【課題】複数の共振子に共通する振動空間を提供するキャビティを有する共振子フィルタにおいて、構造上の強度を確保するとともに、挿入損失を低減できる共振子構造を有する共振子フィルタを提供する。
【解決手段】共振子フィルタは、複数の積層共振体８１，８２，８３，８４，８５，８６の振動空間を提供するキャビティ２１を有する。積層共振体８２，８３を電気的に接続する配線電極９０は、積層共振体８２の上部電極の最大径Ｌ１と、積層共振体８３の上部電極の最大径Ｌ２とを直線的に結線する配線構造を有する。 （もっと読む）

【課題】共振特性を維持しつつ、機械的強度を改善することができる。また、生産性に優れた圧電薄膜共振器を実現する。
【解決手段】基板１上に形成された下部電極２と、基板１上および下部電極２上に形成された圧電膜３と、圧電膜３上に形成された上部電極４とを備え、圧電膜３を挟み上部電極４と下部電極２の重なり領域であるメンブレンに対応する部位の下部電極２の下方に空隙６を有した圧電薄膜共振器であって、メンブレンに接する上部電極４の引出部分４ｘの中央部４ｙは、空隙６の上に形成され、上部電極４の引出部分４ｘの両端部４ｚは、空隙６の外側に形成されている。 （もっと読む）

【課題】軽量なねじり振動体を有するマイクロメカニカル共振器を提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル共振器１は、基板２と、一方端が基板２に固定されたねじり振動体１１とを備えている。ねじり振動体１１には、空隙部が設けられている。空隙部は、たとえば、ねじり振動軸Ａと平行な方向に延び、ねじり振動体１１を貫通する孔３０として構成することができる。 （もっと読む）

【課題】振動漏れを低減しつつ、設計時の寸法上の制約を緩和することの可能で、しかも、スティッキング現象を回避するのに好適な振動子構造を実現する。
【解決手段】本発明の静電振動子は、支持体１０と、支持体に対して複数の第１の弾性部１３Ｂを介して接続された第１の剛性部１３Ｃ、及び、第１の剛性部に対して複数の第２の弾性部１３Ｄを介して接続された第２の剛性部１３Ｅを有する可動電極１３と、第１の剛性部に対向配置され、第１の剛性部に励振力を及ぼす駆動電極１２Ｂと、第２の剛性部に対向配置され、第２の剛性部の振動変位を検出する検出電極１２Ａと、を具備し、第１の弾性部及び第２の弾性部の駆動電極及び検出電極と対向する方向の撓み変形により第１の剛性部及び第２の剛性部がそれぞれ振動変位可能とされた２自由度の弾性振動系を構成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 超小型であっても安定したバンプ接合を行うことができる圧電振動デバイスおよび、該圧電振動デバイスの製造方法を提供することを目的とする
【解決手段】 水晶振動片２が、バンプ５を介して筐体１と接合される水晶振動子において、水晶振動片２は、筐体１との接合部に凹陥部４が形成されており、筐体１の水晶振動片２との接合部には、凸状の頂部を有するバンプ５が配され、前記頂部に、前記凹陥部４を一対一で冠着して接合することによって、バンプの一部が凹陥部４内に埋没している。 （もっと読む）

【課題】横波のエネルギー散逸を防止しながら従来例より電気機械結合係数の低下、および定在波モードの増大を抑圧した圧電薄膜共振器を実現する。
【解決手段】基板１４と、基板１４上に配され、一部が互いに対向するように配置された上部電極１１及び下部電極１２と、上部電極１１と下部電極１２との間に配された圧電膜１３とを備えた圧電薄膜共振器であって、上部電極１１上に配された質量体１６を備え、質量体１６は、上部電極１１における下部電極１２に対向する領域の端部の一部に配されている。 （もっと読む）

【課題】高い放射音圧をもち音圧の周波数帯域の広帯域化を実現し、例えば、医療用、計測用超音波センサとしても用いることが可能な積層型圧電素子を提供する。
【解決手段】積層型圧電素子は、面積が徐々に変化する内部電極を配設（Ｓ３）した圧電グリーンシートを積層した積層体を作製し（Ｓ５）、積層体の上面に整合層を圧縮一体化し（Ｓ７）、一体化した積層体及び整合層を一体として焼成し（Ｓ９）、側面の所定位置に電極と導通する一対の外部電極を形成し（Ｓ１１）、その後積層体側面の外部電極パターン配設部分を除く略全面にガラスペーストを塗布して塗布膜を形成し（Ｓ１３）、塗布膜が形成された積層体を加熱処理してガラス被膜を形成し（Ｓ１６）、積層体の下面にバッキング層を接着一体化（Ｓ１８）した後に、リード線を取り付け（Ｓ２１）、分極処理をして（Ｓ２２）製造される。 （もっと読む）

