【課題】Ｑ値を向上させることが可能な共振装置を提供する。
【解決手段】共振装置は、支持基板１と、支持基板１の一表面側に形成された下部電極３１と、下部電極３１における支持基板１側とは反対側に形成された圧電層３２と、圧電層３２における下部電極３１側とは反対側に形成された上部電極３３とを備える。圧電層３２における下部電極３１側とは反対側に当該圧電層３２のうち上部電極３３に接する共振領域３２ａの面積を規定する開孔部４ａを有する絶縁膜４が形成され、上部電極３３が圧電層３２の共振領域３２ａ上と絶縁膜４上とに跨って形成され、上部電極３３のうち絶縁膜４上に形成されて共振領域３２ａの周囲領域に重なる周囲電極部分３３ｂに他の部位に比べてばね定数の小さな撓み領域３３ｄが形成されている。 （もっと読む）

【課題】設計・製造を容易にして振動特性を良好に維持した２回回転Ｙカット板からなる水晶振動子を提供する。
【解決手段】Ｚ′軸及び前記Ｘ′軸からそれぞれγ度傾斜して互いに直交する軸を応力感度零軸とし、応力感度零軸の互いに直交する中心から放射状に分割される４つの領域に強勢な振動変位を有する２回回転Ｙカット板からなる水晶振動子において、応力感度零軸の互いに直交する中心部の厚みを大きくし、中心部から前記水晶片の外周部に向かって四角錐状とする稜線部Ｐを形成し、応力感度零軸間の４つの領域における、互いに直交する中心から各４つの領域を二等分する中央領域の垂直方向の断面厚みを大きくし、中央領域から両側となる応力感度軸に向かって徐々に厚みの小さくなる傾斜面を形成した構成とする。 （もっと読む）

【課題】特性ばらつきが抑制され、性能が改善されたマイクロメカニカル共振器を提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル共振器１００は、基板２と、フレーム部４と、電極６とを備える。フレーム部４は、基板２上に設けられる第１、第２の端部１０，１２と、第１、第２の端部１０，１２の間で振動可能に支持される共振ビーム１４とを有する。電極８は、基板２上に支持され、共振ビーム１４の両端部の間に位置する部分に対向して共振ビーム１４に対して静電気力を及ぼす。電極８の共振ビーム１４に対向する第１の面には凹凸が形成される。好ましくは、共振ビーム１４の電極８に対向する第２の面には凹凸が形成される。 （もっと読む）

【課題】上面及び下面にそれぞれ第１〜第４及び第５〜第８の電極が形成された圧電薄膜を有する圧電振動装置であって、引き出し配線の構造を簡略化することを可能とされている圧電振動装置を得る。
【解決手段】基体２から浮かされた圧電振動部３において、圧電薄膜４の上面に第１〜第４の電極１１〜１４が、下面に第５〜第８の電極１５〜１８が形成されており、第１，第３，第６，第８の電極が共通接続されており、第２，第４，第５，第７の電極が共通接続されており、圧電薄膜の上面において、第１，第３の電極を電気的に接続する上面側短絡部１９が設けられており、下面において、第６，第８の電極を電気的に接続する下面側短絡部２０が設けられている、圧電振動装置１。 （もっと読む）

【課題】簡単な素子構造で広帯域フィルタを実現することの可能な電気機械素子を提供する。
【解決手段】振動可能に形成された圧電体膜２１と、３つの電極（対向電極２２、入力電極２３、出力電極２４）とを備える。入力電極２３および出力電極２４は圧電体膜２１の上面に互いに別個独立に設けられ、対向電極２２は圧電体膜２１下面に設けられている。圧電体膜２１は、共振周波数と反共振周波数とを有する共振モードで共振振動するが、入力電極２３と出力電極２４との間に生じる寄生容量が、入力電極２３から圧電体膜２１を介して出力電極２４に繋がる共振回路に直列に繋がるので、反共振周波数が共振周波数から十分に離れている。これにより、例えば、第１の電気機械素子１の共振周波数を互いにわずかに異ならせたものを並列接続するだけで、広帯域フィルタを実現することができる。 （もっと読む）

