【課題】被処理水中の過酸化水素を迅速かつ確実に除去することができ、特に半導体、液晶などの電子材料を扱う産業において用いられる超純水製造装置における超純水中の過酸化水素の除去に適した過酸化水素の除去方法及び除去装置を提供する。
【解決手段】過酸化水素を含む被処理水を、平均粒子径１〜５０ｎｍである白金族の金属ナノコロイド粒子を担体に担持させた過酸化水素分解触媒に接触させることを特徴とする水中の過酸化水素の除去方法、及び、平均粒子径１〜５０ｎｍである白金族の金属ナノコロイド粒子を担体に担持させた触媒を充填した過酸化水素分解装置と、過酸化水素を含む被処理水を該装置に供給する給水手段と、該触媒と接触した水を該装置から排出する排水手段とを有することを特徴とする過酸化水素の除去装置。 （もっと読む）

半透性特性を有し、減圧浸透ＰＲＯに使用される膜であって、高圧の第１の側及び低圧の第２の側を有する膜に対してメンテナンスを実行する方法及びシステム。時間制御可能な第１の弁又はポンプ（３１、４１、５１、６１、７１、８１、９１）が、膜（１３’）の低圧側への流入口（１２）と膜（１３’）の高圧側への流入口（１１）との間接続され、該第１の弁又はポンプは、第２の種類の水（ＦＷ）のプラグ（２１）を膜の第１の側に選択に送出して、第１の種類の水（ＳＷ）の溶解物質の濃度を低下させ、それにより、第２の種類の水（ＳＷ）の前記プラグ（２１）の上流での第１の種類の水（ＳＷ）の高圧供給によって前記第１の側が加圧された膜の第１の側から第２の側に第２の種類の水（ＦＷ）でＰＲＯ圧力逆洗機能を生み出すように動作可能である。 （もっと読む）

【課題】液漏れの検知を速やかに行える脱気装置を提供する。
【解決手段】本発明の脱気装置１は、底部２３と開口部２４を有するチャンバー本体２２と、そのチャンバー本体２２の開口部２４に取り付けられた蓋部２１とを含み、被脱気液体が出入する流入口１１および流出口１２、ならびに、減圧装置を接続する真空引き口１３が形成された減圧チャンバー２を備えている。減圧チャンバー２内には、一方の端部が流入口１１に接続され、他方の端部が流出口１２に接続され、流入口１２から流入した被脱気液体が内部を通過する気体透過性チューブ３が配置されている。真空引き口１３は、チャンバー本体２２の底部２３に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 液体が侵入する恐れのある膜を用いることなしに気液分離フィルタ部を形成する。
【解決手段】気液分離チップの気液分離フィルタ部３はシリコン基板１に異方性ドライエッチングにより形成された多数の針状突起物を有するブラックシリコンと称されるものである。シリコン基板１上には接着性フッ素樹脂５によってガラス基板４が接合されて流路６が形成されている。気液分離フィルタ部３と流路６はともに紙面垂直方向に延びている。気液分離フィルタ部３で液相と気相との界面でガス移動が行なわれる。 （もっと読む）

流体処理構造は、構造内の流体流を制御する駆動領域（０３，０８）と、駆動領域（０３，０８）内の複数の駆動構成要素（０９，１１，１２，１３）とを有し、駆動領域（６３，６８）は、複数の駆動構成要素（０９，１１，１２，１３）のそれぞれを作動させ又は制御するように構成され配置される。流体処理構造は、流体チャネル（２０４）と、変形可能な材料（２０２）とを含み、流体チャネルは、変形可能な材料（２０２）によって少なくとも部分的に制限される。流体装置は、電磁波の移動のための経路を画定する少なくとも１つのチャネル（４０３）を含む。機器で機能を実行する方法は、インサートを機器と関連付ける段階を含み、インサートは、機能の実行を可能にするプログラムコード、データ又はコマンドの一つ以上を含む。 （もっと読む）

