【課題】相互変調歪み（ＩＭＤ）の発生を抑制できる分波器を提供する。
【解決手段】分波器１００は、直列共振器１０１，１０３，１０５，１０７と並列共振器１０２，１０４，１０６とが梯子型に接続された送信フィルタ１００ａと、受信フィルタ１００ｂとを備える。送信フィルタ１００ａの共振器１０１〜１０７のうち、送信フィルタ１００ａと受信フィルタ１００ｂとが接続される共通端１００ｘに最も近い共振器１０１が弾性波共振器で構成されている。 （もっと読む）

【課題】フィルタに用いた場合に通過帯域外の減衰量を十分に大きくでき、かつ小型な共振器、それを備えるフィルタ及びデュプレクサを提供する。
【解決手段】共振器Ｓ４は、直列に接続された複数の共振子Ｓ４ａ、Ｓ４ｂを備えている。共振子Ｓ４ａには、インダクタＬ５とキャパシタＣ２とが並列に接続されている。共振子Ｓ４ｂには、インダクタとキャパシタとが並列に接続されていない。 （もっと読む）

【課題】発振用とした主たる振動周波数の周波数安定度を高めた２周波用の表面実装デバイスを提供する。
【解決手段】両主面の励振電極から外周部２箇所に引出電極３を延出して面対向した第１及び第２水晶片１（ａｂ）と、これらを収容する凹状とした容器本体４とを備え、第１水晶片１ａの引出電極の延出した外周部２箇所は第２水晶片１ｂの外周部に設けた第１導通端子９に導電接合材６によって固着し、第１導通端子は第２水晶片の他主面の第２導通端子１０と電気的に接続し、第２水晶片の引出電極の延出した外周部２箇所と、第２導通端子の外周部２箇所との計４箇所は、前記容器本体の内表面に導電接合材によって固着し、第１水晶片の固着位置を結ぶ直線と、前記第２水晶片の固着位置を結ぶ直線及び前記第２導通端子の固着位置を結ぶ直線とは同一直線上から外れた構成とする。 （もっと読む）

【課題】共振子全体の機械的品質係数を向上でき、且つ、堅牢化が可能なＢＡＷ共振装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】単結晶基板からなる支持基板１の一表面側に下部電極３１と上部電極３３との間に圧電層３２を有する複数個の共振子３が形成されるとともに、各共振子３を取り囲む絶縁層４が形成され、支持基板１の上記一表面に、共振子３の下部電極３１および絶縁層４を露出させる複数の断面逆台形状の空洞１ａがエッチング速度の結晶方位依存性を利用した湿式の異方性エッチングにより形成されている。空洞１ａを絶縁層４の１つの仮想エッチングホール４０を通した上記異方性エッチングにより形成すると仮定したときの絶縁層４における上記仮想エッチングホール４０の仮想形成領域に上記仮想エッチングホール４０よりも開口サイズの小さな複数のエッチングホール４１の群が形成されている。 （もっと読む）

【課題】各共振子の機械的品質係数を向上できてフィルタ特性を向上可能なＢＡＷフィルタを提供する。
【解決手段】単結晶基板からなる支持基板１の一表面側に下部電極３１と上部電極３３との間に圧電層３２を有する複数個の共振子３が形成され、支持基板１の上記一表面に、共振子３の下部電極３１における支持基板１側の表面を露出させる複数の断面逆台形状の空洞１ａがエッチング速度の結晶方位依存性を利用した湿式の異方性エッチングにより形成されている。また、各共振子３における各空洞１ａそれぞれの投影領域における中心部に対応する部位に、空洞１ａに連通するエッチングホール５が形成されている。各共振子３は、空洞１ａの投影領域内に圧電層３２が収まり且つ上記投影領域の外周線よりも外側に下部電極３１の外周線が位置している。 （もっと読む）

【課題】共振子の機械的品質係数を向上できるＢＡＷ共振装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ＭｇＯ基板からなる支持基板１の一表面における空洞１ａのエッチング開始予定領域をエッチングして凹部１ｂを形成し（図１（ｄ））、その後、支持基板１の上記一表面側に下部電極３１および鉛系圧電材料（例えば、ＰＺＴなど）からなる圧電層３２を形成し（図１（ｌ））、その後、絶縁層４を形成し（図１（ｐ））、上部電極を形成してから共振子を取り囲む絶縁層４にエッチングホール４１を形成し（図１（ｖ））、その後、絶縁層４のエッチングホール４１および凹部１ｂを通してエッチング液を導入して支持基板１をエッチングすることにより空洞１ａを形成する（図１（ｗ））。 （もっと読む）

【課題】各共振子の機械的品質係数を向上できてフィルタ特性を向上可能なＢＡＷフィルタおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＢＡＷフィルタは、支持基板１の一表面側に下部電極３１と上部電極３３との間に圧電層３２を有する複数個の共振子３が形成され、支持基板１に、各共振子３の下部電極３１における支持基板１側の表面を露出させる空洞１ａが形成されている。各共振子３は、支持基板１側に凸となる形で反って形に形成され、下部電極３１における空洞１ａ側の表面３１ａが凸曲面となっている。 （もっと読む）

