【課題】屈曲振動子、その製造方法、屈曲振動デバイスを提供する。
【解決手段】基部２８と、前記基部２８から延出した振動腕３０と、前記振動腕３０に設けられた励振電極４６と、を備えた屈曲振動片１２と、前記基部２８の一面と接着して前記屈曲振動片１２が実装される実装基板１４と、前記振動腕３０の実装基板１４側の面に設けられた第１の溝４２と、前記振動腕３０の実装基板１４側とは反対の面に設けられた第２の溝４４と、を有し、前記第１の溝４２は、前記第２の溝４４より前記基部２８側に設けてなる。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動板に発生する応力を緩和しつつ、絶縁不良を防止して、安定した特性を得ることができる圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 水晶振動子１は、水晶振動板２と第１蓋部材３と第２蓋部材４とで構成されており、水晶振動板２は、表裏一対の励振電極２３が形成された振動部２０と、振動部よりも厚肉に形成された枠部２９と、振動部と枠部との間に、振動部よりも薄肉に形成された薄肉部２８とが一体成形されている。振動部２０には第１接合電極２５が形成され、第１蓋部材３の一主面３１には、他主面３７に形成された外部接続端子３４と電気的に繋がった第２接合電極３３が形成されている。そして、第１接合電極２５と第２接合電極３３とが金属ロウ材を介して一体化接合されることによって、励振電極２３が外部接続端子３４と電気的に繋がっている。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子の電極に薄膜を再現性よく形成するとともに、成膜処理を効率よく行う。
【解決手段】主感応膜形成部６は、処理液を貯溜するとともに、処理液中に水晶振動子が浸漬されることにより、水晶振動子の電極に対して成膜処理を行う処理槽６１、処理液を貯溜するとともに、供給ライン６３および排出ライン６４を介して処理槽６１に接続される処理液タンク６２、並びに、成膜処理が行われている間に、処理液タンク６２内の処理液を設定温度に調整する温度調整部６５を備える。主感応膜形成部６では、成膜処理毎に処理槽６１内の処理液を、処理液タンク６２内の設定温度の処理液に交換することにより、水晶振動子の電極に薄膜を再現性よく形成するとともに、成膜処理が行われている間に処理液タンク６２内の処理液を一定の設定温度に調整することにより、成膜処理を効率よく行うことが実現される。 （もっと読む）

本発明は、高調波モードＨＢＡＲを用いた基礎実体波フィルタであって、電気音響波によって適切に結合されるトランスデューサ（８）及び基板（１２）からそれぞれなる２つのＨＢＡＲ共振子（２０、２２）を含む、基礎実体波フィルタに関する。第一振動子（２０）、第二振動子（２２）及びエバネッセント波によって結合するための要素（２８）は、対向するように配置されると共に同一の基準電極（１０）により同一の剪断又は縦の振動モードを有する波によって圧電トランスデューサ（８）と結合した同一の一体型音響基板（１２）を含む。
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【課題】 クリスタルインピーダンスＣＩ及び等価並列容量Ｃ０のバランスを良くするために、引出電極を扇形状で励振電極に接続することでクリスタルインピーダンスＣＩを小さくする同時に、等価並列容量Ｃ０が増加しないＡＴカット型の水晶振動片を提供する。
【解決手段】水晶振動片（１０）は、引出電極（１３）が扇形状で励振電極（１２）に接続され、扇形状の中心角度は９０°以上で１８０°以下としてクリスタルインピーダンスＣＩが小さくなると共に等価並列容量Ｃ０が増加しないものである。 （もっと読む）