【課題】１ＧＨｚ以上の共振周波数を出力可能な極薄の振動板を備えた圧電振動素子でありながら、振動板上に形成する励振電極の形状、配置方向を工夫することによって、インハーモニックスプリアスを可能な限り抑圧して目的とする共振周波数を得ることができる。
【解決手段】振動板４と、環状部５と、を備えることにより、少なくとも一方の主面側に凹陥部３を形成した圧電基板２と、振動板の表裏両面に夫々形成した励振電極１０ａ、１０ｂと、リード電極１１ａ、１１ｂと、を備えた圧電振動素子１において、振動板の表裏両面上に夫々位置する２つの励振電極は互いに交差する直線状の細幅帯状電極であり、各励振電極は夫々２つの結晶軸と直交しない斜め方向へ延在し、両励振電極の交差部を励振部１５とし、励振電極は全長に渡って同一幅を有し、且つ幅は同一でない。 （もっと読む）

【課題】特性ばらつきが抑制され、高信頼性が確保できるマイクロメカニカル共振器およびその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル共振器１００は、高誘電体基板２と、フレーム部４と、電極６，８とを備える。フレーム部４は、端部１０，１２と、端部１０，１２の間で振動可能に支持される共振ビーム１４とを有する。電極６は、共振ビーム１４に対して静電気力を及ぼすための対向部１６，１８と、対向部１６，１８を支持する脚部２０とを有する。フレーム部４および電極６，８は単結晶シリコンで形成される。好ましくは、脚部２４の共振ビーム１４に対向する側の面は、対向部２２の共振ビーム１４に対向する面よりも共振ビーム１４から離れる方向に後退して形成される。 （もっと読む）

【課題】 製造時における音叉腕部や溝部の寸法ズレ等が生じた場合であっても、電界効率の向上及び等価直列抵抗の改善を図ることができるとともに、安定した周波数特性を得ることのできる小型の音叉型屈曲振動子を提供することである。
【解決手段】 音叉基部２２と、この音叉基部２２から平行して延びる一対の音叉腕部２３，２４と、この音叉腕部２３，２４の表面を長手方向に凹設した溝部２５，２６とを備えた音叉型屈曲振動子２１において、前記溝部２５，２６には、長手方向に沿って前記音叉基部２２から延びる補強壁部３３を形成した。 （もっと読む）

【課題】横モードにおけるスプリアスを抑制し、且つ、小型化可能な圧電薄膜共振子およ
びその製造方法を提供する。
【解決手段】バルク音波共振器１０では、液滴吐出用導電材料により略直方形に形成され
た頂部電極５は、外周の二組の対向する二辺のうち、一方の対向する二辺のそれぞれの端
面が、直線的でない不規則な略鋸歯形状を有して形成されている。これにより、略鋸歯形
状の端面のある一点から出た横モードの音波は不規則な方向に伝搬され、対向する辺の端
面も略鋸歯形状であるために反射される音波の方向も不規則になり、同じ長さの共振経路
を有する伝搬経路はほとんど存在しない。従って、高レベルな縮退が生じることなく、横
モードのスプリアスを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】段差部に引出電極を有する圧電振動片を採用した場合であっても、周波数調整時に断線の虞を生じさせる事の無い圧電デバイスの周波数調整方法を提供する。
【解決手段】励振電極が形成された振動部と、入出力電極が形成された周縁部との間に段差部を備え、前記段差部を跨いで前記励振電極と前記入出力電極とを電気的に接続する引出電極が形成され、厚み滑り振動を主振動とする圧電振動片における前記励振電極を、前記圧電振動片をパッケージベースに搭載した後にエッチングすることで成す周波数調整方法であって、少なくとも、前記振動部に楕円形状に形成されるエネルギー閉じ込め領域の外形形状に沿う曲線のうち、前記励振電極の周縁部において前記引出電極が接続された部位に最も近接する部位に対して定められる接線よりも、前記エネルギー閉じ込め領域側に位置する励振電極をエッチング領域としてエッチングすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高周波化に伴う小型化と広帯域化を両立させ、信頼性を維持して生産性を高めた表面実装用水晶フィルタを提供する。
【解決手段】一主面に入出力電極４ａ及び４ｂを他主面に共通電極５を形成した水晶片１と、前記水晶片１を収容する凹部を有した容器本体２と、前記容器本体２を封止するカバー３とを備え、前記入出力電極４ａ及び４ｂの間隙部と対向する前記共通電極５の中央部には周辺部よりも高さの高い周波数調整体を有する表面実装用水晶フィルタにおいて、前記周波数調整体は少なくとも前記水晶片１が前記容器本体２に収容される以前の前記入出力電極４ａ、４ｂ及び共通電極５の形成時に形成された負荷電極７を有した構成とする。 （もっと読む）

