【課題】 スプリアス振動を抑制した、通過帯域特性の良好な３ポール型のモノリシック水晶フィルタを提供する。
【解決手段】 水晶振動板１は厚みすべり振動で駆動する矩形のＡＴカット水晶振動板であり、その表裏面には対向して平面視矩形形状の励振電極が形成されている。当該励振電極は、矩形状の励振電極１２，１３，１４が長辺方向に直列的に形成されている。また、水晶振動板の表面においては当該励振電極１２，１３，１４に対応した矩形状の励振電極１１が形成され、表裏で対向した電極（対向電極）を形成している。対向電極は長辺から４度斜め上方に傾斜（傾斜角度θが４度）している。 （もっと読む）

【課題】共振周波数の温度係数が小さく、且つリリースエッチングでのエッチングに適合する材料を用いて製造することができること。
【解決手段】温度補償型薄膜バルク音響共振器（ＦＢＡＲ）デバイスであって、ＦＢＡＲスタックを備え、該ＦＢＡＲスタックは、温度係数を有する共振周波数によって特徴付けられるＦＢＡＲであって、該ＦＢＡＲは、両側にある平面電極と、該電極間にある圧電素子とを有し、該圧電素子は、前記共振周波数の前記温度係数が少なくとも或る程度依存する温度係数を有する、ＦＢＡＲと、ドープされた二酸化珪素を含む温度補償層と、を備える、ＦＢＡＲデバイス。 （もっと読む）

【課題】小型ＡＴカット水晶振動素子の直列共振子抵抗を改善すると共に共振周波数近傍
の不要振動を抑圧する手段を得る。
【解決手段】Ｘ軸方向を長手方向、Ｚ’軸方向を短手方向とし、前記長手方向の両端を長
軸対短軸比が略１．２６である半楕円状に形成した水晶板と、該水晶板の両主面に該水晶
板の形状と相似形に形成した電極と、を備えた水晶振動素子を構成する。 （もっと読む）

【課題】部品点数を減らしたＦＳＫ変調器を提供する。
【解決手段】圧電体平板上に形成された２個の振動状態を発生できる厚み滑り振動子と、増幅器とＳＷ回路とからなるＦＳＫ変調器において、前記厚み滑り振動子は、圧電体平板の主表面に対抗して形成された２対の主電極と副電極を有し、かつ前記主電極と前記副電極の極性を前記ＳＷ回路にて同符号として発振器の増幅器に接続して、第１の発振周波数ｆＨを発生し、また、前記主電極と前記副電極の極性を前記のＳＷ回路にて逆符号として発振器の増幅器に接続して、前記第１と若干異なる第２の発振周波数ｆＬを発生する構成とした。 （もっと読む）

【課題】小型化を図るのに適する圧電薄膜共振子、優れた共振特性を有する圧電薄膜共振子、及びこれらにより構成されるフィルタを提供する。
【解決手段】例えば本発明のフィルタは、基板１１０上の積層共振体１２０と、積層共振体１２０および基板１１０により囲まれてなる空隙部１１０ａとを含む圧電薄膜共振子１００Ａが複数接続されたものである。積層共振体１２０は、基板１１０側の第１面およびこれとは反対の第２面を有する圧電膜１２３と、前記第１面に接する部位を有して空隙部１１０ａに部分的に露出する電極膜１２１と、前記第２面に接する部位を有する電極膜１２２とからなる。積層共振体１２０にて圧電膜１２３を介して両電極膜１２１，１２２が重複する領域は励振部を構成し、励振部は電極膜１２１側で空隙部１１０ａに露出する。空隙部１１０ａの励振部に接する面積は、空隙部１１０ａの積層共振体１２０に接する面積より小さい。 （もっと読む）

【課題】安価に製造でき、低背化された圧電振動子を提供する。
【解決手段】圧電振動子１０は、圧電振動片１２をパッケージ３０に搭載した構成である。圧電振動片１２は、一方の面１４を平らに形成し他方の面１６を凸型にしたプラノコンベックスまたはプラノメサ形状になっている。また圧電振動片１２は、一方の面１４を下側、すなわちパッケージベース３４の底面３８に向けてパッケージ３０に搭載されている。なおパッケージベース３４の底面３８は、平らに形成されている。そして圧電振動片１２は、一方の面１４と他方の面１６を識別するために、各面１４，１６に形成される電極パターンが異なる形状になっている。 （もっと読む）

