【課題】バスバーの内側端縁が傾斜しているような交叉幅が重み付が施されていても、励振部に弾性波を良好に閉じ込めることができ、良好な共振特性を有する弾性波共振子を提供する。
【解決手段】第１のバスバー２１，２２が、それぞれ、複数本の第１の電極指２３または第２の電極指２４の端部からバスバー側に延ばされた複数本の第１の電極指延長部２３ａ及び第２の電極指延長部２４ａと、電極指延長部２３ａまたは２４ａを被覆し、電極指延長部２３ａ，２４ａの外側端よりも外側に延ばされている第１の金属膜２８，２９とを有し、金属膜２８，２９の内側端縁２８ａ，２９ａが第１，第２のバスバー２１，２２の内側端縁をそれぞれ構成しており、電極指延長部２３ａ，２４ａの平均密度をρ１、膜厚をＨ１、金属膜２８，２９の平均密度をρ２、膜厚をＨ２としたときに、ρ１×Ｈ１がρ２×Ｈ２よりも大きい、弾性波共振子。 （もっと読む）

【課題】境界弾性波装置は、小型で温度安定性に優れている。しかし、Ｑ値を高く出来ない、また高コストな薄膜技術を必要とする。本発明の目的は、Ｑ値が優れ、低コストな境界弾性波装置を提供することにある。
【解決手段】θＹＸ−ＬＮ単結晶圧電基板の表面に、アルミニウムを主成分とする膜厚ｈｍ、電極指周期λの櫛形電極と短絡型反射器（厚さｈｒ）をパターニングし、その櫛形電極と反射器上に、膜厚がｈ1の酸化珪素膜と膜厚がｈ2の窒化アルミニウム膜６を形成した境界弾性波装置において、
２．５≦ｈｒ／λ≦８．５％、
とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、高い感度が得られる弾性表面波素子及びこの弾性表面波素子を用いたセンサを提供すること。
【解決手段】応力センサ１において、第１櫛歯電極１５と第２櫛歯電極１７とは、各櫛歯電極１５、１７の中心から左右方向に外れるに従って櫛歯の幅及び櫛歯間隔が小さくなるように変化するアップチャープとダウンチャープとを組み合わせた櫛歯構造を有している。
つまり、櫛歯間隔が、入力側から第１櫛歯電極１５の中央側にかけて増加するように設定され（アップチャープに設定）、且つ、第１櫛歯電極１５の中央側から出力側にかけて櫛歯間隔が減少するように設定されている（ダウンチャープに設定）。 （もっと読む）

【課題】ラム波の伝搬方向に垂直方向の振動漏れを抑圧するラム波型共振子を提供する。
【解決手段】ラム波型共振子１は、複数の電極指片それぞれを接続するバスバー電極の幅をＷｂ、前記電極指片と前記バスバー電極との間の距離をＷｇと表したとき、Ｗｇをｘ軸、幅Ｗｂをｙ軸とする直交座標において、ＷｇとＷｂとが共に、円の方程式（ｘ−１０）²＋（ｙ＋１２．７）²＝１９²で表される円弧とＷｇ≧１λ、Ｗｂ≧１λで囲まれる範囲と、座標（Ｗｇ，Ｗｂ）で表した場合に、Ｊ２１、Ｊ２２、Ｊ２３、Ｊ２４、Ｊ２５、Ｊ２６、Ｊ２７、Ｊ２８、Ｊ２９、Ｊ３０、Ｊ３１、Ｊ３２、Ｊ３３、Ｊ３４、Ｊ３５、Ｊ３６、Ｊ３７、Ｊ３８、Ｊ２１で表される各座標を記載順序に直線で結び、前記直線で囲まれる範囲と、のいずれかにある。このことにより、水晶基板１０の横方向外端部で発生する変位を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】圧電性結晶材料の球の表面の所定の弾性表面波周回路に対しすだれ状電極を所定の隙間を介し常に精度良く配置出来る弾性表面波素子の製造方法を提供することである。
【解決手段】この製造方法では、圧電性結晶材料の球１０を球移動支持工程により球支持体２２の所定の支持場所２２ａに移動させ所定の支持場所に支持させる。支持されている球の所定の周回路２４の、支持場所に対する相対位置を周回路相対位置測定工程により測定し、測定された相対位置を基にすだれ状電極形成工程によりすだれ状電極支持体３６に対しすだれ状電極３８を形成する。すだれ状電極支持体を組み合わせ工程において球支持体の所定の位置に固定し、球支持体の所定の支持場所の球の表面の所定の周回路に対し所定の隙間を介してすだれ状電極を所定の相対位置に配置させる。 （もっと読む）

