【課題】小型な振動片であっても静電容量を大きくし、負荷容量の変化に対して発振周波数感度の低い圧電振動片、圧電振動子、および圧電発振器を提供する。
【解決手段】基部と、前記基部より延伸して形成され屈曲振動する振動腕とを備え、圧電材料からなる振動片であって、前記振動腕の表裏面に形成された非駆動電極と、前記振動腕の先端方向に前記非駆動電極から離間して前記振動腕の前記表裏面と側面とに形成された駆動電極と、を備える圧電振動片。 （もっと読む）

【課題】本発明は、製造時間が短く、且つ所望する周波数に正確に調整することができる音叉型屈曲水晶振動素子を提供することを課題とする。
【解決手段】基部と二本の振動腕部とを備え、各振動腕部の両主面には溝部が設けられており、前記振動腕部の一方の主面に設けられた前記溝部と前記振動腕部の他方の主面に設けられた前記溝部とは、前記振動腕部の長さ方向に交互にずらして設けられており、各振動腕部の先端部の一方の主面には周波数調整用金属膜が設けられた音叉型屈曲水晶振動素子であって、各振動腕部の一方の主面に設けられた前記周波数調整用金属膜の基部側の端部が、各振動腕部の他方の主面に設けられた励振用電極の各振動腕部の先端側の端部よりも、基部側に延出して設けられている音叉型屈曲水晶振動素子。 （もっと読む）

【課題】小型でＱ値が高く、インハーモニックオーバートン、高次輪郭振動等のスプリア
スの低減された圧電振動素子を得る。
【解決手段】厚み振動するエネルギー閉じ込め型圧電振動素子であって、振動領域を備え
た矩形の圧電振動基板５と、圧電振動基板の主面上の振動領域内に夫々形成された第１の
励振電極１１ａ、１１ｂと、を備える。圧電振動基板５は、少なくとも一方の主面の振動
領域内には、少なくとも外径側に位置する第１の平面部５ａと、その内径側に位置し、且
つ厚さ方向外側へ突出した突部と、を有している。突部は、第１の平面部よりも厚さ方向
外側へ突出した略楕円形状の第２の平面部５ｂと、その内径側に位置し、且つ厚さ方向外
側へ突出した略楕円形状の第３の平面部５ｃと、を有している。第２及び第３の平面部の
外形は、夫々楕円形状の輪郭線の少なくとも一部であると共に、夫々の焦点間を結ぶ線分
の中点が、夫々前記振動領域の中心に位置する。 （もっと読む）

【課題】不要な振動モードを低減し、効率的に駆動することができる振動体および振動デ
バイスを提供すること。
【解決手段】振動体２は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出するとともに、Ｙ軸
方向に直交するＸ軸方向に並んで設けられた２つの振動腕２８、２９と、各振動腕２８、
２９上に設けられ、通電により振動腕２８、２９を励振させる励振電極２２１、２２２、
２２３、２２４、２３１、２３２、２３３、２３４とを有し、励振電極２２１、２２２、
２３１、２３２には、部分的に、その厚さ方向に貫通する微細な複数の孔が形成され、こ
れにより、振動腕２８、２９の振動特性が調整されている。 （もっと読む）

【課題】振動特性の良好な圧電振動子、電子部品及び発振器を提供すること。
【解決手段】主面部２１と周縁部２２との高さが異なるメサ型又は逆メサ型の水晶片２において、主面部２１の両面に第１の励振電極及び第２の励振電極を夫々形成し、これら第１及び第２の励振電極から放射状に伸び出すように複数の第１及び第２の引き出し電極を設け、これら第１及び第２の引き出し電極同士を夫々接続するように、第１及び第２の円弧状電極を形成する。そして前記第２の引き出し電極を、第１の引き出し電極の投影領域と重ならない位置に配置し、前記第２の円弧状電極を、第１の円弧状電極の投影領域と重ならない位置に形成する。 （もっと読む）

【課題】 振動子の小型化に伴う、電極や配線を形成する際の負担を軽減すること。
【解決手段】 音叉型振動片は、基部１０と、基部から、所定面内で第１方向に延出すると共に、所定面内で第１方向に垂直な第２方向に所定幅を有し、かつ、第１方向および第２方向の各々に垂直な方向であって所定面に垂直な第３方向に所定厚みを有する振動腕２０と、振動腕の第１面および第１面に対向する第２面の少なくとも一方に設けられ、第１方向の電界を生じさせる電極４１ａ，４１ｂと、第１方向の電界によって、振動腕に前記第１方向の伸縮を生じさせて、振動腕２０を第３方向に振動させ、かつ、振動腕２０における第２方向の所定幅をｗとし、第３方向の所定厚みをｔとしたとき、ｗ＞ｔが成立する。 （もっと読む）

