【課題】温度が変化した場合でも、測定対象の状態を精度良く検知することができる弾性表面波センサ、センシングシステム、及び圧力測定方法を提供すること。
【解決手段】第１弾性表面波素子と第２弾性表面波素子との出力電圧の差をとって、（圧力と温度の影響を含む）第１の演算値を求め、第３弾性表面波素子と第２弾性表面波素子との出力電圧の差をとって、（温度のみの影響を含む）第２の演算値を求める。第２の演算値と温度による基板変化量のマップを用いて、第２の演算値を温度（のみ）による基板変化量に換算し、この温度による基板変化量から（圧力基準値に対応する）温度補正量を求め、温度補正量に第１の演算値を加えた加算値を求め、加算値から圧力及び温度による基板変化量を求める。そして、圧力及び温度による基板変化量から温度のみによる基板変化量を引くことにより、圧力のみによる基板変化量を求める。 （もっと読む）

【課題】少ない工程で簡単に弾性波デバイスの周波数特性を調整する。
【解決手段】圧電基板２上に、くし型電極３を形成する電極形成工程と、くし型電極３を覆おうようにバリア膜４を形成する工程と、バリア膜４の上に媒質５を形成する工程と、くし型電極３により励起される弾性波の周波数特性を測定する測定工程と、バリア層４をパターニングするかまたは、調整膜をさらに設けることで、励起領域において厚みが他の部分とは異なる調整領域を形成する調整工程とを含み、調整工程では、調整領域の面積Ｔが、測定された周波数特性に応じて調整される。 （もっと読む）

【課題】完成品に近い状態で電気機械結合係数ｋ²や周波数特性などを調整可能とし、デバイスの製造歩留まりを向上させることができ、より低コストの弾性波デバイスを実現することができる。
【解決手段】圧電基板１と、圧電基板１上に配された櫛形電極２と、櫛形電極２間に配された第１の誘電体膜４と、櫛形電極２と第１の誘電体膜４を覆う第２の誘電体膜５とを備える弾性波デバイスであって、第１の誘電体膜４上に調整膜６を備え、調整膜６は第１の誘電体膜４及び第２の誘電体膜５に対して比重が大きい材料で形成されている。 （もっと読む）

【課題】直達応答波信号の影響を回避して測定精度の向上を図ることができる弾性表面波センサ及びそれを備えた被測定物特性測定装置を提供すること。
【解決手段】溶液特性測定装置１００は、弾性表面波を利用したＳＡＷセンサ１０及びリファレンスセンサ２０、信号発振源１０１、アンプ１０２、スイッチ１０３、スイッチオンオフ回路１０４、ログ／リミッタアンプ１０５及び１０８、コンデンサ１０６及び１１１、固定アッテネータ１０７、位相検出器１０９、加算器１１０、アンプ１１２、ＡＭ検波回路１１３、レベル変換回路１１４、サンプルホールド回路１１５及び１１６を備え、ＳＡＷセンサ１０は、直達波信号成分と主応答波信号成分との間の時間間隔よりも短い時間幅のバースト信号を入力して主応答波信号成分と直達波信号成分とを分離する構成を有する。 （もっと読む）

【課題】周波数安定度の高い高品質なＳＡＷデバイスを製造することのできるＳＡＷデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】パッケージベース１４にＳＡＷ素子片２８を実装する実装工程と、パッケージベース１４に実装されたＳＡＷ素子片２８を構成する電極パターンをエッチングして励起される弾性表面波の周波数を変化させる粗調工程と、パッケージベース１４にキャップ１６を接合してパッケージ１２を構成し、ＳＡＷ素子片２８をパッケージ１２のキャビティ１５に収容する第１封止工程と、パッケージベース１４またはキャップ１６に形成された封止孔２４からキャビティ１５に不活性ガスを供給またはキャビティ１５に供給した不活性ガスを吸引してキャビティ１５の圧力を変化させて前記弾性表面波の周波数を変化させる微調工程と、封止孔２４を封止材２６で塞ぐ第２封止工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】境界弾性波装置は、小型で温度安定性に優れている。しかし、Ｑ値を高く出来ない、また高コストな薄膜技術を必要とする。本発明の目的は、Ｑ値が優れ、低コストな境界弾性波装置を提供することにある。
【解決手段】θＹＸ−ＬＮ単結晶圧電基板の表面に、アルミニウムを主成分とする膜厚ｈｍ、電極指周期λの櫛形電極と短絡型反射器（厚さｈｒ）をパターニングし、その櫛形電極と反射器上に、膜厚がｈ1の酸化珪素膜と膜厚がｈ2の窒化アルミニウム膜６を形成した境界弾性波装置において、
２．５≦ｈｒ／λ≦８．５％、
とする。 （もっと読む）