【課題】膜モジュール２０ｂをアスピレータ２０ｃにて駆動する隔膜式脱気装置を、有隔膜電解槽を有する電解水生成装置に採用する場合、当該電解水生成装置に不可欠に存在する水をアスピレータ２０ｃの駆動源に採用して、当該隔膜式脱気装置の採用に起因する装置の大型化を抑制し、かつ、アスピレータの駆動源である液体の無駄な消費を解消する。
【解決手段】当該隔膜式脱気装置を構成する膜モジュール２０ｂを原水の両導入管路１１ａ，１１ｂの一方に配設し、かつ、アスピレータ２０ｃを原水の両導入管路１１ａ，１１ｂの他方または電解生成水の両導出管路１２ａ，１２ｂのいずれかに配設して、アスピレータ２０ｃと膜モジュール２０ｂを互いに接続する。 （もっと読む）

【課題】酸素の透過率を最大限にし、かつ燃料漏れ率を最小限にする積層化された酸素透過膜を提供する。
【解決手段】エネルギ転換装置用の燃料システムは、複数の層から形成された酸素透過膜を有する脱酸素システムを含む。脱酸素システムの１つのマイクロチャネルアッセンブリ３４を形成する１組のプレートが、複合型酸素透過膜３６に近接したサンドイッチ構造をとる燃料プレートアッセンブリ４４を備えており、複合型酸素透過膜３６は、不織布用ポリエステルなどの多孔質の支持層４２によって支持されている。上記燃料プレートアッセンブリ４４は、第１の燃料プレート５２と、第２の燃料プレート５４と、これらの間にある燃料プレートガスケット５６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 塗布故障を未然に防止可能な塗布システム及び塗布方法を得る。
【解決手段】 塗布システム３２の供給系４２は、並列配置された２組の脱気装置４６Ａ、４６Ｂを有している。脱気装置４６Ａを使用しているときに、溶存酸素計６６による塗布液の溶存酸素量の測定値が閾値に達すると、その時点で未使用であった脱気装置４６Ｂが使用されるように、制御装置がバルブ４８、５０および真空ポンプ６２を切り替える。塗布システム３２の全体で高い脱気能力に維持されるので、塗布装置３４での塗布時の塗布故障を未然に防止できる。 （もっと読む）

【課題】膜脱気装置を効率的に洗浄して、経時による圧力損失の上昇、流量低下、脱気性能の低下や膜劣化を防止する。
【解決手段】給水中に連続又は間欠的に洗浄剤として酸又はアルカリを添加してプレフィルタ２及び脱気膜モジュール３に付着した汚染物質を洗浄除去する膜脱気装置の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】選択透過膜を使用することを特徴とする、アルカノールを含む混合物からのアルコキシシランの分離方法の提供。具体的には、トリアルコキシシランを調製する直接合成工程から生じた粗生成混合物からのアルキルジアルコキシシランの回収、特に粗トリメトキシシラン反応生成物からのメチルジメトキシシランの回収を実施するための膜分離方法の提供。別の態様として、ＳｉＨ結合のアルコール分解及び／又はトリアルコキシシランの不均化を回避若しくは最小化しながら、かかる回収工程を実施する方法の提供。
【解決手段】第１表面とそれに対向する第２表面を有する分離膜を有する分離ユニットに、１つ以上のアルコキシシランとアルカノールの混合物を導入する工程と、前記１つ以上のアルコキシシランとアルカノールの混合物を、前記分離膜の前記第１表面と接触させて、前記混合物中の１つ以上の成分を選択的に第１表面に吸収させ、膜全体の濃度勾配の影響により前記第２表面に浸透させ、それによって、前記混合物を、アルカノールが増加した透過物フラクションとアルカノールが減少した保持フラクションに、又はアルコキシシランが増加した透過物フラクションとアルコキシシランが減少した保持フラクションに分離する工程と、透過物フラクションを回収する工程を含んでなる方法。 （もっと読む）