【課題】回転位置検出センサや駆動部が故障しているか否かを判定し、故障が発生している場合には、その故障に対して適切な処置を行うことができる圧力制御装置の提供。
【解決手段】第１回転位置検出センサの検出情報に基づいて回転出力軸の回転数を求め、且つ、第２回転位置検出センサの検出情報に基づいて回転出力軸の回転角度を求め、それら求めた回転出力軸の回転数及び回転角度から回転出力軸の回転位置を求める回転位置演算手段と、回転位置演算手段にて求めた回転出力軸の回転位置が目標回転位置になるように、駆動部の駆動指令値を調整する自動運転を行う制御部と、制御部による自動運転中に、第１回転位置検出センサの検出情報と第２回転位置検出センサの検出情報と駆動部の駆動指令値とを比較して、第１回転位置検出センサ、第２回転位置検出センサ、及び、駆動部の何れかが故障であることを判定する故障判定手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】クラッチ機構を伝達状態と遮断状態とに切り換えるための構成の複雑化を招くことなく、伝達状態と遮断状態との切り換えを行うときの操作性の向上を図ること。
【解決手段】クラッチ機構３０は、駆動ギア２４又は伝達ギアＦ１の何れか一方を固定側ギアとし且つ他方を移動側ギアとして、伝達ギアＦ１と駆動ギア２４とが噛み合う噛合位置と伝達ギアＦ１と駆動ギア２４との噛み合いを解除する噛合解除位置とに移動側ギアをその径方向に移動自在に構成されている。 （もっと読む）

【課題】流体圧機器の弁構造において、安定したシール性能が得られると共に、製造性及び耐久性を向上させる。
【解決手段】減圧弁１０を構成する弁体５０は、ステム４８に連接される第１ハウジング５８と、該第１ハウジング５８の外周側に設けられる第２ハウジング６０と、前記第１ハウジング５８と第２ハウジング６０との間に設けられるパッキン６２とを備え、前記パッキン６２が、前記第１ハウジング５８のテーパ部６６と第２ハウジング６０の外壁部７４との間に装着され挟持されることによって固定される。また、第１ハウジング５８の第１筒部６４が、第２ハウジング６０の第２筒部７０の内部に挿入され、例えば、溶接や接着等によって一体的に固定される。 （もっと読む）

【課題】 ピストン及び主弁が傾斜し難い減圧弁を提供する。
【解決手段】 弁ケーシング１で入口２と弁口５と出口３を形成し、弁口５を開閉する主弁６を弁ケーシング１内に配置し、主弁６を操作するピストン７を弁ケーシング１内に配置し、ピストン７の上面に一次側圧力を作用させ下面に二次側圧力を作用させてピストン７を変位させることにより主弁６を操作して弁口５を開閉することにより二次側圧力を設定圧力に保つものであって、主弁６の下部弁軸６ａを軸方向に案内する案内孔１ｂを弁ケーシング１に設け、ピストン７の下面の弁口５から噴出した流体が直進する噴出流体の中心軸上に下方に突出した半球部７ｂを設けたものにおいて、ピストン７の半球部７ｂの中心軸上に凹部７ａを設け、ピストン７の半球部７ｂの凹部７ａに主弁６の上部弁軸６ｂを嵌め合わせたる。 （もっと読む）

流体調整デバイスは、入口、出口、弁口を有する弁本体と、弁本体内でシフト可能な制御要素とを含む。制御アセンブリは、制御要素に連結されるアクチュエータを含み、ダイヤフラムチャンバに隣接して配置されるダイヤフラムを含む。検知管は、第１の端部、第２の端部、および中間部分を有し、第１の端部は、ダイヤフラムチャンバと連通するように位置付けられ、第２の端部は、出口に隣接して配置され、中間部分は、出口の中間部分に隣接して配置される。検知管は、肩部および広がり部分を含み、広がり部分は、第２の端部に隣接して配置される。 （もっと読む）

