【課題】インジェクタ付き減圧弁の小型・軽量化を図る。
【解決手段】インジェクタ付き減圧弁５は、バルブ室１２を有するボディ１１と、高圧流体をバルブ室１２に導入する導入口１７と、減圧された流体をバルブ室１２から第２水素供給流路３ｂに送り出す送出口１５と、バルブ室１２内に収容されるシャトル弁体１３と、送出口１５の一端に設けられシャトル弁体１３が離接可能な弁座１８と、シャトル弁体１３の背面２２とバルブ室１２の壁面１２ａにより囲繞されシャトル弁体１３とバルブ室１２の壁面１２ａとの隙間２０を介して導入口１７に連通する背圧室２５と、背圧室２５に連通し背圧室２５の流体を排出する背圧流路２６と、シャトル弁体１３を弁座１８に接近する方向に付勢するスプリング１４と、背圧流路２６を介して排出された背圧室２５の流体を断続時間間隔を調整して第２水素供給流路３ｂに送出するインジェクタ３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】デジタル制御を採用したバルブ制御器であっても、従来のアナログ制御を使用している場合に近い応答性を実現することができる圧力制御装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路５上に設けられた流体制御バルブ２と、前記流体の圧力を測定する圧力センサ３と、前記圧力センサ３で測定される圧力の測定値が、予め設定される設定値となるように前記流体制御バルブ２の開度を制御するバルブ制御器４と、を備え、前記バルブ制御器４が、入力される値に対して所定の演算を施して前記流体制御バルブ２の開度の操作量に関連する値を演算する操作量演算部４１と、入力される値に対してデジタル制御により位相のずれを補償した値を出力する位相補償部４２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】流体圧アクチュエータの圧力制御のために設けられた電磁式可変リリーフ弁のリリーフ設定圧力に対するリリーフ圧精度の向上を図る。
【解決手段】アタッチメントシリンダ15に供給する作動油の圧力を電気的に指令可能な設定圧力に制御するために設けられている電磁式可変リリーフ弁33をコントローラ31により制御する。コントローラ31には、電磁式可変リリーフ弁33のリリーフ設定圧力およびリリーフ弁通過流量に関する入力信号に基づき上記電磁式可変リリーフ弁33のオーバーライド圧力特性を補正したリリーフ設定圧力に関する指令信号を上記電磁式可変リリーフ弁33に出力することを可能とする制御ロジックを盛り込み、このコントローラ31により制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】一次側の圧力が１００ＭＰａ以上の高圧水素ガスの減圧に使用される減圧装置において、電磁弁の推力を可及的に小さくした燃料電池システム用減圧装置を提供する。
【解決手段】燃料電池システム用減圧装置１は、高圧の一次側ポート３と低圧の二次側ポート４とを連通する経路５の途中に弁座６、及び、該弁座と対向する反対側に貫通孔１０を設け、前記弁座に離着することで前記経路を開閉する弁体７を備え、該弁体の先端側には、ソレノイド１１及び二次側の圧力を受けるベローズ１６の軸方向の力を弁体に作用する伝達部材１７を設け、弁体の後端側と前記貫通孔と間に封止部材を設け、該封止部材が金属材料からなる多層の成形ベローズから形成されている。 （もっと読む）

【課題】流量に対する調圧圧力の変動幅を小さくすることのできるレギュレータを提供する。
【解決手段】レギュレータ１０は、ＣＮＧを調圧する調圧室２４と背圧室２２とを区画するピストン２０と、ピストン２０とともに可動し、調圧室２４へ流入するＣＮＧの通路を開閉する調圧バルブ４２と、調圧室２４に流入したＣＮＧの圧力に抗してピストン２０を付勢する調圧スプリング２８とを備え、ピストン２０に作用する調圧室２４のＣＮＧの圧力と調圧スプリング２８のスプリング力とのバランスにより調圧バルブ４２の開閉ストロークが調整されることで、調圧室２４から流出するＣＮＧの調圧圧力を調圧する。ピストン２０に磁性体を設け、磁性体に対向する電磁石６０を設け、電磁石６０の通電、非通電を切替えることにより流量に対する調圧圧力を２段階に可変する。 （もっと読む）