【課題】音叉型圧電振動片の直列共振抵抗値を低く抑えて音叉型圧電振動片の特性を良好にする。
【解決手段】水晶振動片２の寸法に関して、基部２３の一端面２４と対応する他端面２９から第１，２脚部２１，２２の突出端面２１１，２２１までの全長距離Ｌ１は、１５００μｍ以下に設定されている。基部２３の一端面２４から他端面２９までの基部全長距離Ｌ２が、１５０〜３５０μｍに設定されている。第１，２励振電極５１，５２の基部２３に形成された部分５７，５８の一端面２４から他端面２９に向かう基部側励振電極距離Ｌ３が、基部全長距離Ｌ２に対して０．２〜０．８の割合の寸法で設定されている。基部２３のＸ軸方向の基部全幅距離Ｗが、５００〜７００μｍに設定されている。 （もっと読む）

【課題】横モードの音波による定在波の発生を最小限に抑えることで共振特性の向上を図ることが可能な薄膜バルク音響共振器を提供することを目的とする。
【解決手段】第１電極２と第２電極４との間に圧電体膜３を狭持してなる共振部Ａを備えた薄膜バルク音響共振器において、共振部Ａが楕円の一部を直線Ｌで切り欠いた平面形状で構成されている。直線Ｌは、楕円の短軸および長軸の少なくとも一方、好ましくは両方と交差し、楕円の中心を通る。 （もっと読む）

【課題】 共振周波数の微調整が可能で、しかも、電極形成後であっても周波数調整を行うことが可能な圧電薄膜振動子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の圧電薄膜振動子は、一対の電極１１，１３間に圧電体層１２が配置されてなる積層構造１０を有し、前記一対の電極で与えられる電界により前記積層構造内に積層方向の音響振動が生成される圧電薄膜振動子において、一方の前記電極１３の形成された電極形成領域における前記圧電体の厚みと、前記一方の電極１３の形成されていない電極非形成領域１３ａにおける前記圧電体層の厚みとが異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 デバイスの小型化を妨げることなく、周波数可変感度を良好にすることができる圧電振動片と圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】 圧電材料により形成された励振部と、該励振部に形成した駆動用の電極である励振電極３８−１，３８−２とを備える圧電振動片３２であって、前記励振電極の表面に設けた絶縁膜１１−１，１１−２と、該絶縁膜の上に設けた容量付加のための電極１２−１，１２−２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 プロセスの変動による回路の位置ずれが生じても、反共振周波数の変動が生じない構造を有する薄膜圧電共振器およびフィルタ回路の実現。
【解決手段】 基板と、基板を貫通するキャビティ１４と、キャビティを覆うように基板の主面上に設けられた下部電極１１と、その上に設けられた圧電体膜１２と、キャビティと部分的に重なるように圧電体膜上に設けられた本体部１３ａと、本体部に接続し一部分がキャビティに重ならずかつ下部電極に重なるように圧電体膜上に設けられた突起部１３ｂと、本体部の突起部と反対側の圧電体膜上に設けられた引き出し部１３ｄと、本体部と引き出し部とを接続し、一部分がキャビティに重ならずかつ下部電極に重なるように圧電体上に設けられた接続部１３ｃとを有する上部電極１３とを備え、突起部と接続部の寄生容量部１５のサイズが同じである構造により位置ずれによる寄生容量の実質的変化が無い。 （もっと読む）

【課題】 共振特性を向上しつつ小型化を実現することができる薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】 薄膜圧電共振器１において、空洞２Ｈを有する基板２と、空洞２Ｈ上の第１の電極５と、第１の電極５上の圧電体６と、圧電体６上の第２の電極７と、を備え、第２の電極７の周縁の一部７１が空洞２Ｈに重複配置され、この第２の電極７の周縁の一部７１の端面とその底面とがなす内角θを３０度以下に設定する。 （もっと読む）

【課題】 空洞の破壊を防止し、共振周波数を高精度に調整できる封止構造を備えた薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】 表面に空洞を有する基板１０と、基板１０上から空洞３０上に延びる下部電極１２と、下部電極１２上に設けられた圧電膜１４と、下部電極１２と対向し圧電膜１４上に配置され、更に圧電膜１４上から基板１０上に延びる上部電極１６と、下部電極１２及び上部電極１６が対向する領域で規定される共振部を内側に含み、空洞３０から延在する開口部４２が外側に位置するように基板１０上に設けられ、共振部を封止する封止部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】共振エネルギーの共振器外への分散を抑えた、品質係数の高い音響共振器を提供する。
【解決手段】基板、前記基板に隣接しかつ外側周辺を有する第１の電極、前記第１の電極に隣接する圧電層、前記圧電層に隣接しかつ外側周辺を有する第２の電極を備えている音響共振器において、前記第１の電極および前記第２の電極の一方の周辺に、音響インピーダンスが異なる領域を交互に配列させた縁部領域もしくは枠を形成する。例えば、突出もしくは突入する部分を、リフトオフ法により電極に形成する。 （もっと読む）