【課題】真空容器の真空引きの過程において発生するパーティクルの巻き上がりを抑制する技術を簡易に実装する技術を提供する。
【解決手段】真空制御バルブ１００は、真空容器に接続される上流側流路１４１と、真空ポンプに接続される下流側流路１４２と、を含む流路１４０と、弁開度を操作することによって、上流側流路１４１と下流側流路１４２との間のコンダクタンスを変化させる開閉弁１１０と、上流側流路１４１の内部の圧力を計測する圧力センサ１２０と、上流側流路１４１の目標圧力値を予め設定された時間関数として変化させ、計測された圧力と目標圧力値との間の偏差に応じて開度を操作する制御部１５０と、を備え、制御部１５０は、真空制御バルブ１００の外部からの開始入力に応じて、コンダクタンスを操作することによって偏差を小さくする制御を開始する。コンダクタンスは、ゼロから予め設定された範囲までの連続した範囲で操作することができる。 （もっと読む）

【課題】チャンバ室の圧力を目標圧力降下勾配に近づけるように電動真空弁の弁開度を切り換える設定点を簡単かつ安価に設定できる電動真空弁による排気速度制御方法を提供すること。
【解決手段】電動真空弁２１の弁開度を等比倍数に従って段階的に制御し、弁開度毎に、真空ポンプ１３により粘性流領域から排気を行わせ、圧力センサ１５によりチャンバ室の真空圧力を測定して圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を実測した後、圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を目標圧力降下勾配Ｘに近似させるように時間的にずらし、圧力降下カーブ同士の交点を電動真空弁２１の弁開度を切り換える設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に決定し、その後、設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に基づいて電動真空弁２１の弁開度を切り換え、粘性流領域における排気速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】 オリフィスに付着する異物を自動的に排除できる減圧弁を提供する。
【解決手段】 上面と下面を連通するオリフィス２７を開けたピストン７の上面に設定圧力と二次側圧力との偏差に基づいて一次側流体を導入することによりピストン７を変位せしめてピストン７に連結した主弁６を開閉操作する。ピストン７の変位によりオリフィス２７内に進入してオリフィス２７に付着した異物を排除する異物排除部材２８を弁ケーシングにねじ結合して設ける。ピストン７が下方に変位したときに異物排除部材２８がオリフィス２７内に進入してオリフィス２７に付着した異物を排除する。 （もっと読む）

【課題】流量制御弁において、制御上の有効ストローク幅をより大きくし、分解能をより高くするとともに、それに伴い、外乱等によるストロークの微小変動に対しての許容幅も大きくする。
【解決手段】流量制御弁１に、内部に入口側流路３及び出口側流路４を有する弁ボディ２と、この弁ボディ２の入口側流路３と出口側流路４との間に設けられ、前記入口側流路３に連通する横孔５ａを設けてなる筒状のスリーブ５と、このスリーブ５の内部を進退可能である球状の弁体６とを具備し、この弁体とスリーブの横孔との隙間を流体が通過する。 （もっと読む）

【課題】圧力調整ネジの誤操作を防止できながら、低廉化を図り得る圧力制御装置を提供する。
【解決手段】モータＭがステッピングモータ１７にて構成され、ステッピングモータ１７の駆動軸１７ａが圧力調整ネジ３に直結されて、ステッピングモータ１７の回転駆動力が直接圧力調整ネジ３に伝動されるように構成され、制御部４が、手動操作を行わない通常操作状態において、ステッピングモータ１７に通電して、励磁状態でステッピングモータ１７が働く通常制御状態と、手動操作を行う手動操作状態において、ステッピングモータ１７への通電を停止して、非励磁状態でステッピングモータ１７の回転を許容する非制御状態とに切り換え自在に構成され、制御部４の制御状態を通常制御状態と非制御状態とに切り換える制御切換手段２０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧力制御性の低下を抑制しつつ流体圧力の発振を抑制することができる流体制御弁を提供する。
【解決手段】流体制御弁１０は、ボトムプレート１２、ボディ１４、カバー１６を備える。ボディ１４には上流側流体室２２及び下流側流体室２４を介して流入口１８と流出口２０とが連通可能とされ、各流体室２２，２４間は弁体２６により連通及び遮断される。弁体２６は軸部３０と可撓性膜部２８とを備え、軸部３０の端部にはバネ受け部材３９が設けられている。バネ受け部材３９の小径部３９ｂには、規制部１２ａ側へ変位可能な径拡張部５１が設けられ、径拡張部５１の外周にはＯリング５７が設けられている。そして、バネ受け部材３９の調整用孔に調整ねじ５５を締め込むことで径拡張部５１を規制部１２ａ側に変位させ同規制部１２ａをＯリング５７を介して押圧する。また、調整ねじ５５の締め込み量を調整することで径拡張部５１の変位量を調整できる。 （もっと読む）