【課題】増圧弁及び減圧弁の各々の弁体と弁座との間を流れる作動液が各弁を開弁する方向に流れる液圧弁装置を提供する。
【解決手段】高圧室２５２と調圧室２７２とを繋ぎ調圧室側の開口が増圧弁の弁座である第１室間部２４０と、低圧室２２８と調圧室とを繋ぐ第２室間部２０８とを有するハウジングと、ハウジング内を移動可能であり、増圧弁の弁体２４８が形成された第１部材２４６と、第２室間部に挿入状態で移動可能であり、減圧弁の弁座が形成された第２部材２６０と、低圧室内を移動可能であり、減圧弁の弁体が形成された第３部材１８２と、第３部材を減圧弁の弁体が弁座に接近する方向である第１方向に移動させる移動器１８４とを備えた液圧弁装置において、第２部材の第１方向への移動に伴って第１部材を第１方向の反対方向へ移動させるように構成する。このように構成すれば、液圧を増減圧する際に作動液を、弁が開弁する方向に流すことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】油圧で作動する機器の圧力制御弁において、簡単な構成で、シュート圧を抑えることができ、かつ油圧脈動によるスプールの振動を抑えることができるようにする。
【解決手段】この圧力制御弁１０はハウジング２２及びスプール２３を備えている。ハウジング２２は、入力ポート２５、出力ポート２６及びドレンポート２７，２８を有している。スプール２３は、ハウジング２２内部に摺動自在に設けられ、出力ポート２６を入力ポート２５又はドレンポート２８に連通させる。また、スプール２３は、スプール軸方向の一端側に設けられ出力ポート２６に連通するフィードバック室３６と、出力ポート２６とフィードバック室３６とを連通するフィードバック流路Ｐ４と、フィードバック流路Ｐ４に設けられスプール２３の摺動位置に応じて絞り径が変化する可変絞り機構４２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】分離向上等の目的で分析条件を時間変化させる測定においても圧力変動の小さい超臨界流体用圧力制御装置を提供する。
【解決手段】 超臨界流体が通る流路に設けられた弁室１２と、
該弁室１２に配置され、弁閉時に弁室１２へ先端部が嵌め合わされ、弁開時に弁室１２より退避するよう電気的に操作された弁体１６と、を備えた弁と、
前記弁室１２の上流側又は下流側の流路内超臨界流体圧力を検出する圧力検出手段２２と、
前記圧力検出手段２２により検出された圧力が、目標圧力となるように制御する開閉制御手段２４と、
前記超臨界流体の状態により開時の弁開度を調整する弁開度調整手段３０と、
を備えたことを特徴とする超臨界流体用圧力制御装置１０。 （もっと読む）

【課題】大気圧又は大気圧に近い低真空から高真空までの広い圧力レンジを簡単に圧力制御でき、高精度に圧力制御しながらスロー排気してパーティクルの飛散を確実に防止する真空圧力制御システムを提供する。
【解決手段】真空ポンプ５を介して真空容器４内の真空圧力を変化させる開閉弁２と、真空容器４内の真空圧力を計測する真空圧力センサ３を介して開閉弁２の開度を制御する真空圧力制御システムであり、到達関数ｆ(ｘ)を算出する演算機能と、開閉弁２を任意の時間幅でオープンクローズするタイマー６０と、オープン・クローズ開度値を真空圧力センサ３の出力と到達関数ｆ(ｘ)から演算する機能とを有する制御ユニット手段１０と、開度値を駆動する駆動手段１２と、圧力低下の所要時間Ｔと到達圧力Ｐを外部からコマンド入力する入力手段１３とを設けて、大気圧又は任意の圧力から目標とする任意の圧力まで低下させるようにした。 （もっと読む）