【課題】小型、薄型の実現と、パッケージングが容易で、しかも、高信頼性を有する弾性表面波素子の製造方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子１０の製造方法は、半導体基板２０の表面に櫛歯形状のＩＤＴ電極６０が形成される弾性表面波素子１０の製造方法であって、半導体基板２０の能動面側表面に絶縁層２１〜２３を形成する工程と、絶縁層２３の表面全体に基台層３０を形成する工程と、基台層３０の表面を平坦化処理する工程と、平坦化処理された基台層３０の表面に圧電体５１を形成する工程と、圧電体５１の表面にＩＤＴ電極６０を形成する工程と、基台層３０の表面周縁部に、基台層３０の表面からＩＤＴ電極６０の表面までの高さよりも高く、圧電体５１及びＩＤＴ電極６０を取り囲むバンク４１を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】シリコンアルコキシド系ＳＯＧを弾性波素子に適用する場合に発生する課題に鑑みなされたものであり、製造性に優れ、かつ、フィルター特性も優れた弾性波素子を提供する。
【解決手段】基板４と、基板４上に形成された櫛歯電極２ａを含む電極２と、電極２上に形成された誘電体層５とを備えた弾性波素子であって、少なくとも櫛歯電極２ａ間にＳｉＯ２膜６を備え、電極間のＳｉＯ２膜６は、ＳＯＧ（Spin on Glass）で形成されている。 （もっと読む）

【課題】電子素子の傾斜による、電子素子の実装面の隅部とベース部の一面とが接触するリスクを低減する電子デバイスの提供。
【解決手段】弾性表面波共振子１は、絶縁体からなるベース部１１を有し、ベース部１１の底面１１ａにメタライズパターン１１ｂを設けたパッケージ１０と、メタライズパターン１１ｂ上に実装され、他方の主面２８が略矩形形状の弾性表面波素子片２０とを備え、メタライズパターン１１ｂが、平面視で弾性表面波素子片２０の他方の主面２８の隅部２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄと重ならないように形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＬｉＮｂＯ_３基板を用いた弾性表面波装置であって、ＩＤＴの反射係数が大きいだけでなく、電気機械結合係数ｋ^２が大きく、かつ該電気機械結合係数ｋ^２が大きい範囲を実現するＬｉＮｂＯ_３基板のオイラー角範囲が拡げられる、弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】ＬｉＮｂＯ_３基板２の上面２ａに複数本の溝２ｂが形成されており、複数本の溝２ｂに充填された金属材料からなる複数本の電極指を有するＩＤＴ３が設けられており、該金属材料がＴａもしくはＭｏまたはこれらの金属の少なくとも１種を主体とする合金からなる、弾性表面波装置１。 （もっと読む）

【課題】挿入損失の増大や初期特性の劣化をさせることなく、周波数を精緻に調整することが可能な圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】パッケージ２０へのＳＡＷ共振子１０実装工程（ステップＳ１）の後で、ＳＡＷ共振子１０を駆動させて初期周波数を計測する初期周波数計測工程（ステップＳ２）と、初期周波数が所望の周波数規格値の許容範囲から外れている場合（ステップＳ３でＮＯ）に、ＳＡＷ共振子１０の実装工程（ステップＳ１）で接続されたＳＡＷ共振子１０の外部接続電極とパッケージ２０の接続端子との接続と並列に調整用ワイヤを接続することによってＳＡＷ共振子２０の周波数を初期周波数から変動させる調整用ワイヤ接続工程（ステップＳ４）と、調整用ワイヤ接続工程（ステップＳ４）の後で、ＳＡＷ共振子２０の周波数を計測する調整後周波数計測工程（ステップＳ５）と、を含むことを特徴とするＳＡＷデバイス１の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ダイヤモンド積層構造の基板にＩＤＴを形成した高周波化対応のダイヤモンドＳＡＷ素子において、その周波数を高精度に調整することができかつ周波数安定性に優れたＳＡＷ素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板２と、基板２上に形成された交差指電極５ａ，５ｂ及び交差指電極からなるＩＤＴと、を有し、原子量が１５０ａｍｕよりも大きくて物理吸着が少ないＴａ粒子１２を、基板２の主面に、交差指電極５ａ，５ｂ間及び交差指電極間が短絡しない程度に付着され、それにより周波数を調整したＳＡＷ素子１である。 （もっと読む）

【課題】高いＱ値を有するとともに、広い周波数範囲に対応することが可能な弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る弾性境界波装置は、ニオブ酸カリウムからなる圧電体層１０１と、圧電体層１０１上にすだれ状に形成される金電極１０３と、圧電体層１０１および金電極１０３上に形成される、二酸化ケイ素を含む誘電体層１０５と、を備え、金電極１０３の厚みをＨｍとし、金電極１０３によって圧電体層１０１と誘電体層１０５の界面に励振される弾性境界波２０の波長をＬとした場合に、Ｈｍ／Ｌを、０．０１５以上とする。 （もっと読む）