【課題】小型化および低周波数化を図りつつ、高効率で捩り振動させることができる振動片、振動子および圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】振動片２は、捩れ振動する振動腕２２を有し、振動腕２２は、幅方向の断面で見たときに、Ｚ軸方向に沿って設けられた基端側部分２２７ｂと、基端側部分２２７ｂの重心に対してＺ軸方向およびこれに直交するＸ軸方向にそれぞれ重心がずれるようにして基端側部分２２７ｂに接続された基端側部分２２６ｂとで構成された構造部を含み、基端側部分２２７ｂは、電圧の印加により、振動腕２２の長手方向に伸縮振動し、基端側部分２２６ｂは、前記電圧の印加により、振動腕２２の長手方向に実質的に伸縮振動せず、かかる構造部が基端側部分２２６ｂおよび基端側部分２２７ｂの協働により捩り振動し、これにより、振動腕２２が捩り振動するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電片の厚みすべり振動のオーバトーンを利用した圧電発振器において、基本波振動による電気エネルギーを抑え、位相雑音を低減できる技術を提供すること。
【解決手段】ＡＴカットの水晶片１の一面側の電極２における励振電極部分は、厚みすべり振動方向と直交する方向（Ｚ´軸方向）に互いに離間し、平行に短冊状に分割電極２１、２２として形成される。これらの端部同士は接続され、全体としてコ字型形状とする。他面側の電極３は、一面側の第１の分割電極２１及び第２の分割電極２２に夫々対向する位置に短冊状の励振電極部３１、３２が形成され、逆向きのコ字型上の電極とする。このため分割電極２１、２２だけが励振電極部として機能する。 （もっと読む）

【課題】特性が良く、信頼性の高い電子装置を提供する。
【解決手段】電子装置１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成され、空洞部３２を有する層間絶縁層３０ａ，３０ｂ，３０ｃと、空洞部３２に収容された機能素子２０と、空洞部３２の上方に形成された第１被覆層４０と、空洞部３２の上方を避けて層間絶縁層３０ａ，３０ｂ，３０ｃの上方に形成された樹脂層５０と、第１被覆層４０の上方に形成された第２被覆層６０と、第２被覆層６０の上方に形成された金属層７０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】音叉型圧電振動片のＱ値向上及び小型化を実現する。
【解決手段】基部１２から延出しかつ先端に向けて縮幅する１対の振動腕１３，１４と、その表裏主面に形成した溝部１５，１６と、振動腕の主面及び側面に設けた励振電極２３〜２６と、振動腕の先端に設けた幅広の錘部２７，２８とを備える音叉型圧電振動片１１において、錘部が、振動腕との連結位置から先端側に拡幅するテーパー部分１７ａと、それより先端側の一定幅部分１７ｂとを有し、溝部がその先端位置を錘部の内部まで延長させて設けられている。 （もっと読む）

【課題】電極の断線を防止するとともに、スプリアス振動を抑制する。
【解決手段】水晶振動片２の基板２１に、励振を行う励振電極８１，８２と、外部電極と電気的に接続する保持電極８３，８４と、励振電極８１，８２を保持電極８３，８４に引き出す袖電極８５，８６とが形成されている。励振電極８１，８２は、基板２１の両主面３２，３３に形成され、基板２１の両主面２２，２３に形成された励振電極８１，８２により電極領域が構成されている。電極領域は、励振電極８１，８２が対向する対向電極部８７と、励振電極８１，８２が対向しない無対向電極部８８と、から構成されている。対向電極部８７の周囲に、対向電極部８７に連なって無対向電極部８８が配される。 （もっと読む）

【課題】振動損失を低減させ、角速度センサーとして用いた場合に検出感度が高い振動片を提供する。
【解決手段】振動片１０は、基部２０と、互いに対向する第１主面１１と第２主面１２と、第１主面１１及び第２主面１２を連結し互いに対向する側面４１，５１と側面４２，５２と、を有し、基部２０から延在された複数の振動腕４０，５０と、少なくとも振動腕４０の側面４１は、第１主面１１側から設けられた第１段差部４３と、第２主面１２側から設けられた第２段差部４４と、を有し、振動腕４０の側面４２に設けられた検出電極と、第１段差部４３の検出電極に対向する位置に設けられた検出電極と、第２段差部４４の検出電極に対向する位置に設けられた検出電極と、を備える。 （もっと読む）

【課題】周波数安定度に優れると共に電子雑音特性が良好であり、且つ回路を簡単に構成できる温度補償圧電発振器を提供すること。
【解決手段】温度補償圧電発振器（ＴＣＸＯ）において、補償電圧ΔＶを求めるための温度Ｔを検出する温度検出部３２として、外部に設定周波数ｆ_０を出力する主発振部１１と水晶基板２を共用する補助発振部２１を用いると共に、水晶基板２上にはこれらの主発振部１１及び補助発振部２１の電極１３、２３を個別に設けて、主発振部１１及び補助発振部２１では夫々例えば基本波及びオーバートーンを利用するか、あるいは厚み滑り振動及び輪郭滑り振動を利用する。 （もっと読む）