【課題】量産性に優れ、振動部の占有割合の高い逆メサ型の水晶振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】ＡＴカット水晶板における＋Ｚ′軸をＹ′軸回りに＋Ｘ軸方向へ回転させることを正の回転角として、Ｚ′軸をＹ′軸回りに−１２０°から＋６０°の範囲で回転させて得られるＺ″軸とこれに垂直に交わるＸ′軸のそれぞれに平行な縁辺を有するウエハ３０を用いた水晶振動片１０の製造方法であって、＋Ｙ′軸側主面から加工を施す場合に、振動部１６を構成する肉薄部形成領域３４と、前記肉薄部形成領域に隣接した肉厚部形成領域の外周部、および少なくとも前記肉薄部形成領域の−Ｚ″軸側端部に設ける肉厚部非形成領域の外周部をウエットエッチングする第１のエッチング工程と、前記肉厚部形成領域の外周部と前記肉厚部非形成領域の外周部をウエットエッチングしてＹ′軸方向に貫通させる第２のエッチング工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 電極端面を所望の形状にしてスプリアスの少ない薄膜圧電共振器の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１上に下部電極２と圧電膜３を順に積層する第１工程と、圧電膜３の上面に第１端面１０ａを有する第１のマスク１０を形成する第２工程であって、第１端面１０ａは、上下方向から透視した状態で下端部が下部電極２と圧電膜３との重なる部分より内側に位置し、且つ圧電膜３の表面に対してなす角が９０度以下である第１のマスク１０を形成する第２工程と第１のマスク１０上に第２端面１１ａを有する第２のマスク１１を形成する第３工程であって、第２端面１１ａは、上面視した状態で上端部が第１端面１０ａの上端部よりも外側に位置し、且つ第１のマスク１０の表面に対して内角が鈍角をなす第２のマスク１１を形成する第３工程と、圧電膜３上に導電性材料を第１端面と接するように積層する第４工程と、第１のマスク１０と第２のマスク１１とを除去して上部電極４を形成する第５工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】パッケージベースに対する圧電振動片の高さ方向の実装状態を精度良く検査することを可能とする圧電振動子の検査方法を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための圧電振動子の検査方法は、圧電振動子１０のパッケージ４０を構成する導電性を有するリッド３８および／またはパッケージベース１２に形成された検査用金属パターン２０と、圧電振動片２４に形成された金属パターン（一方の金属パターン３２ａ、他方の金属パターン３２ｂ）との間の抵抗値または検査用金属パターン２０と他方の金属パターン３２ｂとの間のコンデンサ容量Ｃ０を計測し、圧電振動子１０の良否判定を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ＣＩ値を従来以下に抑え、且つリフトオフ法による電極膜の剥離性の向上した音叉型屈曲水晶振動素子、及び、その音叉型屈曲水晶振動素子を搭載した水晶振動子や水晶発振器を提供することにある。
【解決手段】振動腕部の表主面と裏主面のどちらか一方の主面又は両面に少なくとも１つ第１の凹部が形成されており、更に第１の凹部内部の底面に少なくとも１つ第２の凹部が形成されている音叉型屈曲水晶振動素子、及びその音叉型水晶振動素子を搭載した水晶振動子並びに水晶発振器。 （もっと読む）

【課題】メンブレンの機械的強度を損なうことなく、圧電薄膜共振子のＱを向上させる。
【解決手段】圧電薄膜共振子１０は、基板１と、下部電極２と、圧電膜３と、上部電極４とを備え、上部電極４および下部電極２が対向する対向領域Ｔと外側との境界部分を跨ぐように対向領域Ｔの内側から外側にかけて空隙８が形成されており、空隙８は、圧電膜３の膜厚方向の一部に形成される。 （もっと読む）

【課題】バイアス電圧によるＭＥＭＳレゾネータの共振周波数の変動態様を制御することのできる共振回路を実現する。
【解決手段】本発明の共振回路３０は、基板と、該基板上に形成された固定電極、及び、該固定電極の少なくとも一部に対向する可動部を備えた可動電極を有するＭＥＭＳレゾネータ１０と、前記ＭＥＭＳレゾネータの第１の端子１０ａに接続された第１の入出力部３０ａと、前記ＭＥＭＳレゾネータの第２の端子１０ｂに接続された第２の入出力部３０ｂと、少なくとも前記第１の端子１０ａに電位Ｖｐを供給して前記ＭＥＭＳレゾネータの前記第１の端子と前記第２の端子の間にバイアス電圧Ｖｃを印加する電圧印加手段２０と、前記第１の端子１０ａと第１の入出力部３０ａの間に接続され、両端の電位差の変化で容量値が変化する可変設けられた結合容量Ｃｃ１と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】ＦＢＡＲを用いた弾性波デバイスにおいてデッドスペースを減らし、弾性波デバイスの小型化を可能にする。
【解決手段】弾性波デバイスは、基板１と、基板１上に設けられた下部電極２と、下部電極２上に設けられた圧電膜４と、圧電膜４上に設けられた上部電極６とを有し、上部電極６と下部電極２が圧電膜４を挟んで対向するメンブレン領域が、空隙９を介して基板１上に設けられて構成される圧電薄膜共振器を複数備え、複数の圧電薄膜共振器が一つの空隙を共有している。 （もっと読む）

【課題】 予定する振動周波数を得ることができる音叉型圧電振動子（２０）を製造することにある。
【解決手段】 音叉型圧電振動片（２０）は、表面と裏面とを有する基部（２９）と、この基部から所定方向に延びる一対の振動腕（２１）と、この一対の振動腕に形成された表裏面及び側面の励振電極（２３，２５）とを有する音叉型圧電振動片である。そして、振動腕の定常波の節（ｎｏｄｅ）の位置に、表裏面を貫通する第１貫通孔（４０）が形成されている。 （もっと読む）

