【課題】 余分な被覆処理液を完全に除去することができる被覆膜形成装置の提供を目的
【解決手段】 被覆膜形成装置１００は、部材を保持する部材保持カゴを有する被覆膜調整部１０１を矢印ａ１１方向、矢印ａ１３方向へ水平回転させるとともに、矢印ａ１５方向、矢印ａ１７方向へ垂直回転させる。これにより、被覆処理液を付着させた部材を水平方向及び垂直方向に回転させることができるので、部材に付着させた被覆処理液のうち不要な被覆処理液を均一に除去し、部材に均一な被覆膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】塗布ロボットを使った液剤塗布において、半導体や医療品、食品対応したクリーンな塗布を可能とする。
【解決手段】液剤塗布装置カバー上部のＨＥＰＡフィルターを設け、塗布ヘッドの下方には塗布部材を水平方向に位置決めるＸ−Ｙテーブル上に塗布部材を載置している。塗布時における塗布対応上下駆動部や、ＸＹテーブルユニットの摺動部や駆動部を塗布面より下方に構成した。 （もっと読む）

【課題】上下両面に塗工された基材に対し、塗工部に接触することなく、より安定的に基材を走行させることができるガイド装置を提供する。
【解決手段】上下両面に塗工部５４を有する長尺状の基材１を上面から押さえるガイド装置１６であって、塗工部が形成されていない基材１の両耳部５８，５８の上面にそれぞれ配され、両耳部５８，５８を押さえる左右一対の押さえローラ７２，７６を有している。 （もっと読む）

【課題】従来の除材方法では、ワークに対する描画品位を向上させることが困難である。
【解決手段】ワークＷが載置される面である載置面２５ａを有するテーブル板７１と、テーブル板７１に載置されたワークＷに向けて液状体を吐出する吐出ヘッドと、ワークＷを降下させることによって、ワークＷを載置面２５ａに載置し、且つ、載置面２５ａに載置されたワークＷを上昇させることによって、ワークＷを載置面２５ａから離間させる昇降装置と、を有し、前記昇降装置は、ワークＷを載置面２５ａに載置するときに、ワークＷを載置面２５ａ側に凸となる向きに湾曲させた状態でワークＷを降下させ、ワークＷを載置面２５ａから離間させるときに、ワークＷを載置面２５ａに載置するときよりもワークＷの湾曲を緩和した状態でワークＷを上昇させる、ことを特徴とする液滴吐出装置。 （もっと読む）

【課題】液剤塗布における各種の塗布条件や生産数量等に対して、より標準的にシステム化対応する。
【解決手段】基本的な塗布対応構成の塗布ロボット１において、塗布ヘッド９をＸ方向に駆動させるＸ軸駆動部７、塗布ヘッドを上下させるＺ軸駆動部１０、塗布部材５をＹ方向に位置決めするＹ軸駆動部８と、Ｙ軸部と一体駆動可能な様に組み付け、塗布部材を回転させるθ軸駆動部１１で構成し、塗布部材に対して上記塗布ロボットの各軸を選択して塗布を行う。また、各種の塗布に対しては、塗布ロボットを単体から定ピッチで連結可能な構成とすることによりシステム化対応まで可能となり、塗布部材に対し最適な塗布ができる。また塗布に関連する各種の機能ヘッドにおいても、取付互換性を持たせて選択搭載し、各種塗布部材に対して最適な構成で液剤塗布をする。 （もっと読む）

【課題】装置コストの上昇を抑えつつ、高い液体噴射効率を得ることができる液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体噴射装置１は、ワークＷ１，Ｗ２に対して液体を噴射する液体噴射ヘッド３３と、第一ワークＷ１を載置する第一ワーク搬送テーブル２４と、第二ワークＷ２を載置する第二ワーク搬送テーブル２６と、第一ワーク搬送テーブル２４と第二ワーク搬送テーブル２６とを載置しつつ第一方向へ移動可能なスライダー２３と、液体噴射ヘッド３３及び第二ワーク搬送テーブルを駆動制御する制御部１１１と、を備え、第二ワーク搬送テーブル２６は、第一ワーク搬送テーブル２４の第二方向に並列配置されており、第一ワーク搬送テーブル２４に対して、第二ワークＷ２を載置しつつ第一方向に相対移動可能である。 （もっと読む）

