【課題】共振子全体のＱ値を向上させることが可能な共振装置を提供する。
【解決手段】共振装置は、支持基板１の一表面側に形成された下部電極３１と、下部電極３１における支持基板１側とは反対側に形成された圧電層３２と、圧電層３２における下部電極３１側とは反対側に形成された上部電極３３との積層構造を有する共振子３を備えている。上部電極３３は、当該上部電極３３の電極材料に比べて機械的品質係数の高い絶縁材料からなり共振子３でのエネルギ損失を抑制するエネルギ損失抑制部３４が厚み方向に貫通する形で設けられている。ここにおいて、上部電極３３の平面視形状が網状（ここでは、正方格子状）であり、エネルギ損失抑制部３４が上記網状の上部電極３３の各開口部（網目）に満たされている。 （もっと読む）

【課題】共振子全体のＱ値を高めることが可能な共振装置を提供する。
【解決手段】共振装置は、支持基板１の一表面側に形成された下部電極３１と、下部電極３１における支持基板１側とは反対側に形成された圧電層３２と、圧電層３２における下部電極３１側とは反対側に形成された上部電極３３との積層構造を有する共振子３を備えている。圧電層３２中における１次モードの弾性定在波の波長をλ〔ｎｍ〕、圧電層３２の厚さをｔ〔ｎｍ〕とするとき、０．０３λ≦ｔ≦０．１５λを満足するように圧電層３２の厚さｔ〔ｎｍ〕が設定されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な素子構造で広帯域フィルタを実現することの可能な電気機械素子を提供する。
【解決手段】振動可能に形成された圧電体膜２１と、３つの電極（対向電極２２、入力電極２３、出力電極２４）とを備える。入力電極２３および出力電極２４は圧電体膜２１の上面に互いに別個独立に設けられ、対向電極２２は圧電体膜２１下面に設けられている。圧電体膜２１は、共振周波数と反共振周波数とを有する共振モードで共振振動するが、入力電極２３と出力電極２４との間に生じる寄生容量が、入力電極２３から圧電体膜２１を介して出力電極２４に繋がる共振回路に直列に繋がるので、反共振周波数が共振周波数から十分に離れている。これにより、例えば、第１の電気機械素子１の共振周波数を互いにわずかに異ならせたものを並列接続するだけで、広帯域フィルタを実現することができる。 （もっと読む）

特にダイプレクサまたはデュプレクサなどの、電気的構成要素のための本願発明によれば、さまざまな配置が基板底部上の端子面において提供される。それらは、ダイプレクサまたはデュプレクサの第１および第２のフィルタのための端子面が、互いから最大の距離では配置されていないことを特に特徴とする。第１のおよび第２のフィルタが、１つの、または２つの別々の構成要素として基板上に配置されてもよく、１つのフィルタは多層基板に一体化されるように実装されてもよい。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜共振子において、さらなる高周波化を図る。
【解決手段】圧電薄膜共振子２は、基体１０と、第１の振動体２０と、支持膜３０と、第２の振動体４０とを備えている。基体１０には開口１１が形成されている。第１の振動体２０は、第１の電極２１と、第１の圧電薄膜２２と、第２の電極２３とを有する。第１の電極２１は、基体１０の開口１１を覆っている。支持膜３０は、第１の振動体２０の上に形成されている。支持膜３０は、実質的にダイヤモンドからなる膜である。第２の振動体４０は、第３の電極４１と、第２の圧電薄膜４２と、第４の電極４３とを有する。 （もっと読む）

【課題】スプリアスの抑制された信頼性の高い共振器応答が得られ、且つ、比較的製作の容易な薄膜バルク波共振器及びこれを用いた電子部品を提供する。
【解決手段】薄膜バルク波共振器１１は、基板２０の上に形成された下部電極２１、圧電薄膜２２、上部電極２３の積層体２５と、基板２０の上面と下部電極２１との間に形成された空隙部２４と、を備え、上部電極２３の表面には、多数の調整孔２３ｃが設けられており、これらの調整孔２３ｃは、いずれの調整孔２３ｃについてもその調整孔２３ｃ（基準孔３１）と当該調整孔に最も近い調整孔２３ｃ（隣接孔３２）とを結ぶ直線及びその延長線（通過線３３）上において規則的な調整孔２３ｃの配列パターンが存在しないように配置されている。 （もっと読む）

【課題】比較的少数の層によって良好な反射特性を提供し、同じ基板の上に形成されて同じ音響ミラーを使用する他の共振器への容量結合を発生しないような音響ミラー形共振器を提供する。
【解決手段】（ａ）音響ミラーとして働く誘電体材料および金属材料を選択する工程と、（ｂ）金属層がエッチング・プロセスによって離散的部分へパターン化され、前記エッチング・プロセスは、異なった共振器部分が置かれるべき場所のあいだの金属層を充分に取り除いて、異なった共振器部分の下にある層部分のあいだに電気絶縁が提供されるようにする作製手順を介して少なくとも１つの金属層を提供する工程とを備え、共振器のあいだの容量結合が減少されたマルチ共振器ＢＡＷフィルタを提供する方法。 （もっと読む）