【課題】 従来の圧電振動子では、圧電振動子の小型化により、電極が小さくなり、電界が小さくなるため、等価直列抵抗Ｒが大きくなるという問題があった。
【解決手段】 本発明の圧電振動子１は、振動腕部２、３と、基部４とから構成されている。振動腕部２、３には、貫通孔５、６が形成され、貫通孔５、６の内壁には電極が形成されている。そして、貫通孔５、６には埋め込み部材２７、２８が形成されている。この構造により、圧電振動子１の小型化により振動腕部２、３の幅Ｗ１が狭くなった場合でも、振動腕部２、３の厚みを利用して電極形成領域を確実に確保することができる。また、振動腕部２、３における機械的強度を維持することができる。その結果、圧電振動子１の小型化を実現しつつ、等価直列抵抗Ｒも小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】デバイス構造が、犠牲材料に対してエッチング選択性の低い材料を組み込むことができる薄膜バルク音響共振器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】広く浅い第１の部分および狭く深い第２の部分を有する空洞を画定している基板を設ける。空洞の第１の部分は、基板の前面から基板内へ延びており、犠牲材料で充填されている。第２の部分は、第１の部分から基板内へより深く延びている。デバイス構造を、犠牲材料上に製造する。リリースエッチャントを、基板の背面から空洞の第２の部分を介して導入し、デバイス構造の下に位置する犠牲材料を空洞の第１の部分から除去する。基板の背面から空洞の第２の部分を介してリリースエッチャントを導入することによって、デバイス構造の下に位置する犠牲材料を空洞の第１の部分から除去することで、デバイス構造がリリースエッチャントに曝されることなくリリースエッチングを行うことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、薄膜形成技術を用いて形成された圧電素子を備えた圧電薄膜振動子およびその製造方法、並びにそれを用いた駆動装置および圧電モータに関し、低コストで良好な圧電特性が得られる圧電薄膜振動子およびその製造方法、並びにそれを用いた駆動装置および圧電モータを提供することを目的とする。
【解決手段】たわみ進行波を発生させるレゾネータ４と、レゾネータ４上に形成された下部電極３と、下部電極３上にエピタキシャル成長により形成された圧電薄膜２と、圧電薄膜２上に形成された上部電極部１および上部電極部１１とを有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 信頼性が高く、簡単なプロセスで作成でき、低コストな薄膜バルク音響波共振子を提供する。
【解決手段】 基板11と、基板11上に配置され、圧電体薄膜14および圧電体薄膜14に上下から電圧を印加するための上部電極15および下部電極13からなる共振部とを具備する薄膜バルク音響波共振子において、上部電極15は、その外形が平面視で下部電極13の外形の内側に位置しているものである。上部電極の外形が平面視で下部電極の外形の内側に位置していることから、下部電極，圧電体薄膜，上部電極のそれぞれを形成する度にパターニングしなくても、下部電極から上部電極までを一気に形成してからパターニングすることで薄膜バルク音響波共振子を作製することができるので、製造にかかる時間が大幅に短縮されると同時に、パターニングの工程中に生じる破損やごみの付着などのトラブルを克服することができるので生産性が高いものとなる。 （もっと読む）

【課題】 特性を改善するために直列腕共振子及び／または並列腕共振子に電気的抵抗が付加された構造を備えたラダー型フィルタであって、部品点数の低減、組立工程の簡略化及びコストの低減を果たし得る構造を備えたラダー型フィルタを提供する。
【解決手段】 少なくとも１個の直列腕共振子及び少なくとも１個の並列腕共振子を有するラダー型フィルタであって、直列腕共振子及び並列腕共振子の内少なくとも１つの共振子が、第１，第２の主面２ａ，２ｂを結ぶ厚み方向に分極された圧電板２と圧電板２の第１，第２の主面２ａ，２ｂに形成された第１，第２の共振電極３，４とを有し、第２の主面２ｂにおいて外側に設けられた環状の第２の共振電極４と、第２の共振電極４の内側に設けられた端子電極５とが抵抗膜６により接続されている圧電共振子である、ラダー型フィルタ。 （もっと読む）

【課題】 簡単な手法により、他の特性を劣化させることなく電気機械結合係数の向上を図り、電気機械結合係数の大きな圧電薄膜共振子およびフィルタを提供すること。
【解決手段】 本発明は、基板（１０）上に形成された下部電極（１２）と、下部電極（１２）上に形成された圧電膜（１４）と、圧電膜（１４）上に形成された上部電極（１６）と、を具備し、上部電極（１６）の膜厚は下部電極（１２）の膜厚より厚いことを特徴とする圧電薄膜共振子およびそれを用いたフィルタである。 （もっと読む）