【課題】フィルタの損失を抑えた分波器を提供する。
【解決手段】分波器は、共通端子に接続される、通過帯域の異なる２以上のフィルタＦ１，Ｆ２を備え、フィルタＦ１、Ｆ２の少なくとも１つは、フィルタの入力端子および出力端子を繋ぐ線路に直列に接続された複数の直列共振器Ｓ１〜Ｓｎと、前記線路に並列に接続された並列共振器Ｐ１〜Ｐｍを含み、直列共振器の少なくとも１つには、インダクタンスＬ１が並列接続されており、インダクタンスＬ１が並列接続された直列共振器Ｓ１は、直列に接続された複数の共振器Ｓ１１〜Ｓ１３に分轄されている。 （もっと読む）

【課題】検出用の振動領域及び参照用の振動領域を有する圧電センサーを用いた感知装置において、励振電極の形状を改良することにより高い測定感度が得られる感知装置を提供すること。
【解決手段】水晶片２０ａにおける、前記反応用流路５２の平面形状の輪郭である円５３の中心に対して互に左右に離間して対称に形成され、各々前後に平行に伸びる短冊状の左側領域及び右側領域を形成する。前記領域は、左側領域の左側の両角部１００及び右側領域の右側の両角部１００が前記円５３よりも外側に飛び出す大きさに設定され、外側に飛び出している角部１００を切り落として、左側領域及び右側領域が前記円５３よりも内側に位置するようにし、これら右側領域及び左側領域に夫々計測用の励振電極２１ａ及び参照用の励振電極２１ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】屈曲振動モードを利用し、電極厚とは別に調整しても、少なくとも電気機械結合係数を含む圧電振動子の複数の特性を変更できる構造を備える圧電振動子を提供する。
【解決手段】圧電振動子１は、周波数信号の印加により主面法線方向に屈曲振動する振動部を備える。この振動部は上主面電極２と圧電基板３と下主面電極４と誘電体層５とを含む複数の層を主面法線方向に積層した構成である。上主面電極２は、圧電基板３の上主面に設けられる。下主面電極４は圧電基板３の下主面に設けられる。誘電体層５は下主面電極４に積層される。 （もっと読む）

【課題】小型化に適した構成を有する屈曲振動片およびこの屈曲振動片を製造する方法を提供する。
【解決手段】水晶振動片１は、基部２と、基部２から延長して形成され、屈曲振動するそれぞれの方向へ向いて配置された第１面６および第２面７を有する３本の振動腕３と、振動腕３の第１面６および第２面７に形成され相互に導電接続されている下部電極１１，１２と、下部電極１１，１２を覆って形成された圧電膜１４と、圧電膜１４に重ねて形成された上部電極１０，１３と、を備え、第１面６（６ａ，６ｂ，６ｃ）に形成された圧電膜１４（１４ａ１，１４ｂ１，１４ｃ１）と第２面７（７ａ，７ｂ，７ｃ）に形成された圧電膜１４（１４ａ２，１４ｂ２，１４ｃ２）とは、形成されている振動腕３に対して互いに反対の分極方向を有している。 （もっと読む）

【課題】複数の共振周波数を有する共振器において、従来よりも小型化を図ることが可能な共振器およびその製造方法、ならびにそのような共振器を備えた発振器および電子機器を提供する。
【解決手段】入力交流信号Ｓinが入力される入力端子を、複数の端子in３，in５，in７間で切り換えることにより、導体部１１１におけるブロックに対する入力交流信号Ｓinの入力経路を切り換える。また、出力交流信号Ｓoutが出力される出力端子を、複数の端子out３，out５，out７間で切り換えることにより、導体部１１１におけるブロックからの出力交流信号Ｓoutの出力経路を切り換える。これにより、単一構造の共振器１内において、電位差が生じる絶縁膜１１２の振動部１１内での位置に応じて、複数の共振周波数ｆｒ（複数の次数の共振モード）が励起される。 （もっと読む）

圧電共振器装置は５つの層を備える。第１層及び第５層は１つまたは複数の金属電極を含む。第２層及び第４層は圧電材料を含む。第３層は金属層を含む。第１層の第１領域において、第１層金属電極は、１つまたは複数の第１層金属電極の１つと第１層金属電極の無い空間とを含む１次元に沿った第１層周期的構造を含む。第５層の第２領域において、第５層金属電極は、１つまたは複数の第５層金属電極の１つと第５層金属電極の無い空間とを含む１次元に沿った第５層周期的構造を含む。第１層周期的構造及び第５層周期的構造は、１つまたは複数の第５層金属電極の１つが第１層金属電極の無い空間の下に中心が置かれ、１つまたは複数の第１層金属電極の１つが第５層金属電極の無い空間上に中心が置かれるように配列されるか、または１つまたは複数の第５層金属電極の１つが第１層金属電極の下に中心が置かれるように配列される。
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【課題】水晶振動子の漏れ振動が確実に、且つ、高精度に微細調整された水晶振動子及びその水晶振動子の製造方法を提供することである。
【解決手段】基部から延設する振動脚を備える外形形状を有し、該振動脚の主平面と側面との少なくとも一方に電極を備える水晶振動子であって、電極は振動脚の漏れ振動成分を減少するように電極の厚みが薄く削られた電極薄層部分を有する構成とした。振動脚に設ける電極は、電極薄層部分を有しているだけでトリミング（除去）してはいないから、振動片への駆動力が低下することはない。したがって、ＣＩ値の増加は発生せず、振動の安定性の悪化や角速度の検出精度の低下も発生しない。 （もっと読む）