【課題】近年の圧電薄膜共振子フィルタに対する要求に対応すべく、横方向漏れを抑制し、低損失化することができる圧電薄膜共振子、フィルタ、通信モジュール、および通信装置を提供する。
【解決手段】基板５と、基板５上に配され、一部が互いに対向するように配置された上部電極１及び下部電極２と、上部電極１と下部電極２との間に配された圧電膜３とを備えた圧電薄膜共振子であって、圧電膜３は、上部電極１と下部電極２とが対向する部位に配され、上部電極１と基板５とが対向する領域の一部に絶縁膜４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】縦続接続型多重モード圧電フィルタの中心周波数より高域側に生じるスプリアスを抑圧する。
【解決手段】第１及び第２の多重モード圧電フィルタ１、２は、圧電基板５と、圧電基板５の一方の主面上に近接配置した複数の分割電極１０、１１と、圧電基板５の他の主面上に全ての前記分割電極１０、１１と対向して配置された共通電極１２と、を備え、多重モード圧電フィルタ１の共通電極１２の面積と、第２の多重モード圧電フィルタ２の共通電極１２の面積とが異なるようにした。 （もっと読む）

【課題】ＣＩ値を低く抑え、且つ加工が容易な小型の振動子を提供することを目的とする。
【解決手段】振動子の振動細棒の表面及び裏面のいずれか又はその両方に溝（１２０ａ）を形成し、かつ、この溝の中に電極（１４０ａ）を形成する。これによって、ＣＩ値を低く抑え、且つ加工が容易な小型の振動子を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、不要振動の抑圧と感度の改善、または複数種類の不要振動を総合的に抑圧することのできる水晶振動片を提供する。
【解決手段】肉厚の振動部１４と肉薄の周縁部１６とを有するバイメサ型の水晶振動片１０であって、振動部１４の外形形状を矩形とすると共に、励振電極２０の中心と振動部１４の中心を一致させ、励振電極２０と周縁部１６のうちの少なくとも一方を構成する縁辺のうち、少なくとも長手方向に沿った中心軸と交差する縁辺部分のうちの一箇所を円弧状に形成し、厚み滑り振動と共に励起される屈曲振動の波長をλとした場合に、振動部１４における長手方向の寸法Ｌ２を


で示すことのできる寸法としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 実装時に外部に配線を形成する必要がなく、更に基板に搭載する際の入出力方向を選択可能として、相互変調特性が良好な向きに実装することができ、基板上の集積度及び歩留まりを向上させることができる水晶フィルタを提供する。
【解決手段】 水晶片の一方の面に第１〜第４の電極を設け、他方の面に第５〜第８の電極を設け、第１〜第４の電極が設けられた面から見て左上に第１の端子、左下に第２の端子、右上に第３の端子、右下に第４の端子、中央上に第５の端子、中央下に第６の端子を設け、第１の電極を第２の端子に、第２の電極と第３の電極を第５の端子に、第４の電極を第３の端子に、第５の電極を第１の端子に、第６の電極と第７の電極を第６の端子に、第８の電極を第４の端子に接続した水晶フィルタとしている。 （もっと読む）

【課題】 振動子に外力などを加えて振動子自体の共振周波数を変化させることなく、ひとつの振動子から異なる周波数を持つ複数の周波数信号を同時に出力することができ、各共振周波数を容易に設計できる発振子及び発振子の製造方法ならびに該発振子を備えた発振器を提供することを課題とする。
【解決手段】 複数の側面を持つ振動子と、該振動子の一端または両端に接続されて該振動子を揺動自在に保持するアンカーと、前記振動子の側面に所定の間隔をあけて対向する複数の駆動電極と、前記振動子の側面に所定の間隔をあけて対向し、該振動子を挟んで前記駆動電極と反対側に配置された複数の検出電極と、を備えた発振子とする。 （もっと読む）

