【課題】 パターンの膜厚のばらつきを小さくできるようにする。
【解決手段】 圧電体ウエハ１０の表面にすだれ状電極形成用の金属薄膜１２を設ける成膜工程と、金属薄膜１２の上にレジスト膜１４を形成し、レジスト膜１４をパターニングするレジスト形成工程と、パターニングしたレジスト膜１４をマスクにして、金属薄膜１２の露出させた部分を所定深さエッチングし、金属薄膜１２に凹部を形成する第１のエッチング工程と、レジスト膜１４を金属薄膜１２から除去するレジスト除去工程と、レジスト膜１４を除去した金属薄膜１２をエッチングし、凹部１６の底部１８をなす金属薄膜１２を除去して圧電体ウエハ１０を露出させる第２のエッチング工程と、を有する。 （もっと読む）

本発明は、音響表面波で作動する構成素子の電極構造体の層構造に関する。この電極構造体はここで、音響インピーダンスＺ_ａ，ｄを有する誘電層（４）によって覆われている。電極構造体の層構造は第１の層システムを含み、当該第１の層システムは、第１の材料から成る少なくとも１つの第１の層（３１，３２）から成り、この第１の層内では音響インピーダンスは２Ｚ_ａ，ｄより小さく、層構造はさらに第２の層システムを含み、この第２の層システムは、第２の材料から成る少なくとも１つの第２の層（２１，２２、２３）から成り、この第２の層内では音響インピーダンスは値２Ｚ_ａ，ｄを上回る。この多層構造の全体高さに対する、前記第２の層システムの全体厚さの相対的な割合は１５％〜８５％の間である。
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【課題】 良好な圧電特性を有する圧電体膜を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電体膜は，
ペロブスカイト型の圧電体膜であって、
擬立方晶（１００）に優先配向しており、
モノクリニック構造（図のＭで示される領域）を有し、
分極軸方向は、擬立方晶＜１１１＞方向と，擬立方晶＜１００＞方向との間である。 （もっと読む）

本発明は、表面波でもって動作するコンポーネントのための電気音響的な変換器を提案する。この変換器は、それぞれ電極レールに接続されており交互に配置されている２つのフィンガおよび残片フィンガを有し、相互に向かい合っているフィンガおよび残片フィンガは相互にギャップによって分離されている。縦方向のギャップの位置は有利には周期的な変化を有する。殊に変換器の端部領域における音響波の励起強度に影響を及ぼすギャップ位置の変化のパターンは、音響波の励起プロファイルが所定のエネルギ密度プロファイルに適合されているように選択されている。そのような適合によって共振周波数における信号損失が著しく低減される。
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本発明は、ガイド音響波（ＧＢＡＷ）により動作する素子に関する。この素子には、圧電素子（ＰＳ１）およびこの上に配置された第１の金属層（ＭＥ１）を含む層系が設けられている。この層系は導波体を成しており、この導波体を介してガイド音響波が横方向に導かれる。この素子は、互いに音響的に結合されかつ互いに電気的に分離された２つの共振器を有している。対応する共振器は金属層（ＭＥ１）に形成された電極（Ａ）を有しており、これは波の伝播方向で周期的に配置された電極構造体を有している。
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【課題】育成結晶の正しい化学組成比を求め、高精度なSAWデバイス設計パラメータを与える。
【解決手段】コングルエント組成近傍の組成の結晶に対し、化学組成比変動に対して敏感なLSAWの伝搬方向を決定し、その伝搬方向において各結晶の育成軸方向のLSAW速度分布測定を通して、育成軸方向分布が0になる組成を決定し、その組成でのLSAW速度との絶対的関係を得る。これにより、極めて組成分布の小さい結晶量産を実現し、結晶化学組成評価の信頼性のある絶対的指標を与える。また、化学組成比に関する音響関連物理定数の正しい関係を求め、育成結晶の化学組成比に対応した音響関連物理定数を用いてSAWデバイス設計パラメータを高精度に決定する。 （もっと読む）

