【課題】振動腕に長溝を形成して電界効率を高めても、安定した屈曲振動を実現できる圧
電振動片と、圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料により形成された基部５１と、前記基部から延びる複数の振動腕３
５，３６とを備える圧電振動片であって、前記複数の振動腕には、その主面の長手方向に
沿って形成され、内側に駆動電極を備えた長溝３３，３４が設けられており、前記長溝の
先端部において、その幅寸法が先端側に向かって徐々に縮幅する長溝縮幅部３３ａ，３４
ａを備える圧電振動片。 （もっと読む）

【課題】 小型化に対応し圧電振動素子の振動漏れや剥がれを防ぎ、圧電振動素子の素子搭載部材への搭載が容易とする。
【解決手段】 圧電振動素子と、この圧電振動素子を搭載する圧電振動素子搭載パッドと外部端子とを有する素子搭載部材と、それぞれの圧電振動素子搭載パッドに設けられる接合用パッドと、圧電振動素子の周囲を気密の環境に維持するための蓋部材とを備え、接合用パッドが、ポリイミド又はシリコンからなる樹脂層と、この樹脂層の両主面に設けられる接着膜と、樹脂層と接着膜とを貫通する導体部とを備え、接合用パッドが導体部と圧電振動素子との間に介在することで圧電振動素子搭載パッドと圧電振動素子とを電気的に接続することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】発振周波数の変動を防ぐ圧電デバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】励振用電極が設けられている圧電振動素子と、一方の主面に前記圧電振動素子を導電性接着剤により搭載するための圧電振動素子搭載パッドが設けられ、他方の主面に素子搭載部材接続端子が設けられた搭載体と、一方の主面に窪み部が設けられた素子搭載部材と、窪み部内に設けられた搭載体接続パッドと、圧電振動素子を気密封止する蓋部材とを、備え、搭載体が窪み部に収容され、搭載体接続パッドと素子搭載部材接続端子が導電性接着剤により電気的に接続されていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 小型化に対応し圧電振動素子の振動漏れや剥がれを防ぎ、圧電振動素子の素子搭載部材への搭載が容易とする。
【解決手段】 圧電振動素子と、この圧電振動素子を搭載する圧電振動素子搭載パッドと外部端子とを有する素子搭載部材と、それぞれの圧電振動素子搭載パッドに設けられる接合用パッドと、圧電振動素子の周囲を気密の環境に維持するための蓋部材とを備え、接合用パッドが、ポリイミド又はシリコンからなる樹脂シートと、この樹脂シートの両主面に設けられる接着膜と、樹脂シートと接着膜とを貫通する導体部とを備え、接合用パッドが導体部と圧電振動素子との間に介在することで圧電振動素子搭載パッドと圧電振動素子とを電気的に接続することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】発振周波数の変動を防ぐ圧電デバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の圧電デバイスは、２個一対の圧電振動素子搭載パッドが一方の主面に設けられている素子搭載部材と、圧電振動素子搭載パッドに搭載され、励振用電極が設けられている圧電振動素子と、圧電振動素子を気密封止する蓋体と、隣り合う圧電振動素子搭載パッドに跨るように設けられている絶縁性支点用バンプと、を備えていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】振動子の構造寸法の変化に起因する共振周波数の変動を抑制することのできる共振回路及びその製造方法を実現する。
【解決手段】本発明の共振回路３０は、基板と、該基板上に形成された固定電極１２、及び、該固定電極の少なくとも一部に対向する可動部１３ａを備えた可動電極１３を有し、前記基板上に設けられた収容空間内に少なくとも前記可動部が配置されたＭＥＭＳレゾネータ１０と、該ＭＥＭＳレゾネータにバイアス電圧を印加する電圧印加手段と、を具備し、該電圧印加手段は、前記収容空間若しくは前記収容空間とは別の収容空間内に少なくとも一部が配置された第１の抵抗Ｒ１１と、該第１の抵抗に接続された第２の抵抗Ｒ１２とを備え、前記第１の抵抗と前記第２の抵抗の接続点電位を前記ＭＥＭＳレゾネータの第１の端子１０ａと第２の端子１０ｂのうちの少なくとも一方の端子に出力する分圧回路２１を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電デバイスの小型化に対応できる振動片の支持構造を有し、かつ、振動片とパッケージベースとの接合強度が高く、信頼性の高い圧電デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電デバイス１００は、内側底面１８に凹部１６が形成されたパッケージベース１０と、凹部１６周囲の内側底面１８に形成された金属層１７と、励振電極５０が形成された腕部４４、および励振電極５０と電気的に接続している引出電極５２が形成された基部４２を有する振動片４０と、金属層１７と引出電極５２とを接合しているスタッドバンプ３０と、を含み、振動片４０は、スタッドバンプ３０によって支持され、凹部１６内には、スタッドバンプ３０の少なくとも一部が埋設されている。 （もっと読む）