【課題】バルク弾性波の基板への漏洩パスを最小限に抑圧することが可能なエネルギー閉じ込め構造が実現できる薄膜圧電バルク波共振器と、それを用いた高周波フィルタおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電薄膜と前記圧電薄膜の少なくとも一部を挟んで存在する第一の金属電極膜と第二の金属電極膜とを含む積層構造を具備し、第一の金属電極膜は、第二の金属電極膜と対向する電極面に分散して形成され、積層構造に対応する位置の基板上に空隙部を有する薄膜圧電バルク波共振器において、圧電薄膜、第一の金属電極膜および、第二の金属電極膜は、第一の金属電極膜と電気的に接続する配線電極の領域および第二の金属電極膜と電気的に接続する配線電極の領域以外は、絶縁基板と接触せず中空に保持されており、積層構造を支持するために空隙部に支柱を設置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】寄生容量による挿入損失の発生がなく、良好な共振特性を得ることが可能な共振装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】共振装置は、支持基板１と、支持基板１の一表面側に形成された共振子３とを備えたＢＡＷ共振器であり、共振子３が、支持基板１の上記一表面側において支持基板１の厚み方向に立設された柱状（円柱状）のコア電極３１と、コア電極３１の外周面を被覆した圧電材料部３２と、圧電材料部３２の外周面を被覆した外側電極３３とで構成されている。ここで、共振子３は、支持基板１の厚み方向に直交する断面において、コア電極３１、圧電材料部３２および外側電極３３それぞれの外周形状が円形状であり、コア電極３１と圧電材料部３２と外側電極３３とが同心円状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】基板９上に両端部が支持された共振ビーム52と、該共振ビーム52を挟んで両側に配置された２つの電極とを具え、共振ビーム52の両端部間にて、一方の電極と共振ビーム52とが互いに対向して、１或いは複数のギャップ部が形成されると共に、他方の電極と共振ビーム52とが互いに対向して、１或いは複数のギャップ部が形成されているマイクロメカニカル共振器において、１次の共振モードの振動を抑えて高次の共振モードの振動を増大させる。
【解決手段】本発明に係るマイクロメカニカル共振器においては、共振ビーム52に複数のくびれ部54が形成されており、これによって形成される複数の非くびれ部53は、両端寄りのくびれ部54よりも中央寄りのくびれ部54の方が断面一次モーメントの大きな断面形状を有している。 （もっと読む）

【課題】温度特性が良好で、周波数精度及び励振効率が共に高く、かつ低コストな圧電振動装置を提供する。
【解決手段】圧電振動装置１は、基板１０、圧電薄膜２３、上部電極２４、下部電極２５、温度補償用絶縁膜２６，２７及び支持部３０とを備えている。温度補償用絶縁膜２６，２７は、圧電薄膜２３、上部電極２４及び下部電極２５と共に圧電振動部２０を構成している。圧電振動部２０は、基板１０に対してギャップを隔てて浮かされた状態で支持部３０により支持されている。圧電振動装置１は、圧電振動部２０の輪郭振動モードを利用している。圧電振動部２０は、圧電駆動部２１と、圧電薄膜２３が形成されていない圧電被駆動部２２とを含む。圧電被駆動部２２は、輪郭振動モードにおける振動の腹部を含む圧電振動部２０の一部に形成されている。温度補償用絶縁膜２６，２７の面積は、圧電薄膜２３の面積よりも大きくされている。 （もっと読む）

【課題】電気的特性のよい超小型の圧電振動片を提供する。
【解決手段】圧電振動片１０は、水晶からなる基部１１から平行に延在される一方の振動腕１２の主面に２分割して設けられる第１下部電極２１と第２下部電極２２と、第１下部電極２１及び第２下部電極２２それぞれの表面に設けられる第１圧電薄膜３１及び第２圧電薄膜３２と、第１圧電薄膜３１の表面に設けられる第１上部電極２５と、第２圧電薄膜３２の表面に設けられる第２上部電極２６と、他方の振動腕１３の主面に２分割して設けられる第３下部電極２３と第４下部電極２４と、第３下部電極２３及び第４下部電極２４それぞれの表面に設けられる第３圧電薄膜３３及び第４圧電薄膜３４と、第３圧電薄膜３３の表面に設けられる第３上部電極２７と、第４圧電薄膜３４の表面に設けられる第４上部電極２８と、が備えられている。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値を向上させることが可能な共振装置を提供する。
【解決手段】共振装置は、支持基板１と、支持基板１の一表面側に形成された下部電極３１と、下部電極３１における支持基板１側とは反対側に形成された圧電層３２と、圧電層３２における下部電極３１側とは反対側に形成された上部電極３３とを備える。圧電層３２における下部電極３１側とは反対側に当該圧電層３２のうち上部電極３３に接する共振領域３２ａの面積を規定する開孔部４ａを有する絶縁膜４が形成され、上部電極３３が圧電層３２の共振領域３２ａ上と絶縁膜４上とに跨って形成され、上部電極３３のうち絶縁膜４上に形成されて共振領域３２ａの周囲領域に重なる周囲電極部分３３ｂに他の部位に比べてばね定数の小さな撓み領域３３ｄが形成されている。 （もっと読む）

【課題】設計・製造を容易にして振動特性を良好に維持した２回回転Ｙカット板からなる水晶振動子を提供する。
【解決手段】Ｚ′軸及び前記Ｘ′軸からそれぞれγ度傾斜して互いに直交する軸を応力感度零軸とし、応力感度零軸の互いに直交する中心から放射状に分割される４つの領域に強勢な振動変位を有する２回回転Ｙカット板からなる水晶振動子において、応力感度零軸の互いに直交する中心部の厚みを大きくし、中心部から前記水晶片の外周部に向かって四角錐状とする稜線部Ｐを形成し、応力感度零軸間の４つの領域における、互いに直交する中心から各４つの領域を二等分する中央領域の垂直方向の断面厚みを大きくし、中央領域から両側となる応力感度軸に向かって徐々に厚みの小さくなる傾斜面を形成した構成とする。 （もっと読む）