【課題】圧力制御性の低下を抑制しつつ流体圧力の発振を抑制することができる流体制御弁を提供する。
【解決手段】流体制御弁１０は、ボトムプレート１２、ボディ１４、及びカバー１６を備えている。ボディ１４には流入口１８及び流出口２０が設けられ、流入口１８は上流側流体室２２及び下流側流体室２４を介して流出口２０と連通可能とされている。上流側流体室２２及び下流側流体室２４間は弁体２６によって連通及び遮断される。弁体２６は、軸部３０と、該軸部３０に連結される可撓性膜部２８とを備え、軸部３０のボトムプレート１２側端部には、バネ受け部材３９が組み付けられている。バネ受け部材３９は、略円柱状の小径部３９ｂを有し、小径部３９ｂの外周側には環状に形成されたボトムプレート１２の規制部１２ａが設けられている。小径部３９ｂと規制部１２ａとの間には所定の隙間４８が設けられ、その隙間４８には真空用グリス５０が充填されている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で耐圧性の向上を図った減圧弁を提供する。
【解決手段】高圧となる一次側のポート２３から、低圧となる二次側のポート２４に至る経路の途中に設けられた弁座２１に着座することによって弁を閉じ、弁座２１から離れることで弁を開く弁体１０を備え、弁体１０は、その一方が前記経路内であって弁座２１よりも上流側の領域に通じる貫通孔２２内で、往復動自在に配置される軸部１２を有すると共に、軸部１２と貫通孔２２との間の環状隙間を封止する封止部材３０を備えた減圧弁１００において、封止部材３０は、筒状の弾性体によって構成されており、その内周面が軸部１２の外周面に接着により固定され、かつその外周面が貫通孔２２の内周面に接着により固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】弁機構の弁体に連結されるダイヤフラムの一面を臨ませる圧力作用室の容積を減少させる側にダイヤフラムを付勢するばね力を発揮するダイヤフラムばねが、ばね荷重を調整可能としてダイヤフラムカバーおよびダイヤフラム間に設けられる減圧弁において、ダイヤフラムばねのばね荷重を減圧弁の外方から容易には変更できないようにする。
【解決手段】ダイヤフラム１６の中央部に結合されるダイヤフラムロッド６８に、係合凹部８５を有する調整ねじ８６が嵌合、支持され、調整ねじ８６の回転軸線と同軸の軸線まわりの回転を不能としつつ軸線方向の移動を可能としてばね室８２に収容されるばね受け部材８７に調整ねじ８６が螺合され、コイルばねであるダイヤフラムばね８３をばね受け部材８７との間に縮設せしめたダイヤフラムカバー２２に、キャップ８９で閉じられる工具挿入孔８８が係合凹部８５に対向して設けられる。 （もっと読む）

【課題】弁軸方向と直角な面に対するダイヤフラムの傾き、ならびにダイヤフラム側の軸心および弁体側の軸心のずれを許容しつつ、製造コストを安価とした単純な構造で弁軸をダイヤフラムロッドに連結する。
【解決手段】ダイヤフラムロッド６８に、挿入凹部７２が弁機構１５側に開放するようにして同軸に設けられ、弁機構１５側に開放した有底の連結凹部７３を有して挿入凹部７２に緩く嵌合される笠部材７４が、挿入凹部７２の開口端内周にかしめもしくは圧入によって固定される環状の保持プレート７５と端壁７２ａとの間に保持され、連結凹部７３に嵌合される弁軸３０の一端部外周ならびに連結凹部７３の内周に環状の係合溝７６，７７がそれぞれ設けられ、弁軸３０の半径方向に沿う拡縮を可能とした係合リング７８が両係合溝７６，７７に係合される。 （もっと読む）