【課題】電圧定在波比を最小にして周波数の精度を向上させるＳＡＷデバイスの周波数調整方法およびＳＡＷデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＡＷデバイスの周波数調整方法は、ＳＡＷデバイスの目標周波数における挿入損失を予め設定した値以下にする粗周波数調整をした後に、ＳＡＷデバイスの目標周波数における電圧定在波比を最小にする精密周波数調整を行っている。この精密周波数調整は、ＳＡＷデバイスの入力側で測定する電圧定在波比と出力側で測定する電圧定在波比を足したものを最小にする、入力側で測定する電圧定在波比を最小にする、および出力側で測定する電圧定在波比を最小にするもののうち、いずれか１つを用いている。 （もっと読む）

【課題】高精度なプローブ測定が可能な弾性波装置を提供する。
【解決手段】ＩＤＴ１１は、互いに間挿し合う第１及び第２のくし歯電極２１，２２を有する。第１の配線１３は、第１のくし歯電極２１に電気的に接続されている。第２の配線１４は、第２のくし歯電極２２に電気的に接続されている。第１のプローブパッド１６は、第１の配線１３に電気的に接続されている。第２のプローブパッド１７は、第２の配線１４に電気的に接続されている。第１のプローブパッド１６と第２のプローブパッド１７との両方がＩＤＴ１１に対して第１の方向の一方側に配置されている。第１の配線１３が第１のプローブパッド１６から第１の方向に垂直な第２の方向の一方側に引き出されている一方、第２の配線１４が第２のプローブパッド１７から第２の方向の他方側に引き出されている。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波デバイスの中心周波数を容易に調整することができると共にばらつきの低減が可能な弾性表面波デバイスの中心周波数調整方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波デバイスが形成された基板上に均等な間隔で測定点を設ける第１ステップと、測定点の周波数を測定して周波数調整領域を決定する第２ステップと、周波数調整領域を露出する開口部を有するマスクを用いて、当該周波数調整領域の周波数を調整する第３ステップと、所望の周波数特性が得られるまで第２ステップと第３ステップとを繰り返す第４ステップとから、概略構成されている弾性表面波デバイスの中心周波数調整方法。 （もっと読む）

【課題】圧電性結晶材料の球の表面の所定の弾性表面波周回路に対しすだれ状電極を所定の隙間を介し常に精度良く配置出来る弾性表面波素子の製造方法を提供することである。
【解決手段】この製造方法では、圧電性結晶材料の球１０を球移動支持工程により球支持体２２の所定の支持場所２２ａに移動させ所定の支持場所に支持させる。支持されている球の所定の周回路２４の、支持場所に対する相対位置を周回路相対位置測定工程により測定し、測定された相対位置を基にすだれ状電極形成工程によりすだれ状電極支持体３６に対しすだれ状電極３８を形成する。すだれ状電極支持体を組み合わせ工程において球支持体の所定の位置に固定し、球支持体の所定の支持場所の球の表面の所定の周回路に対し所定の隙間を介してすだれ状電極を所定の相対位置に配置させる。 （もっと読む）