【課題】大量生産に適し常に安定して良好な弾性表面波伝搬性能を発揮可能な弾性表面波
素子、及びこのような弾性表面波素子を用いた環境差異検出装置を提供することである。
【解決手段】この発明の弾性表面波素子は：弾性表面波が伝搬可能な曲面が連続した少な
くとも円環状の曲面の一部を含む表面を有する３次元基体１２と；上記表面に弾性表面波
を励起し上記表面に沿い弾性表面波を伝搬させるとともに伝搬する弾性表面波を受信可能
な電気音響変換素子１４と；を備え、３次元基体がＬｉＴａＯ_３結晶であり、３次元基体の表面において電気音響変換素子は、これらの結晶の結晶面と前記表面との交線に沿い弾性表面波を伝搬させ、前記交線は前記表面の最大外周線である、ことを特徴とし、環境差異検出装置は、弾性表面波素子の複数の伝搬表面帯の電気音響変換素子の弾性表面波受信信号を比較し夫々が接する空間部分の環境の差異を検出する。 （もっと読む）

【課題】 伝搬面の伝搬状態を測定する際に、温度測定を不要としつつ、伝搬状態を変化させる要因を分析する。
【解決手段】多重周回弾性表面波素子１０の伝搬面１１に励起される弾性表面波の駆動周波数を変化させ、弾性表面波の伝搬状態の変化率を求める。例えば、弾性表面波が球状部材１２を多重周回する際の１周回に要する周回時間の変化率を求めることで、伝搬面１１の物理状態を示す物理量のうち、周波数に依存する質量変化量Δｍと、周波数に依存しない温度変化量Δｔとを個別に求めることができる。 （もっと読む）

【課題】 弾性表面波素子片の電流二乗特性における定数κを小さくする。
【解決手段】 弾性表面波素子片は、櫛型電極からなるすだれ状のＩＤＴを備えている。ＩＤＴは、各櫛型電極の電極指が交互に、かつ平行に等間隔で配置してある。弾性表面波素子片は、電極指の交差幅ｂ内の領域に含まれる電極指の水晶基板への投影面積Ｓが０．０１４ｍｍ^２≦Ｓ≦０．０１９ｍｍ^２となっている。 （もっと読む）

【課題】高い表面弾性波伝播速度を有し、高い周波数で効果的に動作する、窒化物系半導体を用いた表面弾性波フィルターおよびその高能率、高歩留まり、低コストの製造方法を提供すること。
【解決手段】サファイア基板１上に（ＡｌＮ)_ｘ(Ａｌ_２Ｏ_３)_１−ｘ層２と、ＡｌＮ層３とをこの順序で順次形成し、さらに、ＡｌＮ層３上にＧａＮ層４を形成してなる薄膜構造を有し、かつ、該薄膜構造上に櫛型電極５を有する表面弾性波フィルターであって、（ＡｌＮ)_ｘ(Ａｌ_２Ｏ_３)_１−ｘ層２の組成式におけるｘの値が基板１側からＡｌＮ層３側に向かって増加していることを特徴とする表面弾性波フィルターを構成する。 （もっと読む）

【課題】 圧電基板に形成した弾性表面波素子の共振周波数のばらつきを小さくする。
【解決手段】 圧電基板の表面に導電膜を形成する成膜工程（ステップ１２）と、導電膜の上にレジスト膜を形成するレジスト膜形成工程（ステップ１４）と、フォトマスクに設けたパターンを前記レジスト膜に縮小投影露光して現像するレジスト膜パターニング工程（ステップ１６）と、パターニングされたレジスト膜をマスクにして前記導電膜をエッチングする電極形成工程（ステップ１８）と、前記圧電基板に形成された前記弾性表面波素子の共振周波数を測定する周波数測定工程（ステップ２４）と、測定共振周波数と予め定めた目標共振周波数とから前記電極の陽極酸化量を演算して陽極酸化電圧を求める電圧演算工程（ステップ２６）と、求めた前記陽極酸化電圧によって陽極酸化し、前記電極の酸化反応の終点を検出して陽極酸化を終了する陽極酸化工程（ステップ２８）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 擬似縦型漏洩弾性表面波を利用した弾性表面波装置において、周波数調整を高精度に行える弾性表面波装置の周波数調整方法を提供する。
【解決手段】 ＩＤＴ電極２を形成した、タンタル酸リチウム基板またはニオブ酸リチウム基板もしくは四ホウ酸リチウム基板からなる圧電基板１の、ＩＤＴ電極２を形成した面と厚み方向に対向する面（基板裏面）１ｂをエッチングすることにより、弾性表面波装置１０ｂの周波数調整を行うものである。 （もっと読む）