【課題】鉛系圧電材料からなる圧電層の結晶性および圧電特性を向上させることが可能なＢＡＷ共振装置を提供する。
【解決手段】ＭｇＯもしくはＳｒＴｉＯ_３からなる支持基板１の一表面側に形成された音響ミラー層２と、音響ミラー層２上に形成された共振子３とを備える。共振子３は、音響ミラー層２上に形成されたＳｒＲｕＯ_３からなる下部電極３１と、下部電極３１上に形成された鉛系圧電材料（例えば、ＰＭＮ−ＰＺＴなど）からなる圧電層３２と、圧電層３２における下部電極３１側とは反対側に形成された上部電極３３とを有する。音響ミラー層２は、下部電極３１と同じ材料により形成された高音響インピーダンス層２１と圧電層３２と同じ材料により形成された低音響インピーダンス層２２とが交互に積層され下部電極３１側の最上層が低音響インピーダンス層２２により構成されている。 （もっと読む）

【課題】無線通信に利用可能な横振動モードを利用した圧電薄膜共振器を提供する。
【解決手段】円状の圧電薄膜１０２と、円状の圧電薄膜の上面、および下面で、かつ、円状の圧電薄膜の中心付記に形成された円形の電極と、円状の圧電薄膜の上面、および下面で、かつ、円形の電極を中心として同心状に形成された複数の円環電極、１０１ｕ、および１０１ｄ、とで構成され、円形の電極と複数の円環電極とは、それぞれ円板の端面方向に従い電極幅が狭くなるように形成され、圧電薄膜共振器は、拡がり振動の高次の振動モードが強制に励振されるよう電極配置、および支持される。 （もっと読む）

【課題】電極と振動子の対向面積を増大し、消費電力の低い電気機械共振器を提供する。
【解決手段】本発明は電気機械共振器の振動子の少なくとも2面、すなわち側面部、及び上面部の両面に固定電極を設置して振動を励起させることを特徴とする。主に固定電極の配置において、振動子の片側の側面、及び上面に電極を設置すると振動子の中心を回転軸として回転モーメントが働くことになる。本発明の固定電極配置によれば、製造方法を複雑にすることなく電極形成が可能となり、素子抵抗を改善するために必要な容量面積も増やすことができる。ねじり振動で共振させる電気機械共振器として最適な固定電極の配置を実現する。 （もっと読む）

【課題】水晶片の２枚を同一容器内に収容し、発振用と温度補償用の２周波数に対応できる２段重ね構造の水晶振動子を提供する。
【解決手段】励振電極２から引出電極３の延出した水晶片の主面を、金属ベース４主面に水平方向、垂直部を有するサポータにより水晶片の両端部を保持した構造であって、第１と第２の水晶片を板面を対向して引出電極の延出方向を交差した２段重ねとし、サポータは交差する直線上の両端部に設け、第１、第２サポータ５ａ、５ｂの垂直部下端側に第１保持部を、第３、第４サポータ５ｃ、５ｄの垂直部上端側に第２保持部を有し、第１水晶片１ａの両端部を第１保持部に、第２水晶片１ｂの両端部は交差する他方の直線上の両端側に設けられた上端側第２保持部に保持された構成とする。 （もっと読む）

【課題】 スプリアスを抑制するとともに高密度配置が可能な薄膜共振子、フィルタおよびデュプレクサを提供する。
【解決手段】 圧電体薄膜１５と、圧電体薄膜１５を挟み、かつ圧電体薄膜１５を介して対向するように配置される第１、第２電極１６，１７とを有する共振部２０を備える薄膜共振子であって、共振部２０の平面形状が略矩形状であり、共振部２０の少なくとも１つの辺を直線部と切り欠き部３０とで構成する。 （もっと読む）

【課題】高精度の周波数特性を有する圧電共振部品を提供する。
【解決手段】容量基板１１上に導電性樹脂１２を介して搭載された圧電共振素子１３と、圧電共振素子１３を密閉するように容量基板１１上に封止樹脂１４を介して固定され入出力方向指定記号２２を有するキャップ１５とを備え、容量基板１１の一対の入出力用外部電極１９および２０は、互いに異なる形状とした圧電共振部品であり、これにより、容量基板１１の一対の入出力用外部電極の一方と接地用外部電極２１との間の第１コンデンサと一対の入出力用外部電極の他方と接地用外部電極２１との間の第２コンデンサのそれぞれの容量値により、一対の入出力用外部電極のそれぞれを入力用と出力用とに方向を特定して、キャップ１５に入出力方向指定記号２２を表示することができるので、発振周波数のばらつきが極めて小さく高精度の周波数特性を有する圧電共振部品が実現できる。 （もっと読む）