【課題】ＦＢＡＲタイプのバルク波音響共振器を製作する方法の提供。
【解決手段】局部的に、圧電材料１０の部分的に懸架された薄層を含むバルク波音響共振器（ＦＢＡＲ）を製作するための方法であって、圧電材料１０の薄層の表面において少なくとも１つの、第１のいわゆる下部電極１２を形成するステップと、圧電材料１０の前記薄層と、第１の集合を定義する前記第１の電極との表面において、いわゆる犠牲層を堆積するステップと、前記第１の集合と第２の基板２０とを組み立てるステップと、前記第１の電極を含む面と反対の、圧電材料１０の前記薄層の面において、上部電極２１と称される少なくとも１つの第２の電極を形成するステップと、圧電材料１０の前記薄層及び前記第１の電極を露出させる為、及びバルク波の共振器を定義する為に、犠牲層を取り除くステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】ＣＩ値を低減し、不要な振動の発生を抑えた小型の振動片を提供する。
【解決手段】圧電振動片８１は、基部２２の一端側から二股に別れて互いに並行して延出する一対の振動腕８３と、各振動腕８３の先端側に設けられた錘部８５と、各振動腕８３の長手方向に沿った有底の第１溝部８７と、を有している。第１溝部８７の基部２２側から先端側までの側面には第１励振電極８９が形成され、振動腕８３の基部２２側から先端側までの側面には第２励振電極９０が形成されている。各振動腕８３の基部２２との接続部分となる基端から先端（錘部８５の先端）までの長さＬの半分Ｌ／２よりも先端側の第１溝部８７には、質量付加のための溝内突部９５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 不要振動の発生を軽減させ、ＣＩ値を向上させる。
【解決手段】 板状の水晶片の両主面に凸部を有し、一方の凸部を第一の凸部、他方の凸部を第二の凸部とし、前記第一の凸部に設けられた第一の電極と、前記第二の凸部に設けられた第二の電極とを備えた水晶振動素子であって、前記第一の凸部の表面積が前記第二の凸部の表面積よりも小さく、前記第一の電極の表面積と前記第二の電極の表面積とが異なる大きさであり、前記第一の電極の表面積と前記第二の電極の表面積とが前記第一の凸部の表面積よりも小さく形成されて構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化が容易であり、製造工程が簡素で、安価な音叉型圧電振動子を得る。
【解決手段】音叉型振動素子は、２つの主面を有する基体９、該基体９により夫々片持ち
支持された第１梁１１、第２梁１２と、第１梁１１と第２梁１２との間の基体９部分によ
り片持ち支持された第３梁１３、を備えている。第１及び第２梁１１、１２の表面の少な
くとも一部には、第１駆動用電極１１ａ、１２ａが形成され、裏面の少なくとも一部には
第２駆動電極１１ｂ、１２ｂが形成されている。第３梁１３の表面の少なくとも一部に第
３駆動用電極１３ａが、裏面の少なくとも一部に第４駆動電極１３ｂが形成されている。
第１駆動電極と第２駆動電極との間には、第３駆動電極と第４駆動電極との間に印加され
る電位とは逆電位となる信号が印加され、第１及び第２梁１１、１２と第３梁１３とは、
厚み方向に生じた電界によって厚みすべり歪みを生じる圧電材である。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜共振子を備えたフィルタを小型化することができるとともに、メンブレン端部にクラックが入ることを防ぐ。
【解決手段】上部電極２と下部電極３とが圧電膜４を挟んで対向する共振部（メンブレン領域）が、空隙９を挟んで基板１上に配されている圧電薄膜共振子を複数備えている。空隙９は、複数の圧電薄膜共振子の下部において連続した空間として備わっている。また、犠牲層エッチング液を注入するためのリリース孔６を備えている。これにより、複数の圧電薄膜共振子で空隙９を共有することができ、リリース孔を減らすことができ、フィルタを小型化することができる。また、共振部がエアーブリッジ型電極８で支持されていることにより、共振部の端部に応力が集中するのを防ぎ、クラック等が入ることを防止する。 （もっと読む）

【課題】 導電性接着剤が励振電極に流れ込むことが防止できる水晶振動片を提供する。
【解決手段】水晶振動片（１０Ａ）は、厚みすべり振動する水晶振動片と、水晶振動片の両面に形成される一対の励振電極（１２ａ、１２ｂ）と、励振電極からそれぞれ引き出された一対の引出電極（１３ａ、１３ｂ）と、引出電極と接続し導電性接着剤と接着する接続電極（１４ａ、１４ｂ）とを備える。そして、接続電極側の励振電極の隅部（Ａ３またはＢ４）は凸型に丸く形成されている。 （もっと読む）

【課題】引出電極の断線を防止することができ、高い信頼性を有する双音叉型振動片を提供する。
【解決手段】本発明に係る双音叉型振動片１００では、引出電極１１２，１２２は、隣り合う領域のうちの、一方の領域の表面または裏面に形成された励振電極１１０，１２０から延出し、少なくとも二又に分岐して、分岐した一方の電極が他方の領域の一方の側面に形成された励振電極１１０，１２０と接続し、分岐した他方の電極が他方の領域の他方の側面に形成された励振電極１１０，１２０と接続し、引出電極１１２，１２２の励振電極１１０，１２０から延出している部分の幅の大きさは、領域の表面または裏面に形成された励振電極１１０，１２０の幅の大きさ以上である。 （もっと読む）