【課題】各共振子の機械的品質係数を向上できてフィルタ特性を向上可能なＢＡＷフィルタおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＢＡＷフィルタは、支持基板１の一表面側に下部電極３１と上部電極３３との間に圧電層３２を有する複数個の共振子３が形成され、支持基板１に、各共振子３の下部電極３１における支持基板１側の表面を露出させる空洞１ａが形成されている。各共振子３は、支持基板１側に凸となる形で反って形に形成され、下部電極３１における空洞１ａ側の表面３１ａが凸曲面となっている。 （もっと読む）

【課題】各共振子の機械的品質係数を向上できてフィルタ特性を向上可能なＢＡＷフィルタを提供する。
【解決手段】単結晶基板からなる支持基板１の一表面側に下部電極３１と上部電極３３との間に圧電層３２を有する複数個の共振子３が形成され、支持基板１の上記一表面に、共振子３の下部電極３１における支持基板１側の表面を露出させる複数の断面逆台形状の空洞１ａがエッチング速度の結晶方位依存性を利用した湿式の異方性エッチングにより形成されている。また、各共振子３における各空洞１ａそれぞれの投影領域における中心部に対応する部位に、空洞１ａに連通するエッチングホール５が形成されている。各共振子３は、空洞１ａの投影領域内に圧電層３２が収まり且つ上記投影領域の外周線よりも外側に下部電極３１の外周線が位置している。 （もっと読む）

【課題】無線通信に利用可能な横振動モードを利用した圧電薄膜共振器を提供する。
【解決手段】円状の圧電薄膜１０２と、円状の圧電薄膜の上面、および下面で、かつ、円状の圧電薄膜の中心付記に形成された円形の電極と、円状の圧電薄膜の上面、および下面で、かつ、円形の電極を中心として同心状に形成された複数の円環電極、１０１ｕ、および１０１ｄ、とで構成され、円形の電極と複数の円環電極とは、それぞれ円板の端面方向に従い電極幅が狭くなるように形成され、圧電薄膜共振器は、拡がり振動の高次の振動モードが強制に励振されるよう電極配置、および支持される。 （もっと読む）

【課題】電極と振動子の対向面積を増大し、消費電力の低い電気機械共振器を提供する。
【解決手段】本発明は電気機械共振器の振動子の少なくとも2面、すなわち側面部、及び上面部の両面に固定電極を設置して振動を励起させることを特徴とする。主に固定電極の配置において、振動子の片側の側面、及び上面に電極を設置すると振動子の中心を回転軸として回転モーメントが働くことになる。本発明の固定電極配置によれば、製造方法を複雑にすることなく電極形成が可能となり、素子抵抗を改善するために必要な容量面積も増やすことができる。ねじり振動で共振させる電気機械共振器として最適な固定電極の配置を実現する。 （もっと読む）

【課題】オーバートーン技術を用いず、基本波及び高調波の少なくとも一つの周波数で共振することができ、しかも共振周波数を変更することができかつ従来技術に比較して小さい駆動電圧で励振できる共振器、それを用いた発振回路及びＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】基板１０上に電気的に絶縁されかつ少なくとも一個の固定端で固定された可動主ビーム３と、可動主ビーム３から延在するように形成された少なくとも一本の可動副ビーム４と、可動副ビーム４に近接するように設けられた少なくとも一個の励振電極５とを備えたＭＥＭＳ共振器が提供される。励振電極５を交流信号を用いて励振することにより、可動副ビーム４を静電気力により励振して振動させ、基本共振周波数及びその高調波周波数のうちの少なくとも一つの周波数で共振する。 （もっと読む）

【課題】 スプリアスを抑制するとともに高密度配置が可能な薄膜共振子、フィルタおよびデュプレクサを提供する。
【解決手段】 圧電体薄膜１５と、圧電体薄膜１５を挟み、かつ圧電体薄膜１５を介して対向するように配置される第１、第２電極１６，１７とを有する共振部２０を備える薄膜共振子であって、共振部２０の平面形状が略矩形状であり、共振部２０の少なくとも１つの辺を直線部と切り欠き部３０とで構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動周波数の調整範囲を拡大することを目的としている。
【解決手段】基部１６及び基部１６から基部１６の厚み方向に交差する方向に並んで延びる複数の腕部１８を含む基材１０であって、それぞれの腕部１８は、隣の腕部１８に対向する第１の側面１３及び第１の側面１３とは反対側を向く第２の側面１５を有し、第１及び第２の側面１３，１５の少なくとも一方が露出している露出領域３０を有する基材１０を用意する。露出領域３０をエッチングする。エッチングによって腕部１８の幅を減らして、複数の腕部１８の幅方向に関する曲げ剛性を低くする。 （もっと読む）