【課題】ガラス粉末と耐火性フィラー粉末を含有する封着材料において、厚みが小さい封着層を形成しても、封着層や被封着物に不当な応力が残留し難い封着材料を創案することにより、信頼性が高い圧電振動子パッケージ等を得ること。
【解決手段】本発明の封着材料は、（１）厚みが３５μｍ以下の封着層を形成するための封着材料であって、（２）封着材料が、体積％で、ガラス粉末を５０〜９９％、耐火性フィラー粉末を１〜５０％含有し、（３）耐火性フィラー粉末の最大粒子径Ｄ_ｍａｘが２．５〜３５μｍ未満であり、（４）耐火性フィラー粉末の最大粒子径Ｄ_ｍａｘが封着層の厚みより小さいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所望でないスプリアスを効果的に抑圧することができ、良好な共振特性やフィルタ特性を得ることを可能とするＳＨタイプの弾性境界波を利用した弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】第１の媒質層２と、第１の媒質層２に積層された第２の媒質層６との境界に、インターデジタル電極３、反射器４，５を含む電極が形成されており、第１の媒質層２及び／または第２の媒質層６の境界面とは反対側の面において変位を有し、弾性境界波装置の反共振周波数よりも高域側もしくは通過帯域よりも高域側に現れる、スプリアスとなるモードを減衰させる吸音層７が設けられている、弾性境界波装置１。 （もっと読む）

【課題】温度特性に優れた弾性表面波デバイス及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、圧電基板１２と、圧電基板１２の表面に設けられた弾性波を励振する櫛型電極１４と、圧電基板１２の表面上に設けられた絶縁膜２６とを具備し、絶縁膜２６の厚さは圧電基板１２の厚さより大きく、絶縁膜２６の線膨張係数は弾性波の伝搬方向における圧電基板１２の線膨張係数より小さい弾性表面波デバイス及びその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】すだれ状電極が外方に向いていなくても周波数調整を行える弾性表面波デバイスの製造方法、弾性表面波デバイスおよび電子機器を提供する。
【解決手段】本発明の製造方法は、圧電基板１２の一方の主面１２ａにすだれ状電極１４を形成した弾性表面波（ＳＡＷ）チップ１０を備えた弾性表面波デバイスに係るものである。そして弾性表面波デバイスの製造方法は、一方の主面１２ａとは反対側の他方の主面１２ｂにおけるすだれ状電極（ＩＤＴ）１４に対向する位置に周波数調整膜３０を形成し、この形成により生じる応力によって前記圧電基板を歪ませて、周波数を調整している。 （もっと読む）

【課題】耐電力特性を向上させつつ、動作周波数の高周波数化を図ることができる弾性表面波素子、および、この弾性表面波素子を備える信頼性に優れた電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の弾性表面波素子１は、ダイヤモンドで構成された硬質層３上に、ＺｎＯで構成された圧電体層４と、Ａｌで構成された櫛歯状電極５、６を備える電極層１０と、ＳｉＯ_２で構成された保護層９とがこの順に積層され、電極層１０の平均層厚をＴ_１、圧電体層４の平均層厚をＴ_２、保護層９の平均層厚をＴ_３、圧電体層４の３次モードの弾性表面波の波長をλ、（２π／λ）をｋとしたときに、下記（１）〜（３）のそれぞれの関係式を満たすことを特徴とする弾性表面波素子。
０．００１≦ｋＴ_１≦０．０２・・・・・・・（１）
１．３≦ｋＴ_２≦２．０・・・・・・・・・・（２）
０．５≦ｋＴ_３≦１．２・・・・・・・・・・（３） （もっと読む）

【課題】耐電力特性を向上させつつ、動作周波数の高周波数化を図ることができる弾性表面波素子、および、この弾性表面波素子を備える信頼性に優れた電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の弾性表面波素子１は、硬質層３と、硬質層３の一方の面上に形成され、ＺｎＯを主として構成された圧電体層４と、圧電体層４の硬質層３と反対側の面上に形成されたＩＤＴ５、６と、ＩＤＴ５、６の圧電体層４と反対の面側を覆うように形成され、ＳｉＯ_２を主として構成された保護層９とを有し、圧電体層４の層厚をＨｚとし、保護層９の層厚をＨｓとし、圧電体層４の３次モードの弾性表面波の波長をλとし、ｋＨｚ＝（２π／λ）×Ｈｚ、ｋＨｓ＝（２π／λ）×Ｈｓとしたときに、ｋＨｚおよびｋＨｓは、ｋＨｚ≦−５／８×ｋＨｓ＋３９／２０、および／または、ｋＨｚ≦−８／７×ｋＨｓ＋１８／７なる関係を満たしている。 （もっと読む）

