【課題】 水晶振動子（２０）の電極パターンの幅の狭い回路が静電気の放電反応により損傷されることを回避するために、静電気の放電反応により放電突起を介して空気中に静電荷を放電する放電保護機能（２３１、２５１）を有する水晶振動子を提供する。
【解決手段】 水晶基板（１０）と、この水晶基板の表面の所定の領域に配置された第一および第二の金属層（２３、２５）と、第一の金属層に形成されこの第一の金属層から第二の金属層へと形成された複数の放電突起（２３１，２５１）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】等価直列抵抗が小さく、等価インダクタンスが小さく、Ｑ値が高く、広い温度範囲に亘って周波数変化が少なく、周波数温度特性の設計範囲が広い、超小型のｘ板系縦モード水晶振動子を提案すること。
【解決手段】水晶結晶の薄板として切り出され、上記薄板の上面と下面に電極が設けられて振動部が形成され、上記電極間に交番電圧を印加することにより上記振動部が縦モード振動をするｘ板系縦モード水晶振動子であって、上記振動部にｎ本（ｎは自然数１，２，３・・・）のスリットが長手方向に設けられ、上記スリットによって上記振動部が、長手方向の両端部を除いて、幅方向で分割されて帯状の振動腕が形成されていることと、ｊ（ｊ＝１，・・・，ｎ＋１）番目の上記振動腕の幅方向の寸法をｗ_j とし、上記振動部の長手方向の寸法をｙ₀ とするとき、その寸法比Ｒ（＝ｗ_{j /} ｙ₀ ）が０＜Ｒ≦０．４であるｘ板系縦モード水晶振動子とした。 （もっと読む）

【課題】微細化に際しても電極の振動を抑制し、出力特性のばらつきを防ぎ、信頼性の高い振動子、これをもちいた電気機械共振器およびその製造方法を提供する。
【解決手段】振動子３と、前記振動子３と所定の微小ギャップを隔てて配設された対向電極７Ｔとを備え、前記振動子３と前記対向電極７Ｔとの間の静電容量の変化に基づいて、前記振動子３の機械的振動を電気信号として出力するように構成され、前記対向電極７Ｔが、半導体基板表面に絶縁層５を介して形成された外部接続用の電極端子７Ｐと一体的に形成されており、前記電極端子７Ｐおよび前記電極端子７Ｐと前記対向電極７Ｔとの連結部７Ｓが、その下層の前記絶縁層５を貫通して形成された貫通孔１１に充填された支持部１３によって固定された電気機械共振器を構成する。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値を向上することができる静電振動子を提供する。
【解決手段】機械振動子１０ａ，１０ｂの一方の接続部である端部１０ｃは、振動伝搬部１１を介して振動緩衝部１３に接続されている。一方、機械振動子１０ａ，１０ｂの他方の接続部である端部１０ｄは、振動伝搬部１２を介して振動緩衝部１４に接続されている。振動緩衝部１３は固定部１５に接続され、振動緩衝部１４は固定部１６に接続されている。機械振動子１０から伝搬する振動が振動緩衝部１３，１４で減衰し、固定部１５，１６の振動変位が抑制される。これによって、支持による振動エネルギーの損失が抑制されるので、高いＱ値を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】引き出し配線とに起因する下部電極で挟まれた構造に起因する寄生容量を低減し、共振器単体のＱ値を向上させる。
【解決手段】基板２と、基板上に配置された下部電極４と、下部電極上に配置された圧電膜５と、圧電膜上に配置された上部電極６と、上部電極、圧電膜および下部電極を被覆して形成された絶縁層間膜７と、下部電極と電気的に接続された下部引き出し配線９と、絶縁層間膜上に配置され上部電極と電気的に接続された上部引き出し配線８とを備え、圧電膜、上部電極および下部電極により共振子が構成される。上部電極の平面形状の領域は、圧電膜の平面形状の領域の範囲内に配置され、下部電極は、その平面形状の領域が上部引き出し配線の平面形状の領域とは重畳範囲を持たないように形成される。 （もっと読む）

【課題】周波数の温度依存特性を高精度に補正できる小型で安価なMEMS振動子を用いた発振器を提供する。
【解決手段】機械的に振動する出力用振動子と、機械的に振動する温度検出用振動子と、前記温度検出用振動子の共振周波数で発振して温度検出用発振信号を出力する温度検出用発振回路と、前記温度検出用発振信号の周波数に基づく補正信号を出力する温度補償回路と、前記補正信号に応じて前記出力用振動子の共振周波数を変動させる周波数変動手段と、前記出力用振動子の共振周波数で発振して発振信号を出力する出力用発振回路とを備える。 （もっと読む）