【課題】流体を精密に分配するように停止／吸引弁を調整する制御システムを提供する。
【解決手段】第１及び第２の流れ制限装置２０，２１は停止／吸引弁１０の停止部分及び吸引部分とそれぞれ流体的に連通した第１及び第２の空気出口を有する。第１及び第２の圧力センサ２４，２５は第１の空気出口内の圧力及び第２の空気出口内の圧力を感知する。コンピュータプロセッサ３０は第１及び第２の圧力センサに応答して第１及び第２の空気出口の圧力をそれぞれ独立して制御する。停止／吸引弁の停止部分及び吸収部分の各々を所定の開放位置に維持するように、所定の時間に亘り前記第１及び第２の空気出口の圧力が維持され、且つ所定の時間に亘り停止／吸引弁の停止部分及び吸収部分の各々を所定の閉鎖位置に維持するように、第１及び第２の空気出口の圧力がそれぞれ独立して制御される。 （もっと読む）

【課題】構造を単純にすることにより小型化を容易にし、腐食性のある流体を流しても劣化しにくいバルブおよびそれを用いた燃料電池を提供する。
【解決手段】流体の導入口１および導出口２と、前記導入口および導出口を結ぶ流体流路２９と、前記流体流路中に設けられた弁体４を有するバルブであって、前記流体流路２９の内部と外部とを隔てて配置され、前記流体流路の内部の圧力と外部の圧力の差圧によって変形するダイアフラム３と、前記ダイアフラムに設けられ、かつ前記ダイアフラムを変形させる形状記憶合金、熱膨張物質、電磁石から選ばれた少なくとも１種からなるアクチュエータ７を有し、前記ダイアフラム３はバルブ軸５を介して弁体４と連結し、前記ダイアフラムの変形により弁体が変位して開閉するバルブおよびそれを用いた燃料電池。 （もっと読む）

【課題】小型な構成で、開閉動作に伴う圧力変動（脈動）を抑制することができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】圧力調整弁２７において、流入ポート７１に連通する１次室６７と流出ポート８１に連通する２次室６８との連通流路を１次室６７側から開閉する弁体７０を、２次室６８の１の面を構成し弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体８４と拮抗しつつ閉弁方向に付勢するマグネット７２を備え、マグネット７２は、同極同士を対面配置され、互いの反発力で弁体７０を付勢する。 （もっと読む）

弁ハウジング１０を有する比例圧力制御弁であって、弁ハウジングが、特にポンプ接続端Ｐ、利用接続端Ａ及びタンク接続端Ｔの形式の少なくとも３つの流体を案内する接続端を有し、ポンプ接続端Ｐを利用接続端Ａに、及び利用接続端Ａをタンク接続端Ｔに選択的に接続するために、制御ピストン１８が弁ハウジング１０の内部で長手方向に移動可能に案内されており、ポンプ接続端Ｐとパイロット弁２２のパイロット制御室２０との間に流体を案内する接続が存在しており、かつパイロット弁２２が、磁気装置、特に比例磁気装置２８によって駆動可能な比例圧力制御弁において、パイロット制御室２０へ流体を案内する接続が、弁ハウジング１０の壁の内部に軸方向に延びる孔２７を有しており、その孔２７がハウジング１０の、ポンプ接続端Ｐを形成する半径方向孔９から出発していることを特徴としている。
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【課題】気体の検出圧力と目標圧力との偏差が大きくなった場合に偏差を迅速に小さくすることのできる圧力制御装置および圧力の制御された気体を用いる流量制御装置を提供する。
【解決手段】電空レギュレータ４０は、エアの供給源に接続されるとともに所定周期を有するパルス信号により開閉駆動される給気用電磁弁４３と、電磁弁４３の下流に接続されるとともに所定周期を有するパルス信号により開閉駆動される排気用電磁弁４４とを備える。エア通路３５に導出されるエアの圧力センサ７２による検出圧力を目標圧力にするために、電磁弁４３，４４を各周期において駆動するパルス信号をエアの検出圧力と目標圧力との偏差に基づいてＰＩＤ演算により生成するともに、エアの検出圧力と目標圧力との偏差が判定値以上であることを条件に、電磁弁４３，４４が駆動される周期おいて偏差を小さくするように、ＰＩＤ演算により生成されるパルス信号を変更する。 （もっと読む）