【課題】従来の実施の形態に関わる圧電素体について、分極するとき近接する部分の電極からスパークが生じ圧電素体に亀裂が発生する問題がある。このため分極時の歩留まりが下がったり印加電圧を下げ分極時間が長くなるため生産性が下がるためコストを上がる。更にスパークを抑えるため電極間の距離をあける事が必要で性能を下げてしまっている。
【解決手段】電極が近接する部分の形状を丸みをもたせた平行なギャップを設ける事で分極時の先端放電現象を抑え、スパークしにくくし圧電素体に亀裂が発生することを防止する。 （もっと読む）

【課題】スプリアスの抑制された信頼性の高い共振器応答が得られ、且つ、比較的製作の容易な薄膜バルク波共振器及びこれを用いた電子部品を提供する。
【解決手段】薄膜バルク波共振器１１は、基板２０の上に形成された下部電極２１、圧電薄膜２２、上部電極２３の積層体２５と、基板２０の上面と下部電極２１との間に形成された空隙部２４と、を備え、上部電極２３の表面には、多数の調整孔２３ｃが設けられており、これらの調整孔２３ｃは、いずれの調整孔２３ｃについてもその調整孔２３ｃ（基準孔３１）と当該調整孔に最も近い調整孔２３ｃ（隣接孔３２）とを結ぶ直線及びその延長線（通過線３３）上において規則的な調整孔２３ｃの配列パターンが存在しないように配置されている。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜共振子の反共振周波数でのＱ値を改善し、低損失で高性能なフィルタを提供すること。
【解決手段】本発明は、基板１０と、基板１０上に設けられた下部電極１２と、下部電極１２上に設けられた圧電膜１４と、圧電膜１４を挟み下部電極１２と対向する部分を有するように圧電膜１４上に設けられた上部電極１６と、を有する複数の圧電薄膜共振器を具備し、複数の圧電薄膜共振器はラダー型に設けられ、複数の圧電薄膜共振器のうち並列腕に設けられた並列共振器Ｐは、圧電膜１４を挟み下部電極１２と上部電極１６とが対向する部分（共振部２０）が、軸の長さ比の異なる２つの楕円が１つの軸を共有することにより連結した形状をしているフィルタである。 （もっと読む）

【課題】圧電体薄膜の膜厚の変動があっても圧電薄膜共振子が副共振の影響を受けないようにする。
【解決手段】圧電薄膜共振子１は、支持基板１１に支持された圧電体薄膜１５の両主面に下面電極１４及び上面電極１６を形成し、圧電体薄膜１５を挟んで下面電極１４及び上面電極１６を対向させた構造を有する。導電体薄膜１６０１に導電体薄膜１６０２を付加して部分的に膜厚を厚くした上面電極１６は、自由振動領域１９２において圧電体薄膜１５の膜厚の分布を相殺する膜厚の分布を有する。このような膜厚の分布を有する上面電極１６を採用すれば、圧電薄膜共振子が複数の共振周波数で共振することを防止できるようになり、圧電薄膜共振子１が副共振の影響を受けにくくなる。 （もっと読む）