【課題】 超小型化し、高周波数化した場合でも特性が安定し、また高精度な周波数調整を行うことのできる圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 水晶振動板１は平板状のＡＴカット水晶振動素子からなり、Ｘ軸が長辺、Ｚ軸が短辺となる長方形形状となっている。また水晶振動板１の表裏面の中央領域には各々励振電極１１，１２が形成され、また各励振電極とつながる引出電極１１１，１２１が形成されている。対向する励振電極１１，１２により、両者が対向している領域を対向部ａとし、対向部ａの外側に励振電極が対向していない拡大部ｂを設けている。拡大部ｂの外周にさらに調整部ｃを形成している。この調整部に対して周波数調整を行う。 （もっと読む）

【課題】小型化を進める上で、温度特性が良好な圧電振動片と、圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料により形成された基部５１と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕３５，３６とを備えており、前記振動腕には、駆動電圧が印加される駆動電極としての励振電極３７，３８が形成されていて、前記励振電極が下地層であるクロム層と、電極層としての金層を含んでおり、前記クロム層の膜厚が３００Å以下であり、前記金層の膜厚が５００Å以下とされている
圧電振動片である。 （もっと読む）

【課題】周波数インピーダンス特性がスプリアスの影響を受けにくい圧電薄膜デバイスを提供する。
【解決手段】圧電薄膜共振子１は、支持基板１１の上に、接着層１２、下面電極１３、圧電体薄膜１４及び上面電極１５をこの順序で積層した構造を有している。上面電極１５の駆動部１５１と下面電極１３の駆動部１３１とは、圧電体薄膜１４を挟んで対向している。駆動部１５１及び１３１は、細長の２次元形状を有しており、その長手方向の大きさが短手方向の大きさの２倍以上、より望ましくは４倍以上、さらに望ましくは１０倍以上となっている。 （もっと読む）

【課題】薄膜圧電バルク波共振器において、共振周波数の微調整を可能にする低コストな薄膜圧電バルク共振器を提供する。更に同一基板上に形成することが可能な薄膜圧電バルク波共振器を用いたフィルタにおいて、周波数特性を格段に向上させた低コストなフィルタを提供する。
【解決手段】圧電薄膜と、該圧電薄膜の少なくとも一部を挟んで存在する第一の金属電極膜と第二の金属電極膜とを含む積層構造を具備し、第一の金属電極膜は、第二の金属電極膜と対向する電極面に形成され少なくとも該第一の金属電極膜の厚さに相当する深さの複数の穴を有し、上下電極層と圧電薄膜の厚さの和をｈｔとしたとき、第一の金属電極膜の電極面における被膜率σが、１．２８ｈｔのピッチ毎に、０＜σ＜１の条件を満たす薄膜圧電バルク波共振器。 （もっと読む）

【課題】小型化を進める上で、周囲温度の変化に対する特性が良好な圧電振動片と、圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料により形成された所定長さの基部５１と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕３５，３６と、前記基部の前記一端側より前記所定距離だけ離れた他端側から幅方向に延長され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる支持用アーム６１，６２とを備え、前記振動腕の長さをＬ１とし、前記基部の長さをＬ２とした場合に、Ｌ２／Ｌ１が１０．７％よりも大きくなるようにした、圧電振動片である。 （もっと読む）

【課題】他の電極膜や導電性接合材との電気的接続の信頼性に優れている圧電振動子を提供する。
【解決手段】対向し合う第１，第２の主面８ａ，８ｂとを有し、一方端側に第１の端面８ｃ、他方端部側に第２の端面８ｄを有する圧電体８において、第１の主面８ａに第１振動電極９が形成されており、第２の主面８ｂにおいて第２の振動電極１０が形成されており、第１，第２の振動電極９，１０が圧電体８を介して重なり合う部分において圧電振動部が構成されており、第１の振動電極９が、圧電振動部から圧電体８の一方端側に延ばされており、第２の振動電極１０が圧電振動部から圧電体８の他方端部側に向って延ばされており、第１，第２の振動電極９，１０の内少なくとも一方の振動電極の端縁９ａ，１０ａが、圧電体８の端部には至らないように振動電極９，１０が形成されている，圧電振動子１。 （もっと読む）

【課題】小型に構成でき、比較的低い周波数を安定して生成できる圧電振動片を提供すること。
【解決手段】ヤング率が小さく、かつ周波数−温度特性が良好な基材により形成した基部２１と、この基部と同じ材料で一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる少なくとも一対の振動腕２２，２３とを備え、該振動腕の表面の両側縁にそれぞれ形成され互いに異極となるようにされた第１の電極２６，２７と、該第１の電極の表面に形成した圧電薄膜２４，２５と、該圧電薄膜を挟んで、前記第１の電極と対となるように前記圧電薄膜の表面に形成された第２の電極２８，２９とを有する圧電振動片。 （もっと読む）