【課題】ＢＡＷ共振器を使用するフィルタ回路が高い電力レベルで駆動されるときに起こる、出力信号中の望ましくない高調波成分が発生を緩和するフィルタ構造を提供する。
【解決手段】ハーフラダー構造を有するフィルタにおいて、フィルタの少なくとも１つの直列分岐または少なくとも１つの並列分岐は、逆並列または逆直列に接続された第１のＢＡＷ共振器１０５２／１０６２および第２のＢＡＷ共振器１０５４／１０６４を備えるＢＡＷ装置として構成される。第１のＢＡＷ共振器１０５２／１０６２によって発生される二次高調波放射は、第２のＢＡＷ共振器１０５４／１０６４の二次高調波放射およびフィルタの少なくとも１つの他の直列分岐または少なくとも１つの他の並列分岐の二次高調波放射を実質的にキャンセルする。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜共振子において、振動エネルギーの漏れを減らす。
【解決手段】圧電薄膜共振子１は、支持基板１１に支持された圧電体薄膜１５の両主面に下面電極１４及び上面電極１６を形成し、圧電体薄膜１５を挟んで下面電極１４及び上面電極１６を対向させた構造を有する。キャビティ形成膜１３は、自由振動領域１９２の外側の固定領域１９３に形成され、自由振動領域１９２において下面電極１４と圧電体薄膜１５と上面電極１６とを積層した振動体１０を支持基板１１から隔てるキャビティ（空洞）１３５を形成している。圧電体薄膜１５の膜厚は、自由振動領域１９２の周縁部から中心部へ向かって連続的に薄くなってゆく。 （もっと読む）

【課題】並列共振器における各共振器素子の構造及び各共振器素子の振動部にかかる応力を等しくしてＱ値の向上を図る。この共振器を用いたフィルタ、通信装置を提供する。
【解決手段】空間を挟んで下部電極２６、２７と振動部２４を有した複数の共振器素子２１が並列接続され、複数の共振器素子２１が閉じた系となるように配置され、複数の共振器素子２１の振動部２４が連続して一体に形成されて成る。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜共振子の反共振周波数でのＱ値を改善し、低損失で高性能なフィルタを提供すること。
【解決手段】本発明は、基板１０と、基板１０上に設けられた下部電極１２と、下部電極１２上に設けられた圧電膜１４と、圧電膜１４を挟み下部電極１２と対向する部分を有するように圧電膜１４上に設けられた上部電極１６と、を有する複数の圧電薄膜共振器を具備し、複数の圧電薄膜共振器はラダー型に設けられ、複数の圧電薄膜共振器のうち並列腕に設けられた並列共振器Ｐは、圧電膜１４を挟み下部電極１２と上部電極１６とが対向する部分（共振部２０）が、軸の長さ比の異なる２つの楕円が１つの軸を共有することにより連結した形状をしているフィルタである。 （もっと読む）

【課題】 単一のパッケージに複数の圧電振動片を搭載するとともに、薄型化を図ることができる表面実装型の圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 複合圧電デバイス（４０，１４０，２４０）によれば、内面に接続端子（５７、１５７，２５７）を形成し外面に接続端子と導通する外部電極（５４、１５４，２５４）を形成した絶縁材料から構成されるパッケージ（５１，１５１，２５１）と、パッケージ内に封止され、少なくとも一方の主面に凹陥部を形成した逆メサ型の第１圧電振動片（１０，１１０，２１０）と、パッケージ内に封止されるとともに第１圧電振動片に固定される第２圧電振動片（２０，１２０，２２０）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】広い通過帯域と通過帯域に近接した高減衰の減衰帯域をもつ高周波フィルタにおいて、広い通過帯域の低域端および高域端で通過特性が劣化することを抑えた高周波フィルタを提供する。
【解決手段】共振と反共振を有する共振器を用いたノッチフィルタ部とその入出力部に整合回路部を有した高周波フィルタにおいて、スイッチ等による切り替えによって入力整合回路部および出力整合回路部のリアクタンス素子値を変化させ、広い通過帯域における低域側と高域側に適した高周波フィルタを適用する。 （もっと読む）

【課題】挿入損失を低く抑えつつ、小型化が可能な分波器を提供する。
【解決手段】アンテナに接続される送受信共通端子と、受信機に接続される第１の端子と、送信機に接続される第２の端子と、前記第１の端子と前記送受信共通端子との間で第１の通過周波数帯域の信号を伝送する第１のフィルタと、前記第２の端子と前記送受信共通端子との間で前記第１の通過周波数帯域とは異なる第２の通過周波数帯域の信号を伝送する第２のフィルタと、を備え、前記第２のフィルタは、前記送受信共通端子と前記第２の端子との間に接続された少なくとも１つの直列共振器と、前記直列共振器の両側の端子と接地との間に電気的に接続されている少なくとも２つの並列共振器と、前記送受信共通端子に最も近く配置された並列共振器に直列接続された伸長コイルとキャパシタとの並列回路と、を含むことを特徴とする分波器が提供される。 （もっと読む）