【課題】浮上ステージにおいて分割ステージブロックの境界（繋ぎ目）にできる段差の許容度を大きくして浮上面の高さ位置調整作業を簡便に短時間で行えるようにする。
【解決手段】浮上ステージ１０において、左端の搬入用ステージブロックＳＢ_Aには、専ら噴出口１２を多数配設した第１のラフ浮上領域Ｍ_INが搭載される。真ん中のステージブロックＳＢ_Bには、搬送方向（Ｘ方向）の両端部に専ら噴出口１２を多数配設した突き上げ浮上領域Ｍ_P，Ｍ_Qが局所的に搭載されるとともに、それらの間に噴出口１２と吸引口１４とを混在して多数配設した精密浮上領域Ｍ_CTが搭載される。また、右端の搬出用ステージブロックＳＢ_Cには、専ら噴出口１２を多数配設した第２のラフ浮上領域Ｍ_OUTが搭載される。 （もっと読む）

【課題】 塗布膜の膜厚バラツキを抑制し得る塗布装置を提供する。
【解決手段】 第１の方向に搬送される透明のフィルム（１６）の一方の面（１６a）に接触する第１ローラー（１２）と、前記第１ローラーに対して前記第１の方向に、前記第１ローラーに隣接して配置され、前記一方の面に接触する第２ローラー（１４）と、前記第１ローラーと前記第２ローラーの間に位置する前記フィルムの他方の面に対向するように配置され、前記他方の面に塗布液を塗布する塗布ノズル（２０）と、を有し、前記塗布ノズルにおいて前記塗布液を放出する開口（２２）と、前記第２ローラーの中心軸である第２中心軸（１４ａ）との前記第１の方向に沿う間隔である第２間隔（Ｌ２）は、前記第２ローラーの半径（Ｒ）以上であって５０ｍｍ以下であり、前記開口と、前記第１ローラーの中心軸である前記第１中心軸（１２ａ）との前記第１方向に沿う間隔である第１間隔（Ｌ１）は、前記第２間隔より長い塗布装置。 （もっと読む）

【課題】製膜の際よりも、吐出不良検査の際は吐出ヘッドからの吐出数が少ないことに起因して、不良が検出され難くなることを抑制することができる製膜装置、及び製膜方法を提供する。
【解決手段】製膜装置は、吐出ヘッドと、被製膜媒体を保持する媒体保持手段と、吐出ヘッドと媒体保持手段とを相対移動させる相対移動手段と、を備え、吐出ヘッドと媒体保持手段とを相対移動させるとともに、吐出ヘッドから媒体保持手段に保持された被製膜媒体に向けて液状体を吐出する吐出走査によって、被製膜媒体上に膜を形成する製膜装置であって、吐出ヘッドから検査吐出した液状体を着弾させる検査着弾媒体を保持する検査媒体保持手段と、吐出ヘッドと検査媒体保持手段とを相対移動させる検査相対移動手段と、を備え、検査媒体保持手段は、検査相対移動手段による相対移動方向の長さが、媒体保持手段の相対移動手段による相対移動方向の長さより長いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化及び低価格化に寄与できる印刷装置を提供する。
【解決手段】基材１を搬送する搬送部１３と、基材に対して相対移動して、液滴を吐出する吐出ヘッドと、搬送部１３に設けられ、対向する基材の表面の凹凸情報を検出する検出装置１２０と、を備える。検出装置１２０は、基材１の表面に投光した検知光Ｌの反射光を受光した結果に基づいて、表面位置までの距離を計測する測距部１２１と、搬送部１３の移動を制御して搬送部１３の基材１の表面に沿った方向の位置と測距部１２１の計測結果とに基づいて凹凸情報を導出する制御部とを有する。 （もっと読む）