【課題】共振部の共振特性に影響を与えることなく電極における電気抵抗の低減を図れる薄膜圧電共振器及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】下部電極２と、上部電極３と、前記下部電極と前記上部電極との間に設けられた圧電体膜４と、を備え、前記下部電極及び前記上部電極の少なくともいずれかは、中空部５、６を有することを特徴とする薄膜圧電共振器を提供する。 （もっと読む）

【課題】薄板水晶基板からフォトエッチング技術により複数個を同時に作成する音叉型屈曲水晶振動片の特性バラツキを低減するための構造及び製造方法の提供。
【解決手段】音叉型屈曲水晶振動片１は、Ｚ´板の薄板水晶基板からなり、前記音叉型屈曲水晶振動片は左振動腕部２と右振動腕部３が基部１ａと一体をなし、左振動腕部２と右振動腕部３の表裏のいずれか一方の面には少なくとも一本の逆台形もしくは略Ｖ字状からなる深溝６，７を有し、この深溝６，７の深さは音叉型屈曲水晶振動片１の厚みに対して５０％から９０％の深さからなり、左振動腕部２の深溝６を有する内部とその反対面に形成された電極膜は右振動腕部７の両側面電極と結線されて一端子をなし、左振動腕部２の両側面電極は右振動腕部３の深溝７を有する内部とその反対面に形成された電極膜と結線されて一端子とし、その二端子間に交番電圧を印加することで屈曲振動するように構成。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値を向上させると共にパッキング密度も改善した圧電式共振子構造、およびそれを利用した電気フィルタを提供する。
【解決手段】電極の平面形状を、少なくとも２つの凸状の曲線辺および少なくとも１つの直線辺を有するように構成し、厚み縦振動モード（ＴＥモード）が、前記層の厚みに沿って伝搬するようになっている。 （もっと読む）

【課題】低損失で、ＥＳＤ破壊に対する耐性の高いフィルタを提供すること。
【解決手段】本発明は、基板と、基板上に設けられた下部電極と、下部電極上に設けられた圧電膜と、圧電膜を挟み前記下部電極と対向する部分を有するように圧電膜上に設けられた上部電極と、を有する複数の圧電薄膜共振器を具備し、複数の圧電薄膜共振器のうち一部（Ｓ１１、Ｓ１４、Ｐ１１、Ｐ１４）は、圧電膜の外周の少なくとも一部が上部電極と下部電極とが対向する領域の外周より外側に位置する第１共振器（４１）であり、複数の圧電薄膜共振器のうち他の一部（Ｓ１２、Ｓ１３、Ｐ１２、Ｐ１３）は、圧電膜の外周の少なくとも一部が上部電極と下部電極とが対向する領域の外周と略一致または内側に位置する第２共振器（４２）であることを特徴とするフィルタである。 （もっと読む）

【課題】比帯域幅を大きく出来る圧電薄膜共振器の構造を提供する。
【解決手段】基板１と、基板１上に配置された下部電極層２と、下部電極層２の上に配置された下部圧電層３と、下部圧電層３の上に配置されたすだれ状電極４と、すだれ状電極４の上に配置された上部圧電層５と、上部圧電層５の上に配置された上部電極層６とを備えたことを特徴とする圧電薄膜共振器。 （もっと読む）

【課題】通過帯域に生じるリップルを低減することが可能なフィルタおよび分波器を提供すること。
【解決手段】本発明は、基板（１０）と、基板上に設けられた下部電極（１２）と、下部電極上に設けられた圧電膜（１４）と、圧電膜上に設けられた上部電極（１６）とを有する複数の圧電薄膜共振子を具備し、複数の圧電薄膜共振子の少なくとも１つの圧電薄膜共振子は、前記圧電膜を挟み前記下部電極と前記上部電極との対向する部位の形状が、他の圧電薄膜共振子に対しスプリアスの発生周波数が異なるような形状であることを特徴とするフィルタおよび分波器である。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜の膜厚を薄くして寄生容量を増大させなくとも、上部電極の抵抗値の増大を抑制できるＢＡＷ共振器を提供する。
【解決手段】基板１０と、基板１０の上面１１に設けられたミラー多層膜２０と、ミラー多層膜２０の上面２１に設けられた下部電極３０と、下部電極３０の上面３１に設けられた圧電膜４０と、上面５１が圧電膜４０の上面４１と面一になるように下部電極３０の上面３１に設けられた絶縁膜５０と、絶縁膜５０の上面５１及び圧電膜４０の上面４１に設けられた上部電極６０とを備える。 （もっと読む）