バルク音響共振器アセンブリおよびその共振器アセンブリを製造するための方法を提供する。共振器は、基板の第１の表面上にキャビティを含み、低音響損失材料のシートがキャビティに亘って懸吊される。低音響損失材料のシートは、低音響損失材料のシートの関連される基本周波数が、基板の第１の表面に平行する方向における低音響損失材料のシートの長さに応じるように構成される。トランスデューサは、低音響損失材料のシート上に電気機械層、および電気機械材料上に形成されたパターニングされた導電材料を含む。トランスデューサは、電気信号を導電パターンに付与すると、低音響損失材料において振動を誘発するように構成される。 （もっと読む）

【課題】特に表面縦溝によってＣＩを小さく維持して耐衝撃性を向上し、さらには垂直振動の発生を抑制する音叉型振動子を提供することを目的とする。
【解決手段】
一対の音叉腕２（ａｂ）が音叉基部１から一方向に延出した音叉状水晶片３を備え、前記音叉腕の両主面に長さ方向の表面縦溝５を設けた音叉型水晶振動子において、前記表面縦溝５は前記音叉腕２（ａｂ）の幅方向を底辺とした三角形状とした構成とし、また前記表面縦溝は単一として前記三角形状は前記音叉腕の延出始端部となる前記音叉基部の根本部を底辺とし、前記音叉腕の先端側を残る２辺の頂点とする構成とする。 （もっと読む）

デバイス１１０は、駆動ノード３４，３６および感知ノード４２，４４を有する感知素子２６を備えている。駆動ノード３４および感知ノード４２との間には寄生容量２２が存在する。同様に、駆動ノード３６と感知ノード４４との間には寄生容量２４が存在する。駆動信号５６が駆動ノード３４、３６との間に印加されると、駆動ノード３４と感知ノード４２との間の寄生電流７０および駆動ノード３６と感知ノード４４との間の寄生電流７２が寄生容量２２，２４のおかげで生成される。容量性ネットワーク１１２を介して寄生電流７０を打ち消す補正電流１３４を生成するために、駆動ノード３６と感知ノード４２との間に容量ネットワーク１１２が接続される。同様に、容量性ネットワーク１１２を介して寄生電流７２を打ち消す補正電流１３８を生成するために、駆動ノード３４と感知ノード４４との間に容量性ネットワーク１１４が接続される。
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【課題】Ｑ値の低下が抑えられた小型の屈曲振動片、および、それを用いた発振器を提供
する。
【解決手段】音叉型水晶振動片５０は、基部５２と、この基部５２の一端側から延出する
一対の振動腕５３，５４と、からなる音叉型の外形を有し、各振動腕５３，５４の一方の
主面側において、各振動腕５３，５４の基部５２との付け根近傍を含む領域には、各振動
腕５３，５４それぞれの長手方向に沿って設けられた一本の直線状の有底の溝５６ａ，５
７ａと、各溝５６ａ，５７ａに埋設された金などの熱伝導率の高い埋め込み部材５６ｂ，
５７ｂとからなる熱伝導路５６，５７が形成されている。同様に、各振動腕５３，５４の
他方の主面側において、一方の主面側の溝５６ａ，５７ａと対向する位置に開口部を有し
て設けられた有底の溝６６ａ，６７ａと、各溝６６ａ，６７ａに埋設された金からなる埋
め込み部材６６ｂ，６７ｂとからなる熱伝導路６６，６７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子の漏れ振動が確実に、且つ、高精度に微細調整された水晶振動子およびその水晶振動子の製造方法を提供することである。
【解決手段】
基部から延設する振動脚を備える外形形状を有し、該振動脚の主平面と側面との少なくとも一方に電極を備える水晶振動子であって、電極の一部分が、断面主軸の方向を調整することによって振動脚の漏れ振動成分を減少するように加工された電極除去部分を有する構成とした。このようにすることによって、水晶振動子の漏れ振動が高精度に調整できる。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜共振子の横方向漏れを抑制し、Ｑ値を高める。
【解決手段】上部電極２の端部２ａを圧電膜４の端部４ａから突出した庇状とし、端部２ａを逆テーパ形状とし、端部２ａの下端２ｂと圧電膜４の端部４ａとを一致または近傍配置したことにより、圧電膜４内を伝搬する弾性波を閉じこめることができ、損失を低下させることができるとともにＱ値を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】外来振動に対する周波数応答範囲を広げた振動補償型発振器を提供する。
【解決手段】水晶振動子に搭載されたＸＹＺ軸方向の加速度センサによって、前記水晶振動子に対する外来振動に起因した加速度を検出し、前記加速度による周波数変動を補償した振動補償型の水晶発振器において、前記加速度センサはＭＥＭＳマイクロフォンからなり、前記加速度方向に板面が変位する平板状の可動電極１２ｂと、前記可動電極に板面が対向した多数の孔を有する固定電極１２ａと、前記可動電極と前記固定電極との間隙を一定に維持するスペーサ１２ｃとからなる構成とする。 （もっと読む）