【課題】基板内部に弾性波のエネルギーを閉じ込めることにより、小型の素子を得る。
【解決手段】圧電基板１上にすだれ状電極３、誘電体薄膜４、更に誘電体薄膜５を付着さた基板であり、基板内部に弾性波のエネルギーを閉じ込めた基板を得ることができる。特に、薄膜４として、ＳｉＯ_２薄膜、薄膜５として、ＡｌＮ薄膜を用いることにより、大きな電気機械結合係数（ｋ^２）と周波数温度特性に優れた基板を電極３の膜厚、薄膜４、薄膜５の膜厚を最適の値とすることにより得ることが出来る。 （もっと読む）

【課題】送受信電極部と検出領域との間の伝搬特性が改善された弾性表面波センサ及び弾性表面波センサを備えた生体分子測定装置を実現する。
【解決手段】弾性表面波センサ１００は、検出領域１４０に導入された検体である液体に応じて送信電極部１２０から受信電極部１３０への弾性表面波の伝送特性が変化するセンサである。この弾性表面波センサ１００に、送信電極部１２０と検出領域１４０との間及び検出領域１４０と受信電極部１３０との間に金属により形成され、弾性表面波のエネルギーを圧電性基板の表面に集中させるためのダミー電極部１７１及び１７２を備える。 （もっと読む）

【課題】
精度良くＩＤＴを作製することができ、ＩＤＴ及び圧電基板における伝搬損失
がほぼ０である表面波装置を提供する。
【解決手段】オイラー角（０ー，１２５ー〜１４６ー，０ーア５ー）であるＬ
ｉＴａＯ₃基板上に、規格化膜厚Ｈ／λ＝O．００１〜０．０５のＡｕによりＩ
ＤＴを構成して伝搬損失の少ないＳＨ波を励振する。 （もっと読む）

キャリア基板（１）およびその上に装着されたチップ（２）を備える安定な電気部品が特定される。部品はリアクタンス素子および支持素子を有し、それらは少なくとも部分的にキャリア基板（１）とチップ（２）の間に配置される。リアクタンス素子は、少なくとも1つの導体路（３１）によって、少なくとも部分的に実現される。リアクタンス素子は、少なくとも一つのコイル、少なくとも一つのコンデンサおよび少なくとも一つの伝送線より選択される、少なくとも一つの素子を備える。前記伝送線は、部品の通過周波数において少なくとも３０度の位相シフトを引き起こす線を意味するものとする。 （もっと読む）

【課題】従来よりも高い精度でc軸が薄膜の面内の一方向に配向したウルツ鉱薄膜を製造する方法を提供する。
【解決手段】イオンビームを、少なくともその一部が基板２１の表面に対して10°以下の角度でその基板表面に入射するように照射しつつ、薄膜の原料を基板表面に堆積させる。その際、イオンビームのうち基板表面に入射しない一部のイオンビームを薄膜の原料から成るターゲット２２に入射させることによりターゲット２２をスパッタし、スパッタされた薄膜原料を基板２１の表面に堆積させることもできる。このようなイオンビーム照射により、基板表面へのイオンビームの正射影に沿ってc軸が配向したに薄膜が形成される。 （もっと読む）

【課題】近接しているＳＡＷタグから発信される質問信号への複数の応答をユーザーが確実に弁別できるようにするシステムおよび方法である。
【解決手段】符号化されたトランスデューサを有する表面弾性波（ＳＡＷ）識別タグおよびその動作および製造方法である、一実施形態では、タグは（１）パルスおよび位相位置によって番号をエンコードするためにパルス位置と位相位置の双方によって基板上に配列されたスロット群の間に配分された幾つかのリフレクタを有する圧電基板と、（２）基板上に配置され、符号化された質問パルスを生成するためのＳＡＷトランスデューサとを備えている。 （もっと読む）

【課題】表面閉じ込め型のＳＨ波を利用するＳＡＷ共振子において、ドライブ特性の良好なＳＡＷ共振子を提供する。
【解決手段】表面閉じ込め型のＳＨ波を利用するＳＡＷ共振子１において、水晶基板１０と、水晶基板１０表面に線状で周期的に連続するように形成された複数の溝部２３と、溝部２３に挟まれた水晶基板１０表面にＡｌ膜からなる交差指電極２１，２２が正極と負極とを交互に配置されるように形成された櫛歯電極２５と、を備え、溝部２３に挟まれた水晶基板１０表面の線幅Ｌｇに対して、交差指電極２１，２２の線幅Ｌｍが狭くなるように構成する。 （もっと読む）

【課題】高安定な発振を維持するＳＡＷ共振子素子およびＳＡＷ共振子を提供する。
【解決手段】表面に線状で周期的に連続する複数の溝部１１が形成された水晶基板１０と、水晶基板１０の上方に配置され、溝部１１に挟まれた水晶基板１０表面と隙間を保ち、かつ対向する位置に櫛歯電極２１が設けられた電極部材２０と、を備え、電極部材２０が水晶基板１０と同じ切断方位で切断された薄板状の水晶板で形成され、溝部１１に対応する位置に複数の貫通穴２２が設けられている。 （もっと読む）