【課題】共振特性を改善することが可能な圧電薄膜共振器およびそれを用いたフィルタを提供すること。
【手段】本発明は、基板１０上に設けられた下部電極１２と、基板１０上および下部電極１２上に設けられた圧電膜１４と、圧電膜１４を挟み下部電極１２と対向する部分を有するように圧電膜１４上に設けられた上部電極１６と、下部電極１２と上部電極１６とが対向する部分の下部電極１２の少なくとも一部の外周の基板１０上に、下部電極１２に沿って設けられた付加膜２２と、を具備する圧電薄膜共振器およびそれを用いたフィルタである。 （もっと読む）

【課題】 実装信頼性を確保しつつ、小型、低コストな圧電振動子および圧電振動ジャイロを提供すること。
【解決手段】 圧電単結晶板１０の加工および主面への電極形成により、振動部とそれを支持する外周部とからなる振動子が形成され、その電極につながる端子電極が主面内の縁部に形成され、振動子全体がパッケージ２１内の回路基板上に接続固定される圧電振動子において、パッケージ上の電極２０と、圧電単結晶板１０の下側の駆動電極１３ｄとは導電接着剤２８で接続固定され、他方、圧電単結晶板１０の上側の駆動電極１３ｂは、圧電単結晶板１０の縁部の除去加工によって形成された面に塗布された導電接着剤１９などによってパッケージ上の電極２０に接続され、その除去加工で生じる側面凸形状の頂部を圧電単結晶板１０の板厚の１／２よりも下側の位置に形成することで、その頂部の下側に導電接着剤で形成するフィレット２２を小さくし、導電接着剤の過多による短絡を防止する。 （もっと読む）

【課題】送受信帯域外の減衰特性と送受信端子間のアイソレーション特性を低下させることなく、従来よりも小型化、低背化が可能なアンテナ分波器を提供する。
【解決手段】アンテナ端子と送信端子との間に配置される送信フィルタと前記アンテナ端子と受信端子との間に配置される受信フィルタとをパッケージに実装してなるアンテナ分波器において、パッケージ内の受信フィルタ用のグランドパターン１５２は、他のグランドパターン１５６，１５７とは分離されている。 （もっと読む）

【課題】従来のマイクロメカニカル共振器よりも高い周波数帯域の共振周波数を利用することが可能なマイクロメカニカル共振器を提供する。
【解決手段】本発明に係るマイクロメカニカル共振器は、基板７上に、基板７と平行な１つの平面内で互いに平行に伸びる２辺を有する平面形状を有する共振子２と、共振子２の前記２辺のそれぞれに対向して配置された２つの電極30とを具えている。共振子２は、基板７と平行な１つの平面内で共振子２の平面形状の２辺が互いに逆方向へずれるすべり振動が可能に支持され、２つの電極30は、共振子２との対向面が、共振子２の平面形状の２辺に沿って互いに逆方向にずれて、食い違い位置の２つのギャップ部を形成している。共振子２に主電圧を印加すると共に、２つの電極30へ高周波信号を入力することにより、共振子２と電極30との間に交番静電気力を発生させて共振子２に振動を与え、共振子２と２つの電極30との間の静電容量の変化を高周波信号として出力する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、放熱性に優れた共振器フィルタ及びデュプレクサを提供する。
【解決手段】第１の主面上に薄膜圧電共振器と放熱端子とを有する第１の基板と、前記第１の基板の前記第１の主面と対向して前記薄膜圧電共振器との間に空間を介して設けられ、厚み方向に貫通するスルーホールを有する第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との間の前記空間を気密に封止する封止部と、前記放熱端子と前記スルーホールとを接続する第１の接続部と、を備えたことを特徴とする共振器フィルタが提供される。 （もっと読む）

【課題】良好な濾波特性を容易に得ることができるようにする。
【解決手段】ラダー型圧電フィルタ１を構成するベアチップ１０においては、連続する圧電体薄膜１５を直線１８１で分割して得られる領域１８５，１８６のうち、領域１８５の側に並列腕共振子１０１，１０３を形成し、領域１８６の側に直列腕共振子１０２を形成している。このように、直線１８５の両側に並列腕共振子１０１，１０３と直列腕共振子１０２とを分離して配置すると、並列腕共振子１０１，１０３の周波数調整と直列腕共振子１０２の周波数調整を別々に行うことが容易になり、良好な濾波特性を容易に得ることができる。 （もっと読む）