【課題】エッジモード圧電振動片の周波数を有効に調整する。
【解決手段】エッジモード水晶振動片２１の励振電極２４ａ，２４ｂを形成した長手方向端部２３側の、表面に誘起電荷が生じる振動領域の略全面に、水晶よりも質量密度が大きいＡｕ等の金属膜２８，２９からなる錘部を励振電極及び配線２６ａ，２６ｂから電気的に分離させて形成する。水晶素子片２２は、金属膜により振動領域における見掛け上の質量密度が増大し、水晶振動片２１の周波数が低い方向に変動する。金属膜の膜厚を制御し又は金属膜をレーザ照射により部分的に削除することにより、水晶振動片の励振効率を変化／劣化させることなく、その周波数を調整できる。金属膜は、励振電極等のパターニングと同時に又はそれとは別に形成される。 （もっと読む）

【課題】外部からの衝撃に強く、かつ、低いＣＩ値を実現する音叉型振動片および音叉型振動子を提供する。
【解決手段】基部１８と、第１および第２の振動腕１１と、第１および第２の振動腕１１を挟み、かつ、基部１８に接続された支持枠２８と、を有する音叉型振動片１０であって、支持枠２８の基部１８との接続部に近い領域において、導電性接着剤を介してマウント電極に接続される第１の励振電極３１が形成され、支持枠２８の第１および第２の振動腕１１を挟む領域および第１および第２の振動腕１１よりも第１の方向に位置する領域の少なくとも一方の領域において、導電性接着剤を介してマウント電極に接続される第２の励振電極２９が形成され、第１および第２の振動腕１１はそれぞれ、溝１４，１５と、溝１４，１５に形成された溝電極１３と、側面電極と、が形成され、溝にはタイバー１６が形成され、基部１８には、縮幅部１７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】エッジモード圧電振動片の励振効率を改善し得る電極構造を提供する。
【解決手段】エッジモード水晶振動片２１は、一方の長手方向端部２３の表裏各面に誘起電荷分布の＋電荷領域に対応する形状の第１、第４励振電極２４ａ、２５ｂと−電荷領域に対応する形状の第２、第３励振電極２４ｂ、２５ｂとが形成される。第１励振電極と第４励振電極とを同極に、第２励振電極と第３励振電極とを同極でかつ第１及び第４励振電極とは異極に接続し、対向する各対の励振電極間に所定の電流を印加して、水晶振動片の厚さ方向にかつ各対同士で逆向きの電界を発生させ、エッジモードの振動を行う。浮遊電極を有する従来の水晶振動片に比して、同じ厚さの水晶素子片で電極面積が２倍になるので電界の強さが増大し、水晶振動片の励振効率が大幅に増大しかつ安定した振動が得られる。 （もっと読む）

【課題】生産性良く製造できる薄型の音叉型振動片および音叉型振動子を提供する。
【解決手段】基部１８と、基部１８から第１の方向に延びる第１および第２の振動腕１１と、第１および第２の振動腕１１を挟み、かつ、基部１８に接続された支持枠２８と、を有する音叉型振動片１０であって、支持枠２８の基部１８との接続部に近い領域において、導電性接着剤５０を介してマウント電極に接続される第１の励振電極３１が形成され、支持枠２８の第１および第２の振動腕１１を挟む領域および第１および第２の振動腕１１よりも第１の方向に位置する領域の少なくとも一方の領域において、導電性接着剤５０を介してマウント電極に接続される第２の励振電極２９が形成され、基部１８の幅方向の両側は、第１の切込み部２３，２４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】晶系３２の回転Ｙ板である矩形の厚みすべり振動片を備えた圧電振動子について、輪郭すべり振動によるスプリアスを抑えることのできる圧電振動子を提供すること。
【解決手段】電極を、振動片の表面にＺ´軸方向の中心線に対して対称に形成すると共に振動片に発生する輪郭すべり振動の３次以上の奇数次数であるｎ次の振動に基づく誘起電荷を打ち消す形状に作成する。Ｚ´軸方向に沿った長さが前記振動片のＺ´軸方向の長さの２ｍ（ｍは自然数）／ｎ[ただし２ｍ／ｎ＜１]である矩形領域を備えている構成としてもよいが、Ｚ´軸に沿った電荷分布がcosで表されることから、Ｘ軸方向に沿った外縁形状をcos形状とすることが好ましい。 （もっと読む）