【課題】デバイス特性を優れたものとしつつ、耐マイグレーション性を向上させることができる弾性表面波素子、および、この弾性表面波素子を備える信頼性に優れた電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の弾性表面波素子１は、金属酸化物を主として構成された圧電体層４と、圧電体層４の一方の面上に設けられた１対のＩＤＴ５、６とを有し、ＩＤＴ５間に電圧を印加することにより、圧電体層４に弾性表面波を励振させるものであり、各ＩＤＴ５、６は、圧電体層４の金属酸化物中の金属よりもイオン化傾向の大きい少なくとも１種の金属を含むＡｌ系合金で構成されている。 （もっと読む）

【課題】
従来の弾性表面波素子では、一方の櫛形電極により発生された弾性表面波は基材の平坦な表面上を他方の櫛形電極に向かい伝搬する間に上記表面上で弾性表面波の伝搬方向と直交する方向に拡散し弱まってしまう。この為に弾性表面波の伝搬損失を小さくすることが出来なかった。
【解決手段】
球面の周回帯の一部である円弧状帯を定義可能な３次元基材と、前記３次元基材の前記円弧状帯上に位置し、前記円弧状帯に沿って弾性表面波を励起する電気音響変換素子と、前記弾性表面波を前記円弧状帯に沿って反射する反射器を有する弾性表面波素子を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、主として無線通信機器にて使用される弾性表面波デバイスに関して、弾性表面波デバイスの電気的特性を向上させることを目的とする。
【解決手段】本発明は、弾性表面波デバイスを構成する圧電体基板１の裏面に設けられる支持体３を複数の空孔４を有するポーラス構造としたことにより支持体側に透過したバルク波は空孔を透過するのに伴い減衰されるため、支持体による反射波の影響を低減させることが出来るので、結果として弾性表面波デバイスの電気的特性を向上させることが出来るのである。 （もっと読む）

【課題】溶液または溶液中の物質を測定するための物質測定装置および該物質測定装置を用いた物質測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の物質測定装置／物質測定方法は、素子側電磁界受信部を備えた弾性表面波素子を用いて、弾性表面波素子を伝搬する弾性表面波の伝搬状態を、被測定液体容器の周囲に設けられた外部電磁界送受信部にて、電気信号として取得することを特徴とする。このとき、弾性表面波素子について、基材は、球形状の一部であり弾性表面波が周回可能であって最大外周円を含む少なくとも１つの環状の弾性表面波伝搬経路を表面に含む基材であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、主として無線通信機器にて使用される弾性表面波素子に関して、弾性表面波素子の電気的特性を向上させることを目的とするものである。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明の弾性表面波素子は、圧電体基板１と、この圧電体基板１の表面に設けた櫛型電極２と、前記圧電体基板１の裏面に設けた支持層５を備え、前記支持層５は複数の粒塊６からなる多結晶構造であり、前記粒塊６の表面を酸化させたのである。 （もっと読む）

【課題】電極指からバスバー方向への弾性波の漏れを抑制すること。
【解決手段】本発明は、弾性波を反射する弾性波反射領域（２０）を有する圧電基板（１０）と、圧電基板（１０）上に設けられ、弾性波を励振する複数の電極指（１２）と、圧電基板（１０）上に設けられ、複数の電極指（１２）を互いに接続するバスバー（１３）と、バスバー（１３）の少なくとも一部上に接して設けられた第１媒質層（１６ａ）と、を有する。弾性波反射領域（２０）は、複数の電極指（１２）のバスバー（１３）方向にバスバー（１３）に接するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】周波数温度係数（ＴＣＦ）をおよび損失を抑制することが可能な弾性波デバイス、共振器およびフィルタを提供すること。
【解決手段】本発明は、圧電材料（１０）上に設けられた櫛形電極（１２）と、櫛型電極の電極指（１２）上に設けられた空隙（２０ａ）を有し、電極指（１２）を被覆するように設けられた第１誘電体膜（１４）と、を具備する弾性波デバイス、共振器およびフィルタである。本発明によれば、櫛型電極の電極指を被覆するように第１誘電体膜が設けられることにより、ＴＣＦを改善することができる。さらに、第１誘電体膜が櫛型電極の電極指上に空隙を有することにより、挿入損失を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】伝搬損失の小さい、小型で高性能な弾性表面波機能素子及び弾性機能素子を提供する。
【解決手段】圧電性基板１上に、すだれ状電極金属薄膜７、８を付着させ、その上にグレーティング構造からなる伝搬速度が１０００ｍ／ｓ以下の超低速薄膜、或いはＴｅＯ_２薄膜９を付着させる。これにより、非常に薄い膜厚で大きな反射係数をもつ弾性表面波機能素子を得る。また、構成として、圧電性基板或いは圧電性薄膜基板表面に、超低速薄膜、或いはＴｅＯ_２薄膜を付着させた構造の分散型機能素子、或いはこの薄膜をグレーティング構造とし、大きな反射係数をもつ弾性表面波基板、或いはこの薄膜と高インピーダンス薄膜を組み合わせた弾性波共振器を用いた弾性機能素子を得る。 （もっと読む）