【課題】等価回路定数の容量比γを小さくして、温度補償型の発振器に組み込んだ場合でも周波数可変感度を大きくとれる水晶振動子を実現すること。
【解決手段】略矩形状の水晶基板と、前記水晶基板の両主面に形成される励振電極３１、３３と、励振電極３１、３３から水晶基板の一方の短辺側に延出される引出し電極３２、３４と、を備えた水晶振動子において、励振電極３１、３３は略矩形状をなすとともに、引出し電極３２、３４は励振電極３１、３３の一方短辺から延出されており、励振電極３１、３３の角部のうち、励振電極３１、３３の一方短辺と引出し電極３２、３４との接続部に形成される角部以外の全ての角部を、円弧状に切り欠く。 （もっと読む）

【課題】製造が容易で、振動効率に優れた振動片を提供する。
【解決手段】３以上の奇数本の振動腕を有し、各振動腕が厚み方向であるＺ方向に振動し
、かつ隣り合う振動腕が互いに反対方向に振動する振動片において、振動腕１１，１２，
１３の厚みを規定する対向する面の一方の面に設けられた下部電極２１，２２，２３と、
下部電極２１，２２，２３を覆って形成された圧電膜３１，３２，３３と、圧電膜３１，
３２，３３を覆って形成された上部電極５１，５２，５３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】振動片の表裏を利用して配線を配置して、振動片の小型化を容易にする。
【解決手段】振動腕１１，１２，１３の厚み方向に対向する第１面１６ａと第２面１６ｂ
のうちの第１面１６ａに設けられた下部電極２１，２２，２３と、下部電極２１，２２，
２３の上方に形成された圧電膜３１，３２，３３と、下部電極２１，２２，２３および圧
電膜３１，３２，３３の上方に形成された上部電極５１，５２，５３と、下部電極２１，
２２，２３および上部電極５１，５２，５３に接続される配線２８，５８と、を有し、上
部電極５１，５２，５３に接続される配線５８が振動腕１１，１２，１３を囲むように、
振動腕１１，１２，１３の側面を経て振動腕１１，１２，１３の第２面１６ｂに引き出さ
れている。 （もっと読む）

【課題】製造が容易で、振動効率に優れた振動片を提供する。
【解決手段】３以上の奇数本の振動腕を有し、各振動腕が厚み方向であるＺ方向に振動し
、かつ隣り合う振動腕が互いに反対方向に振動する振動片において、振動腕１１，１２，
１３において振動腕１１，１２，１３の厚みを規定する対向する面の一方の面から少なく
とも両側の側面にまで連続して設けられた下部電極２１，２２，２３と、振動腕１１，１
２，１３の一方の面において下部電極２１，２２，２３の上に形成された圧電膜３１，３
２，３３と、圧電膜３１，３２，３３の上に形成された上部電極５１，５２，５３と、を
有する。 （もっと読む）

【課題】小型で経年変化による周波数変動の少ない弾性波デバイス及びこの弾性波デバイスを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】弾性体材料からなる弾性波導波路１０に設けられたエネルギー閉じ込めモード部２は、第１の伝播モード部４から伝播してきた１次または高次の伝播モードの弾性波である第１の弾性波に含まれる特定の周波数成分によってエネルギー閉じ込めモードの弾性波である第２の弾性波を励振し、このエネルギー閉じ込めモード部２の周囲の領域に設けられた遮断部３は、第２の弾性波の周波数よりも高い周波数の遮断周波数を持つ。第２の伝播モード部は当該遮断部を介してリークした前記第２の弾性波を伝播モードの弾性波である第３の弾性波にモード変換して伝播させる。 （もっと読む）

【課題】電気機械結合係数を改善した、屈曲振動を利用する圧電振動子、および、安定した感度が得られる振動ジャイロ装置の提供を図る。
【解決手段】振動ジャイロ装置１は、圧電基板３と上面電極２と下面電極４とを備え、上面電極２と下面電極４との電位差に応じて主面法線方向に振動する。下面電極４は、電気機械結合係数が下限極値となる値から外した電極厚である。ここで、上面電極２には周波数信号が印加されるものであり、下面電極４は基準電位に接続されるものである。この振動ジャイロ装置の電気機械結合係数は下面電極４の電極厚を変更することで変化して電気機械結合係数の下限極値を示し、電気機械結合係数が下限極値となる値から下面駆動電極の電極厚が外れると、電気機械結合係数がクリップする値まで急峻に立ち上がる特性を有するものである。 （もっと読む）