【課題】溶液または溶液中の物質を測定するための物質測定装置および該物質測定装置を用いた物質測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の物質測定装置／物質測定方法は、素子側電磁界受信部を備えた弾性表面波素子を用いて、弾性表面波素子を伝搬する弾性表面波の伝搬状態を、被測定液体容器の周囲に設けられた外部電磁界送受信部にて、電気信号として取得することを特徴とする。このとき、弾性表面波素子について、基材は、球形状の一部であり弾性表面波が周回可能であって最大外周円を含む少なくとも１つの環状の弾性表面波伝搬経路を表面に含む基材であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 弾性表面波の横方向（伝搬方向に直交する方向）の漏洩波を抑制して挿入損失を向上させ、高品質な平衡型弾性表面波フィルタとしても機能する弾性表面波装置及び通信装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波装置は、圧電基板１上に、圧電基板１上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えたＩＤＴ電極３〜５と、ＩＤＴ電極３〜５の両側にそれぞれ配置され、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた反射器電極６，７とを有する弾性表面波素子２が形成されており、反射器電極６，７は、弾性表面波の波長の半分以下の幅を有するバスバー電極１１，１２が反射器電極６，７の電極指１３，１４の形成領域の内部に伝搬方向に沿って形成されている。 （もっと読む）

【課題】
異方性を示す方向を精度良く決定することができ、特定の好適な位置に薄膜構造を形成することを可能とする。
【解決手段】
異方性を有する球状材料の大円に沿って伝搬する弾性表面波を発生させる弾性波発生工程と、大円に沿って周回した弾性表面波の所定の物理量を測定する測定工程と、球状材料に対し、弾性波発生工程および測定工程を行う弾性表面波発生状況測定工程と、弾性表面波発生状況測定工程で測定された物理量に基づいて、異方性を示す方向を決定する決定工程とを有する異方性球状材料の方向測定方法において、弾性波発生工程は、球状材料をすだれ状電極を有する露光マスクに接近または接触させて電気信号を印加して弾性表面波を発生させ、測定工程は露光マスクにより物理量を測定する異方性球状材料の方向測定方法等を提供する。 （もっと読む）

【課題】周波数温度特性が良好であり、電気機械結合係数が大きく、かつ伝搬損失が小さい表面波装置を提供する。
【解決手段】オイラー角（０±２°，１０４〜１４１°，０±２°）のＬｉＴａＯ₃からなる圧電基板２と、圧電基板２上に形成されており、密度８７００〜１０３００ｋｇ／ｍ³、ヤング率１．８×１０¹¹〜４×１０¹¹Ｎ／ｍ²あるいは横波音速が３１７０〜３２９０ｍ／秒である、ＮｉやＭｏなどで代表される金属もしくは該金属を主体とする合金または前記金属もしくは合金からなり、かつ膜厚をＨ、表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚Ｈ／λが０．００８〜０．０６の範囲にあるＩＤＴ３と、ＩＤＴ３を覆うように圧電基板２上に形成されており、かつ規格化膜厚Ｈｓ／λが０．１０〜０．４０の範囲にあるＳｉＯ₂膜とを備える表面波装置１。 （もっと読む）

【課題】伝搬経路の温度を正確に計測する。
【解決手段】球状弾性表面波素子１０は、すだれ状電極１２の形成位置とは異なる伝搬経路１１Ｓ上の位置に、Ｖ_Ｓ／Ｓ＝Ｎ・（Ｖ_Ｌ／２Ｌ）の関係式を満たすような細線間隔Ｌで、すだれ状電極１２と平行に細線パターン１３を形成している。但し、Ｖｓ：すだれ状電極の形成位置における弾性表面波の伝搬速度、ＶＬ：細線パターンの形成位置における弾性表面波の伝搬速度、Ｓ：すだれ状電極の電極周期、Ｌ：細線パターンの細線間隔、Ｎ：自然数である。 （もっと読む）