【課題】 弾性表面波素子の電極パターン形成において、フォトマスクに印刷されている（電極）パターンニングを正確に圧電基板ウエハー上に転写することを目的とする。
【解決手段】 目的を実現するために本発明は、弾性表面波装置を構成するウエハー上に配置された弾性表面波素子に電極を形成するために用いるフォトマスクにおいて、圧電基板の主面と該フォトマスクが密接する間隔を空けることで、該圧電基板と該フォトマスクとの間を真空引きするときの引きを向上することで課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 同一の圧電基板上に膜厚の異なる複数の弾性表面波フィルタ素子を有する弾性表面波装置の製造工程において、一方の電極の膜厚をハーフエッチングによって制御する工法や、リフトオフ工法によって微細電極の形成を制御すると、制御が困難でコスト高となる。
【解決手段】 両フィルタ素子１１、１２の膜厚差分の厚みの電極膜１１ｂを膜厚が大の方のフィルタ素子１１のＩＤＴ電極を配置する領域に成膜し、次に、膜厚が小の方のフィルタ素子１２の膜厚を有する電極膜１２ｂ、１２ｃを全面に成膜し、しかる後、両フィルタ素子１１、１２のＩＤＴ電極１１ａ１２ａと同一形状のレジスト１６をパターニングし、しかる後、電極膜１２ｂ、１２ｃを同時にエッチングし、レジスト１６を除去する。 （もっと読む）

【課題】 弾性表面波共振片の電極パターンに形成される陽極酸化膜の厚さを一定にするとともに、弾性表面波共振片の共振周波数を一定にする陽極酸化装置および終点検出方法を提供する。
【解決手段】 陽極酸化装置１０は、被処理物に形成される陽極酸化膜の厚さに応じて前記被処理物に印加される電圧値を求めるとともに、前記電圧値より陽極酸化を終了する終点電流設定値を求める電源制御部２０と、前記電源制御部２０で求めた値の電圧を陽極酸化槽１２の電解液中に浸漬された前記被処理物に印加するとともに、前記電源制御部２０によって前記被処理物への電源供給が制御される電源部１８と、前記被処理物に供給される電流値を監視するとともに、前記電流値が前記終点電流設定値を下回ったときに陽極酸化の終点と判定する監視部２４とを有する構成である。 （もっと読む）

電気機械結合係数が大きく、伝搬損失及びパワーフロー角が小さく、周波数温度係数ＴＣＦが適度な範囲にあり、簡略な構造により簡単な工法で製造され得るストンリー波を利用した弾性境界波装置を提供する。
圧電体２の一面に誘電体３が積層されており、圧電体２と誘電体３との間の境界に電極としてＩＤＴ４及び反射器５，６が配置されており、誘電体３を伝搬する遅い横波の音速及び圧電体２を伝搬する遅い横波の音速よりもストンリー波の音速を低くするように、上記電極の厚みが決定されている、弾性境界波装置１。 （もっと読む）

【課題】 ＳＡＷチップをベースに組み込む工程においても異常な周波数変動を生じることなく、信頼性の高いＳＡＷチップとこれを利用したＳＡＷデバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】 圧電基板１１１にドライエッチングにより電極パターンを形成するＳＡＷチップ１１０の製造方法であって、圧電基板上にアルミニウムまたはアルミニウム合金により電極膜２３を形成する電極膜形成工程ＳＴ１と、前記電極膜を所定の電極パターンとなるように、圧電基板表面が露出するまでドライエッチングを行うドライエッチング工程ＳＴ２と、前記露出された圧電基板表面の残留アルミニウムを除去するための洗浄工程ＳＴ３とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 圧電基板上に複数のＳＡＷ共振子を配置して構成するラダー型ＳＡＷフィルタの減衰傾度を急峻にする手段を得る。
【解決手段】 圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿ってＩＤＴ電極とその両側にグレーティング反射器を配して形成するＳＡＷ共振子を、複数個配設して構成するラダー型ＳＡＷフィルタにおいて、前記ＩＤＴ電極及び前記グレーティング反射器の電極指幅ＬとスペースＳとの関係を０．５５≦Ｌ／（Ｌ＋Ｓ）≦０．７５としたラダー型ＳＡＷフィルタである。 （もっと読む）