【課題】励振電極に保護膜が被覆された際に、ＳＡＷ装置の周波数温度特性が良好となるＳＡＷ装置を提供する。
【解決手段】上記課題を達成するためのＳＡＷ装置は、カット角がオイラー角表示で（０°，９５°≦θ≦１５５°，３３°≦｜ψ｜≦４６°）の範囲内にある事を基本とする面内回転ＳＴカット水晶基板（圧電基板）を用いたＳＡＷ装置である。そして、設定された共振周波数において所望する周波数温度特性を得るために必要とされる前記圧電基板のカット角に、圧電基板の主面に構成する励振電極本体に対する保護膜付与の影響による周波数温度特性の変化量に基づいて予め求めた面内回転角ψの補正量Δψを加えたカット角によって構成した圧電基板１２と、圧電基板１２の主面に形成された励振電極本体１８と、補正量Δψによる周波数温度特性の変化量に対応した膜厚に設定されて励振電極本体１８に付与される保護膜２０とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
ボール状基材表面の洗浄を容易とし、異物を取り去り、繰り返しの再利用も可能とする弾性表面波素子表面の洗浄方法を提供する。
【解決手段】
球面または円筒面の一部で形成され、円環状に連続している円環状表面を有する基材と、円環状表面に沿って伝搬する弾性表面波を励起する弾性表面波励起手段とを備えており、円環状表面は、弾性表面波が伝搬可能な曲面からなる伝搬路を有していると共に、弾性表面波励起手段は、円環状表面に沿って設けられ、高周波電源に接続されるすだれ状電極を含んでいる弾性表面波素子の表面洗浄にあたって、すだれ状電極への電界印加に伴い、励起して伝搬する弾性表面波に応じた振動によって、円環状表面に付着した異物等の被洗浄物を除去する弾性表面波素子の表面洗浄方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】小型、薄型の実現と、パッケージングが容易で、しかも、高信頼性を有する弾性表面波素子の製造方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子１０の製造方法は、半導体基板２０の表面に櫛歯形状のＩＤＴ電極６０が形成される弾性表面波素子１０の製造方法であって、半導体基板２０の能動面側表面に絶縁層２１〜２３を形成する工程と、絶縁層２３の表面全体に基台層３０を形成する工程と、基台層３０の表面を平坦化処理する工程と、平坦化処理された基台層３０の表面に圧電体５１を形成する工程と、圧電体５１の表面にＩＤＴ電極６０を形成する工程と、基台層３０の表面周縁部に、基台層３０の表面からＩＤＴ電極６０の表面までの高さよりも高く、圧電体５１及びＩＤＴ電極６０を取り囲むバンク４１を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】基板を温度変化させたときに、温度改善効果が高く、圧電基板において面内周波数温度係数のばらつきが小さく、周波数温度特性が優れた安定性を有するものであるとともに、熱により生じる反りが小さい複合圧電基板を提供する。
【解決手段】圧電基板とセラミック基板とを貼り合せた複合圧電基板であって、前記セラミック基板は厚さが１００μｍ以上であり、該セラミック基板と前記圧電基板とを接着剤を介して貼り合せたものである複合圧電基板。 （もっと読む）

【課題】寄生容量が低減され、入力コンダクタンスにおけるバックグラウンドが著しく抑制された表面弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】サファイア基板１−０上に、ＧａＮ伝搬層１−１からなるメサ構造１−３が形成され、メサ構造１−３上面に、櫛形電極である、１−５ａと１−５ｂとの組み合わせ、及び、１−６ａと１−６ｂとの組み合わせが、所定の間隔をおいて対向する位置に形成され、櫛形電極１−５ａと１−５ｂ、及び、１−６ａと１−６ｂに導通し、これら櫛形電極に信号を印加するか、あるいは、櫛形電極から信号を取り出すための引き出し電極１−７ａ、１−７ｂ、１−８ａ、１−８ｂが、メサ構造１−３の外部において、基板１−０表面に接するように、形成されている表面弾性波デバイスを構成する。 （もっと読む）

【課題】電気機械結合係数が大きく、周波数温度特性が良いとともに、特に耐電力性が高く、大きな電力を印加しても電極が劣化しない複合圧電基板を提供する。
【解決手段】圧電基板と支持基板とを貼り合せて形成された複合圧電基板であって、前記圧電基板の表面には弾性表面波を励振するための金属電極が形成されており、該金属電極の厚さは、漏洩弾性表面波の波長で規格化した値で０．０４以上であり、前記支持基板と前記圧電基板とは接着剤を介して又は直接的に接合されたものであることを特徴とする複合圧電基板。 （もっと読む）