【課題】長期に亘って優れた特性を発揮することができる弾性波デバイスおよび弾性波デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電性を有する圧電体層１３と、圧電体層１３の一方の面上に設けられ、通電により圧電体層１３に弾性振動を励起させる１対の櫛形電極１４ａ、１４ｂと、圧電体層１３および／または１対の櫛形電極１４ａ、１４ｂに接合され、二酸化珪素を主材料として構成された二酸化珪素層１５とを有し、二酸化珪素層１５は、酸素流量比６０％以上の雰囲気中で二酸化珪素のターゲットを用いてスパッタリングを行うことにより形成されたものである。 （もっと読む）

【課題】異方性を示す方向を精度良く決定することができ、特定の好適な位置に薄膜構造を形成して高精度な球状弾性表面波素子を作成することができる異方性球状材料の方向測定方法、異方性球状材料の方向測定装置および球状弾性表面波素子の製造方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波制御手段１２が、マニピュレータ１１ｂに保持された球状材料１の表面の所定の位置で、軸に垂直な平面上の大円に沿って伝搬する弾性表面波を発生可能である。弾性表面波制御手段１２は、所定の位置における大円に沿って周回した弾性表面波の所定の物理量を測定可能である。マニピュレータ１１ｂにより、保持した球状材料１に対し、その周囲で大円に沿って弾性表面波制御手段１２を相対的に回転させ、互いに異なる複数の回転角ごとに弾性表面波の発生および物理量の測定を繰り返し、各回転角ごとに測定された物理量に基づいて、異方性を示す方向を決定する。 （もっと読む）

【課題】複数の共振周波数を有する弾性表面波素子と、この弾性表面波素子を用いて液体の量を液位として検出する液位検出装置を提供する。
【解決手段】液位検出装置は、圧電基板２１上に複数の所定共振周波数にて励振されるＩＤＴ電極３０を備え、ＩＤＴ電極３０が、異なる所定の共振周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３を有する複数の電極指群４０，４１，４２から構成される。これら複数の電極指群４０，４１，４２が、圧電基板２１上に位置をずらして配設され、弾性表面波素子２０は液体２の中に配設される。液体２が複数の電極指群４０，４１，４２のいずれかに接触する状態によって生じる共振周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３の帯域における挿入損失の差異を検出し、この挿入損失の変化から液体２の液位を検出する。 （もっと読む）

【課題】安価で高い信頼性を長期的に確保することのできる弾性表面波素子片、及びこれを搭載した弾性表面波デバイスを提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための弾性表面波素子片は、圧電基板１２の一主面に励振電極１４を設けた弾性表面波素子片１０であって、前記圧電基板１２の表面に励起される振動の変位を前記励振電極１４が耐え得る範囲に抑えるために、前記圧電基板１２を製造するための素板として、ＪＩＳ規格に定める等級Ｃ以下のものを採用したこをと特徴とする。このような構成の弾性表面波素子片１０において、前記圧電基板１２は、ＳＨ波を励起可能なカット角で切り出されたものとすると良い。また、上記課題を解決するための弾性表面波デバイスは、上記のような構成の弾性表面波素子片を搭載したものであれば良い。 （もっと読む）

【課題】結晶性のより良好な圧電体薄膜の製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電体薄膜１を第１圧電体薄膜１３と第２圧電体薄膜１５との２回に分けて
形成する。ここで、第１圧電体薄膜１３形成後に熱処理を行うため、第１圧電体薄膜１３
の結晶性が、熱処理前の第１圧電体薄膜１３と比較して向上できる。そして、その後形成
される第２圧電体薄膜１５も熱処理後の第１圧電体薄膜１４に倣って結晶成長し、全体と
して結晶性の向上した圧電体薄膜１を得ることができる。また、第１圧電体薄膜１３，１
４の膜厚が、５ｎｍ以上で１００ｎｍ以下で、圧電体薄膜１全体の膜厚である数μｍと比
較すると薄い。この程度の厚さの薄膜は、結晶の欠陥数自体が少ない。そして、熱処理温
度が３００℃より大きければ、欠陥数が少ないので十分な結晶性を得ることができ、８０
０℃以下であれば、基板１０との熱膨張係数の違いによる薄膜の剥離も少なくできる。 （もっと読む）