシミュレーション装置で、開度検出器22で検出されたバルブ開度を入力してバルブ特性曲線に基づきバルブのコンダクタンスを求めるコンダクタンス取得部72と、ここで得られたコンダクタンスに、前回処理時の真空容器内圧力を乗算して排出ガス量を求める排出ガス量計算部73と、ここで得られた排出ガス量に、ガス流量テーブルから処理経過時間に応じて得られた今回処理時における流入ガス量を入力して真空容器内の圧力変化を求める圧力変化計算部75と、ここで得られた圧力変化に前回処理時における真空容器内圧力を加算して今回処理時における真空容器内圧力を求める容器圧力計算部76とを具備したもの。 （もっと読む）

【課題】可変速ポンプ及び並列設置された返送弁を有する配水設備Ａと、配水設備Ｂが接続された配水網において、配水設備Ｂからの押込圧力が大きい場合には配水流量低下に伴い、無送水を引き起こし需要家へ圧力変動を与えて濁水発生の原因となる。
【解決手段】配水池から需要家１４に上水を供給する配水網に複数のポンプと流量調節装置を備える返送弁１５が並列に設けられた配水設備において、可変速ポンプを目標圧力に制御する圧力制御器１０と実配水流量と実配水圧力から他配水設備との押合状態を検出し、ポンプ回転数から全台停止タイミングを判定するポンプ全台停止時期判定器８と、一連の返送弁開閉動作と返送流量から開閉時期を調節する開度調節器を備え、自配水設備のポンプを全台停止時に発生する圧力変動を抑止する。 （もっと読む）