【課題】平面視略矩形の圧電振動片をワイヤボンディングさせた圧電デバイスの小型化を図る。
【解決手段】本発明の圧電振動子１０は、薄肉部２２及び厚肉部２４が形成された圧電基板を有する圧電振動片２０と、圧電振動片２０が搭載され、接続端子５２が形成された搭載基板５０と、を備え、薄肉部２２に励振電極２６が形成され、厚肉部２４に励振電極２６と電気的に接続された接続電極２８が形成され、圧電基板に、周縁の一部を切り欠いた切り欠き部及び貫通孔の少なくとも何れか一方である削除部３２が形成され、平面視において接続端子５２の削除部３２から露出している部分が、接続電極２８にワイヤ５８により接続されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】圧電デバイスの小型化に対応できる振動片の支持構造を有し、高い信頼性を確保することができる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電デバイス１００は、 パッケージベース１０と、パッケージベース１０の上方に形成され、パッケージベース１０を封止するリッド２０と、パッケージベース１０およびリッド２０によって形成されるキャビティー１内に収容された振動片４０と、を含み、振動片４０は、基部４２と、基部４２から水平方向に延出した腕部４４と、基部４２に接続し、少なくとも一部が腕部４４より下方向に位置する支持部４６と、を有し、支持部４６の下面と、パッケージベース１０の内側底面１８とは、接着剤１７によって接合されている。 （もっと読む）

【課題】圧電デバイスの小型化に対応できる振動片の支持構造を有し、高い信頼性を確保することができる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電デバイス１００は、内側底面１８に凹部１６が形成されたパッケージベース１０と、凹部１６内に設けられた接着剤１７によって、パッケージベース１０に接合された支持部材３０と、支持部材３０によって支持された基部４２、および基部４２から延出する腕部４４を有する振動片４０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】積層する積層基板の数を少なくし、圧電デバイスのパッケージの構成を複雑化させることなく、圧電デバイスの更なる低背化を実現する。
【解決手段】スペーサー部材１である金属バンプ１Ａにより、圧電振動片５が接続される高さ（位置）を、実装面２Ｓと圧電振動片５との間に電子部品４が配置されるように確保し、ベース基板２の実装面２Ｓに、電子部品４が実装され、圧電振動片５が接続されるので、電子部品４を実装する、または圧電振動片５を接続するための積層基板をベース基板２上に積層する必要がなく積層基板を減らすことができ、パッケージ８および水晶発振器１０の構成を簡略化させて、低背化を実現した水晶発振器１０を提供することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、かつ信頼性に優れた圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電振動子１は、傾斜するように固定された圧電振動片２と、これを収納するパッケージ３とを有している。また、導電性接着剤３９ｂを介して、圧電振動片２の接続電極２３ｂとパッケージ３のマウント電極３４ｂとの間が固定されるとともに、電気的に接続される。また、導電性接着剤３９ｂは、その内部に支持体としてワイヤ３８ｂを包含している。このワイヤ３８ｂの上端部は、圧電振動片２の接続電極２３ｂに接している。これにより、圧電振動片２は、ワイヤ３８ｂにより下方から支持されることにより、その傾斜角度が規定される。このワイヤ３８ｂは、マウント電極３４ｂに対してワイヤボンディング技術により設置されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】簡単な圧電振動片の接続位置の調整方法が可能な圧電振動片を用い、簡易な圧電振動片搭載装置を用いることによって、コストを低減した圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイス１０は、表裏の主面１２ａ，１２ｂに形成された励振電極１３ａ，１３ｂと、該励振電極から延伸された引き出し電極１４ａ，１４ｂと、該引き出し電極から延伸された接続電極１６ａ，１６ｂと、該励振電極と該接続電極との間に設けられたマーカー電極１５ａ，１５ｂとを有する水晶振動片１１が、パッケージ２０に形成されたＰＡＤ電極２１ａ，２１ｂと接続されており、該水晶電振動片は、少なくとも該接続電極と該マーカー電極との間が光透過性を有し、該接続電極と該マーカー電極との間に該ＰＡＤ電極の該励振電極側の一辺２４ａが配置されて該ＰＡＤ電極に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 導電性バンプによる圧電振動片の接合強度を向上させ、電気的特性のバラツキをなくしたより信頼性の高い圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】 励振電極が形成された振動部と接続電極が形成された保持部とを有する直方体形状の圧電振動片２と、ベース３と、蓋とが設けられ、前記ベースの収納部に前記圧電振動片の保持部が導電性バンプにより接合された圧電振動デバイスにおいて、前記ベース収納部の底面には１つ以上の稜部と当該稜部に近接する面方向の異なる少なくとも２面以上の部分に形成された電極パッド３８，３９を有しており、前記圧電振動片の接続電極２７２，２８２は圧電振動片の稜部に近接する面方向の異なる少なくとも２面部分に形成され、前記ベース収納部の電極パッドに対して前記圧電振動片の接続電極が近接した状態で導電性バンプを介して電気的機械的に接合した。 （もっと読む）