【課題】一次側の圧力が急激に変動しても、二次側の流量に影響が及びにくいマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、その流量センサ部の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブと、前記流量制御バルブへの制御値を算出する算出部と、を備えたものであって、マスフローコントローラの上流側における前記流体の圧力の測定値である一次側圧力測定値が所定量以上変化した期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間と、において、前記算出部は、前記安定期間では、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に所定の演算処理を施して安定時制御値を算出し、前記変化期間では、前記一次側圧力測定値と前記一次側圧力測定値の変化量とに所定の演算処理を施して変化時制御値を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程で使用する真空圧力制御システムにおいて、給気したガスを正確な真空圧力値で迅速に保持できると共に、このガスを真空容器外に迅速に排気可能な真空圧力制御システムを提供する。
【解決手段】真空圧力制御システム１は、真空チャンバ１１と、真空チャンバ１１内のガスを吸引する真空ポンプ１５と、真空チャンバ１１と真空ポンプ１５との間に接続し、動力源として、エア供給源２０から供給される駆動エアＡＲにより、弁開度ＶＬを変化させて真空チャンバ１１内の真空圧力を制御する真空開閉弁３０と、真空開閉弁３０を制御する真空圧力制御装置７０と、真空開閉弁３０の弁開度ＶＬを制御するサーボ弁６０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ハウジングに配設される弁座に着座可能な弁体に、圧力受動部材の中央部に同軸に連結されるとともに隔壁を摺動可能に貫通する弁軸が連結される減圧弁において、弁体および弁座間への磨耗粉の噛み込みを防止するとともに製造コストの低減を図った上で、組付け工数の増大を回避しつつ弁軸の摺動性を高める。
【解決手段】弁体５９と同軸である貫通孔１０４が隔壁７８に設けられ、合成樹脂により形成されて貫通孔１０４に嵌入される円筒状のガイド部材１０６の一端に、隔壁７８の一面に当接するフランジ部１０６ａが一体に設けられ、ガイド部材１０６の他端に、貫通孔１０４内に挿通されるようにして撓むことを可能とした係合部１０６ｂが、貫通孔１０４から突出した状態では隔壁７８の他面に弾発係合するようにして一体に設けられ、弁軸１０５がガイド部材１０６を貫通するようにしてガイド部材１０６に摺動可能に嵌合される。 （もっと読む）

【課題】調整弁の故障した時点、どの調整弁が破損したのかを容易に判断可能にする。
【解決手段】方法は、制御装置及び複数のセンサを有する圧力調整弁システムにおいてセンサデータを収集するために開示される。制御装置及び夫々の個々のセンサは、サンプリング期間の間、センサデータを収集することが必要なときに起動され、それによって、圧力調整弁システムにより消費される電力量が減少する。更に、圧力調整弁バッテリの容量をモニタするためにバッテリセンサを使用し、バッテリの容量が減少したときに、電力消費量を減少させる動作モードに圧力調整弁をセットすることにより、電力節約測定が実行される。 （もっと読む）

ピストン（１８）が中に受けられる調整チャンバ手段（９）を備える流体圧力調整器であって、該調整チャンバ手段（９）内で、該ピストン（１８）の対向する部分によって第１チャンバ（１０）および第２チャンバ（１１）が画定され、該第１チャンバ（１０）および該第２チャンバ（１１）が、該流体の第１入り口（１２）および第２入り口（１３）をそれぞれ備え、該第１入り口（１２）および該第２入り口（１３）が、第１圧力（ＰＩＮ）で第１環境（２）に接続され、該第１チャンバ（１０）および該第２チャンバ（１１）が、該流体の第１出口（１４）および第２出口（１５）をそれぞれ備え、該第１出口（１４）および該第２出口（１５）が、第２圧力（ＰＯＵＴ）で第２環境（２３）に接続され、該ピストン（１８）が、該第２圧力（ＰＯＵＴ）を調整する目的で該第２出口（１５）を開放／閉鎖するように、該第１チャンバ（１０）内の該流体の圧力の変動に応答して該調整チャンバ手段（９）内で可動であり、該第１チャンバ（１０）内の該圧力変動を誘発させるために、該第１出口（１４）を開放／閉鎖するための弁手段（２６）を備える流体圧力調整器。 （もっと読む）