【課題】２次および３次の温度特性を有する圧電振動片を混載した圧電発振器において、外部実装基板からの熱による周波数の変動を抑えた、優れた発振特性を有する圧電発振器を提供する。
【解決手段】パッケージ１０は、実装面と天井面との間に中間基板層１１を有し、この中間基板層１１の実装面側に設けられた凹部と実装面側リッド８とにより実装面側キャビティ５１が形成され、中間基板層１１の天井面側に設けられた二つの凹部と天井面側リッド９とにより第１の天井面側キャビティ５２Ａおよび第２の天井面側キャビティ５２Ｂが形成されている。実装面側キャビティ５１内には３次の温度特性を有するＡＴカット水晶振動片３０が接合されている。また、第１の天井面側キャビティ５２Ａ内には２次の温度特性を有する音叉型水晶振動片２０が接合され、第２の天井面側キャビティ５２Ｂ内にはＩＣチップ４０が接合されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ＵＨＦ帯とＶＨＦ帯との両方にまたがるような広い周波数帯域に対応できるバンドパスフィルタを同一基板上に形成することを可能にする。
【解決手段】基板の主面上に複数のバンドパスフィルタ素子２０を有し、前記各バンドパスフィルタ素子２０のそれぞれが、周波数領域で分割された複数のチャンネルのそれぞれに対応し、かつ複数の圧電共振器２１を有し、前記各圧電共振器２１は、前記基板に周囲を支持された圧電膜と、前記圧電膜の下面に形成された第１電極と、前記圧電膜の上面に形成され、前記圧電膜を挟んで前記第１電極の少なくとも一部とオーバラップする状態に形成された第２電極と、前記基板と前記圧電膜との間に形成された下部空間と、前記圧電膜上に形成された上部空間を有する。 （もっと読む）

【課題】複数の共振子に共通する振動空間を提供するキャビティを有する共振子フィルタにおいて、構造上の強度を確保するとともに、挿入損失を低減できる共振子構造を有する共振子フィルタを提供する。
【解決手段】共振子フィルタは、複数の積層共振体８１，８２，８３，８４，８５，８６の振動空間を提供するキャビティ２１を有する。積層共振体８２，８３を電気的に接続する配線電極９０は、積層共振体８２の上部電極の最大径Ｌ１と、積層共振体８３の上部電極の最大径Ｌ２とを直線的に結線する配線構造を有する。 （もっと読む）

【課題】共振特性を維持しつつ、機械的強度を改善することができる。また、生産性に優れた圧電薄膜共振器を実現する。
【解決手段】基板１上に形成された下部電極２と、基板１上および下部電極２上に形成された圧電膜３と、圧電膜３上に形成された上部電極４とを備え、圧電膜３を挟み上部電極４と下部電極２の重なり領域であるメンブレンに対応する部位の下部電極２の下方に空隙６を有した圧電薄膜共振器であって、メンブレンに接する上部電極４の引出部分４ｘの中央部４ｙは、空隙６の上に形成され、上部電極４の引出部分４ｘの両端部４ｚは、空隙６の外側に形成されている。 （もっと読む）

【課題】軽量なねじり振動体を有するマイクロメカニカル共振器を提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル共振器１は、基板２と、一方端が基板２に固定されたねじり振動体１１とを備えている。ねじり振動体１１には、空隙部が設けられている。空隙部は、たとえば、ねじり振動軸Ａと平行な方向に延び、ねじり振動体１１を貫通する孔３０として構成することができる。 （もっと読む）

【課題】発振周波数の温度変化率が小さい高精度の周波数特性を有する圧電共振部品を提供することを目的とする。
【解決手段】容量基板１１上に導電性樹脂１２を介して搭載された圧電共振素子１３と、圧電共振素子１３を密閉するように容量基板１１上に封止樹脂１４を介して固定されたキャップ１５とを備え、容量基板１１の主面電極１９ａおよび２０ａはスリット状の非形成部２２により分離され、圧電共振素子１３は非形成部２２を含んで形成された導電性樹脂１２を介して主面電極１９ａおよび２０ａに接続された圧電共振部品であり、これにより、圧電共振素子搭載後の圧電共振素子と容量基板との接続部分の導電性接着剤の厚みや面積等の寸法精度を高めることができ、発振周波数の温度変化率が小さい高精度の周波数特性を有する優れた圧電共振部品となる。 （もっと読む）

【課題】ラダー型フィルタのスカート特性を改善することができるとともに、フィルタ素子を小型化することができる弾性波デバイス、デュープレクサ、通信モジュール、通信装置を実現する。
【解決手段】複数の共振器を梯子状に接続したラダー型フィルタを備えた弾性波デバイスであって、ラダー型フィルタにおける並列椀に、直列接続された複数の共振器Ｐ２及びＰ４が接続され、並列椀に接続された複数の共振器Ｐ２及びＰ４は、共振周波数が互いに異なる構成とした。 （もっと読む）