【課題】発振周波数の変動を防ぐ圧電デバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の圧電デバイスは、基板部とこの基板部の一方の主面に枠部が設けられて凹部空間が形成された容器体と、凹部空間内に露出した基板部の一方の主面に設けられた搭載バンプと、凹部空間内の搭載バンプに搭載され、励振用電極が設けられている圧電振動素子と、凹部空間を気密封止する蓋体と、搭載バンプにかかるように基板部の主面に位置し、圧電振動素子と電気的に接合する導電性接着剤とを、備えていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】薄型化が可能であるとともに、製造の歩留まり及び品質が向上する圧電デバイスの提供。
【解決手段】圧電デバイスとしての水晶発振器は、水晶振動片３０と、ＩＣチップ２０と、水晶振動片３０及びＩＣチップ２０をベース部１１にマウントし内部に収容するパッケージ１０と、を備え、水晶振動片３０が、厚み方向に貫通する貫通孔３１を有し、ＩＣチップ２０が、平面視において、貫通孔３１内でベース部１１にマウントされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動漏れおよび同相モード振動の発生を低減し、簡単な構造で振動片の小型化を可能にする。
【解決手段】基部１５と、３以上の奇数本の振動腕１１，１２，１３と、基部１５と振動腕１１，１２，１３との間に位置してそれぞれを連結する連結部１４と、を備え、各振動腕１１，１２，１３が厚み方向に振動し、かつ隣り合う振動腕が互いに反対方向に振動する振動片１であって、振動腕１１，１２，１３の厚みをｔ₁、連結部１４の厚みをｔ₂、基部１５の厚みをｔ₃、としたとき、ｔ₁≦ｔ₂＜ｔ₃、となるように構成する。 （もっと読む）

【課題】アウトガスによる影響を防止することで電子部品の特性の低下を防止できる、電子部品の実装構造、及び電子部品の実装方法を提供する。
【解決手段】内壁面に接続電極３３，３４が設けられた貫通孔３１ａを有する基材３１と、所定の機能を有する機能片及び機能片に電気的に接続されるバンプ電極１４を有するとともに基材３１に実装される電子部品と、を備えた電子部品の実装構造である。基材３１は、貫通孔３１ａ内に金属或いは合金からなる導電部材１５が埋め込まれており、電子部品は、バンプ電極１４が貫通孔３１ａの一方側を塞ぐとともに導電部材１５に当接するように基材３１に実装され、バンプ電極１４及び接続電極３３，３４が少なくとも導電部材１５を介して電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】水晶板の形状に左右されることなく、水晶板をベース基板に対して平行に保持することができる圧電振動子、圧電振動子の製造方法および発振器を提供する。
【解決手段】ベース基板２と、リッド基板３と、水晶板１７の外表面に励振電極５，６とマウント電極７とが形成された圧電振動片４と、ベース基板に形成された貫通孔２４，２５に設けられた貫通電極１３，１４と、ベース基板の上面に形成された引き回し電極９，１０と、引き回し電極の所定の位置に形成された金属バンプ１１と、を備え、圧電振動片の長手方向の端部が先細り形状に形成されるとともに、圧電振動片が金属バンプにより片持ち状態で実装された圧電振動子１において、金属バンプが、圧電振動片の長手方向に沿って複数形成されるとともに、金属バンプの高さが、圧電振動片の長手方向の端部に対応する位置に向かって高くなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】音叉型圧電振動素子の振動腕部の先端部を浮かし、音叉型圧電振動素子の発振周波数が変動しない圧電デバイスの提供。
【解決手段】基板部と、この基板部の一方の主面に枠部が設けられて、凹部空間１１１が形成された容器体１１０と、凹部空間内に露出しつつ基板部の一方の主面に設けられた２個一対の圧電振動素子搭載パッド１１３ａ、１１３ｂに搭載され、第１の基部１２１ａと第１の基部より幅の狭い第２の基部１２１ｂと、第２の基部の側面より同一の方向に延出する２本の振動腕部１２１ｃとを備えた音叉型圧電振動素子１２０と、凹部空間を気密封止する蓋体１３０と、圧電振動素子搭載パッドに設けられた支持バンプＢＰと、を備え、支持バンプＢＰが、音叉型圧電振動素子の第２の基部の位置になるように設けられている。 （もっと読む）