【課題】弁座を有する弁座部材と、弁座部材に圧入によって結合される弁ガイド部材と、弁ガイド部材でガイドされる弁体と、弁座部材および弁ガイド部材間に組付けられる円筒状のフィルタとを備える減圧弁において、高い寸法精度を必要としない簡易な構成でフィルタを弁座部材および弁ガイド部材に密接させるようにして異物の弁室への流入を防止する。
【解決手段】フィルタ２５が金属ビーズの焼結によって円筒状に形成され、弁座部材２３および弁ガイド部材２２の一方にフィルタ２５の一端内周側または外周側の角部３４に当接するテーパ面２９がフィルタ２５と同軸に形成され、弁座部材２３および弁ガイド部材２２の他方側にフィルタ２５の他端を当接させる受け面３０が形成され、弁座部材２３および弁ガイド部材２２の圧入時に、角部３４を押し潰すようにしてテーパ面２９が角部３４に密着し、受け面３０にフィルタ２５の他端が密接する。 （もっと読む）

【課題】調圧スプリングをハウジングに組み込んでからでもバネ荷重を外部から調整することができ、もってスプリングのバネ荷重について製品ごとのバラツキが発生するのを抑制し、しかも圧力損失が小さい減圧弁を提供する。
【解決手段】流入口と流出口の間に弁座を備え、流体が弁座の外周から内周へ流れるハウジングと、弁座の流出口側に配置され、筒状を呈し、弁体を備え、筒状内部を流路とし、流体の流出側圧力を受けて移動するピストンと、ピストンを弾性付勢するスプリングと、スプリング固定端を保持する保持部材と、ピストン外周側をシールする手段と、保持部材をハウジング内で変位可能とするとともにその停止位置をハウジング外部から操作可能とすることによりスプリングのバネ荷重を調整する調整手段とを有する。弁座、弁体、ピストン、スプリング、保持部材、シール手段および調整手段は一軸上に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 減圧弁を分解することなくフィルタにより捕捉した異物を排除する。
【解決手段】 本体１に入口５と出口６を形成する。入口５と出口６を連通する弁口８を開閉する弁体９を弁口８の下方に弁体ばね１９で閉弁方向に付勢して配置する。ベローズ４の変位により操作棒１１を介して弁体９を駆動して弁口８を開閉する。弁体９と弁体ばね１９を囲う円筒状のフィルタ２０を弁座７と本体１の底部との間に配置する。本体１の底部にフィルタ２０の内周を摺接する異物排除部材３０をねじ進退可能にねじ結合する。異物排除部材３０と弁体９との間に弁体ばね１９を配置する。フィルタ２０の外側下方に異物溜空間３１を形成する。異物溜空間３１の異物を系外に排除するブローバルブ３４を設ける。 （もっと読む）

【課題】減圧弁からダイヤフラムを取り外すことなく、減圧弁の内部を容易にメンテナンスすることができるようにする。
【解決手段】減圧弁１０は、一次室１６と、これに連通孔１８を介して連通する二次室２２と、ダイヤフラム２６により二次室２２と区画され、外部に連通する大気室２４とを形成するハウジング１２を有する。ハウジング１２には、一次室１６と連通孔１８を形成し、ハウジング１２に対して着脱可能な着脱部材３６が設けられている。着脱部材３６をハウジング１２から取り外すことで、ダイヤフラム２６を取り外すことなく、減圧弁１０の内部を用意にメンテナンスすることができる。 （もっと読む）

流体のための流路（１０８）を画定し、かつ、弁座（１０４）と、弁本体に結合された駆動器筐体（１２２、１２４）と、駆動器筐体内に配置され、開放位置と制御部材が弁座に係合する閉鎖位置の間で移動することによって流路を通る流体の流れを調節するために、弁本体および弁座に対する変位のために適合された、制御部材（１３０）と、制御部材に動作可能に結合され、制御部材を開放位置に向かって付勢する、ばね（１９３）と、を有する弁本体（１０２）を有する調節器（１００）。制御部材は、弁座に面し、陥凹状である表面を含む。陥凹表面は、座ぐり穴（１４８）であってもよく、もしくは、凸形状、円錐形状、または他の適切な陥凹表面を有してもよい。そうした構成によって、取り替えられた調節器は、高い入口圧力、低い出口圧力、高流速の実施において、安定性を向上させる。 （もっと読む）